JPS59202420A - 光回路の接続方法 - Google Patents
光回路の接続方法Info
- Publication number
- JPS59202420A JPS59202420A JP7760483A JP7760483A JPS59202420A JP S59202420 A JPS59202420 A JP S59202420A JP 7760483 A JP7760483 A JP 7760483A JP 7760483 A JP7760483 A JP 7760483A JP S59202420 A JPS59202420 A JP S59202420A
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- JP
- Japan
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- optical
- circuit
- optical fiber
- connection
- light
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（韮業上のオリ相分１」・）
不光明は元ファイバ伝送力式に２ける光回路と光ファイ
バ２よひ光ｌ！２１路相互の接続方法Ｖこ関Ｊ−／）も
のである。
バ２よひ光ｌ！２１路相互の接続方法Ｖこ関Ｊ−／）も
のである。
（従来孜術）
光ファづバ則個や元情号処理力式？有効に行なうためｐ
ｃ、光混会２元分岐、光分＃ ７Ｊ：とのイ幾ｎし葡４
ｉ １ゐ光回路素子の聞覚か多くのＷ１究恢関でなさｔ
している。実用的な光回路素子ケ実机する７こめには、
その九恢廂特件の向上とともに、光ファイバや光源また
は受光器との紹会力・容易ｔ１１ビ租注が置くなりｙｎ
はならない。マイクロレンズやプリズム２元ファイバ加
工部品等缶組台わ（ｒ′マイタロオグナイスタ″と叶ば
ｆしている光徹岨部品が１発δγしているが、こ１１．
は実用上上動なものが多いが、多くの加工工程を浅し、
再机性のある特性音実現することは容易ではない。−力
、平面上の基板に光機能を形成し７と等波路型素子にｂ
−いては、元信号の人出力部ケプリスム紹合で行な′）
場合には、実用性は不十分と考えらする。また光ファイ
バ結付で行なう場＠ＶＣは、接庸剤などで固定する方法
が採らｊしている。し〃）シながらこの方法にお・いで
は、多くの労力と熟練技術が侠求芒わ１、しかも長期的
信頼１住で同地が多い。
ｃ、光混会２元分岐、光分＃ ７Ｊ：とのイ幾ｎし葡４
ｉ １ゐ光回路素子の聞覚か多くのＷ１究恢関でなさｔ
している。実用的な光回路素子ケ実机する７こめには、
その九恢廂特件の向上とともに、光ファイバや光源また
は受光器との紹会力・容易ｔ１１ビ租注が置くなりｙｎ
はならない。マイクロレンズやプリズム２元ファイバ加
工部品等缶組台わ（ｒ′マイタロオグナイスタ″と叶ば
ｆしている光徹岨部品が１発δγしているが、こ１１．
は実用上上動なものが多いが、多くの加工工程を浅し、
再机性のある特性音実現することは容易ではない。−力
、平面上の基板に光機能を形成し７と等波路型素子にｂ
−いては、元信号の人出力部ケプリスム紹合で行な′）
場合には、実用性は不十分と考えらする。また光ファイ
バ結付で行なう場＠ＶＣは、接庸剤などで固定する方法
が採らｊしている。し〃）シながらこの方法にお・いで
は、多くの労力と熟練技術が侠求芒わ１、しかも長期的
信頼１住で同地が多い。
（発明の目的）
本兄ゆ」は上す己の欠点葡改筈するためＶＣ提案δｒま
たもので石英基板上に形１戎しＩＣ光導阪回路の入出力
導波路と、他の石英糸光害波路又は元ファイバヶ接続す
る場合に、世（貝失、高独度、簡信頼な接続方法【提供
することケ目的とする。
たもので石英基板上に形１戎しＩＣ光導阪回路の入出力
導波路と、他の石英糸光害波路又は元ファイバヶ接続す
る場合に、世（貝失、高独度、簡信頼な接続方法【提供
することケ目的とする。
（発明のイ＃戚９
上ｔＣの目的勿達成するため、不発明は石英基板上ＶＣ
形成し１こ光導波回路の人出力尋技路と他の石英糸光尋
波路又は元ファイバ７接続する場合に、圧有した両褥波
路の接続部に、無床しに炭敞ガスレーサ光會照射し、融
層に、Ｊ：９恢絖丁ゐこと葡特徴とり−る光回路の接１
絖方法〒発明の要旨とするｔのである。
形成し１こ光導波回路の人出力尋技路と他の石英糸光尋
波路又は元ファイバ７接続する場合に、圧有した両褥波
路の接続部に、無床しに炭敞ガスレーサ光會照射し、融
層に、Ｊ：９恢絖丁ゐこと葡特徴とり−る光回路の接１
絖方法〒発明の要旨とするｔのである。
安約すｔ′Ｌｒｒｉ本発明は石英基板上の光導波回路と
