JPH05109047A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH05109047A JPH05109047A JP3046348A JP4634891A JPH05109047A JP H05109047 A JPH05109047 A JP H05109047A JP 3046348 A JP3046348 A JP 3046348A JP 4634891 A JP4634891 A JP 4634891A JP H05109047 A JPH05109047 A JP H05109047A
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/82—Disk carriers
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】情報トラックが磁気的に分離された磁気記録媒
体及びその製造方法を提供すること。 【構成】基板と、基板上に設けられた、加熱により磁性
膜の中に拡散していく材料よりなる拡散種層と、拡散種
層上に設けられた、所望のパターンの拡散抑止層と、拡
散抑止層のパターン上及びパターン以外の領域の上に設
けられた磁性膜とからなり、磁性膜は、その飽和磁化が
減少した部分を、記録方向と直角な方向に繰返し有する
磁気記録媒体。磁性膜の飽和磁化が減少した部分が情報
トラックの分離帯となる。この磁気記録媒体は基板上
に、拡散種層、所望のパターンの拡散抑止層、磁性膜を
積層し、加熱すれば得られる。
体及びその製造方法を提供すること。 【構成】基板と、基板上に設けられた、加熱により磁性
膜の中に拡散していく材料よりなる拡散種層と、拡散種
層上に設けられた、所望のパターンの拡散抑止層と、拡
散抑止層のパターン上及びパターン以外の領域の上に設
けられた磁性膜とからなり、磁性膜は、その飽和磁化が
減少した部分を、記録方向と直角な方向に繰返し有する
磁気記録媒体。磁性膜の飽和磁化が減少した部分が情報
トラックの分離帯となる。この磁気記録媒体は基板上
に、拡散種層、所望のパターンの拡散抑止層、磁性膜を
積層し、加熱すれば得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報の記録に用いられ
る磁気記録媒体及びその製造方法に係り、特に高い記録
密度を有する磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
る磁気記録媒体及びその製造方法に係り、特に高い記録
密度を有する磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気記録媒体、例えば磁気ディス
クは、厚さ２ｍｍのアルミニウム基板の上に、磁気記録
膜をスピン塗布、スパッタリング等の方法で形成して製
造していた。磁気記録膜は垂直磁気異方性の大きい膜あ
るいは面内磁気異方性の大きい膜のいずれかであり、磁
気記録媒体に記録を行なうと、垂直磁気異方性の大きい
膜では垂直磁区が、面内磁気異方性の大きい膜では面内
磁区が形成される。
クは、厚さ２ｍｍのアルミニウム基板の上に、磁気記録
膜をスピン塗布、スパッタリング等の方法で形成して製
造していた。磁気記録膜は垂直磁気異方性の大きい膜あ
るいは面内磁気異方性の大きい膜のいずれかであり、磁
気記録媒体に記録を行なうと、垂直磁気異方性の大きい
膜では垂直磁区が、面内磁気異方性の大きい膜では面内
磁区が形成される。
【０００３】しかし、この方式は記録密度の点からみる
と最良の方式とはいえない。そのため特開昭５９−８１
７２には、磁気記録層の上に設けられて反射率の変化を
もたらすサーボパターンを記録したサーボトラック層を
有する磁気ディスクが提案されている。この磁気ディス
クは、データ記録用の領域の一部をサーボ情報の記録の
ために割く必要がないので、情報トラック密度が高く、
