JPS59211819A - 圧電変位装置およびこの圧電変位装置を用いたヘッド移動装置 - Google Patents
圧電変位装置およびこの圧電変位装置を用いたヘッド移動装置Info
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- JPS59211819A JPS59211819A JP58086296A JP8629683A JPS59211819A JP S59211819 A JPS59211819 A JP S59211819A JP 58086296 A JP58086296 A JP 58086296A JP 8629683 A JP8629683 A JP 8629683A JP S59211819 A JPS59211819 A JP S59211819A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はＶＴＲ、磁気ディスク装置、光デイスク装置、
電子カメラ等の記録再生へラドアクチェータ等として好
適な圧電型変位装置に関する。
電子カメラ等の記録再生へラドアクチェータ等として好
適な圧電型変位装置に関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕従来のこの種の
圧電型変位装置、は、バイモルフ構造を有している。
圧電型変位装置、は、バイモルフ構造を有している。
第１図はその一例を示す図である。圧電素子Ｉ ＨＰＺ
Ｔ等の圧電セラミクス２ａお工び２ｂの両側面に、電極
３ｈ、３ｂおよび、９ ｃ 、 ３ ｄをそれぞれ付設
して分極操作を行なったものを、分極軸４ｔｈ＋４ｂが
互いに逆向きになるように接着剤（不図示）にて貼り合
わせである。この圧電素子１の先端部には例えばフェラ
イトヘラＰ５が座板６′５ｒ：介して取付けである。１
だ圧電素子１０基端部（図中上端部）は台座７に固定さ
れ、リ ｐ端子８ ａ ＊ ８ ｂによって前記電極３
８〜３ｄに所定極性の信号電圧を直列的に印加するもの
となっている。そこで今、リード端子８ｈ、８ｂに例え
ば図示の如く■ｅの信号電圧を印加すると、一方の圧電
セラミクス２Ｂの厚みが増大し、他方の圧電セラミクス
２ｂの厚みが減少する。その結果、圧電素子１の先端は
バイメタル的に変形し、フェライトヘッド５は矢印９Ａ
方向へ変位する。リード端子８ａ。
Ｔ等の圧電セラミクス２ａお工び２ｂの両側面に、電極
３ｈ、３ｂおよび、９ ｃ 、 ３ ｄをそれぞれ付設
して分極操作を行なったものを、分極軸４ｔｈ＋４ｂが
互いに逆向きになるように接着剤（不図示）にて貼り合
わせである。この圧電素子１の先端部には例えばフェラ
イトヘラＰ５が座板６′５ｒ：介して取付けである。１
だ圧電素子１０基端部（図中上端部）は台座７に固定さ
れ、リ ｐ端子８ ａ ＊ ８ ｂによって前記電極３
８〜３ｄに所定極性の信号電圧を直列的に印加するもの
となっている。そこで今、リード端子８ｈ、８ｂに例え
ば図示の如く■ｅの信号電圧を印加すると、一方の圧電
セラミクス２Ｂの厚みが増大し、他方の圧電セラミクス
２ｂの厚みが減少する。その結果、圧電素子１の先端は
バイメタル的に変形し、フェライトヘッド５は矢印９Ａ
方向へ変位する。リード端子８ａ。
８ｂに印加する信号電圧の極性を逆にすれば、フェライ
トヘッド５は矢印９Ｂ方向へ変位する。
トヘッド５は矢印９Ｂ方向へ変位する。
なお前記分極軸４ａ、４ｂが同方向となるように前記圧
電セラミクスＪ ａ Ｔ ２ｂ ｋ接着し、各電極Ｊａ
、ｊｂおよび３ｃ、３ｄに対し並列的に信号電圧を印
加するようにしたものもあるが動作原理としては前述の
例と同様である。
電セラミクスＪ ａ Ｔ ２ｂ ｋ接着し、各電極Ｊａ
、ｊｂおよび３ｃ、３ｄに対し並列的に信号電圧を印
加するようにしたものもあるが動作原理としては前述の
例と同様である。
かぐして上記構成の圧電型変位装置によれば、フエライ
トヘッＰ５ｉ磁気記録媒体上において変位させ、トラッ
キング制御を行なうことができる。
トヘッＰ５ｉ磁気記録媒体上において変位させ、トラッ
キング制御を行なうことができる。
上記構成の圧電型変位装置における変位量ｙと印加電圧
Ｖとの関係は ）ｒ＝３−ｄ３．Ｖ で表わされる。ただしｌは圧電素子１の長さ、ｔは厚み
、ｄ３１は圧電定数である。従って一定の印加電圧に対
して変位量ｙを大きくするためには、圧電素子１の厚み
ｔを小さくし、長さｌを大きくする必要がある。
