JPS59219934A - 半導体集積回路素子の樹脂封止装置 - Google Patents

半導体集積回路素子の樹脂封止装置

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Publication number
JPS59219934A
JPS59219934A JP9541783A JP9541783A JPS59219934A JP S59219934 A JPS59219934 A JP S59219934A JP 9541783 A JP9541783 A JP 9541783A JP 9541783 A JP9541783 A JP 9541783A JP S59219934 A JPS59219934 A JP S59219934A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
gate
resin
integrated circuit
semiconductor integrated
Prior art date
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Pending
Application number
JP9541783A
Other languages
English (en)
Inventor
Kojiro Shibuya
渋谷 幸二郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS59219934A publication Critical patent/JPS59219934A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、リードフレームに搭載された半導体集積回路
素子(以下ICという)を樹脂成形する樹脂封止装置に
関するものである。
通常、複数個のICを外枠で支えたリードフレームを樹
脂封止する場合、上型と下型から成る金型の間にリード
フレームを整列させて挟持し、この上下型に形成される
空間内に外部より樹脂を注入することによって封止が行
われる。最近、樹脂封止装置は自動化が計られるように
なってきた。
例えば、金型へのリードフレームの供給、樹脂の供給、
成形されたICの金型からの取出し、成形後のリードフ
レームからの不要なランナー及びゲートの切り離し等は
自動的に行われる。この中で、リードフレームから成形
後に不要なランナー及びゲートを切9離した際、ゲート
口、つまりICへの樹脂供給口にゲートが残る場合があ
る。通常、樹脂供給口は幅約3〜4朋、厚さ帆3朋と狭
くしである。つまり、ゲートを、成形されたICから切
り離しやすいようにしである。しかし、ゲートをICか
ら切り離す方向、各々のゲートとリードフレーム外枠と
の密着の強さの違いにより、最も狭くしであるゲート口
のけ近、つまシゲートの途中で破壊しICにゲートの一
部が付着する状、態がしばしば発生する。そのような場
合には、作業者がリードフレー−ム1枚1枚を目視によ
ってチェックし1.ゲート残9を発見しだら直ちにそれ
を取9除いていた。
ゲート残りは外観上問題になるばか9でなく、後工程の
切断にも、たいへんな悪影響を与える。
切断工程でも自動化が計られており、切断金型へ成形後
のリードフレームを供給する際には位置決めレールを使
用しているが、ゲートの残り量によっては、リードフレ
ームがレールに詰まるという問題が生ずる。また、わず
かのゲート残りでも、切断の際は成形され?4ICの外
形よシわずか0゜3朋離れた周辺を挾持するため、金型
が破壊されることがしばしばあった。
本発明は、樹脂成形されたICから不要なランナー及び
ゲートを切り離した後、ゲート残りを検出し、ゲート残
シがあるリードフレームを自動的に排除することによっ
て、上記の諸問題を解決するものである。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する
第1図に金型による樹脂成形後のリードフレーム1とI
C2にゲート4とランナー3が接続されている様子を示
す。各樹脂封止部、つまりIC2に樹脂を供給するだめ
にランナー3からゲート4が分岐されており、前述した
ようにゲート口は狭くしである。樹脂成形後、ランナー
3等が接続されたリードフレーム1はランナー3及びゲ
ート4をリードフレーム1から分離する分離部に移送さ
れる。分離する1つの方法として、リードフレーム1を
固定し、ゲート4がある反対側の下方からランナー3及
びゲート4を突き上げて分離する方法がある。第2図に
分離された後、IC2のゲート口にゲート残95が発生
した様子を示す。ゲート残り5の大きさは通常、ゲート
口からゲート方向0.5朋から2 mmぐらいで、高さ
方向は1 mmぐらいである。
分離部で分離されたリードフレーム1は本発明のゲート
残り検出部に移送される。本発明の実施例であるゲート
残シ検出部を第3図、第4図に示す。すなわち、第3図
、第4図に示すようにIJ−ドフレーム1を位置決めし
て搬送できるように、該リードフレーム10両側を支え
るガイドレール6.7を設置すると共に、浮上り防止用
のガイド板8が設けである。ガイド板8はIC2の上方
向1朋程度離れだところに設置する。軸11の一方に取
付けられたロー29は、ゲート残シ5が発生するIC2
の端面よりわずか0゜3 mmぐらい離れたところに位
置する。まだ軸11の他端は支点13によって支点固定
ブロック12に固定される。ローラ9は軸11を中心に
回転できるほかに支点13を中心に軸11と共に上下に
回転運動が可能である。軸11は垂直方向のガイド長穴
