JPS59178341A - 赤外線ガス分析装置 - Google Patents
赤外線ガス分析装置Info
- Publication number
- JPS59178341A JPS59178341A JP5450383A JP5450383A JPS59178341A JP S59178341 A JPS59178341 A JP S59178341A JP 5450383 A JP5450383 A JP 5450383A JP 5450383 A JP5450383 A JP 5450383A JP S59178341 A JPS59178341 A JP S59178341A
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- JP
- Japan
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- measured
- output
- component
- interference
- gas
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、非分散赤外線ガス分析装置に関し、特に試
料ガス中に含まれる複数の測定対策ガスが互いに干渉し
合うものである場合でも、その干渉を補償して多成分を
同時に測定することができる干渉補償能付の赤外線ガス
分析装置に関する。
料ガス中に含まれる複数の測定対策ガスが互いに干渉し
合うものである場合でも、その干渉を補償して多成分を
同時に測定することができる干渉補償能付の赤外線ガス
分析装置に関する。
（ロ）従来技術
従来のこの種の装置としては、特公昭５２−３５９７＋
ｊに開示されたものが知られている。
ｊに開示されたものが知られている。
しかし、この装置は上記公報にも開示されている如く、
干渉分の補償を手動で行うものであ−たので、その補償
操作が非常に煩わしくしかも時間を要するという問題が
あった。
干渉分の補償を手動で行うものであ−たので、その補償
操作が非常に煩わしくしかも時間を要するという問題が
あった。
（ハ） 目 的
この発明は、どのような問題に鑑みてなしたもので、上
記干渉分の補償を自動的に行うことができ、しかもその
処理も極めて短時間で行うことができる自動化された赤
外線ガス分析装置を提供することを目的とする。
記干渉分の補償を自動的に行うことができ、しかもその
処理も極めて短時間で行うことができる自動化された赤
外線ガス分析装置を提供することを目的とする。
に）杼゛を成
この発明は、前記目的を達成するため、次のような技術
的手段を構じたことを特徴とするものである。即ちこの
発明は、光学的直列関係に配置されて、それぞれ単一の
ｆｌｉｌ定対象成分出力を検出するようにされた複数個
の検出器と、測定ガスを測定セルに流しｔコ時の各検出
器の出力信号を、それぞれの測定対象成分出力として記
憶する記憶手段と、単一の測定″Ａ東酸成分ガステスト
ガスとして測定セルに流した時に検出される干渉分出力
並びに当該測定対象成分出力から、当該測定７１象成分
が他の測定対象成分に及ぼす干渉割合（Ｋ値）を各測定
対象成分について算出する算出手段と、算出した上記に
値から、記憶した各測定対象成分出力に重複する他の測
定対象成分の干渉分を求め、これに基づいて、干？Ｊｉ
分が補償されｔコ測定％１東成分出力を算出する補償手
段とをΦ１１ｊえたことを特徴とするものである。
的手段を構じたことを特徴とするものである。即ちこの
発明は、光学的直列関係に配置されて、それぞれ単一の
ｆｌｉｌ定対象成分出力を検出するようにされた複数個
の検出器と、測定ガスを測定セルに流しｔコ時の各検出
器の出力信号を、それぞれの測定対象成分出力として記
憶する記憶手段と、単一の測定″Ａ東酸成分ガステスト
ガスとして測定セルに流した時に検出される干渉分出力