Ｖとの関係は ）ｒ＝３−ｄ３．Ｖ で表わされる。ただしｌは圧電素子１の長さ、ｔは厚み
、ｄ３１は圧電定数である。従って一定の印加電圧に対
して変位量ｙを大きくするためには、圧電素子１の厚み
ｔを小さくし、長さｌを大きくする必要がある。
し刀為るにこのようにすると、圧電素子１の機械的強度
が著しく損われる。そのため通常は２枚の圧電セラミク
スＪｊＩ＆、２ｂの界面に補強材としてチタン、銅、真
ちゅう、ステンレス等の薄板を入れることが多いが、こ
れにエリ機械的強度は成る程度増すものの、反面これに
よって変位量を低下させる上、大型化するという問題が
あった。
が著しく損われる。そのため通常は２枚の圧電セラミク
スＪｊＩ＆、２ｂの界面に補強材としてチタン、銅、真
ちゅう、ステンレス等の薄板を入れることが多いが、こ
れにエリ機械的強度は成る程度増すものの、反面これに
よって変位量を低下させる上、大型化するという問題が
あった。
本発明の目的は小型で機械的強度が大きく、かつ印加電
圧に対する変位量が犬きく変換効率の高い圧電型変位装
置を提供することにある。
圧に対する変位量が犬きく変換効率の高い圧電型変位装
置を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴としている。すなわち、本発明は電極面と平行
方向に分極した厚みすベシ圧電振動子を積層状態とな゛
し、一端面を台座に固定し他端面に被変位体を取付け、
上記振動子に信号電圧全印加することによって上記被変
位体を上記振動±のすべ夛方向と同方向に変位させるこ
とによシ、格別の補強部材を用いなくとも十分な機械的
強度が得られる２うにし、かつ変換効率を高め得るよう
にしたことを特徴としている。
とを特徴としている。すなわち、本発明は電極面と平行
方向に分極した厚みすベシ圧電振動子を積層状態とな゛
し、一端面を台座に固定し他端面に被変位体を取付け、
上記振動子に信号電圧全印加することによって上記被変
位体を上記振動±のすべ夛方向と同方向に変位させるこ
とによシ、格別の補強部材を用いなくとも十分な機械的
強度が得られる２うにし、かつ変換効率を高め得るよう
にしたことを特徴としている。
第２図は本発明の詳細な説明するための図である。厚み
すべり圧電振動子１１は圧電セラミクス１２の両側面に
電極１３ ａ 、 １．９ ｂを付設し、とわら電極１
３ｍ、１３ｂと平行な方向に分極軸１４を有する構造と
なっている。従って主振動モートゝとして破線で示す如
く「厚みすべり振動」が励起されることとなる。なお図
中矢印１５け電界方向會示す。そこで今、電極１３ａ。
すべり圧電振動子１１は圧電セラミクス１２の両側面に
電極１３ ａ 、 １．９ ｂを付設し、とわら電極１
３ｍ、１３ｂと平行な方向に分極軸１４を有する構造と
なっている。従って主振動モートゝとして破線で示す如
く「厚みすべり振動」が励起されることとなる。なお図
中矢印１５け電界方向會示す。そこで今、電極１３ａ。
１３ｂに電源１６から電圧Ｖｉ印加するとｙ（Ｘ： ｄ
、５Ｖ なる変位量が上記振動子１１の長手方向に生じる。
、５Ｖ なる変位量が上記振動子１１の長手方向に生じる。
ところで圧電定数には励起する振動モーＰまたは変位モ
ードによって圧電バイモルフと密接な関係を有するｄ３
１、厚みたて振動に関係するｄ３３、また本発明による
変位装置と関係の深い厚みすベシ圧電振動に関する’１
５などがあり、材料によって国有の値を示している。次
表は市販されている代表的なＰＺＴセラミクスの各モー
ドの圧電定数を示す表である。
ードによって圧電バイモルフと密接な関係を有するｄ３
１、厚みたて振動に関係するｄ３３、また本発明による
変位装置と関係の深い厚みすベシ圧電振動に関する’１
５などがあり、材料によって国有の値を示している。次
表は市販されている代表的なＰＺＴセラミクスの各モー
ドの圧電定数を示す表である。
上表から明らかなようにｄ１５はｄ３３と同等またはそ
れ以上の値を示し、ｄ３１に比べるとはるかに大きいこ
とがわかる。圧電定数が大きいということは小さい電圧
で大きな変位量が得られるということを意味している。
れ以上の値を示し、ｄ３１に比べるとはるかに大きいこ
とがわかる。圧電定数が大きいということは小さい電圧
で大きな変位量が得られるということを意味している。
したがってｄ１５を利用することは変換効率の向上につ
ながることになる。しかも上記厚みナベ多圧電振動子１
１は長手方向に変位が生じるので変位方向に加わる外力
に対しての機械的強度が充分保証されていることは構造
