JPH01237944A - 光磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH01237944A JPH01237944A JP6354988A JP6354988A JPH01237944A JP H01237944 A JPH01237944 A JP H01237944A JP 6354988 A JP6354988 A JP 6354988A JP 6354988 A JP6354988 A JP 6354988A JP H01237944 A JPH01237944 A JP H01237944A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 abstract description 17
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 12
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 241000047703 Nonion Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10584—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the form, e.g. comprising mechanical protection elements
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
記録膜の磁気特性を利用して情報の記録と読み取りの可
能な光磁気記録媒体に関し、 トランクを間車かつ高精度に形成できるようにすること
を目的とし、 光磁気記録膜中にイオン注入の施された領域をトラック
として有するように構成する。
能な光磁気記録媒体に関し、 トランクを間車かつ高精度に形成できるようにすること
を目的とし、 光磁気記録膜中にイオン注入の施された領域をトラック
として有するように構成する。
本発明は、記録膜の磁気特性を利用して情報の記録と読
み取りの可能な光磁気記録媒体及びその製造方法に関す
る。
み取りの可能な光磁気記録媒体及びその製造方法に関す
る。
一般に、光磁気記録媒体を作製する際の１つの工程とし
て、媒体への情報の記録時及び読み取り時に必要なトラ
ッキング信号を得るためのトラックを形成する工程があ
る。
て、媒体への情報の記録時及び読み取り時に必要なトラ
ッキング信号を得るためのトラックを形成する工程があ
る。
従来の光磁気ディスクのトラック形成方法を第２図に示
す。まず、第２図（ａ）に示すように、表面の研磨及び
洗浄されたガラス円板１上にフォトレジスト２を塗布し
、これを乾燥させる。続いて第２図（ｂ）に示すように
、フォトレジスト２の所定領域（トラックを形成すべき
領域）を光りで露光した後、これを現像する。これによ
り、第２図（Ｃ）に示すように、フォトレジスト２の露
光領域が溶けて溝３が形成される。次に、第２図＋ｄ）
に示すように溝３上及びフォトレジスト２上にＮｉメツ
キを施すことにより、Ｎｉメツキ層からなるスタンバ４
を形成する。このスタンバ４を用いてプラスチックを射
出成形することにより、第２図（ｅ）に示すように、上
記溝３に対応した案内溝５を有する基板（レプリカディ
スク）６を作製する。最後に、第２図（ｆｌに示すよう
に、ＴｂＦｅＣｏ等からなる光磁気記録膜（以下、記録
膜と称す）７を上記基板６上に形成する。以上の工程に
より、案内溝５をトラックとして有する光磁気ディスク
が得られる。、 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のトラック形成方法では、上述したように、記録膜
７を支える基板６上に案内溝５を形成しなければならな
い。そのため、基板形成用のスタンバ４を作製する工程
（第２図（ａ）〜（ｄ））が必要となり、しかもその際
に溝の深さや幅等について厳しい条件が課せられる。従
って、製造工程が非常に複雑になり、しかもトラックの
精度を高めることが困難であるという問題点があった。
す。まず、第２図（ａ）に示すように、表面の研磨及び
洗浄されたガラス円板１上にフォトレジスト２を塗布し
、これを乾燥させる。続いて第２図（ｂ）に示すように
、フォトレジスト２の所定領域（トラックを形成すべき
領域）を光りで露光した後、これを現像する。これによ
り、第２図（Ｃ）に示すように、フォトレジスト２の露
光領域が溶けて溝３が形成される。次に、第２図＋ｄ）
に示すように溝３上及びフォトレジスト２上にＮｉメツ
キを施すことにより、Ｎｉメツキ層からなるスタンバ４
を形成する。このスタンバ４を用いてプラスチックを射
出成形することにより、第２図（ｅ）に示すように、上
