JPS59177729A - 磁気デイスク - Google Patents
磁気デイスクInfo
- Publication number
- JPS59177729A JPS59177729A JP5183683A JP5183683A JPS59177729A JP S59177729 A JPS59177729 A JP S59177729A JP 5183683 A JP5183683 A JP 5183683A JP 5183683 A JP5183683 A JP 5183683A JP S59177729 A JPS59177729 A JP S59177729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cobalt
- magnetic
- ion
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 9
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 4
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は情報す磁化パターンの列として記録゛ する
磁気ディスクに関するものである。磁気ディスクは情報
ファイル手段として最も注目されているものの一つであ
る。従来より磁気ディスクとしては針状磁性粒子をバイ
ンダーにてディスク基板上に塗布固着させ、磁性層を形
成したコーティングディスクとディスク基板上にメッキ
技術や蒸着スパッタ技術等の薄膜技術を使って磁性層を
形成した薄膜ディスクが知られている。しかしながら塗
布型ディスクは情報の記録密度増大に不ｉＪ欠な磁性層
の薄膜化に限界があり、情報記録の高密度化には、２５
Ｘ）００ ＢＰＩ （ＵＰＩ−１インチ当りの情報数）
が限度とされてきた。
磁気ディスクに関するものである。磁気ディスクは情報
ファイル手段として最も注目されているものの一つであ
る。従来より磁気ディスクとしては針状磁性粒子をバイ
ンダーにてディスク基板上に塗布固着させ、磁性層を形
成したコーティングディスクとディスク基板上にメッキ
技術や蒸着スパッタ技術等の薄膜技術を使って磁性層を
形成した薄膜ディスクが知られている。しかしながら塗
布型ディスクは情報の記録密度増大に不ｉＪ欠な磁性層
の薄膜化に限界があり、情報記録の高密度化には、２５
Ｘ）００ ＢＰＩ （ＵＰＩ−１インチ当りの情報数）
が限度とされてきた。
一方、薄膜ディスクは（６性層として薄膜を使うので高
密度記録には、申し分けないが、薄膜であるだめ情報の
記録再生を行う磁気ヘッドとの衝突摩耗に弱く、このた
め表面に非磁性保護膜が必要となる。しかし、このよう
な保護膜の形成はプロセスが多くなりコスト高になるば
かりでなく、保護膜自身の不均一性や欠陥のため、良品
率や信頼性に問題を生じていた。
密度記録には、申し分けないが、薄膜であるだめ情報の
記録再生を行う磁気ヘッドとの衝突摩耗に弱く、このた
め表面に非磁性保護膜が必要となる。しかし、このよう
な保護膜の形成はプロセスが多くなりコスト高になるば
かりでなく、保護膜自身の不均一性や欠陥のため、良品
率や信頼性に問題を生じていた。
本発明の目的は尚密度記録に適した磁気ディスクを提供
することにあり、従来のＣ６気デイスクの良い所を、と
り入れた高性能磁気ディスクを提供することを目的とす
る。すなわち、本発明はその表面が平坦に鏡面研磨され
た基板を具備し、該基板内部の表面の近傍に、鉄、コバ
ルト、ニッケルもしくは希土類元素のうち、少くとも一
つを含むイオン注入磁性層が形成されていることを特徴
とする磁気ディスクである。
することにあり、従来のＣ６気デイスクの良い所を、と
り入れた高性能磁気ディスクを提供することを目的とす
る。すなわち、本発明はその表面が平坦に鏡面研磨され
た基板を具備し、該基板内部の表面の近傍に、鉄、コバ
ルト、ニッケルもしくは希土類元素のうち、少くとも一
つを含むイオン注入磁性層が形成されていることを特徴
とする磁気ディスクである。
以下、この発明について実施例を中心に説明する。シリ
コン単結晶基板、ガラス基板、サファイア基板等表面が
、平坦平滑に鏡面研磨された基板表面に周知のイオン注
入装置を用いて、鉄、コバルト、ニッケルもしくは希土
類元素のうち、少くとも一つをイオン注入する。また、
さらに他種のイオンをイオン注入してもよい。例えば、
コバルトと白金を加速電圧５００ＫＶで、それぞれ５Ｘ
１０”個７ゴ（ドーズ）及び１Ｘ１０個／ｄ（ドーズ）
注入する。これにより表面より約１００ＯＡの間隔をお
いてコバルトと白金の合金から成る保磁力３０００ｅ以
上の磁性注入層が形成される。この合金層は、必要に応
じて熱処理して確実に作成できる。
コン単結晶基板、ガラス基板、サファイア基板等表面が
、平坦平滑に鏡面研磨された基板表面に周知のイオン注
入装置を用いて、鉄、コバルト、ニッケルもしくは希土
類元素のうち、少くとも一つをイオン注入する。また、
さらに他種のイオンをイオン注入してもよい。例えば、
コバルトと白金を加速電圧５００ＫＶで、それぞれ５Ｘ
１０”個７ゴ（ドーズ）及び１Ｘ１０個／ｄ（ドーズ）
注入する。これにより表面より約１００ＯＡの間隔をお
いてコバルトと白金の合金から成る保磁力３０００ｅ以
上の磁性注入層が形成される。この合金層は、必要に応
じて熱処理して確実に作成できる。
また、コバルトのみを前記条件で注入すると約１０００
ｅの注入層が得られる。すなわち、この磁性注入層の上
には、もともと基板自身の材料から成る層が保護膜とし
て存在することになる。磁気ディスクとしては、これが
全てである。明らかにプロセスが極とが納得できよう。
ｅの注入層が得られる。すなわち、この磁性注入層の上
には、もともと基板自身の材料から成る層が保護膜とし
て存在することになる。磁気ディスクとしては、これが
全てである。明らかにプロセスが極とが納得できよう。
これはコスト低減につらなるばかりでなく、例えば、前
記薄膜ディスクで不可欠であった保護膜が自動的に形成
されることになり、表面の汚染の機会が少いため欠陥の
発生が少なく、加速電圧を制御することにより均一な磁