上明らかである。
ながることになる。しかも上記厚みナベ多圧電振動子１
１は長手方向に変位が生じるので変位方向に加わる外力
に対しての機械的強度が充分保証されていることは構造
上明らかである。
第３図〜第５図は本発明の第１実施例を示す図である。
第３図はヘツＶアク千ユエータ全体を・示す側面図であ
り、図中符号２１は薄板厚みすベシ圧山子１１を複数個
指′層した積層体である。この積層体２ノの一端面は台
座２２に固足しである。上記積層体２１の他端面中央部
には座板２３を介して被変位体としての磁気ヘラＰ２４
が取付けである。２５ｍ、２５ｂは信号電圧印加端子で
あり、リーｒ線２６ ａ 、 ２６ｂケ介して各圧電振
動子１ノの電極に接続されている。
り、図中符号２１は薄板厚みすベシ圧山子１１を複数個
指′層した積層体である。この積層体２ノの一端面は台
座２２に固足しである。上記積層体２１の他端面中央部
には座板２３を介して被変位体としての磁気ヘラＰ２４
が取付けである。２５ｍ、２５ｂは信号電圧印加端子で
あり、リーｒ線２６ ａ 、 ２６ｂケ介して各圧電振
動子１ノの電極に接続されている。
第４図中２７層体２１の一部Ｆの拡大図であり、各圧電
振動子１１−１．１１−２・・・１１−Ｎの各圧゛亀セ
ラミクス１２は分極方向が矢印で示すように交互に興な
る方向を向くように配設されている６捷だ第４図中２７
−Ｊ 、２７−２．・・・２７−Ｎは各圧電振動子相互
間にブト在させた電極引出し導体であり、電気回路的に
は第５図に示すように一つおきに共通接続され、端子２
５ａ。
振動子１１−１．１１−２・・・１１−Ｎの各圧゛亀セ
ラミクス１２は分極方向が矢印で示すように交互に興な
る方向を向くように配設されている６捷だ第４図中２７
−Ｊ 、２７−２．・・・２７−Ｎは各圧電振動子相互
間にブト在させた電極引出し導体であり、電気回路的に
は第５図に示すように一つおきに共通接続され、端子２
５ａ。
２５ｂにそれぞれ一括接続しである。
そこで今、信号電圧印加端子２５ ａ ＃ ２５ ｂに
第５図に示す如く電源２８から電圧Ｖを印加すると、積
層体２１には電圧Ｖに比例した変位ｙが生じる。かぐし
てヘッド２４のトラッキング制御等を行なえる。本実施
例では圧電振動子１ノの分極方向が一層おきに異なる方
向を向いているので各圧電振動子１１−１．１１−２゜
・・・１１−Ｎ間の隣り合った電極どうしを絶縁する必
要が無い。このため積層体２１の厚み、ひいてはヘッド
アクチュエータ全体の厚み寸法を小さくできる。
第５図に示す如く電源２８から電圧Ｖを印加すると、積
層体２１には電圧Ｖに比例した変位ｙが生じる。かぐし
てヘッド２４のトラッキング制御等を行なえる。本実施
例では圧電振動子１ノの分極方向が一層おきに異なる方
向を向いているので各圧電振動子１１−１．１１−２゜
・・・１１−Ｎ間の隣り合った電極どうしを絶縁する必
要が無い。このため積層体２１の厚み、ひいてはヘッド
アクチュエータ全体の厚み寸法を小さくできる。
第６図〜第８図は本発明の第２の実施例である。本実施
例では圧電振動子１１の分極方向が全て同一方向となる
ように配置されている。したがって本実施例では隣り合
う圧電振動子１１の各電極どうしを絶縁するために絶縁
部材２９−１．２９−２・・・２９−（Ｎ−１）を介在
させている。この実施例においても前記実施例と同様の
動作を行なえる。
例では圧電振動子１１の分極方向が全て同一方向となる
ように配置されている。したがって本実施例では隣り合
う圧電振動子１１の各電極どうしを絶縁するために絶縁
部材２９−１．２９−２・・・２９−（Ｎ−１）を介在
させている。この実施例においても前記実施例と同様の
動作を行なえる。
第９図は本発明の第３実施例である。この実施例では台
座２２に一端面を固定した厚みすべり振動子積層体２ノ
の他端面上の端部に座板２３を介してヘッド２４を取付
けたことを特徴としている。
座２２に一端面を固定した厚みすべり振動子積層体２ノ
の他端面上の端部に座板２３を介してヘッド２４を取付
けたことを特徴としている。
第】０しＩは本発明の第４実施例である。この実施例で
は垂部な台座３０に対し支持アーム３Ｉを取付け、この
アーム３ノに′Ｉ／Ｉｉ層体２ノの一端面を固定し、ヘ
ッド２４を第９図の場合と同様に積層体２１の端部に取
付けたことを特徴としている。
は垂部な台座３０に対し支持アーム３Ｉを取付け、この
アーム３ノに′Ｉ／Ｉｉ層体２ノの一端面を固定し、ヘ
ッド２４を第９図の場合と同様に積層体２１の端部に取