記溝３に対応した案内溝５を有する基板（レプリカディ
スク）６を作製する。最後に、第２図（ｆｌに示すよう
に、ＴｂＦｅＣｏ等からなる光磁気記録膜（以下、記録
膜と称す）７を上記基板６上に形成する。以上の工程に
より、案内溝５をトラックとして有する光磁気ディスク
が得られる。、 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のトラック形成方法では、上述したように、記録膜
７を支える基板６上に案内溝５を形成しなければならな
い。そのため、基板形成用のスタンバ４を作製する工程
（第２図（ａ）〜（ｄ））が必要となり、しかもその際
に溝の深さや幅等について厳しい条件が課せられる。従
って、製造工程が非常に複雑になり、しかもトラックの
精度を高めることが困難であるという問題点があった。
本発明は、上記問題点に鑑み、トラックを簡単かつ高精
度に形成できるようにすることを目的とする。
度に形成できるようにすることを目的とする。
本発明の光磁気記録媒体は、トラックが基板にではなく
、基板上の記録膜に形成されている。しかも、従来のよ
うな案内溝ではなく、イオン（例えばＮ ｅ＋″、 Ａ
ｒ”″等）の注入領域がトラックとして使用される。
、基板上の記録膜に形成されている。しかも、従来のよ
うな案内溝ではなく、イオン（例えばＮ ｅ＋″、 Ａ
ｒ”″等）の注入領域がトラックとして使用される。
トラック形成にあたっては、まず基板上に記録膜を形成
する。その濠、記録膜に対し選択的にイオン注入を施す
ことにより、トラックを形成する。
する。その濠、記録膜に対し選択的にイオン注入を施す
ことにより、トラックを形成する。
本発明では、記録膜上にトラックを形成する手段として
イオン注入法を用いている。一般に垂直磁気異方性を有
する磁性膜にイオンが注入されると、その注入領域では
磁気的状態が乱されるため、イオン注入されていない領
域に対しカー（Ｋｅｒｒ）効果による偏光もしくは反射
率が異なる。このことから、記録膜に対し所望のトラッ
ク形状に沿ってイオン注入を施せば、その注入領域から
反射された光によってトラック（イオン注入領域）を認
識することが可能となる。
イオン注入法を用いている。一般に垂直磁気異方性を有
する磁性膜にイオンが注入されると、その注入領域では
磁気的状態が乱されるため、イオン注入されていない領
域に対しカー（Ｋｅｒｒ）効果による偏光もしくは反射
率が異なる。このことから、記録膜に対し所望のトラッ
ク形状に沿ってイオン注入を施せば、その注入領域から
反射された光によってトラック（イオン注入領域）を認
識することが可能となる。
特に、記録膜が負の磁歪定数を有する場合は、膜面に垂
直に立っている磁化がイオン注入により面内方向に寝て
しまうため、イオン注入領域とそうでない領域の磁化の
向きが大きく異なる。従って、磁化の向きに応じてカー
効果による偏光も大きく異なり、よってトラックの認識
を一層明確に行うことができる。
直に立っている磁化がイオン注入により面内方向に寝て
しまうため、イオン注入領域とそうでない領域の磁化の
向きが大きく異なる。従って、磁化の向きに応じてカー
効果による偏光も大きく異なり、よってトラックの認識
を一層明確に行うことができる。
このように、記録膜に対し直接にトラックを形成できる
ので、従来のようなスタンバを作製する工程が不要にな
り、よって製造プロセスが極めて簡単になる。しかも、
イオン注入領域の幅や深さは容易に制御できるため、高
精度なトラックが得られる。
ので、従来のようなスタンバを作製する工程が不要にな
り、よって製造プロセスが極めて簡単になる。しかも、
イオン注入領域の幅や深さは容易に制御できるため、高
精度なトラックが得られる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例の製造工程図である。
本実施例では、まず第１図（ａｌに示すように、ガラス
、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭ
Ａ）等でできた平板状の基板１１上に、例えばＴｂＦｅ
Ｃｏ等の光磁気記録材料でできた記録膜（光磁気記録膜
）１２をスパッタリング法等により形成する。なおこの
際、記録膜１２の上下面を酸化防止用の保護膜で覆うよ
うにしてもよい。
、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭ
Ａ）等でできた平板状の基板１１上に、例えばＴｂＦｅ
Ｃｏ等の光磁気記録材料でできた記録膜（光磁気記録膜
）１２をスパッタリング法等により形成する。なおこの
際、記録膜１２の上下面を酸化防止用の保護膜で覆うよ
うにしてもよい。
その後、第１図（ｂ）に示すように、記録膜１２上にフ
ォトレジスト１３を塗布する。続いて、上記フォトレジ