並びに当該測定対象成分出力から、当該測定７１象成分
が他の測定対象成分に及ぼす干渉割合（Ｋ値）を各測定
対象成分について算出する算出手段と、算出した上記に
値から、記憶した各測定対象成分出力に重複する他の測
定対象成分の干渉分を求め、これに基づいて、干？Ｊｉ
分が補償されｔコ測定％１東成分出力を算出する補償手
段とをΦ１１ｊえたことを特徴とするものである。
（ホ）実施例
第１図は、この発明の一実施例の概略構成図である。こ
の図において、（１）は２束の赤外線を出力する光源、
（２）は比較セル、（３）は測定セル、（３１）は試料
導入口、（３２）は試料排出口、（４）は周知構成のチ
ョッパー、（Ｄｌ）〜（Ｄｎ）はそ第１ぞれ異なる単一
の測定対象成分を検出するコンデンサマイクロフォンＷ
すｍ 小器、（６１）〜（６ｎ）は当該検出器出力を増
幅する増幅器、（７）は各州幅器出力を順に出力させる
マルチプレクサ、（８）は該マルチプレクサの出力をデ
ジタルカイに変換するＡ／Ｄ変換器、（９）はインター
フニー７、（１０ｉハマイクロプロセ・ソサ（以下ＣＰ
Ｕと称す）、（１１，１は不装置が測定モードにあるか
テストモードにあるかを判別させる指令キー等を含む入
力装置、（１２１は最終的な測定結果を表示する表示装
置、 （１３１はプログラムメモリ、（１４）は各検出
器出力や演算結果等を記憶するメモリ（記憶手段）であ
る。
の図において、（１）は２束の赤外線を出力する光源、
（２）は比較セル、（３）は測定セル、（３１）は試料
導入口、（３２）は試料排出口、（４）は周知構成のチ
ョッパー、（Ｄｌ）〜（Ｄｎ）はそ第１ぞれ異なる単一
の測定対象成分を検出するコンデンサマイクロフォンＷ
すｍ 小器、（６１）〜（６ｎ）は当該検出器出力を増
幅する増幅器、（７）は各州幅器出力を順に出力させる
マルチプレクサ、（８）は該マルチプレクサの出力をデ
ジタルカイに変換するＡ／Ｄ変換器、（９）はインター
フニー７、（１０ｉハマイクロプロセ・ソサ（以下ＣＰ
Ｕと称す）、（１１，１は不装置が測定モードにあるか
テストモードにあるかを判別させる指令キー等を含む入
力装置、（１２１は最終的な測定結果を表示する表示装
置、 （１３１はプログラムメモリ、（１４）は各検出
器出力や演算結果等を記憶するメモリ（記憶手段）であ
る。
このような構成において、光隙（１）より発せられた２
東の赤外線は、比較セ／ｌ／ （２ｊ、試料セルＬ１３
１．Ｊ二す４Ｃるセル部をｒｈ］、ｌ荀し、チョ ツバ
−（４）で断続的に遮光される。比較セ／Ｌ’ ＋２）
には、零ガス例えば窒素ガス、アルゴンガス等の不活性
ガスが別人され、測定セ／Ｉ／（３）には試料導入口（
３１）からカ１１定ガスが連続的にセル内に導入され、
試別排出口１ ｔ３２ｉより排出される。セル部を透過
した赤外線は、測定対象成分ガスの自己吸収によってエ
ネルギー減少を起こし、このエネルギー減少が各測定対
象成分用検出器（ＤＩ ）〜（Ｄｎ）によりそれぞれ検
出される。各検出器（Ｄｌ）〜（Ｄｎ ）の出力はそれ
ぞれ増幅器（６］）〜（６ｎ）を介してマ／レチグレク
ザ（７）に入力され、ここでＣ，Ｐ Ｕ ｕＬｉｉから
のザンプリングパルスＯ））に応じて順次シリアルにＡ
、／、１）変換器（８）に出力される。またＡ／Ｄ変換
器（８）は、上記ザンブリンクパルヌ［Ｆ］に基づいて
、マルチプレクサ（７）からの出力を順次デジタル量に
変換し、これをインターフェース（９）を介してＣＰＵ
ＧＯｊに入力する。ＣＰ Ｕ ｔｌＱ）は、これらの各
検出器出力に対応するデジタ／Ｉ／量をメモＩＪ 、０
．４１に記憶させ、これな・後述するフローチャートに
示すような所定のプログラムの実行によって実現できる
前述の算出手段と補償手段とによ−て干渉分が補償され
た測定対象成分出力に補正する。
東の赤外線は、比較セ／ｌ／ （２ｊ、試料セルＬ１３
１．Ｊ二す４Ｃるセル部をｒｈ］、ｌ荀し、チョ ツバ
−（４）で断続的に遮光される。比較セ／Ｌ’ ＋２）