付けたことを特徴としている。
第１１図は本発明の第５実施例であり、第３図〜第５図
に示した第１実施例の変形例である。
に示した第１実施例の変形例である。
すなわち本実施例は第４図に示した電極引出し導体２７
−１．２７−２・・・２７−Ｎを用いずに、圧電振動子
１１の各電極１３ｈ、１３ｂの端部を積層体２１の側面
へＬ字状に延在させ、隣接部位をハンダ４１によシ一体
に結合すると共に、この部分にＩＪ ｐ線４２を接続
するようにしたものである。この実施例に工れば第１実
施例に比べ電極引出し導体２’ｌ−１，２１−２，・・
・２７−Ｎを用いない分だけ積層体２１の厚みをさらに
小さくできる上、材料費の節減をはかれる利点がある。
−１．２７−２・・・２７−Ｎを用いずに、圧電振動子
１１の各電極１３ｈ、１３ｂの端部を積層体２１の側面
へＬ字状に延在させ、隣接部位をハンダ４１によシ一体
に結合すると共に、この部分にＩＪ ｐ線４２を接続
するようにしたものである。この実施例に工れば第１実
施例に比べ電極引出し導体２’ｌ−１，２１−２，・・
・２７−Ｎを用いない分だけ積層体２１の厚みをさらに
小さくできる上、材料費の節減をはかれる利点がある。
ここで第３図〜第１１図に示し大谷実１ｆｉＦｈ例にお
ける厚みすべり圧電振動子１１め圧電セラミックス１２
として前記表の材料Ｂ？用いた場合の性能について検討
してみる。
ける厚みすべり圧電振動子１１め圧電セラミックス１２
として前記表の材料Ｂ？用いた場合の性能について検討
してみる。
厚みすべ９圧電振動子１１ｋｅ層した積層体２１の積層
数をｎとし、印加する電圧をＶＭシルトすると、変位量
ｙ〔ｍ〕は− ｙ＝ｎＸｄ１５×■〔ｍ〕 と表わすことができる。ここでｎ＝３０゜ｄ ＝、 ９
３０ Ｘ １０−１２［ｒｒｖ′ｖ）、 Ｖ ＝±５
００ （Ｖ：］とすると、変位量ｙは ｙ＝±１４〔μｍ〕 となる。この数値Ｆｉ２インチ〜３インチの小型磁気デ
ィスク等のトラックをトラッキングする場合のへラドア
クチーエータとして充分使用可能な変位量である。
数をｎとし、印加する電圧をＶＭシルトすると、変位量
ｙ〔ｍ〕は− ｙ＝ｎＸｄ１５×■〔ｍ〕 と表わすことができる。ここでｎ＝３０゜ｄ ＝、 ９
３０ Ｘ １０−１２［ｒｒｖ′ｖ）、 Ｖ ＝±５
００ （Ｖ：］とすると、変位量ｙは ｙ＝±１４〔μｍ〕 となる。この数値Ｆｉ２インチ〜３インチの小型磁気デ
ィスク等のトラックをトラッキングする場合のへラドア
クチーエータとして充分使用可能な変位量である。
一方、第１２図に示すように一つの圧電振動子１ノにつ
いてその縦の辺の長さ’ＴｈＰ、横の長さをＱ、厚み全
Ｒとしたとき、各辺の長さの比を Ｐ：Ｑ：Ｒ＝１０：３０：１ 稈度にすると、ノイズモードの振動を少なく押え得るこ
とが実験的に明らかとなった。そこで今、上記Ｒを電極
も含めて０．１５［ｍ”ｌにし、第３図〜第５図に示し
たようなアクチュエータ構造とした場合、ｎ ＝ ３０
層とするとアクチーエータの大きさは縦１．５〔簡〕、
横４．５〔鴫〕、Ｃ； 陣さ４．５ （ｔｍ 、：ｌとなる。このよう１寸法的
にも十分小型なものが得られるため、可搬型の磁気ディ
スク記録再生装置や電子カメラ等にも充分採用できる。
いてその縦の辺の長さ’ＴｈＰ、横の長さをＱ、厚み全
Ｒとしたとき、各辺の長さの比を Ｐ：Ｑ：Ｒ＝１０：３０：１ 稈度にすると、ノイズモードの振動を少なく押え得るこ
とが実験的に明らかとなった。そこで今、上記Ｒを電極
も含めて０．１５［ｍ”ｌにし、第３図〜第５図に示し
たようなアクチュエータ構造とした場合、ｎ ＝ ３０
層とするとアクチーエータの大きさは縦１．５〔簡〕、
横４．５〔鴫〕、Ｃ； 陣さ４．５ （ｔｍ 、：ｌとなる。このよう１寸法的
にも十分小型なものが得られるため、可搬型の磁気ディ
スク記録再生装置や電子カメラ等にも充分採用できる。
第１３図（ａ） （ｂ） （ｃ） 〜第１７図は、本発
明の圧電型変位装置を磁気ディスク記録再生装置のへラ
ドアクチュエータとして使用する場合の具体的使用例を
示す図である。
明の圧電型変位装置を磁気ディスク記録再生装置のへラ
ドアクチュエータとして使用する場合の具体的使用例を
示す図である。
第１３図（ａ） （ｂ） （ｃ）は、本出願人がすでに
出願し°た特願昭５７−１２６１３２号に本発明を適用
し九例である。
出願し°た特願昭５７−１２６１３２号に本発明を適用
し九例である。
特願昭５７−１２６１３２号は円盤状記録媒体（以下デ
ィスクと略称する）の外周部に記録再生を行なうヘッド