スト１３に対して選択的に露光を施し、これを現像する
ことにより、第１図（Ｃ）に示すようにイオン注入用の
マスクパターン１４を形成する。
ォトレジスト１３を塗布する。続いて、上記フォトレジ
スト１３に対して選択的に露光を施し、これを現像する
ことにより、第１図（Ｃ）に示すようにイオン注入用の
マスクパターン１４を形成する。
このマスクパターン１４は、後述するトランクとなるべ
き所望の領域に対応したパターンとなるように適宜設定
する。
き所望の領域に対応したパターンとなるように適宜設定
する。
次に、第１図（ｄｌに示すように、上記マスクパターン
１４を介し記録膜１２中にイオン注入を施す。
１４を介し記録膜１２中にイオン注入を施す。
この際のイオン種としては、Ａｒ”、Ｎｅ“。
Ｈｅ＋等の不活性ガスが最も望ましいが、その他のイオ
ン（例えばＨ″″やＢｉイオン等）であってもよい。マ
スクパターン１４ （フォトレジスト１３）は、イオン
注入処理後に除去する。
ン（例えばＨ″″やＢｉイオン等）であってもよい。マ
スクパターン１４ （フォトレジスト１３）は、イオン
注入処理後に除去する。
以上の工程により、第１図ｔｅｌに示すように、記録膜
１２中のイオン注入領域１５をトラックとして有する光
磁気記録媒体が得られる。このようにして得られた光磁
気記録媒体において、記録膜１２の磁歪定数が負である
場合、その磁化の方向は通常は膜面に対し垂直であるが
、ここにイオンが注入されると、その注入領域では非常
に強い圧縮応力により磁化の方向が面内方向に変化して
しまう。すなわち、記録膜１２の中で、イオン注入領域
Ｉ５とそれ以外の領域とでは磁化の方向が太きく異なる
。このことから、イオン注入領域１５からの反射光と他
の領域からの反射光では、これらのカー効果による偏光
が磁化の方向の違いに応じて大きく異なる。よって、こ
の偏光の違いに基づいてイオン注入領域１５からの反射
光を他の光と識別することにより、イオン注入領域１５
をトラックとして明確に認識することができる。
１２中のイオン注入領域１５をトラックとして有する光
磁気記録媒体が得られる。このようにして得られた光磁
気記録媒体において、記録膜１２の磁歪定数が負である
場合、その磁化の方向は通常は膜面に対し垂直であるが
、ここにイオンが注入されると、その注入領域では非常
に強い圧縮応力により磁化の方向が面内方向に変化して
しまう。すなわち、記録膜１２の中で、イオン注入領域
Ｉ５とそれ以外の領域とでは磁化の方向が太きく異なる
。このことから、イオン注入領域１５からの反射光と他
の領域からの反射光では、これらのカー効果による偏光
が磁化の方向の違いに応じて大きく異なる。よって、こ
の偏光の違いに基づいてイオン注入領域１５からの反射
光を他の光と識別することにより、イオン注入領域１５
をトラックとして明確に認識することができる。
なお、記録膜１２が負の磁歪定数を持たない場合であっ
ても、イオン注入領域１５は磁気的状態が乱れるため、
上記と同様に反射光の偏光あるいは反射率の違いに基づ
いてトラックの認識が可能になる。
ても、イオン注入領域１５は磁気的状態が乱れるため、
上記と同様に反射光の偏光あるいは反射率の違いに基づ
いてトラックの認識が可能になる。
本実施例によれば、記録膜１２に対してイオン注入法で
直接にトランク（イオン注入領域１５）を形成できるの
で、従来のようなスタンパを必要としない。よって、ス
タンパの製造工程（第２図（ａｌ〜（ｄ）参照）を省く
ことができ、非常に少ない工程で簡単にトラックを形成
することができる。
直接にトランク（イオン注入領域１５）を形成できるの
で、従来のようなスタンパを必要としない。よって、ス
タンパの製造工程（第２図（ａｌ〜（ｄ）参照）を省く
ことができ、非常に少ない工程で簡単にトラックを形成
することができる。
しかも、イオン注入領域１５の幅はフォトレジス１−１
３の間隔で容易に制御でき、またイオン注入領域１５の
深さはイオン注入時の印加電圧やドーズ量等で容易に制
御できるので、極めて高精度のトランクを得ることがで
きる。また、フォトレジスト１３の膜厚はイオン注入を
阻止するのに十分であればよいため、その膜厚分布に課
される条件は、第２図（Ｃ１に示した従来のスタンパ形
成時のフォトレジスト２ （この場合の膜厚は±５０人
に制御される必要がある）に比べて相当に緩くなる。
３の間隔で容易に制御でき、またイオン注入領域１５の
深さはイオン注入時の印加電圧やドーズ量等で容易に制
御できるので、極めて高精度のトランクを得ることがで
きる。また、フォトレジスト１３の膜厚はイオン注入を
阻止するのに十分であればよいため、その膜厚分布に課
される条件は、第２図（Ｃ１に示した従来のスタンパ形
成時のフォトレジスト２ （この場合の膜厚は±５０人
に制御される必要がある）に比べて相当に緩くなる。
更には、フォトレジスト１３のパターン幅を狭く形成す