には、零ガス例えば窒素ガス、アルゴンガス等の不活性
ガスが別人され、測定セ／Ｉ／（３）には試料導入口（
３１）からカ１１定ガスが連続的にセル内に導入され、
試別排出口１ ｔ３２ｉより排出される。セル部を透過
した赤外線は、測定対象成分ガスの自己吸収によってエ
ネルギー減少を起こし、このエネルギー減少が各測定対
象成分用検出器（ＤＩ ）〜（Ｄｎ）によりそれぞれ検
出される。各検出器（Ｄｌ）〜（Ｄｎ ）の出力はそれ
ぞれ増幅器（６］）〜（６ｎ）を介してマ／レチグレク
ザ（７）に入力され、ここでＣ，Ｐ Ｕ ｕＬｉｉから
のザンプリングパルスＯ））に応じて順次シリアルにＡ
、／、１）変換器（８）に出力される。またＡ／Ｄ変換
器（８）は、上記ザンブリンクパルヌ［Ｆ］に基づいて
、マルチプレクサ（７）からの出力を順次デジタル量に
変換し、これをインターフェース（９）を介してＣＰＵ
ＧＯｊに入力する。ＣＰ Ｕ ｔｌＱ）は、これらの各
検出器出力に対応するデジタ／Ｉ／量をメモＩＪ 、０
．４１に記憶させ、これな・後述するフローチャートに
示すような所定のプログラムの実行によって実現できる
前述の算出手段と補償手段とによ−て干渉分が補償され
た測定対象成分出力に補正する。
第２図は、各測定対象成分ガスか他の測定対象成分ガス
に及ぼす干渉割合（Ｋ値）を算出するための動作フロー
を示す。まず、一定既知濃度の単一成分ガスをテストガ
スとして１１１１１定セ／ｌ’ ＋３１に流し、続いて
入力装置０１）を操作して当該テストガスの種類を指定
するとともに、本実施例装置をテストモードに設定する
。
に及ぼす干渉割合（Ｋ値）を算出するための動作フロー
を示す。まず、一定既知濃度の単一成分ガスをテストガ
スとして１１１１１定セ／ｌ’ ＋３１に流し、続いて
入力装置０１）を操作して当該テストガスの種類を指定
するとともに、本実施例装置をテストモードに設定する
。
そして、この場合のテストガスが検出器（Ｄｌ）用のも
のである時、即ち当該検出器（Ｄｌ）が検出し得る測定
対象成分ガスである時は、ＣＰＵｕＯ）はステップ−１
のチェック結果がＹＥＳであると半旧新して、続くサブ
ル−チン（ｓｕｂｌ ）で当該テストガスが他の測定対
象成分ガスに及ぼす干渉割合（Ｋ値）を算出する。また
、テストガスか検出器（Ｄ２）用のものである時は次の
ステップ−２のチェック結果かＹＥＳとな−で、今度は
次のサブル−チン（ｓｕｂ２’） ヲ笑行して、当該テ
ストカスが他の測定対象成分ガスに及ぼす干渉割合を算
出する。こうしてテストガスの種ツＪ″」に応じて、そ
れぞれに７４応するサブルーチンを実行して、各干渉ν
（１ｊ合を算出して行く。
のである時、即ち当該検出器（Ｄｌ）が検出し得る測定
対象成分ガスである時は、ＣＰＵｕＯ）はステップ−１
のチェック結果がＹＥＳであると半旧新して、続くサブ
ル−チン（ｓｕｂｌ ）で当該テストガスが他の測定対
象成分ガスに及ぼす干渉割合（Ｋ値）を算出する。また
、テストガスか検出器（Ｄ２）用のものである時は次の
ステップ−２のチェック結果かＹＥＳとな−で、今度は
次のサブル−チン（ｓｕｂ２’） ヲ笑行して、当該テ
ストカスが他の測定対象成分ガスに及ぼす干渉割合を算
出する。こうしてテストガスの種ツＪ″」に応じて、そ
れぞれに７４応するサブルーチンを実行して、各干渉ν
（１ｊ合を算出して行く。
第３図は、かかるサブルーチン（ｓｕｂｉ）（ｓｕｂ
２） の拝礼な内容の一例を示しｌコもので、ここで
はます、各検出器（Ｄ＋）〜（Ｄｎ）の出力（Ｅｌ）〜
（Ｅｎ）を記憶する。この時、例えばテストガスが検出
器（Ｄｌ）Ｐ＋−３のものである時は、検出器Ｕ）＋）
の出力Ｅ１は、尚核ガスの成分出力となり、他の検出器
（Ｄ２）〜（Ｄｎ）の出力Ｅ２〜Ｅｌは、当該ガスがこ
れらの検出４号（Ｄ２）〜（Ｊ）ｎ）の出力に及ぼす干
渉分出力となる。そこで、各出力（Ｅｌ）〜ＣＥＯ）を
記憶する処理が済むと、Ｅｌ／Ｅ２の演算を実行して、