光ファイバお・よひ光導波回路相互ｒ炭ばカス・レーザ
照射による融層により接続することを特徴と丁ゐもので
ある。
光ファイバお・よひ光導波回路相互ｒ炭ばカス・レーザ
照射による融層により接続することを特徴と丁ゐもので
ある。
次に不光明の実施例【碌付図囲について胱ゆｊする。ｌ
υ来施例は一つの例示でめって、不発明の鞘什勿逸脱し
ない範囲で、独々の変更めろいは改良７行いうることは
１う丑でもない。
υ来施例は一つの例示でめって、不発明の鞘什勿逸脱し
ない範囲で、独々の変更めろいは改良７行いうることは
１う丑でもない。
第１図は、本発明？実施するための説明図でろって、光
ファイバと石英基板上の光＃波回路との融層接続を行な
うものである。図ｖＣ２いてｌは炭ばガスレーザ、２は
炭酸ガスレーザビーム焦束用のレンスでＱｅ ｔたはｚ
ｎＳｅであゐ。３はＶ：絖する光ファイバ、４は元ファ
イバケ抹狩し、光軸調嶺するマニピュレータでああ。５
は石英基板上の光台阪回路、６は光りへ１１調際用マニ
ピユレータで必る。７は顕倣硯、８は受光器、９はパワ
ーメータでろ石。炭酸ガスレーザはつに絖点でのビーム
ウェスト径會１００〜１５０μｍ ＶＣなる工９焦未距
離３０闇〃１５０聰のレンスｒ快用する。
ファイバと石英基板上の光＃波回路との融層接続を行な
うものである。図ｖＣ２いてｌは炭ばガスレーザ、２は
炭酸ガスレーザビーム焦束用のレンスでＱｅ ｔたはｚ
ｎＳｅであゐ。３はＶ：絖する光ファイバ、４は元ファ
イバケ抹狩し、光軸調嶺するマニピュレータでああ。５
は石英基板上の光台阪回路、６は光りへ１１調際用マニ
ピユレータで必る。７は顕倣硯、８は受光器、９はパワ
ーメータでろ石。炭酸ガスレーザはつに絖点でのビーム
ウェスト径會１００〜１５０μｍ ＶＣなる工９焦未距
離３０闇〃１５０聰のレンスｒ快用する。
光ファイバは接続ｆｌａｔ ｋ ｈら７Ｊ＼じめタイヤ
七ント条で平滑に切断する。反則制御は、モニター光と
して）ｌｅ −Ｎｅ Ｌ／−ザ０．６３２８ ｐｍ光’
ｋＡ［１−る。
七ント条で平滑に切断する。反則制御は、モニター光と
して）ｌｅ −Ｎｅ Ｌ／−ザ０．６３２８ ｐｍ光’
ｋＡ［１−る。
石英基板上の光脣肢回路は、矢の製作工程て（４＋ら７
１．る。ま丁、半相′ｆＸ、ｈ英基板を炉温１０００〜
１２００ Ｃの竜′ＡＴ内に鉄層し、鼠素忙キャリアカ
スとしｇ ５ｉＣ４、ＧｅＣ４ａ Ｌひｐｃｚａｙと（
１） Ｊｊ フス拐料の気相蒸気ｔ′眠気炉内に送る。
１．る。ま丁、半相′ｆＸ、ｈ英基板を炉温１０００〜
１２００ Ｃの竜′ＡＴ内に鉄層し、鼠素忙キャリアカ
スとしｇ ５ｉＣ４、ＧｅＣ４ａ Ｌひｐｃｚａｙと（
１） Ｊｊ フス拐料の気相蒸気ｔ′眠気炉内に送る。
気相熱眩化反応により、石英基板上にＱｅｈ−よひＰ葡
ドーグした石英糸ガラス微粒士層が堆枳する。このめと
、約１５００℃に奸温丁ｆＬは、ろ英丞板上に透明で屈
セｆ率かわず〃）に高い光導波層が形成できる。光混＠
−２光分阪１元分波などの光回路パターンは、エツナン
グマスク（！ニア： ；Ａ＞ ＴｉやＳｔ膜をフォトリ
ソクラフィーで形成し、このりと反ＫＥＧ ＋ｆスバツ
タエツナンクによシネ必倣な光導波層會除去して侍らｒ
Ｌゐ。ざらに光導波層の埋込みは、５ＩＣ１４やＢ Ｂ
ｒ３の気相蒸気の熱酸化反応により、）出すｆ率の低い
タララドｊ設を；ｇ斗洩する。
ドーグした石英糸ガラス微粒士層が堆枳する。このめと
、約１５００℃に奸温丁ｆＬは、ろ英丞板上に透明で屈
セｆ率かわず〃）に高い光導波層が形成できる。光混＠
−２光分阪１元分波などの光回路パターンは、エツナン
グマスク（！ニア： ；Ａ＞ ＴｉやＳｔ膜をフォトリ
ソクラフィーで形成し、このりと反ＫＥＧ ＋ｆスバツ
タエツナンクによシネ必倣な光導波層會除去して侍らｒ
Ｌゐ。ざらに光導波層の埋込みは、５ＩＣ１４やＢ Ｂ
ｒ３の気相蒸気の熱酸化反応により、）出すｆ率の低い
タララドｊ設を；ｇ斗洩する。
（伊沢は〃・、特願昭５４−１６２７４０号）。石英基
板上の元部波回路の入出力褥波路の両端面は、（！ｕｎ
ま１こは、タイヤモンドにより切ｌｆ、ｌ［で、基板に
乎直で平滑な面孕形成する。光ファイバと光回路とのｔ
鶴うｕ接わじ値次の工程で行なう。丑す、炭叡ガスレー
ザヒーム焦末点に光ファイバの先端部紫マニヒュレータ
４で位置設定する。つさに、光回路〒マニヒュレーク６
で移動し、光ンアイハから出射するＨｅ−Ｎｅレーサの
モニター光ケ光晦Ｖ皿路に冑く。光都波回路の出射光ケ
顕微規７に通し、受光器８で検出ブーる。パワーメータ
９のＪｔｉ乃Ｋか最大となるように、光ファイバと光等
波回路の光軸を調整し５、両端面ケ恰后する。しかるの