と、ディスクの内周部に記録再生を行なうヘッドとを、
ディスクの回転中心を横切って直線的に往復動作するヘ
ッド支持アームの両端部位に固定し、これら二つのヘッ
ドを時分割的にもしくは信号分割的に使用することによ
り、ディスクが小径の場合にも高画質な録再ができるよ
うにした画像装置である。
ィスクと略称する）の外周部に記録再生を行なうヘッド
と、ディスクの内周部に記録再生を行なうヘッドとを、
ディスクの回転中心を横切って直線的に往復動作するヘ
ッド支持アームの両端部位に固定し、これら二つのヘッ
ドを時分割的にもしくは信号分割的に使用することによ
り、ディスクが小径の場合にも高画質な録再ができるよ
うにした画像装置である。
第１ｉ図（、）において、５０はディスクであり、その
中心部を直接駆動型のブラシレスサーボモータ５１のシ
ャフト５２に嵌合させている。かくしてこのディスク５
０は３０ ［ｒｐｓ ］あるいは６０ （ｒｐａ ）で
高速回転する。本発明に係わる２個のへラドアクチュエ
ータ５３．５４は、ヘッド支持アーム５５上の所定位置
に取付けられておシ、ディスク５０の記録面に対向する
ものとなっている。ヘッド支持アーム５５の一端゛下部
にはラック５６が設けてあシ、このラック５６がヘッド
移動モータ５７のシャフトに付けられたビニオン５８と
噛合している。かぐしてヘッド支持アーム５５はヘッド
移動モータ５７の回転に伴い、矢印りで示す如くディス
ク５０の回転中心を横切る方向に移動するものとなって
いる。
中心部を直接駆動型のブラシレスサーボモータ５１のシ
ャフト５２に嵌合させている。かくしてこのディスク５
０は３０ ［ｒｐｓ ］あるいは６０ （ｒｐａ ）で
高速回転する。本発明に係わる２個のへラドアクチュエ
ータ５３．５４は、ヘッド支持アーム５５上の所定位置
に取付けられておシ、ディスク５０の記録面に対向する
ものとなっている。ヘッド支持アーム５５の一端゛下部
にはラック５６が設けてあシ、このラック５６がヘッド
移動モータ５７のシャフトに付けられたビニオン５８と
噛合している。かぐしてヘッド支持アーム５５はヘッド
移動モータ５７の回転に伴い、矢印りで示す如くディス
ク５０の回転中心を横切る方向に移動するものとなって
いる。
第１３図（ｂ）はヘッド支持アーム５５をディスク５０
側から見た図である。ヘッドアクチュエータ５．９ ＃
５４の取付は位置５３’、５４’は前記ヘッド支持ア
ーム５５の中心Ｂ −Ｂ’より若干ずらしである。５９
．６０はヘッド取付は用に前記へ・ト・支持アーム５５
にｉけた切欠孔であシ、この孔の中心はＢ −Ｂ’上に
ある。６ノは前記ヘット°支持アーム５５が移動する際
にモータシャフト５２に当らぬように設けられたモータ
シャフト恢合孔である。
側から見た図である。ヘッドアクチュエータ５．９ ＃
５４の取付は位置５３’、５４’は前記ヘッド支持ア
ーム５５の中心Ｂ −Ｂ’より若干ずらしである。５９
．６０はヘッド取付は用に前記へ・ト・支持アーム５５
にｉけた切欠孔であシ、この孔の中心はＢ −Ｂ’上に
ある。６ノは前記ヘット°支持アーム５５が移動する際
にモータシャフト５２に当らぬように設けられたモータ
シャフト恢合孔である。
第１３図（ｃ）は（ｂ）におけるＡ −Ａ’の位置にヘ
ッドアクチュエータ５３を取付けた状態を示す′斜視図
である。ヘッドアクチュエータ５３の基端はヘッド支持
アーム５５上の取付位置上に固定されている。上記へラ
ドアクチュエータの変位端には連結部材６２の一端部が
固定されている。
ッドアクチュエータ５３を取付けた状態を示す′斜視図
である。ヘッドアクチュエータ５３の基端はヘッド支持
アーム５５上の取付位置上に固定されている。上記へラ
ドアクチュエータの変位端には連結部材６２の一端部が
固定されている。
連結部材６２の他端邪にはヘノＰ６Ｊが固定されている
。ヘノｖ６３のギャップ６４は前記（ｂ）のＢ −Ｂ’
線に一致するようになっている・かくしてヘノＰ６３は
モータ５７の回転によυディスク半径方向へ粗移動され
たのち、ヘッドアクチュエータ５３によシディスク上の
トラックと手簡な方向へ微細移動制御される。つまりヘ
ッドアクチュエータ５３にトラッキング情報に基いた制
御電圧を印加することにより、トラッキング制御が行な
われる。
。ヘノｖ６３のギャップ６４は前記（ｂ）のＢ −Ｂ’
線に一致するようになっている・かくしてヘノＰ６３は
モータ５７の回転によυディスク半径方向へ粗移動され
たのち、ヘッドアクチュエータ５３によシディスク上の