そのに古来を検出器（Ｄｌ）月コの テストガスが検出
器（Ｄ２）の出力に及ぼす干渉割合（Ｋ１２）として記
憶する。同様にして、Ｅｌ／Ｅ３ 、・・・・・・・・
・・・Ｅｌ汗ｎの演算を実行して、それぞれの結果を検
出器（１）１）用のテストガスが各検出器（Ｄ３）〜（
Ｄｎ）の出力に及ぼす干渉割合（Ｋ１３・・・・・（ぐ
Ｈｌ）として記憶する。以下同様にして、他のサブル−
チン（ｓ、ｕｂ ２ ） −（ｓｕｂ ｎ ）において
も、かかる干渉割合を算出し、これを記憶する。
２） の拝礼な内容の一例を示しｌコもので、ここで
はます、各検出器（Ｄ＋）〜（Ｄｎ）の出力（Ｅｌ）〜
（Ｅｎ）を記憶する。この時、例えばテストガスが検出
器（Ｄｌ）Ｐ＋−３のものである時は、検出器Ｕ）＋）
の出力Ｅ１は、尚核ガスの成分出力となり、他の検出器
（Ｄ２）〜（Ｄｎ）の出力Ｅ２〜Ｅｌは、当該ガスがこ
れらの検出４号（Ｄ２）〜（Ｊ）ｎ）の出力に及ぼす干
渉分出力となる。そこで、各出力（Ｅｌ）〜ＣＥＯ）を
記憶する処理が済むと、Ｅｌ／Ｅ２の演算を実行して、
そのに古来を検出器（Ｄｌ）月コの テストガスが検出
器（Ｄ２）の出力に及ぼす干渉割合（Ｋ１２）として記
憶する。同様にして、Ｅｌ／Ｅ３ 、・・・・・・・・
・・・Ｅｌ汗ｎの演算を実行して、それぞれの結果を検
出器（１）１）用のテストガスが各検出器（Ｄ３）〜（
Ｄｎ）の出力に及ぼす干渉割合（Ｋ１３・・・・・（ぐ
Ｈｌ）として記憶する。以下同様にして、他のサブル−
チン（ｓ、ｕｂ ２ ） −（ｓｕｂ ｎ ）において
も、かかる干渉割合を算出し、これを記憶する。
以上の処理が終了すると、今度は、複数の測定対象成分
ガスが含まれる測定ガスを測定セ／Ｉ／（３）に゛流し
、続いて入力装置ｔｉｌｌを操作して本実施例装置五を
測定モードに設定する。
ガスが含まれる測定ガスを測定セ／Ｉ／（３）に゛流し
、続いて入力装置ｔｉｌｌを操作して本実施例装置五を
測定モードに設定する。
第４図は、本実施例装置が測定モードに設定された時の
動作フローの一例を示す。
動作フローの一例を示す。
このモードにおいては、まず、各検出器（Ｄ＋ ） 〜
（ｆ）ｎ）の出力（Ｔ８）１′）〜（Ｅｎ′）を記憶し
、続いて各出力（Ｅ＋’）〜（Ｅｎ’）に含まれる干渉
分出力を補償するザブル−チン（ｓｕｂｌ’）・−・・
・・−・（ｓｕｂｄ）処理を実行して、干渉分のないそ
れぞれの測定対策成分出力（ＥＭｌ）〜（ＥＭｎ）を算
出する。
（ｆ）ｎ）の出力（Ｔ８）１′）〜（Ｅｎ′）を記憶し
、続いて各出力（Ｅ＋’）〜（Ｅｎ’）に含まれる干渉
分出力を補償するザブル−チン（ｓｕｂｌ’）・−・・
・・−・（ｓｕｂｄ）処理を実行して、干渉分のないそ
れぞれの測定対策成分出力（ＥＭｌ）〜（ＥＭｎ）を算
出する。
第ｓ ：ｉ’ｌは、この第４図に示した上記サブル−チ
ン（ｓｏｂ １′）（ｓｏｂ ２”） ＣＤ詳細す内容
ノー例を示したもので、ここではテストモードの時に記
憶した前述の各干渉割合を基に、各出力（Ｅｌ、”ｊ〜
（Ｅイ）に含まれろ干渉分出力を、第５Ｉｇ１のステッ
プ−０１、ステップ−０２に示すような各演、算を実行
することによって求める。
ン（ｓｏｂ １′）（ｓｏｂ ２”） ＣＤ詳細す内容
ノー例を示したもので、ここではテストモードの時に記
憶した前述の各干渉割合を基に、各出力（Ｅｌ、”ｊ〜
（Ｅイ）に含まれろ干渉分出力を、第５Ｉｇ１のステッ
プ−０１、ステップ−０２に示すような各演、算を実行
することによって求める。
続いて、各出力（Ｅ１’）〜（、Ｂｎ’）から先に求め
た干渉分出力（Ｅ２’／ＫｌへＥ３’／Ｋｌ ３．−、
−、−小〕イ／に＋ｎ ）′（Ｅ＋′／Ｋｒｒ＋ 、
Ｅｚ’／に＋ｔ２．−−Ｅ （ｎ−ｔ５／に、＋（ｎ−
０）を減算して、干渉分のない測定対策成分出力（ＥＭ
Ｉ）〜（ＥＭｎ ）を算出するのである。そして、必要
に応じて求めた各測定対象成分出力をデジタル表示或は