性注入層と保護膜が形成される。
記薄膜ディスクで不可欠であった保護膜が自動的に形成
されることになり、表面の汚染の機会が少いため欠陥の
発生が少なく、加速電圧を制御することにより均一な磁
性注入層と保護膜が形成される。
代１１六 Ｊ口里士炸（凪 晋
Claims (1)
- 表面が平坦に鏡面研磨された基板を具備し、該基板内部
の表面近傍に鉄、コバルト、ニッケル、もしくは希土類
元素の少くとも一つを含むイオン注入磁性層が形成され
ていることを特徴とする磁気ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5183683A JPS59177729A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 磁気デイスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5183683A JPS59177729A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 磁気デイスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59177729A true JPS59177729A (ja) | 1984-10-08 |
Family
ID=12897941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5183683A Pending JPS59177729A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 磁気デイスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59177729A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211638A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-20 | 東レ株式会社 | 複合材料およびその製造方法 |
| EP0637821A1 (en) * | 1993-07-31 | 1995-02-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Substrate for magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-03-28 JP JP5183683A patent/JPS59177729A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211638A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-20 | 東レ株式会社 | 複合材料およびその製造方法 |
| EP0637821A1 (en) * | 1993-07-31 | 1995-02-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Substrate for magnetic recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4670356A (en) | Magneto-optical recording medium and method of making same | |
| JPH0513045B2 (ja) | ||
| JPS59177729A (ja) | 磁気デイスク | |
| JPH05109047A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0323972B2 (ja) | ||
| EP0287280A3 (en) | Magnetic recording medium process for producing the same | |
| JPS5755531A (en) | Vertical magnetic recording medium | |
| JP2935606B2 (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
| KR920008436B1 (ko) | 자기기록체 | |
| JP2763913B2 (ja) | 磁性膜及びその製造方法 | |
| JP2665949B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS63244342A (ja) | 記録媒体作製方法 | |
| JPH01237944A (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS58212116A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH028371B2 (ja) | ||
| JPS62150517A (ja) | 磁気記録体 | |
| JPH02236815A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS60100418A (ja) | 磁性薄膜の製造方法 | |
| JPS62252517A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61224140A (ja) | 磁気デイスクの製造方法 | |
| JPH0462814A (ja) | 人工格子膜の製造方法 | |
| JPS62150516A (ja) | 磁気記録体 | |
| JPS63257941A (ja) | 光磁気記録用媒体の製造方法 | |
| JPH01162214A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01227224A (ja) | スパッタ磁気ディスク媒体製造用ターゲット及びスパッタ磁気ディスク媒体の製造方法 |