トラックと手簡な方向へ微細移動制御される。つまりヘ
ッドアクチュエータ５３にトラッキング情報に基いた制
御電圧を印加することにより、トラッキング制御が行な
われる。
第１４図は第１３図（ｃ）におけるヘラドアクチユニー
゛り５３と磁気ヘッド６３との相対取付位置関係を９０
度回転させた変形例である。
゛り５３と磁気ヘッド６３との相対取付位置関係を９０
度回転させた変形例である。
第１５図〜第１７図は本発明に係わるヘッドアクチュエ
ータをトラッキング以外の用途に用いた例である。
ータをトラッキング以外の用途に用いた例である。
第１′５図はへ□シト０アクチユエータ５３をヘッドタ
ッチの調整用に用いた実施例である。すなワチ本実施例
は光ディスクのフォーカシングアクチェータと同様な使
い方をした例である。高密度記録では磁気ヘラＰと記録
媒体間に起因するスイージングロスをいかに取り除くか
が重要な問題と７〉るが、本実施例に工れげスイージン
グをμｍ以下の精度で制御できる。
ッチの調整用に用いた実施例である。すなワチ本実施例
は光ディスクのフォーカシングアクチェータと同様な使
い方をした例である。高密度記録では磁気ヘラＰと記録
媒体間に起因するスイージングロスをいかに取り除くか
が重要な問題と７〉るが、本実施例に工れげスイージン
グをμｍ以下の精度で制御できる。
第１６図はへツーアクチュエータ５３を磁気ヘッド６３
のアジマス調整用のアクチュエータとして構成した実施
例である。すなわち一対のアクチュエータ５３ Ａ 、
、５３ Ｂ間にヘッド６３を挟持し、ヘッドギャップ
６４の傾きを調整するようにしたものである。記録波長
が１〔μｍ〕以下の知波長記録では、アンマス角のわず
かなずれがアジマスロスの発生とな夛再生感度の低下に
つながるが、本実施例では１分以下の角度調整が可能と
なる。
のアジマス調整用のアクチュエータとして構成した実施
例である。すなわち一対のアクチュエータ５３ Ａ 、
、５３ Ｂ間にヘッド６３を挟持し、ヘッドギャップ
６４の傾きを調整するようにしたものである。記録波長
が１〔μｍ〕以下の知波長記録では、アンマス角のわず
かなずれがアジマスロスの発生とな夛再生感度の低下に
つながるが、本実施例では１分以下の角度調整が可能と
なる。
第１７図はヘッドアクチュエータ５３をウオブリング方
式のへラドアクチュエータに適用した実施例である。す
なわちヘッドアクチュエータ５３に交流電源６５から交
番電圧を印加し、磁気ヘッド６３をトラック幅方向に振
動させ、再生出力のエンベローゾ検波によりトラックず
れ情報を得るようＫしたものである。
式のへラドアクチュエータに適用した実施例である。す
なわちヘッドアクチュエータ５３に交流電源６５から交
番電圧を印加し、磁気ヘッド６３をトラック幅方向に振
動させ、再生出力のエンベローゾ検波によりトラックず
れ情報を得るようＫしたものである。
上記各実施例で示したように、本発明によるヘッドアク
チュエータは非常に小形に形成できるので、例えばＶＴ
Ｒ、磁気ディスク録画再生装置、電子カメラ等の磁気ヘ
ラＰ駆動（トラッキング、アジマス調整、ヘッドタッチ
圧力調整等）用として最適である。また九ディスク、光
−磁気ディスク等の光学ヘッドの駆動（トラッキング、
フォーカシング等）用としても好適である・応じて積層
数を適宜変更できるという利点がある。また、バイモル
フ構造のものよシも機械的強度と出力パワーの点゛で格
段にすぐれてｂるため、１個のヘッドアクチュエータに
より複数のヘッドを同時に変位させることも可能である
。
チュエータは非常に小形に形成できるので、例えばＶＴ
Ｒ、磁気ディスク録画再生装置、電子カメラ等の磁気ヘ
ラＰ駆動（トラッキング、アジマス調整、ヘッドタッチ
圧力調整等）用として最適である。また九ディスク、光
−磁気ディスク等の光学ヘッドの駆動（トラッキング、
フォーカシング等）用としても好適である・応じて積層
数を適宜変更できるという利点がある。また、バイモル
フ構造のものよシも機械的強度と出力パワーの点゛で格
段にすぐれてｂるため、１個のヘッドアクチュエータに
より複数のヘッドを同時に変位させることも可能である
。
なお本発明は上述した各実施例に限定されるものではな
い。例えば第１３図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）に
おいては、ヘット°アクチュエータを２個設置した場合
を示したが、取付けられるヘッドの数に応じて複数個設
置するようにしてもよめ、また第１３図（ａ） 、 （