アナログ表示させるのである。
た干渉分出力（Ｅ２’／ＫｌへＥ３’／Ｋｌ ３．−、
−、−小〕イ／に＋ｎ ）′（Ｅ＋′／Ｋｒｒ＋ 、
Ｅｚ’／に＋ｔ２．−−Ｅ （ｎ−ｔ５／に、＋（ｎ−
０）を減算して、干渉分のない測定対策成分出力（ＥＭ
Ｉ）〜（ＥＭｎ ）を算出するのである。そして、必要
に応じて求めた各測定対象成分出力をデジタル表示或は
アナログ表示させるのである。
尚、前記算出手段は、第２図、或は第３図に示す各サブ
ルーチン（ｓｕｂ ＋ ）・・・・・・（５ｕｂ ｎ
’）を実行することによって実現できるものであり、ま
た補償手段は、第４図、或は第５図に示す各−’ｌ−フ
／ｌ／ −ｆ ン（ｓｕｂ １”＋＝−（ｓｕｂ ｎ”
）を実行することによって実現できるものがあるがその
手順はこれらの図に示したフローチャートに限定される
ものではなく、種々の態様のものが考慮され得る。
ルーチン（ｓｕｂ ＋ ）・・・・・・（５ｕｂ ｎ
’）を実行することによって実現できるものであり、ま
た補償手段は、第４図、或は第５図に示す各−’ｌ−フ
／ｌ／ −ｆ ン（ｓｕｂ １”＋＝−（ｓｕｂ ｎ”
）を実行することによって実現できるものがあるがその
手順はこれらの図に示したフローチャートに限定される
ものではなく、種々の態様のものが考慮され得る。
（へ）効果
以上説明したように、この発明は、測定対象成分出力に
含まれる干渉分出力の補償を、マイクロコンピュータで
行わせるようにしたので、上記干渉分の補償を自動的に
かつ短時間で行うことができる有用な赤外線ガス分析装
置攪を提供し得たものである。
含まれる干渉分出力の補償を、マイクロコンピュータで
行わせるようにしたので、上記干渉分の補償を自動的に
かつ短時間で行うことができる有用な赤外線ガス分析装
置攪を提供し得たものである。
第１図は、この発明の一実施例の概略構成図、第２図は
、当該実施例装置をテストモードにした時の動作の一例
を示すフローチャート、第３図は、第２図に示したサブ
ルーチン（ｓｕｂ＋）、（ｓｕｂ ２ ） （７）詳ｆ
ｉｌＴｌな内容を示したフローチャート、第４図は、当
該実施例装置を測定モードにした時の動作の一例を示す
フローチャート、第５図は第４図に示したサブルーチン
（ｓｕｂＰ）。 （ｓｕｂ２’）の詳細な内容を示したフローチャートで
ある。 （Ｄｌ）〜（Ｄｎ）・・・・・・検出器（１４）・−・
・−・・・・・・・記憶手段代理人 弁ゆ士 間 宮
＄：、藉゛′、”゛（−・ 第１図 第２図 ｕｂｎ 第３図
、当該実施例装置をテストモードにした時の動作の一例
を示すフローチャート、第３図は、第２図に示したサブ
ルーチン（ｓｕｂ＋）、（ｓｕｂ ２ ） （７）詳ｆ
ｉｌＴｌな内容を示したフローチャート、第４図は、当
該実施例装置を測定モードにした時の動作の一例を示す
フローチャート、第５図は第４図に示したサブルーチン
（ｓｕｂＰ）。 （ｓｕｂ２’）の詳細な内容を示したフローチャートで
ある。 （Ｄｌ）〜（Ｄｎ）・・・・・・検出器（１４）・−・
・−・・・・・・・記憶手段代理人 弁ゆ士 間 宮
＄：、藉゛′、”゛（−・ 第１図 第２図 ｕｂｎ 第３図
Claims (1)
- ３を学的直列関係に配置されて、それぞれ単一の測定対
象成分を検出するようにされた複数個の検出器と、測定
ガスを測定セルに流した時の各検出器の出力信号を、そ
れぞれの測定対象成分出力として記憶する記憶手段と単
一の測定対象成分ガスをテストガスとして１ｉｌｌｌ定
セルに流した時に検出される干渉分出力並びに当該測定
対象成分出力から当該測定対象成分が他の測定え１京成
分に及ぼす干渉割合（Ｋ値）を各６１１１定対象成分に
ついて算出する算出手段と、算出した上記に値から、記
憶した各測定対象成分出力に重複する他の測定対象成分
の干渉分を求め、これに基づいて干渉分が補償された１
ｌｌｌ定対象成分京成を算出する補償手段とを備えたこ
とを特徴とする赤外線ガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5450383A JPS59178341A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 赤外線ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5450383A JPS59178341A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 赤外線ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59178341A true JPS59178341A (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=12972428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5450383A Pending JPS59178341A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | 赤外線ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59178341A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63234365A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-09-29 | Asahi Optical Co Ltd | フイルタリング装置 |
| US4914720A (en) * | 1986-12-04 | 1990-04-03 | Cascadia Technology Corporation | Gas analyzers |
| JP2012068164A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5124282A (ja) * | 1974-08-22 | 1976-02-27 | Shimadzu Corp | Hibunsangatasekigaisenbunsekikei |
| JPS523597A (en) * | 1975-06-27 | 1977-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Copper iodide colored in white |
| JPS547194U (ja) * | 1977-06-17 | 1979-01-18 |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5450383A patent/JPS59178341A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5124282A (ja) * | 1974-08-22 | 1976-02-27 | Shimadzu Corp | Hibunsangatasekigaisenbunsekikei |
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| JPS547194U (ja) * | 1977-06-17 | 1979-01-18 |
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| JP2012068164A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
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