ち、炭酸カスレーザ光７接りＣ都中）しに、照射する。
板上の元部波回路の入出力褥波路の両端面は、（！ｕｎ
ま１こは、タイヤモンドにより切ｌｆ、ｌ［で、基板に
乎直で平滑な面孕形成する。光ファイバと光回路とのｔ
鶴うｕ接わじ値次の工程で行なう。丑す、炭叡ガスレー
ザヒーム焦末点に光ファイバの先端部紫マニヒュレータ
４で位置設定する。つさに、光回路〒マニヒュレーク６
で移動し、光ンアイハから出射するＨｅ−Ｎｅレーサの
モニター光ケ光晦Ｖ皿路に冑く。光都波回路の出射光ケ
顕微規７に通し、受光器８で検出ブーる。パワーメータ
９のＪｔｉ乃Ｋか最大となるように、光ファイバと光等
波回路の光軸を調整し５、両端面ケ恰后する。しかるの
ち、炭酸カスレーザ光７接りＣ都中）しに、照射する。
照射パワーは２〜３Ｗ、照射時１′ｈ」は５秒以内で十
分ＶＣ接わＣかＩ’Ｊ ｉｃｅでΦ心。
分ＶＣ接わＣかＩ’Ｊ ｉｃｅでΦ心。
不発明の実施例として、５０μｍコア径の多モートゲレ
ーデエンド元ファイバと輻５０μｎｒ’ 、 厚き５０
μｍの石英基板上の光等波路の＋？：枕において、損失
０．２ ｄＢ以下の接続が容易に行なえた。
ーデエンド元ファイバと輻５０μｎｒ’ 、 厚き５０
μｍの石英基板上の光等波路の＋？：枕において、損失
０．２ ｄＢ以下の接続が容易に行なえた。
ぼた、石英基板上の光等波路と光ファイバとは同−材質
で屈折率もほぼ等しい１こめ、炭酸カスレーザ照射によ
る酬之ム接伏にお゛いて、接しＣ都から反射光は銃側で
さなかつ／こ。接続部の恢扱的独度を恢討した楯未ひつ
はり強度は光ファイバノロ勝と同程度でろつ１と。な寂
、光フアイバ相互の接株に２いて丁でに笑現さｆしてい
るアーク放電による醐１層接ｂ゛を法は、光回路と元フ
ァイバとの接続の場合は、アーク放電の不安定σ、熱容
量の汝か大きいこと、基板の厚部で放電用電綜谷ｉ：
ｂ”変わることなとて実現のｂ」曲性は低い。
で屈折率もほぼ等しい１こめ、炭酸カスレーザ照射によ
る酬之ム接伏にお゛いて、接しＣ都から反射光は銃側で
さなかつ／こ。接続部の恢扱的独度を恢討した楯未ひつ
はり強度は光ファイバノロ勝と同程度でろつ１と。な寂
、光フアイバ相互の接株に２いて丁でに笑現さｆしてい
るアーク放電による醐１層接ｂ゛を法は、光回路と元フ
ァイバとの接続の場合は、アーク放電の不安定σ、熱容
量の汝か大きいこと、基板の厚部で放電用電綜谷ｉ：
ｂ”変わることなとて実現のｂ」曲性は低い。
本発明の恢玩刀法にｈ・いては、多モード元フアイバと
多モード光回路との接続に限らず、単一モード光ファイ
バと単一モード光回路との接続も”ｊ’ ＮＵでβる。
多モード光回路との接続に限らず、単一モード光ファイ
バと単一モード光回路との接続も”ｊ’ ＮＵでβる。
また、接続部の融后曲槓が小ざいため、九碑波路間が近
（妥し１ζ尚も・度な光回路と多数本の光ファイバとの
接続も容易に行なえる。ｒ也石英基板上の光導波回路相
互の接続も可能である。
（妥し１ζ尚も・度な光回路と多数本の光ファイバとの
接続も容易に行なえる。ｒ也石英基板上の光導波回路相
互の接続も可能である。
以上は、光導波回路として、面直ＣＶＤ法により製作し
１ζ石英系埋込み光導波路について光ファイバとの鎧！
后接続の場合について述ベアζが、光導波回路として５
１３Ｎ４映會光専波層、５ｉ０２にクラッド層とじ罠埋
込み光導波回路についても炭酸ガスレーザ照射による融
漸嵌絖が可能である。
１ζ石英系埋込み光導波路について光ファイバとの鎧！
后接続の場合について述ベアζが、光導波回路として５
１３Ｎ４映會光専波層、５ｉ０２にクラッド層とじ罠埋
込み光導波回路についても炭酸ガスレーザ照射による融
漸嵌絖が可能である。
（発明の効果）
以上説明したように、不発明による光回路融層接続法は
、融層誤域が極めて狭く、俵株的強度に後れ、接続点で
の反射情夫も梶生ゼ丁、接続損失が小さく、シかも作粟
性が尚いなどの利点ケ有している。１罠、不発明７半導
体基板上にＳ ｉＣｈ ｋクラッド層とする埋込与型光
心波路ケ形成したハイブリッド光東誼回路に３いて人・
出力部での光ファイバとの１−）治接絞にも比〜用でき
る。
、融層誤域が極めて狭く、俵株的強度に後れ、接続点で
の反射情夫も梶生ゼ丁、接続損失が小さく、シかも作粟
性が尚いなどの利点ケ有している。１罠、不発明７半導
体基板上にＳ ｉＣｈ ｋクラッド層とする埋込与型光
心波路ケ形成したハイブリッド光東誼回路に３いて人・
出力部での光ファイバとの１−）治接絞にも比〜用でき
る。
第１図は不発明による光ファイバと光回路の融層接続ｒ
祝明するための図である。 ■・・・・・・・ｔＳｍカスレーザ ２・・・・・・・・焦束用レンス ３・・・・・・・元ファイバ ４・・・・・・・・・微動装置 ５・・・・・・石英基板上の光導波回路６・・・・・・
