JPS59197811A - 光切断法に於ける形状測定装置 - Google Patents

光切断法に於ける形状測定装置

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JPS59197811A
JPS59197811A JP7331683A JP7331683A JPS59197811A JP S59197811 A JPS59197811 A JP S59197811A JP 7331683 A JP7331683 A JP 7331683A JP 7331683 A JP7331683 A JP 7331683A JP S59197811 A JPS59197811 A JP S59197811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
scanning lines
mirror
image pickup
stepwise
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7331683A
Other languages
English (en)
Inventor
Morihiko Kawabe
川辺　守彦
Masaru Morita
勝 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OMUNIPATSUKU KK
IHI Corp
Original Assignee
OMUNIPATSUKU KK
IHI Corp
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Publication date
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Publication of JPS59197811A publication Critical patent/JPS59197811A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518—Projection by scanning of the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2518—Projection by scanning of the object
    • G01B11/2522—Projection by scanning of the object the position of the object changing and being recorded

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は被測定物に検出光をスポット状に照射して検出
光と被測定物とが画成する像により被測定物の形状等を
測定する光切断法に於（プる形状測定装置に関する。
従来光切語法では、連続した板状のスリット光を被測定
物に照射している。斯かる従来の光切断法では、被測定
物の表面状態により被測定物に照ｑ・］シた検出光の反
射散乱光が強ずきてハレーションを発生し、測定が困難
である場合もある。
本発明は上記した実情を鑑みたものであって、被測定物
に照射したスポット光をステップ的に移動させる様にす
ると共に撮像装置の起動している走査線の位置とスポッ
ト光の照射点とを合致させる様にし、スポット光の反射
散乱光の影響を除去したものである。
以下図面に基づき本発明の詳細な説明する。
図中１はＶ溝２が刻設されている被測定物であり、３は
該被測定物１にスポットの検出光４を照射する為の検出
光投射装置である。
検出光投射装置３は光源４、光学ユニット５及び回転自
在に設けられた反射鏡６を備え、該反射鏡６は駆動モー
タ７により所要角度回動する様になっている。
又、８は被測定物１に照射した検出光９を撮像する為の
撮像装置であり、該撮像装置８の撮像は多数の走査線で
表示される明点の集合である。
撮像装置８の走査線の起動及び駆動モータ７の駆動とを
同期させるタイミング発生回路１０を検出光投射装置３
及び撮像装置８とに接続する。尚、１３は撮像装置８で
得られた画像を所要の信号に変換する為の信号処理装置
である。
駆動り一夕７は反射鏡６をステップ的に回動さけるもの
であり、この１ステツプの検出光照用点１１の移動距離
は第２図で示す撮像画面に走査線１２の間隔に等しくす
る。
而して、照射点の位置と起動する走査線の位置とが合致
する様、走査線の移動に合一けて反射鏡６をステップ作
動させれば撮像装置８で得られる画像は板状のスリン１
〜光を検出光として投則し−Ｃ得られた画像と等しくな
る。而も、ステップ移動り−る照射点のみを部分的に薇
像するので検出光の反則散乱光の影響が全くなくなる。
又、光源にレーザダイオード、発光ダイオ−（−等の単
色性のものを使用し、光学ユニット５に光源４の発光波
長に対応したバンドパスフィルタを用いれば青票光をカ
ットし得てＳ／Ｎを更に向上し得る。
尚、走査線は点状の撮像素子を整列配置して構成しても
よいことは勿論である。
以上述べた如く本発明にＪ：れば、光切断沫に於ける反
射散乱光の影響を除去し得、Ｓ／Ｎを大幅に向上し得て
、同方法に於ける測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の装置の概略説明図、第２図は同装置に
於ける撮像画面を示す図である。 １は被測定物、３は検出光投射装置、８は撮像装置、１
１は投射点、１２は走査線を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １）　スポット光を被測定物に照射し、その照射点をス
    テップ的に移動させ得る様にした検出光投射装置と走査
    線にＪ：り作像する撮像装置とを備え、前記照射点位置
    と走査線位置とが合致りる様検出光投射装置と撮像装置
    とを同期作動させる様構成したことを特徴とする光切断
    法に於ける形状測定装置。
JP7331683A 1983-04-26 1983-04-26 光切断法に於ける形状測定装置 Pending JPS59197811A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60253806A (ja) * 1984-05-30 1985-12-14 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 形状検出方法及び装置
US4709156A (en) * 1985-11-27 1987-11-24 Ex-Cell-O Corporation Method and apparatus for inspecting a surface

Cited By (3)

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