JPH11101621A - 三次元視覚センサ - Google Patents
三次元視覚センサInfo
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- JPH11101621A JPH11101621A JP28142897A JP28142897A JPH11101621A JP H11101621 A JPH11101621 A JP H11101621A JP 28142897 A JP28142897 A JP 28142897A JP 28142897 A JP28142897 A JP 28142897A JP H11101621 A JPH11101621 A JP H11101621A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光切断法による形状測定等に際して、輝度の
変化が少なく、より鮮明なスリット像を取得することが
でき、かつ対象物の適応範囲を広げことができる三次元
視覚センサを提供する。 【解決手段】 レーザー３が発するスリット光Ｌ１を第
１のミラーＭ１をにより対象物Ｗに照射する。スリット
光Ｌ１の光路を中心とする対称位置に、第１及び第２の
ミラーＭ２，Ｍ３を設ける。対象物Ｗの表面からスリッ
ト光Ｌ１の光路を中心とする対称方向にそれぞれ反射し
た互いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３を、ビームスプリッタ
ー５によって合成し、ＣＣＤカメラ６に受光させる。互
いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３が合成された戻り光Ｌ４に
基づき、対象物Ｗの表面におけるスリット光Ｌ１の画像
（スリット像）を得るようにする。
変化が少なく、より鮮明なスリット像を取得することが
でき、かつ対象物の適応範囲を広げことができる三次元
視覚センサを提供する。 【解決手段】 レーザー３が発するスリット光Ｌ１を第
１のミラーＭ１をにより対象物Ｗに照射する。スリット
光Ｌ１の光路を中心とする対称位置に、第１及び第２の
ミラーＭ２，Ｍ３を設ける。対象物Ｗの表面からスリッ
ト光Ｌ１の光路を中心とする対称方向にそれぞれ反射し
た互いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３を、ビームスプリッタ
ー５によって合成し、ＣＣＤカメラ６に受光させる。互
いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３が合成された戻り光Ｌ４に
基づき、対象物Ｗの表面におけるスリット光Ｌ１の画像
（スリット像）を得るようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光切断法による形
状測定等に際して用いられ、対象物の表面に投影された
スリット像を取得する三次元視覚センサに関する。
状測定等に際して用いられ、対象物の表面に投影された
スリット像を取得する三次元視覚センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、対象物の三次元形状を測定する形
状測定装置においては、光切断法を用いたものがある。
すなわち、かかる形状測定装置は、図５及び図６に示す
ように、高輝度のスリット光Ｌ１を対象物Ｗの表面に照
射するスリット光源５１、及び対象物Ｗの表面に照射さ
れたスリット光の画像すなわちスリット像を、スリット
光Ｌ１の光学系と別の方向、例えばスリット光Ｌ１の光
路と４５度の角度をなす方向から撮像するカメラ５２か
らなる三次元視覚センサと、前記カメラ５２が接続され
た画像処理装置５３とから構成されている。
状測定装置においては、光切断法を用いたものがある。
すなわち、かかる形状測定装置は、図５及び図６に示す
ように、高輝度のスリット光Ｌ１を対象物Ｗの表面に照
射するスリット光源５１、及び対象物Ｗの表面に照射さ
れたスリット光の画像すなわちスリット像を、スリット
光Ｌ１の光学系と別の方向、例えばスリット光Ｌ１の光
路と４５度の角度をなす方向から撮像するカメラ５２か
らなる三次元視覚センサと、前記カメラ５２が接続され
た画像処理装置５３とから構成されている。