また、磁気ヘッドの位置決めを制御するのに適してい
る。なお、本発明に関連する技術として、例えば、面内
磁区記録膜については特公昭５４−３３５２３が、垂直
磁区記録膜については特公昭５７−１７２８２が挙げら
れる。
と最良の方式とはいえない。そのため特開昭５９−８１
７２には、磁気記録層の上に設けられて反射率の変化を
もたらすサーボパターンを記録したサーボトラック層を
有する磁気ディスクが提案されている。この磁気ディス
クは、データ記録用の領域の一部をサーボ情報の記録の
ために割く必要がないので、情報トラック密度が高く、
また、磁気ヘッドの位置決めを制御するのに適してい
る。なお、本発明に関連する技術として、例えば、面内
磁区記録膜については特公昭５４−３３５２３が、垂直
磁区記録膜については特公昭５７−１７２８２が挙げら
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記特開昭５９−８１
７２に記載の従来の技術は、サーボトラックとして、例
えば情報トラックを横切って左右に波打つ連続溝や、情
報トラックの左右に設けられた連続穴を有する磁気記録
媒体に関する。これらの磁気記録媒体を実際に製造して
いくには、上記のようにパターンニングされ、表面が凹
凸になった基板の上に磁気記録膜を一様に形成すること
になる。そうした場合磁気記録膜が連続してつながって
しまい、情報トラック相互の磁気的分離が不十分にな
り、情報トラック間分離信号が小さくなるという問題が
あった。
７２に記載の従来の技術は、サーボトラックとして、例
えば情報トラックを横切って左右に波打つ連続溝や、情
報トラックの左右に設けられた連続穴を有する磁気記録
媒体に関する。これらの磁気記録媒体を実際に製造して
いくには、上記のようにパターンニングされ、表面が凹
凸になった基板の上に磁気記録膜を一様に形成すること
になる。そうした場合磁気記録膜が連続してつながって
しまい、情報トラック相互の磁気的分離が不十分にな
り、情報トラック間分離信号が小さくなるという問題が
あった。
【０００５】本発明の目的は、情報トラックが磁気的に
分離された磁気記録媒体を提供することにある。本発明
の他の目的は、そのような磁気記録媒体の製造方法を提
供することにある。
分離された磁気記録媒体を提供することにある。本発明
の他の目的は、そのような磁気記録媒体の製造方法を提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、（１）非磁
性基板と、該基板上に設けられた、加熱により磁性膜の
中に拡散していく材料よりなる拡散種層と、該拡散種層
上に設けられた、所望のパターンの拡散抑止層と、該拡
散抑止層のパターン上及び該パターン以外の領域の上に
設けられた磁性膜とからなり、該磁性膜は、その飽和磁
化が減少した部分を、記録方向と直角な方向に繰返し有
することを特徴とする磁気記録媒体、（２）上記１記載
の磁気記録媒体において、上記磁性膜の飽和磁化が減少
した部分は、情報トラックを分離するための分離帯を構
成することを特徴とする磁気記録媒体、（３）非磁性基
板と、該基板上に設けられた、加熱により磁性膜の中に
拡散していく材料よりなる拡散種層と、該拡散種層上に
設けられた、記録方向と直角な方向に繰返されるパター
ンの拡散抑止層と、少なくとも該拡散抑止層上に設けら
れた磁性膜と、該パターン以外の領域の上に設けられ
た、飽和磁化が減少した磁性膜とを有することを特徴と
する磁気記録媒体、（４）上記１、２又は３記載の磁気
記録媒体において、上記磁気記録媒体は、磁気ディスク
であり、上記拡散抑止層のパターンは、同心円状又はら
せん状のパターンであることを特徴とする磁気記録媒
体、（５）上記１から４のいずれかに記載の磁気記録媒
体において、上記拡散抑止層は、Ｃｒ、Ｃｒ−Ｔｉ合金
又はＴｉ−Ｔａ合金からなることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