ｂ） 、 （ｃ） ′−第１７図における磁気へクド６
３の代シに垂直磁気記録用へツＶを用いて□もよい。さ
らに前述した実施例では本発明をへ 。
い。例えば第１３図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）に
おいては、ヘット°アクチュエータを２個設置した場合
を示したが、取付けられるヘッドの数に応じて複数個設
置するようにしてもよめ、また第１３図（ａ） 、 （
ｂ） 、 （ｃ） ′−第１７図における磁気へクド６
３の代シに垂直磁気記録用へツＶを用いて□もよい。さ
らに前述した実施例では本発明をへ 。
ツーアクチュエータに適用した例を示したが、各種セン
サー、発光素子、ミラー等微細な変位制御を必要とする
被変位体に対し広く適用、できるのは勿論である。
サー、発光素子、ミラー等微細な変位制御を必要とする
被変位体に対し広く適用、できるのは勿論である。
以上説明したように本発明によれば、厚みすべり圧電撮
動子を積層状態にし、その一端面１固定し、他端面に被
変位体を取付け、上記圧電振ｍｒ子に信号電圧を印加す
ることにより、被変位体を圧電振動子のすベシ方向に変
位させるようにしたので、小型で機械的強度が大きく、
かつ変換効率の高論圧電型変位装置を提供できる。
動子を積層状態にし、その一端面１固定し、他端面に被
変位体を取付け、上記圧電振ｍｒ子に信号電圧を印加す
ることにより、被変位体を圧電振動子のすベシ方向に変
位させるようにしたので、小型で機械的強度が大きく、
かつ変換効率の高論圧電型変位装置を提供できる。
第１図は従来例の構成を示す図、第２図は本発明の詳細
な説明するための図、第３図〜第５図は本発明の第１実
施例を示す図、第６〜第８図、は本発明の第２実施例を
示す図、第９図〜第１１図は本発明の第３〜第５実施例
を示す図、第ｉ２図は上記第１〜第５実施例の゛厚みす
ベシ圧電振動子の性能を説明する為の図、第１３図（ａ
） （ｂ） （ｃ）〜第１７図は本発明をヘッドアクチ
ュエニ、よ、□よ６．８゜８ｏ□９０、ヶ 図である。 １１・・・厚みすベシ圧電振動子、１２・・・圧電セラ
ミクス、１３ｇ、１３ｂ・・・電極、１４・・・分極方
向、１５・・・電界方向、２１・・・圧電振動子積層体
、２２・・・台座、２３・・・座板、２４・・・磁気ヘ
ッド、２７−１〜２７−Ｎ・・・電極引出し尋体、２９
−１〜２９− （Ｎ−Ｊ ）・・・絶縁部材、３１・・
・支持アーム、４１・・・ハンダ、４２・・・リード線
、５０・・・円盤状記録媒体（ディスク）、５１・・・
直接駆動型のブラシレスサーブモータ、５３．５４・・
・ヘッドアクチュエータ、５５・・・ヘッド支持アーム
、６２・・・連結部材、６３・・・磁気ヘッド、６４・
・・ヘツｐギャップ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第９図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 ＠１５図 第１６図 ￥’ｔ １７図 特許庁長官 若杉和夫 殿 １、事件の表示 特顯昭亮−８６２９６号 ２、発明の名称 圧電型変位装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （０３７）オリン／ぐス光学工業株式会社４、代理人 ６、補正の対象
な説明するための図、第３図〜第５図は本発明の第１実
施例を示す図、第６〜第８図、は本発明の第２実施例を
示す図、第９図〜第１１図は本発明の第３〜第５実施例
を示す図、第ｉ２図は上記第１〜第５実施例の゛厚みす
ベシ圧電振動子の性能を説明する為の図、第１３図（ａ
） （ｂ） （ｃ）〜第１７図は本発明をヘッドアクチ
ュエニ、よ、□よ６．８゜８ｏ□９０、ヶ 図である。 １１・・・厚みすベシ圧電振動子、１２・・・圧電セラ
ミクス、１３ｇ、１３ｂ・・・電極、１４・・・分極方
向、１５・・・電界方向、２１・・・圧電振動子積層体
、２２・・・台座、２３・・・座板、２４・・・磁気ヘ
ッド、２７−１〜２７−Ｎ・・・電極引出し尋体、２９
−１〜２９− （Ｎ−Ｊ ）・・・絶縁部材、３１・・
・支持アーム、４１・・・ハンダ、４２・・・リード線
、５０・・・円盤状記録媒体（ディスク）、５１・・・
直接駆動型のブラシレスサーブモータ、５３．５４・・
・ヘッドアクチュエータ、５５・・・ヘッド支持アーム
、６２・・・連結部材、６３・・・磁気ヘッド、６４・