【０００３】そして、こうした形状測定装置は、対象物
Ｗの表面形状に従って変形したスリット像の画像データ
から輝度情報を取り出す等の画像処理を行うことによっ
て対象物Ｗの形状を測定する。また、形状測定装置は形
状測定に限らず、例えば高さ測定、隙間測定、段差測
定、突起検出にも用いられている。より具体的な用途と
しては、例えば、図７に示したような対象物Ｗの表面に
刻設された刻印文字（ａ）、その表面に突設された鋳出
し文字（ｂ）の認識、対象物Ｗの表面におけるシール剤
Ｎ（ｃ）の塗布状況の検査がある。
Ｗの表面形状に従って変形したスリット像の画像データ
から輝度情報を取り出す等の画像処理を行うことによっ
て対象物Ｗの形状を測定する。また、形状測定装置は形
状測定に限らず、例えば高さ測定、隙間測定、段差測
定、突起検出にも用いられている。より具体的な用途と
しては、例えば、図７に示したような対象物Ｗの表面に
刻設された刻印文字（ａ）、その表面に突設された鋳出
し文字（ｂ）の認識、対象物Ｗの表面におけるシール剤
Ｎ（ｃ）の塗布状況の検査がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た三次元視覚センサにおいては、カメラ５２がスリット
光Ｌ１の光学系と別の方向に設置されているため、例え
ば前述した刻印文字や鋳出し文字の認識に際して、スリ
ット光源５１及びカメラ５２と対象物Ｗとを相対的に移
動させながらスリット像を撮影する場合、図８（ａ〜
ｃ）に示すように、スリット光Ｌ１の照射方向に対する
対象物Ｗの表面の傾きが変わると、カメラ５２に入る対
象物Ｗの表面からの戻り光Ｌ２（散乱光の一部）の強度
が安定せず、輝度情報が安定した良好なスリット像が得
られない。
た三次元視覚センサにおいては、カメラ５２がスリット
光Ｌ１の光学系と別の方向に設置されているため、例え
ば前述した刻印文字や鋳出し文字の認識に際して、スリ
ット光源５１及びカメラ５２と対象物Ｗとを相対的に移
動させながらスリット像を撮影する場合、図８（ａ〜
ｃ）に示すように、スリット光Ｌ１の照射方向に対する
対象物Ｗの表面の傾きが変わると、カメラ５２に入る対
象物Ｗの表面からの戻り光Ｌ２（散乱光の一部）の強度
が安定せず、輝度情報が安定した良好なスリット像が得
られない。
【０００５】また、図９に示すように、対象物Ｗの表面
に、スリット光Ｌ１の照射位置からカメラ５２へ向かう
戻り光Ｌ２の光路を遮る部分が存在しているとスリット
像が全く得られない。
に、スリット光Ｌ１の照射位置からカメラ５２へ向かう
戻り光Ｌ２の光路を遮る部分が存在しているとスリット
像が全く得られない。
【０００６】また、図１０に示すように、カメラ５２に
は、スリット光Ｌ１の照射位置からの直接の戻り光Ｌ２
に加え、他の位置からの戻り光Ｌ３が入ると、鮮明なス
リット像が得られず、その結果、前述した各種の測定や
検査における精度が低下するといった問題があった。
は、スリット光Ｌ１の照射位置からの直接の戻り光Ｌ２
に加え、他の位置からの戻り光Ｌ３が入ると、鮮明なス
リット像が得られず、その結果、前述した各種の測定や
検査における精度が低下するといった問題があった。
【０００７】本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなさ
れたものであり、光切断法による形状測定等に際して、
輝度の変化が少なく、より鮮明なスリット像を取得する
ことができるとともに、対象物表面の適応範囲を広げこ
とができる三次元視覚センサの提供を目的とする。
れたものであり、光切断法による形状測定等に際して、
輝度の変化が少なく、より鮮明なスリット像を取得する
ことができるとともに、対象物表面の適応範囲を広げこ
とができる三次元視覚センサの提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１の三次元視覚センサにあっては、対象物にス
リット光を照射するスリット光源と、前記対象物の表面
における前記スリット光の画像を撮像し出力する撮像手
段と、前記対象物の表面から前記スリット光の光路を中
心とする対称方向に互いに異なる戻り光をそれぞれ反射
させる２つの光学系と、前記２つの光学系でそれぞれ反
射された戻り光を重ね合わせ前記撮像手段に受光させる