性基板と、該基板上に設けられた、加熱により磁性膜の
中に拡散していく材料よりなる拡散種層と、該拡散種層
上に設けられた、所望のパターンの拡散抑止層と、該拡
散抑止層のパターン上及び該パターン以外の領域の上に
設けられた磁性膜とからなり、該磁性膜は、その飽和磁
化が減少した部分を、記録方向と直角な方向に繰返し有
することを特徴とする磁気記録媒体、（２）上記１記載
の磁気記録媒体において、上記磁性膜の飽和磁化が減少
した部分は、情報トラックを分離するための分離帯を構
成することを特徴とする磁気記録媒体、（３）非磁性基
板と、該基板上に設けられた、加熱により磁性膜の中に
拡散していく材料よりなる拡散種層と、該拡散種層上に
設けられた、記録方向と直角な方向に繰返されるパター
ンの拡散抑止層と、少なくとも該拡散抑止層上に設けら
れた磁性膜と、該パターン以外の領域の上に設けられ
た、飽和磁化が減少した磁性膜とを有することを特徴と
する磁気記録媒体、（４）上記１、２又は３記載の磁気
記録媒体において、上記磁気記録媒体は、磁気ディスク
であり、上記拡散抑止層のパターンは、同心円状又はら
せん状のパターンであることを特徴とする磁気記録媒
体、（５）上記１から４のいずれかに記載の磁気記録媒
体において、上記拡散抑止層は、Ｃｒ、Ｃｒ−Ｔｉ合金
又はＴｉ−Ｔａ合金からなることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
【０００７】上記他の目的は、（６）非磁性基板上に、
加熱により磁性膜の中に拡散していく材料からなる拡散
種層を形成する第１工程、該拡散種層上に拡散抑止層を
形成する第２工程、該拡散抑止層を所望のパターンとす
る第３工程、該拡散抑止層のパターン上及び該パターン
以外の領域上に、磁性膜を形成する第４工程、該拡散種
層の材料を、該拡散抑止層のパターン以外の領域から該
磁性膜に拡散させ、該材料が拡散した部分の磁性膜の飽
和磁化を減少させる第５工程を有することを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法、（７）上記６記載の磁気記録
媒体の製造方法において、上記第５工程は、加熱により
行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法、（８）
上記６又は７記載の磁気記録媒体の製造方法において、
上記第３工程で形成する所望のパターンは、同心円状又
はらせん状のパターンであることを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法によって達成される。
加熱により磁性膜の中に拡散していく材料からなる拡散
種層を形成する第１工程、該拡散種層上に拡散抑止層を
形成する第２工程、該拡散抑止層を所望のパターンとす
る第３工程、該拡散抑止層のパターン上及び該パターン
以外の領域上に、磁性膜を形成する第４工程、該拡散種
層の材料を、該拡散抑止層のパターン以外の領域から該
磁性膜に拡散させ、該材料が拡散した部分の磁性膜の飽
和磁化を減少させる第５工程を有することを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法、（７）上記６記載の磁気記録
媒体の製造方法において、上記第５工程は、加熱により
行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法、（８）
上記６又は７記載の磁気記録媒体の製造方法において、
上記第３工程で形成する所望のパターンは、同心円状又
はらせん状のパターンであることを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法によって達成される。
【０００８】上記磁性膜は、その厚さが２０ｎｍから１
００ｎｍの範囲であることが好ましい。磁性膜の材料