・・微動装置 ７・・・・・・・顕微鏡 ８・・・・・・・受光器 ９・・・・・・パワーメータ ％行田願人 日不電伯屯詰公仕
祝明するための図である。 ■・・・・・・・ｔＳｍカスレーザ ２・・・・・・・・焦束用レンス ３・・・・・・・元ファイバ ４・・・・・・・・・微動装置 ５・・・・・・石英基板上の光導波回路６・・・・・・
・・微動装置 ７・・・・・・・顕微鏡 ８・・・・・・・受光器 ９・・・・・・パワーメータ ％行田願人 日不電伯屯詰公仕
Claims (1)
- 石英基板上に形成した光導波回路の入出力導波路と他の
石英糸光尋波路又は光ファイバケ接続する場合に、圧宥
した両ｑ、波路の接続部に、焦束した灰臥ガスレーザ光
？照射し、融層により接続１−ることを特徴とする光回
路の接続方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7760483A JPS59202420A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 光回路の接続方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7760483A JPS59202420A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 光回路の接続方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202420A true JPS59202420A (ja) | 1984-11-16 |
Family
ID=13638530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7760483A Pending JPS59202420A (ja) | 1983-05-04 | 1983-05-04 | 光回路の接続方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202420A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63127207A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Fujitsu Ltd | 光フアイバと光導波路の接続方法 |
| US5085501A (en) * | 1989-02-15 | 1992-02-04 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Fiber optic gyroscope using optical waveguide couplers |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141610A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Coupling device for optical integrated circuit and its manufacture |
-
1983
- 1983-05-04 JP JP7760483A patent/JPS59202420A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141610A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Coupling device for optical integrated circuit and its manufacture |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63127207A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Fujitsu Ltd | 光フアイバと光導波路の接続方法 |
| US5085501A (en) * | 1989-02-15 | 1992-02-04 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Fiber optic gyroscope using optical waveguide couplers |
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