光学系とを備えたものとした。
に請求項１の三次元視覚センサにあっては、対象物にス
リット光を照射するスリット光源と、前記対象物の表面
における前記スリット光の画像を撮像し出力する撮像手
段と、前記対象物の表面から前記スリット光の光路を中
心とする対称方向に互いに異なる戻り光をそれぞれ反射
させる２つの光学系と、前記２つの光学系でそれぞれ反
射された戻り光を重ね合わせ前記撮像手段に受光させる
光学系とを備えたものとした。
【０００９】かかる構成において、撮像手段によって撮
像されるスリット光の画像は、スリット光の光路の両側
に形成された２つの光学系から撮像手段に達する互いに
異なる戻り光に基づく画像となる。ここで、対象物の表
面の傾きの違いによって双方の戻り光に強弱の変化が生
じた場合、その変化は互いに逆になる。このため、撮像
されるスリット光の画像においては、前記傾きの違いに
起因する輝度の変化がごく僅かとなる。
像されるスリット光の画像は、スリット光の光路の両側
に形成された２つの光学系から撮像手段に達する互いに
異なる戻り光に基づく画像となる。ここで、対象物の表
面の傾きの違いによって双方の戻り光に強弱の変化が生
じた場合、その変化は互いに逆になる。このため、撮像
されるスリット光の画像においては、前記傾きの違いに
起因する輝度の変化がごく僅かとなる。
【００１０】また、２つの光学系の一方による戻り光
が、対象物におけるスリット光の照射位置と異なる部位
に存在する凸部等により撮像手段に達しない場合であっ
ても、他方の光学系による戻り光に基づきスリット光の
画像が撮像される。
が、対象物におけるスリット光の照射位置と異なる部位
に存在する凸部等により撮像手段に達しない場合であっ
ても、他方の光学系による戻り光に基づきスリット光の
画像が撮像される。
【００１１】また、撮像手段によって撮像されるスリッ
ト光の画像は、スリット光の照射位置から異なる方向に
反射した戻り光に基づくものであるため、スリット光の
照射位置と異なる部分からの戻り光が撮像手段に達する
場合であっても、その戻り光によるスリット光の画像へ
の影響が少ない。
ト光の画像は、スリット光の照射位置から異なる方向に
反射した戻り光に基づくものであるため、スリット光の
照射位置と異なる部分からの戻り光が撮像手段に達する
場合であっても、その戻り光によるスリット光の画像へ
の影響が少ない。
【００１２】これに加え、請求項２の発明にあっては、
前記２つの光学系が、前記スリット光の光路と前記戻り
光を重ね合わせる光学系とを中心とする対称位置に配置
されたものとした。
前記２つの光学系が、前記スリット光の光路と前記戻り
光を重ね合わせる光学系とを中心とする対称位置に配置
されたものとした。
【００１３】かかる構成においては、光学系が単純であ
るため、製造時等における光学系の調整作業が極めて容
易である。
るため、製造時等における光学系の調整作業が極めて容
易である。
【００１４】また、請求項３の発明にあっては、前記２
つの光学系が、一対のミラーと、この一対のミラーによ
りそれぞれ反射された戻り光を重ね合わせ前記撮像手段
に受光させるビームスプリッターとからなるものとし
た。
つの光学系が、一対のミラーと、この一対のミラーによ
りそれぞれ反射された戻り光を重ね合わせ前記撮像手段
に受光させるビームスプリッターとからなるものとし
た。
【００１５】かかる構成においては、一対のミラーがそ
れぞれ反射した戻り光は、ビームスプリッターによっ
て、その向きが一致した状態で合成された後、撮像手段
に達することとなる。
れぞれ反射した戻り光は、ビームスプリッターによっ
て、その向きが一致した状態で合成された後、撮像手段
に達することとなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
にしたがって説明する。図１は、本発明にかかる三次元
視覚センサを示す図であって、この三次元視覚センサ
は、光学ガラスにより窓１が形成されているケース２を
有している。
にしたがって説明する。図１は、本発明にかかる三次元
視覚センサを示す図であって、この三次元視覚センサ
は、光学ガラスにより窓１が形成されているケース２を
有している。
【００１７】ケース２内にはレーザー３と、レーザー３