は、例えば希土類元素を含むフェライト、ガーネット、
例えばＣｏを含む合金等の公知の材料を用いることがで
きる。拡散種層は、隣接した磁性膜中にこの層の材料が
拡散していき、その磁性膜の磁気的特性を変化させるも
のであり、その厚さは２０ｎｍから１００ｎｍの範囲で
あることが好ましい。これに使用する材料は、Ｇｅ、Ｓ
ｉ、Ｃｒ等の元素又はＧｅ−Ｓｉ合金、Ｇｅ−Ｓｎ合
金、Ｍｇ−Ｔｉ合金等が適している。拡散抑止層は、拡
散種層の材料の拡散を阻止するためのものであり、その
厚みは５０ｎｍから２００ｎｍの範囲であることが好ま
しい。この拡散抑止層の材料としては、Ｃｒ、Ｃｒ合
金、Ｔｉ、Ｔｉ合金等が挙げられる。
００ｎｍの範囲であることが好ましい。磁性膜の材料
は、例えば希土類元素を含むフェライト、ガーネット、
例えばＣｏを含む合金等の公知の材料を用いることがで
きる。拡散種層は、隣接した磁性膜中にこの層の材料が
拡散していき、その磁性膜の磁気的特性を変化させるも
のであり、その厚さは２０ｎｍから１００ｎｍの範囲で
あることが好ましい。これに使用する材料は、Ｇｅ、Ｓ
ｉ、Ｃｒ等の元素又はＧｅ−Ｓｉ合金、Ｇｅ−Ｓｎ合
金、Ｍｇ−Ｔｉ合金等が適している。拡散抑止層は、拡
散種層の材料の拡散を阻止するためのものであり、その
厚みは５０ｎｍから２００ｎｍの範囲であることが好ま
しい。この拡散抑止層の材料としては、Ｃｒ、Ｃｒ合
金、Ｔｉ、Ｔｉ合金等が挙げられる。
【０００９】上記の拡散を加熱により行わせるときは、
３００℃から５００℃の範囲の温度で５分から１時間程
度行うことが好ましい。磁性膜の非磁性化又は飽和磁化
を減少させた部分は、１．２μｍから５μｍのピッチで
繰り返されることが好ましい。この部分は飽和磁化が５
０％以下になっていることが好ましく、非磁性になって
いることがより好ましい。
３００℃から５００℃の範囲の温度で５分から１時間程
度行うことが好ましい。磁性膜の非磁性化又は飽和磁化
を減少させた部分は、１．２μｍから５μｍのピッチで
繰り返されることが好ましい。この部分は飽和磁化が５
０％以下になっていることが好ましく、非磁性になって
いることがより好ましい。
【００１０】
【作用】磁気記録媒体の記録領域が磁気的に分離独立し
た構造、すなわちディスクリート構造を実現したことに
より磁気情報の検出が容易にできる。しかも高密度に形
成した情報トラックに磁気情報記録再生手段を正確に追
従させることができる。
た構造、すなわちディスクリート構造を実現したことに
より磁気情報の検出が容易にできる。しかも高密度に形
成した情報トラックに磁気情報記録再生手段を正確に追
従させることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。まずその製造工程の概略について説明し、それぞれ
の詳細な説明は後述する。図１は本発明の磁気記録媒体
の製造方法の一例を示す工程図である。洗浄された化学
強化ガラス基板１（図１（ａ））の上に、拡散種層２を
スパッタリング又は真空蒸着等の方法で形成する（図１
（ｂ））。この拡散種層の働きは、加熱により隣接した
磁性膜中にこの層の材料が拡散していき、その隣接する
磁性膜の磁気的特性を変化させるものである。この拡散
種層の上に上記の拡散を阻止するための拡散抑止層３を
設ける（図１（ｃ））。
る。まずその製造工程の概略について説明し、それぞれ
の詳細な説明は後述する。図１は本発明の磁気記録媒体
の製造方法の一例を示す工程図である。洗浄された化学
強化ガラス基板１（図１（ａ））の上に、拡散種層２を
スパッタリング又は真空蒸着等の方法で形成する（図１
（ｂ））。この拡散種層の働きは、加熱により隣接した
磁性膜中にこの層の材料が拡散していき、その隣接する
磁性膜の磁気的特性を変化させるものである。この拡散
種層の上に上記の拡散を阻止するための拡散抑止層３を
設ける（図１（ｃ））。