を持った軸ガイドlOによって上下にガイドされる。バ
ネ14は、リードフレーム1がローラ9を通過する際は
、樹脂収縮によって生ずるリードフレーム1のうねりを
吸収できる程度の張力を持ち、一方は軸11の一部、他
方はバネ固定ブロック15に固定される。
ローラ9から約2 mm離れた直上には、ローラ9の接
近を検知できるセンサー16が設置される。つまり、ゲ
ート残シ5があったとき、第4図に示す如くローラ9が
ゲート残り5に乗シ上げるだめ、ローラ9はセンサー1
6に近づきゲート残シ5があったということが検知され
る。検知された信号は信号ライン17を通り、制御部1
8に伝達される。
ゲート残り検出部でゲート残95が検出されたリードフ
レーム1は第5図に示すリードフレーム排除部で排除さ
れる。すなわち、第5図、第6図において、シリンダ2
oはシリンダ固定ブロック24に固定され、シリンダ軸
21の先端はガイドレール6に連設した可動ガイドレー
ル19に固定される。
まだ、シリンダ20の左右にはシリンダ固定ブロック2
4の貫通した穴に対しスライドできるシャフト23a 
、 23bが通り、その先端が可動ガイドレール19に
固定される。つまり、可動ガイドレール19は、シリン
ダ20の駆動によって往復運動ができ、両レール7.1
9間を拡開してリードフレーム10幅よシ広くできるよ
うになっている。リードフレーム排線部の下部には排除
されたリードフレーム1を収納できるリードフレーム受
は箱22が設けである。
リードフレーム受は箱22には排除されたリードフレー
ム1が落下した時の衝撃を少なくするため、斜めに落下
するよう傾斜面が設けられている。
次に第6図を用いて本発明の動作を順次説明する。
樹脂成形後、成形後には不要のランナー3及びゲート4
が取シ除かれたリードフレーム1は、ゲート残り検出部
にガイドレール6.7によって位置決めされながら、爪
26によってピッチ送りされる。
ゲート残り5があるリードフレーム1がローラ9を通過
した時は、センサー16がゲート残り5を検出し、制御
部18に伝達される。リードフレーム1が完全にローラ
9を通過し、リードフレーム排除部に送られ、ゲート残
り5が検出されていた時、シリンダ20が可動ガイドレ
ール19を後退させて両ガイドレール7.190間隔を
リードフレーム1の幅より広くする。しだがって、送ら
れてきたリードフレーム1はリードフレーム排除部で自
然落下によってリードフレーム受は箱22に収納される
。また、ゲート残り5が検出されない場合はシリンダ2
0が作動せず、ガイドレール7.19の間隔がリードフ
レーム1の幅に保持されるため、リードフレームは、ガ
イドレール7.19に支持され爪26によシ図示しない
次工程に送られ、そこでトレーに収納される。
以上説明したように、本発明によれば次工程に悪影響を
及ぼさないリードフレームが作業者の判断によらず選択
でき、切断の際の金型を破壊することがなく、しかも自
動化を容易に図ることができる効果を有するものである
【図面の簡単な説明】
第1図は樹脂成形後のリードフレームを示す斜視図、第
2図はゲート残シが発生した様子を示す断面図、第3.
4図は本発明のゲート残シ検出部の実施例を示す側面図
、第5図は本発明の一部であるリードフレーム排除部の
実施例を示す側面図、第6図は本発明によるゲート残り
検出機構の実施例を示す斜視図である。 1・・・リードフレーム、2・・・IC(半導体集積回
路素子)、3・・・ランナー、4・・・ゲート、5・・
・ゲート残シ、6,7・・・ガイドレール、8・・・ガ
イド板、9・・・ローラ、10.5.軸ガイド、11・
・・軸、12・・・支点固定ブロック、13・・・支点
、14・・・バネ、15・・・ノ(ネ固定ブロック、1
6・・・センサー、17・・・信号ライン、18・・・
制御部、19・・・可動ガイドレール、20・・・シリ
ンダ、21・・・シリンダ軸、22・・・リードフレー
ム受は箱、23a、23b・・・シャフト、24・・・
シリンダ固定ブロック、25・・・爪固定ブロック、2
6・・・爪 特許出願人  日本電気株式会社 代理人 弁理士  菅   野    中第3図 1′7 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ボンディングワイヤーが接続されたリードフレー
    ムの半導体集積回路素子を樹脂封止する半導体集積回路
    素子の樹脂封止装置において、樹脂成形されたリードフ
    レームの両側をガイドレールで支え、これを搬出する搬
    送路に沿って、樹脂封止された半導体集積回路素子のゲ
    ート付近に残る不要なゲートの有無を検出するゲート残
    り検出部と、前記ガイドレールの間隔をリードフレーム
    の幅より適宜拡開することによって、リードフレームを
    搬送路から外部に排除するリードフレーム排除部とを設
    置し、前記検出部よシの検出信号に基づき前記リードフ
    レーム排除部の拡縮動作を制御する制御部を有すること
    を特徴とする半導体集積回路素子の樹脂封止装置。
JP9541783A 1983-05-30 1983-05-30 半導体集積回路素子の樹脂封止装置 Pending JPS59219934A (ja)

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JPS59219934A true JPS59219934A (ja) 1984-12-11

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ID=14137105

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