に電源を供給するレーザーアンプ４と、レーザー３が発
するとともに、それに組み込まれた図示しないシリンド
リカルレンズにより成形されたスリット光Ｌ１を前記窓
１からケース２外へ向けて反射する第１のミラーＭ１と
が設けられている。さらにケース２内には、第２及び第
３のミラーＭ２，Ｍ３と、ビームスプリッター５と、Ｃ
ＣＤカメラ６とが設けられており、ＣＣＤカメラ６に
は、カラーフィルター７が装着された焦点距離の調整が
可能なレンズ８が取り付けられている。
に電源を供給するレーザーアンプ４と、レーザー３が発
するとともに、それに組み込まれた図示しないシリンド
リカルレンズにより成形されたスリット光Ｌ１を前記窓
１からケース２外へ向けて反射する第１のミラーＭ１と
が設けられている。さらにケース２内には、第２及び第
３のミラーＭ２，Ｍ３と、ビームスプリッター５と、Ｃ
ＣＤカメラ６とが設けられており、ＣＣＤカメラ６に
は、カラーフィルター７が装着された焦点距離の調整が
可能なレンズ８が取り付けられている。
【００１８】前記第２及び第３のミラーＭ２，Ｍ３は、
本発明の一対のミラーであって、第１のミラーＭ１が反
射したスリット光Ｌ１の光路を中心とする対称位置に設
けられている。そして、第２及び第３のミラーＭ２，Ｍ
３は、前記窓１から出たスリット光Ｌ１が対象物Ｗに照
射されたとき、対象物Ｗの表面でスリット光Ｌ１の光路
を中心とする対称方向にそれぞれ反射された互いに異な
る戻り光Ｌ２，Ｌ３を、ビームスプリッター５に向けて
それぞれ反射する。また、ビームスプリッター５は、前
記戻り光Ｌ２，Ｌ３を合成するとともに、合成した戻り
光Ｌ４をＣＣＤカメラ６に受光させる。また、ＣＣＤカ
メラ６は、第２のミラーＭ２とビームスプリッター５か
らなる一方の光学系と、第３のミラーＭ３とビームスプ
リッター５からなる他方の光学系を介して対象物Ｗの表
面に投影されたスリット光Ｌ１の画像すなわちスリット
像を撮影し、その画像データを、光切断法により対象物
Ｗの三次元形状に関する各種の測定や検査を行う画像処
理装置（図示せず）に出力するようになっている。
本発明の一対のミラーであって、第１のミラーＭ１が反
射したスリット光Ｌ１の光路を中心とする対称位置に設
けられている。そして、第２及び第３のミラーＭ２，Ｍ
３は、前記窓１から出たスリット光Ｌ１が対象物Ｗに照
射されたとき、対象物Ｗの表面でスリット光Ｌ１の光路
を中心とする対称方向にそれぞれ反射された互いに異な
る戻り光Ｌ２，Ｌ３を、ビームスプリッター５に向けて
それぞれ反射する。また、ビームスプリッター５は、前
記戻り光Ｌ２，Ｌ３を合成するとともに、合成した戻り
光Ｌ４をＣＣＤカメラ６に受光させる。また、ＣＣＤカ
メラ６は、第２のミラーＭ２とビームスプリッター５か
らなる一方の光学系と、第３のミラーＭ３とビームスプ
リッター５からなる他方の光学系を介して対象物Ｗの表
面に投影されたスリット光Ｌ１の画像すなわちスリット
像を撮影し、その画像データを、光切断法により対象物
Ｗの三次元形状に関する各種の測定や検査を行う画像処
理装置（図示せず）に出力するようになっている。
【００１９】以上の構成からなる本実施の形態におい
て、ＣＣＤカメラ６が撮像するスリット像は、スリット
光Ｌ１の光路の両側における前述した２つの光学系得ら
れる互いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３に基づく画像とな
る。ここで、例えば従来技術で既説した刻印文字や鋳出
し文字の認識に際して、三次元視覚センサを対象物Ｗに
対して移動させながらスリット像を撮影する場合には、
図２（ａ〜ｃ）に示すように、対象物Ｗの表面の傾きの
違いによって双方の戻り光Ｌ２，Ｌ３に強弱の変化が生
じたとしても、その変化は互いに逆になる。このため、
ビームスプリッター５によって合成される戻り光Ｌ４の
強弱の変化がごく僅かとなる。よって、ＣＣＤカメラ６
により、輝度の変化が少ないスリット光の画像を取得す
ることができる。したがって、光切断法によるスリット
像に基づく各種の測定や検査における精度を向上させる
ことができる。
て、ＣＣＤカメラ６が撮像するスリット像は、スリット
光Ｌ１の光路の両側における前述した２つの光学系得ら
れる互いに異なる戻り光Ｌ２，Ｌ３に基づく画像とな
る。ここで、例えば従来技術で既説した刻印文字や鋳出