【００１２】さらに光感光材料、例えばレジスト４を回
転塗布により形成する（図１（ｄ））。別途準備したマ
スクを通して露光し、現像することでレジストパターン
ができる（図１（ｅ））。その後レジストパターンに従
い拡散抑止層３をエッチングし（図１（ｆ））、レジス
トを除去する（図１（ｇ））。
転塗布により形成する（図１（ｄ））。別途準備したマ
スクを通して露光し、現像することでレジストパターン
ができる（図１（ｅ））。その後レジストパターンに従
い拡散抑止層３をエッチングし（図１（ｆ））、レジス
トを除去する（図１（ｇ））。
【００１３】この上に記録膜５として、垂直又は面内磁
気記録膜を全面に形成し（図１（ｈ））、加熱アニール
することで拡散種層２の材料を記録膜５に拡散させ、そ
の部分の記録膜の磁気特性を変え、記録膜をディスクリ
ート状とし、情報トラック６とその間の分離帯７を形成
することができる（図１（ｉ））。
気記録膜を全面に形成し（図１（ｈ））、加熱アニール
することで拡散種層２の材料を記録膜５に拡散させ、そ
の部分の記録膜の磁気特性を変え、記録膜をディスクリ
ート状とし、情報トラック６とその間の分離帯７を形成
することができる（図１（ｉ））。
【００１４】記録膜の磁気特性を変化の目安として、非
磁性になれば最も好ましいが、飽和磁化（Ｍｓ）の値が
５０％以下になっていれば良い。
磁性になれば最も好ましいが、飽和磁化（Ｍｓ）の値が
５０％以下になっていれば良い。
【００１５】〈実施例１〉記録膜に面内磁気異方性の大
きい膜を使用した場合について説明する。厚さが１．２
ｍｍのガラス基板の上に、到達真空度約１０~7Ｔｏｒ
ｒ、Ａｒ雰囲気、１５ｍＴｏｒｒの条件で、Ｇｅをスパ
ッタリングして２０ｎｍの厚さに製膜して拡散種層とし
た。その上に拡散抑止層としてＣｒ−１５ａｔ％Ｔｉ
を、上記と同じ条件でスパッタリングして１００ｎｍの
厚さに形成し、さらにその上にポジレジストを０．５μ
ｍの厚さに３０００ｒｐｍでスピン塗布した。その後、
分離帯の幅０．５μｍ、情報トラックの幅２μｍの同心
円状のパターンをピッチ２．５μｍで配列したマスクを
通して露光した。その後レジストを現像し、拡散抑止層
を市販のエッチング液（硝酸第２セリウム系）でエッチ
ングし、マスクのパターンと同じパターンを形成した。
きい膜を使用した場合について説明する。厚さが１．２
ｍｍのガラス基板の上に、到達真空度約１０~7Ｔｏｒ
ｒ、Ａｒ雰囲気、１５ｍＴｏｒｒの条件で、Ｇｅをスパ
ッタリングして２０ｎｍの厚さに製膜して拡散種層とし
た。その上に拡散抑止層としてＣｒ−１５ａｔ％Ｔｉ
を、上記と同じ条件でスパッタリングして１００ｎｍの
厚さに形成し、さらにその上にポジレジストを０．５μ
ｍの厚さに３０００ｒｐｍでスピン塗布した。その後、
分離帯の幅０．５μｍ、情報トラックの幅２μｍの同心
円状のパターンをピッチ２．５μｍで配列したマスクを
通して露光した。その後レジストを現像し、拡散抑止層
を市販のエッチング液（硝酸第２セリウム系）でエッチ
ングし、マスクのパターンと同じパターンを形成した。
【００１６】このパターンの上に、面内磁気記録膜であ
るＣｏ−１２ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔを上記と同じ条
件でスパッタリングして５０ｎｍの厚さに形成した。こ
の試料を、３５０℃で１時間アニールしたところ、拡散
抑止層のない部分は記録膜の中に拡散種層の材料が侵入
し、この部分の記録膜は、ほぼ非磁性に変化した。この
ように記録膜のパターンを形成した後、保護膜としてＣ
（カーボン）を２０ｎｍ付け磁気記録媒体とした。
るＣｏ−１２ａｔ％Ｃｒ−８ａｔ％Ｐｔを上記と同じ条
件でスパッタリングして５０ｎｍの厚さに形成した。こ
の試料を、３５０℃で１時間アニールしたところ、拡散
抑止層のない部分は記録膜の中に拡散種層の材料が侵入
し、この部分の記録膜は、ほぼ非磁性に変化した。この