・・ヘツｐギャップ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第９図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 ＠１５図 第１６図 ￥’ｔ １７図 特許庁長官 若杉和夫 殿 １、事件の表示 特顯昭亮−８６２９６号 ２、発明の名称 圧電型変位装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （０３７）オリン／ぐス光学工業株式会社４、代理人 ６、補正の対象
Claims (1)
- 電極面と平行な方向に分極軸を有する複数個の厚みすべ
り圧電振動子を分極軸が平行となるように複数個積層し
て積層体となし、この積層体の一端面を台座に固定し他
端面に被変位体を取付け、前記各圧電振動子に信号電圧
を印加することにより、上記被変位体を前記各圧電振動
子のすベシ方向と同一方向に変位させるようにしたこと
を特徴とする圧電型変位装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58086296A JPS59211819A (ja) | 1983-05-17 | 1983-05-17 | 圧電変位装置およびこの圧電変位装置を用いたヘッド移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58086296A JPS59211819A (ja) | 1983-05-17 | 1983-05-17 | 圧電変位装置およびこの圧電変位装置を用いたヘッド移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59211819A true JPS59211819A (ja) | 1984-11-30 |
| JPH0481357B2 JPH0481357B2 (ja) | 1992-12-22 |
Family
ID=13882869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58086296A Granted JPS59211819A (ja) | 1983-05-17 | 1983-05-17 | 圧電変位装置およびこの圧電変位装置を用いたヘッド移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59211819A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62165381A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Nippon Denso Co Ltd | 積層型の圧電体装置 |
| JPS62299094A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-26 | Nippon Denso Co Ltd | 積層型圧電体 |
| JPS63238503A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | Jeol Ltd | 走査トンネル顕微鏡におけるチツプ走査装置 |
-
1983
- 1983-05-17 JP JP58086296A patent/JPS59211819A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62165381A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Nippon Denso Co Ltd | 積層型の圧電体装置 |
| JPS62299094A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-26 | Nippon Denso Co Ltd | 積層型圧電体 |
| JPS63238503A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | Jeol Ltd | 走査トンネル顕微鏡におけるチツプ走査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0481357B2 (ja) | 1992-12-22 |
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