し文字の認識に際して、三次元視覚センサを対象物Ｗに
対して移動させながらスリット像を撮影する場合には、
図２（ａ〜ｃ）に示すように、対象物Ｗの表面の傾きの
違いによって双方の戻り光Ｌ２，Ｌ３に強弱の変化が生
じたとしても、その変化は互いに逆になる。このため、
ビームスプリッター５によって合成される戻り光Ｌ４の
強弱の変化がごく僅かとなる。よって、ＣＣＤカメラ６
により、輝度の変化が少ないスリット光の画像を取得す
ることができる。したがって、光切断法によるスリット
像に基づく各種の測定や検査における精度を向上させる
ことができる。
【００２０】また、図３に示すように、前述した２つの
光学系の一方による戻り光Ｌ３が、対象物Ｗにおけるス
リット光Ｌ１の照射位置と異なる部位に存在する凸部Ｗ
ａ等によりＣＣＤカメラ６に達しない場合であっても、
他方の光学系による戻り光Ｌ２に基づきスリット像を撮
像できる。よって、対象物Ｗの表面形状に対する適応範
囲が従来のものよりも広い。
光学系の一方による戻り光Ｌ３が、対象物Ｗにおけるス
リット光Ｌ１の照射位置と異なる部位に存在する凸部Ｗ
ａ等によりＣＣＤカメラ６に達しない場合であっても、
他方の光学系による戻り光Ｌ２に基づきスリット像を撮
像できる。よって、対象物Ｗの表面形状に対する適応範
囲が従来のものよりも広い。
【００２１】また、図４に示すように、対象物Ｗの表面
におけるスリット光Ｌ１の照射位置と異なる部分からの
戻り光Ｌ５がＣＣＤカメラ６に達する場合であっても、
その戻り光Ｌ５によるスリット画像への影響が少ないこ
とから、より鮮明なスリット像を撮像することができ
る。これによっても、光切断法によるスリット像に基づ
く各種の測定や検査における精度を向上させることがで
きる。
におけるスリット光Ｌ１の照射位置と異なる部分からの
戻り光Ｌ５がＣＣＤカメラ６に達する場合であっても、
その戻り光Ｌ５によるスリット画像への影響が少ないこ
とから、より鮮明なスリット像を撮像することができ
る。これによっても、光切断法によるスリット像に基づ
く各種の測定や検査における精度を向上させることがで
きる。
【００２２】しかも、ＣＣＤカメラ６を複数必要としな
いため低コストであり、三次元視覚センサを安価に提供
することができる。また、本実施の形態においては、一
対のミラーＭ２，Ｍ３を、スリット光Ｌ１の光路とビー
ムスプリッター５とを中心とする対称位置に配置したこ
とから、光学系が単純である。従って、製造時における
光学系の調整作業が極めて容易であるため、製造コスト
のさらなる低コスト化を図ることができ、同時に、安定
した精度及び高い精度を確保することができる。
いため低コストであり、三次元視覚センサを安価に提供
することができる。また、本実施の形態においては、一
対のミラーＭ２，Ｍ３を、スリット光Ｌ１の光路とビー
ムスプリッター５とを中心とする対称位置に配置したこ
とから、光学系が単純である。従って、製造時における
光学系の調整作業が極めて容易であるため、製造コスト
のさらなる低コスト化を図ることができ、同時に、安定
した精度及び高い精度を確保することができる。
【００２３】さらに、本実施の形態においては、一対の
ミラーＭ２，Ｍ３がそれぞれ反射した戻り光Ｌ２，Ｌ３
が、ビームスプリッター５によって、スリット像の向き
が一致した状態で合成された後、撮像手段に達すること
となる。よって、スリット像に基づく各種の測定や検査
を行う場合に、画像処理装置側での画像処理が簡単であ
り、同時に各種の測定や検査を短時間で行わせることが
できる。また、前述した２つの光学系が単純であるとと
もに、その構成部品も汎用的なものとしたことから、こ
れによっても低コスト化を図ることができる。
ミラーＭ２，Ｍ３がそれぞれ反射した戻り光Ｌ２，Ｌ３
が、ビームスプリッター５によって、スリット像の向き
が一致した状態で合成された後、撮像手段に達すること
となる。よって、スリット像に基づく各種の測定や検査
を行う場合に、画像処理装置側での画像処理が簡単であ
り、同時に各種の測定や検査を短時間で行わせることが
できる。また、前述した２つの光学系が単純であるとと
もに、その構成部品も汎用的なものとしたことから、こ