ように記録膜のパターンを形成した後、保護膜としてＣ
（カーボン）を２０ｎｍ付け磁気記録媒体とした。
【００１７】磁気ヘッドによる記録・再生特性を測定し
たところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。また、磁気ヘ
ッドにレーザーチップを搭載し、この磁気ヘッドを用
い、レーザー光を記録膜に照射し、拡散抑止層からの反
射光によりサーボ情報をとっての記録・再生特性を測定
したところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。
たところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。また、磁気ヘ
ッドにレーザーチップを搭載し、この磁気ヘッドを用
い、レーザー光を記録膜に照射し、拡散抑止層からの反
射光によりサーボ情報をとっての記録・再生特性を測定
したところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。
【００１８】なお、拡散種層として、Ｇｅに代えてＭｇ
−５ａｔ％Ｔｉを用いて同様に磁気記録媒体を製造した
が同じ結果が得られた。また、拡散抑止層としてＣｒ−
１５ａｔ％Ｔｉに代えてＣｒを用いても、その厚みを５
０ｎｍとしても、またそのパターンをらせん状にしても
磁気記録媒体を製造すると同じ結果が得られた。さら
に、記録膜をＣｏ−１５ａｔ％Ｃｒ−５ａｔ％Ｔａとし
て同様に磁気記録媒体を製造しても同じ結果が得られ
た。
−５ａｔ％Ｔｉを用いて同様に磁気記録媒体を製造した
が同じ結果が得られた。また、拡散抑止層としてＣｒ−
１５ａｔ％Ｔｉに代えてＣｒを用いても、その厚みを５
０ｎｍとしても、またそのパターンをらせん状にしても
磁気記録媒体を製造すると同じ結果が得られた。さら
に、記録膜をＣｏ−１５ａｔ％Ｃｒ−５ａｔ％Ｔａとし
て同様に磁気記録媒体を製造しても同じ結果が得られ
た。
【００１９】〈実施例２〉記録膜に垂直磁気異方性の大
きい膜を使用した場合について説明する。１．２ｍｍ厚
さのガラス板の上に拡散種層としてＧｅ−２０ａｔ％Ｓ
ｉを３０ｎｍスパッタリングした。スパッタリングの条
件は実施例１と同じである。その上に拡散抑止層として
Ｔｉ−１５ａｔ％Ｔａを３０ｎｍの厚みに形成し、さら
にその上にポジレジストを０．５μｍ厚さに３０００ｒ
ｐｍでスピン塗布した。その後、分離帯の幅０．５μ
ｍ、情報トラックの幅２μｍのパターンをピッチ２．５
μｍで配列したマスクを通して、露光した。その後レジ
ストを現像し、拡散抑止層のＴｉ−Ｔａを市販のエッチ
ング液（フッ化水素酸）でエッチングし、マスクのパタ
ーンと同じパターンを形成した。
きい膜を使用した場合について説明する。１．２ｍｍ厚
さのガラス板の上に拡散種層としてＧｅ−２０ａｔ％Ｓ
ｉを３０ｎｍスパッタリングした。スパッタリングの条
件は実施例１と同じである。その上に拡散抑止層として
Ｔｉ−１５ａｔ％Ｔａを３０ｎｍの厚みに形成し、さら
にその上にポジレジストを０．５μｍ厚さに３０００ｒ
ｐｍでスピン塗布した。その後、分離帯の幅０．５μ
ｍ、情報トラックの幅２μｍのパターンをピッチ２．５
μｍで配列したマスクを通して、露光した。その後レジ
ストを現像し、拡散抑止層のＴｉ−Ｔａを市販のエッチ
ング液（フッ化水素酸）でエッチングし、マスクのパタ
ーンと同じパターンを形成した。
【００２０】このパターンの上に、垂直磁気記録膜であ
るＣｏ−２２ａｔ％Ｃｒを、上記と同じ条件でスパッタ
リングして２００ｎｍの厚さに形成した。この試料を、
400℃で１５分間アニールしたところ、記録膜の中に拡
散種層の材料が侵入し、この部分の記録膜は、ほぼ非磁
性に変化していた。このように記録膜のパターンを形成
した後、保護膜としてＣ（カーボン）を２０ｎｍ付けて
磁気記録媒体とした。
るＣｏ−２２ａｔ％Ｃｒを、上記と同じ条件でスパッタ