ることにより、トラック間隔を一段と狭めることが可能
であるため、ｌ・ランク密度を著しく高めることができ
る。例えば、従来のようにスタンパで形成する場合、ト
ラック間隔を１μｍ以下にすることは極めて困難であっ
たが、本実施例によれば、０．５μｍ程度のトラック間
隔も容易に実現できる。
ることにより、トラック間隔を一段と狭めることが可能
であるため、ｌ・ランク密度を著しく高めることができ
る。例えば、従来のようにスタンパで形成する場合、ト
ラック間隔を１μｍ以下にすることは極めて困難であっ
たが、本実施例によれば、０．５μｍ程度のトラック間
隔も容易に実現できる。
以上説明したように、本発明によれば、トランクの形成
が非常に簡単になり、しかもその精度及び密度を著しく
高めることができる。
が非常に簡単になり、しかもその精度及び密度を著しく
高めることができる。
第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明の一実施例の製造工程図
、第２図（ａ）〜（ｆ）は従来の光磁気ディスクのトラ
ック形成方法を示す製造工程図である。 １１・・・基板、 １２・・・記録膜、 １３・・・フォトレジスト、 １４・・・マスクパターン、 Ｉ５・・・イオン注入領域（トランク）。
、第２図（ａ）〜（ｆ）は従来の光磁気ディスクのトラ
ック形成方法を示す製造工程図である。 １１・・・基板、 １２・・・記録膜、 １３・・・フォトレジスト、 １４・・・マスクパターン、 Ｉ５・・・イオン注入領域（トランク）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）光磁気記録膜（１２）中にイオン注入の施された領
域（１５）をトラックとして有することを特徴とする光
磁気記録媒体。 ２）基板（１１）上に光磁気記録膜（１２）を形成する
工程と、 該記録膜に対し選択的にイオン注入を施してトラック（
１５）を形成する工程とを有することを特徴とする光磁
気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6354988A JPH01237944A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6354988A JPH01237944A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01237944A true JPH01237944A (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=13232421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6354988A Pending JPH01237944A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01237944A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004040565A3 (en) * | 2002-11-01 | 2004-12-02 | Koninkl Philips Electronics Nv | Processing scheme for domain expansion rom media |
| US8277874B2 (en) * | 2008-03-26 | 2012-10-02 | Fujitsu Limited | Manufacturing method of magnetic recording medium, the magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP6354988A patent/JPH01237944A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004040565A3 (en) * | 2002-11-01 | 2004-12-02 | Koninkl Philips Electronics Nv | Processing scheme for domain expansion rom media |
| US8277874B2 (en) * | 2008-03-26 | 2012-10-02 | Fujitsu Limited | Manufacturing method of magnetic recording medium, the magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
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