れによっても低コスト化を図ることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように請求項１の三次元視
覚センサにおいては、対象物の表面におけるスリット光
の画像を、スリット光の光路の両側に形成される２つの
光学系を介して撮像手段に受光させることにより、撮像
手段が撮像するスリット光の画像における、対象物の表
面の傾きの違いに起因する輝度の変化がごく僅かとなる
ようにした。よって、輝度の変化が少ないスリット光の
画像を取得することが可能となる。その結果、光切断法
によるスリット光の画像に基づく各種の測定や検査にお
ける精度を向上させることができる。
覚センサにおいては、対象物の表面におけるスリット光
の画像を、スリット光の光路の両側に形成される２つの
光学系を介して撮像手段に受光させることにより、撮像
手段が撮像するスリット光の画像における、対象物の表
面の傾きの違いに起因する輝度の変化がごく僅かとなる
ようにした。よって、輝度の変化が少ないスリット光の
画像を取得することが可能となる。その結果、光切断法
によるスリット光の画像に基づく各種の測定や検査にお
ける精度を向上させることができる。
【００２５】また、２つの光学系の一方による戻り光
が、スリット光の照射位置よりも突出する凸部等に遮断
され撮像手段に達しない場合であっても、他方の光学系
による戻り光に基づきスリット光の画像が撮像されるこ
とから、対象物の表面形状に対する適応範囲を広げるこ
とが可能となる。
が、スリット光の照射位置よりも突出する凸部等に遮断
され撮像手段に達しない場合であっても、他方の光学系
による戻り光に基づきスリット光の画像が撮像されるこ
とから、対象物の表面形状に対する適応範囲を広げるこ
とが可能となる。
【００２６】また、スリット光の照射位置と異なる部分
からの戻り光が撮像手段に達する場合であっても、その
戻り光によるスリット光の画像への影響が少ないことか
ら、より鮮明なスリット光の画像を取得することができ
る。これによっても、前記各種の測定や検査における精
度を向上させることができる。しかも、撮像手段を複数
必要としないため低コストであり、それを安価に提供す
ることができる。
からの戻り光が撮像手段に達する場合であっても、その
戻り光によるスリット光の画像への影響が少ないことか
ら、より鮮明なスリット光の画像を取得することができ
る。これによっても、前記各種の測定や検査における精
度を向上させることができる。しかも、撮像手段を複数
必要としないため低コストであり、それを安価に提供す
ることができる。
【００２７】これに加え、請求項２の発明においては、
光学系を単純にし、製造時等における光学系の調整作業
が極めて容易となるようにした。よって、製造コストの
さらなる低コスト化を図ることができ、同時に、安定し
た精度及び高い精度を確保することができる。
光学系を単純にし、製造時等における光学系の調整作業
が極めて容易となるようにした。よって、製造コストの
さらなる低コスト化を図ることができ、同時に、安定し
た精度及び高い精度を確保することができる。
【００２８】また、請求項３発明においては、一対のミ
ラーがそれぞれ反射した戻り光は、その向きが一致した
状態で合成された後、撮像手段に達するようにした。よ
って、前記各種の測定や検査を行う場合における画像処
理が複雑にならず、その処理速度の高速化を図ることが
できる。しかも、光学系が単純であるとともに、その構
成部品も汎用的なものが使用できるため、より安価な三
次元視覚センサの提供が可能となる。
ラーがそれぞれ反射した戻り光は、その向きが一致した
状態で合成された後、撮像手段に達するようにした。よ
って、前記各種の測定や検査を行う場合における画像処
理が複雑にならず、その処理速度の高速化を図ることが
できる。しかも、光学系が単純であるとともに、その構
成部品も汎用的なものが使用できるため、より安価な三
次元視覚センサの提供が可能となる。
【００２９】
【図１】本発明の一実施の形態を示す三次元視覚センサ
の平面図である。
の平面図である。
【図２】図８に対応する説明図である。
【図３】図９に対応する説明図である。
【図４】図１０に対応する説明図である。
【図５】従来技術を示す光切断法を用いた形状測定装置
の構成図である。
の構成図である。
【図６】従来の三次元視覚センサを示す平面図である。
【図７】光切断法の用途例を示す説明図である。
【図８】従来技術の問題を示す説明図である。
【図９】従来技術の問題を示す説明図である。
【図１０】従来技術の問題を示す説明図である。
３ レーザー（スリット光源） ５ ビームスプリッター ６ ＣＣＤカメラ Ｍ２ 第２のミラー（一対のミラー） Ｍ３ 第３のミラー（一対のミラー） Ｌ１ スリット光 Ｌ２ 戻り光 Ｌ３ 戻り光
Claims (3)
- 【請求項１】 対象物にスリット光を照射するスリット
光源と、 前記対象物の表面における前記スリット光の画像を撮像
し出力する撮像手段と、 前記対象物の表面から前記スリット光の光路を中心とす
る対称方向に互いに異なる戻り光をそれぞれ反射させる
２つの光学系と、 前記２つの光学系でそれぞれ反射された戻り光を重ね合
わせ前記撮像手段に受光させる光学系とを備えたことを
特徴とする三次元視覚センサ。 - 【請求項２】 前記２つの光学系が、前記スリット光の
光路と前記戻り光を重ね合わせる光学系とを中心とする
対称位置に配置されたことを特徴とする請求項１記載の
三次元視覚センサ。 - 【請求項３】 前記２つの光学系が、一対のミラーと、
この一対のミラーによりそれぞれ反射された戻り光を重
ね合わせ前記撮像手段に受光させるビームスプリッター
とからなることを特徴とする請求項１又は２記載の三次
元視覚センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28142897A JPH11101621A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 三次元視覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28142897A JPH11101621A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 三次元視覚センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101621A true JPH11101621A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17639033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28142897A Pending JPH11101621A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 三次元視覚センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11101621A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005050131A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | 被検体の形状及び明暗の検出方法とその装置 |
| KR101099138B1 (ko) | 2009-08-12 | 2011-12-27 | 지스캔(주) | 3차원 형상 측정장치 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP28142897A patent/JPH11101621A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005050131A1 (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-02 | Kabushiki Kaisha Bridgestone | 被検体の形状及び明暗の検出方法とその装置 |
| KR101099138B1 (ko) | 2009-08-12 | 2011-12-27 | 지스캔(주) | 3차원 형상 측정장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040412 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040914 |