リングして２００ｎｍの厚さに形成した。この試料を、
400℃で１５分間アニールしたところ、記録膜の中に拡
散種層の材料が侵入し、この部分の記録膜は、ほぼ非磁
性に変化していた。このように記録膜のパターンを形成
した後、保護膜としてＣ（カーボン）を２０ｎｍ付けて
磁気記録媒体とした。
【００２１】磁気ヘッドによる記録・再生特性を測定し
たところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。また、また実
施例１と同様に、レーザーチップを搭載した磁気ヘッド
により、光サーボ方式による記録・再生特性を測定した
ところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。
たところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。また、また実
施例１と同様に、レーザーチップを搭載した磁気ヘッド
により、光サーボ方式による記録・再生特性を測定した
ところ、Ｓ／Ｎ比２．２で再生できた。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、磁気記録媒体の磁性膜
が分断して形成されるため、確実に情報トラック間の分
離が実現できる。
が分断して形成されるため、確実に情報トラック間の分
離が実現できる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の一実施例の製造工程を
示す工程図である。
示す工程図である。
１ ガラス基板 ２ 拡散種層 ３ 拡散抑止層 ４ レジスト ５ 記録膜 ６ 情報トラック ７ 分離帯
Claims (8)
- 【請求項１】非磁性基板と、該基板上に設けられた、加
熱により磁性膜の中に拡散していく材料よりなる拡散種
層と、該拡散種層上に設けられた、所望のパターンの拡
散抑止層と、該拡散抑止層のパターン上及び該パターン
以外の領域の上に設けられた磁性膜とからなり、該磁性
膜は、その飽和磁化が減少した部分を、記録方向と直角
な方向に繰返し有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】請求項１記載の磁気記録媒体において、上
記磁性膜の飽和磁化が減少した部分は、情報トラックを
分離するための分離帯を構成することを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項３】非磁性基板と、該基板上に設けられた、加
熱により磁性膜の中に拡散していく材料よりなる拡散種
層と、該拡散種層上に設けられた、記録方向と直角な方
向に繰返されるパターンの拡散抑止層と、少なくとも該
拡散抑止層上に設けられた磁性膜と、該パターン以外の
領域の上に設けられた、飽和磁化が減少した磁性膜とを
有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項４】請求項１、２又は３記載の磁気記録媒体に
おいて、上記磁気記録媒体は、磁気ディスクであり、上
記拡散抑止層のパターンは、同心円状又はらせん状のパ
ターンであることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項５】請求項１から４のいずれかに記載の磁気記
録媒体において、上記拡散抑止層は、Ｃｒ、Ｃｒ−Ｔｉ
合金又はＴｉ−Ｔａ合金からなることを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項６】非磁性基板上に、加熱により磁性膜の中に
拡散していく材料からなる拡散種層を形成する第１工
程、該拡散種層上に拡散抑止層を形成する第２工程、該
拡散抑止層を所望のパターンとする第３工程、該拡散抑
止層のパターン上及び該パターン以外の領域上に、磁性
膜を形成する第４工程、該拡散種層の材料を、該拡散抑
止層のパターン以外の領域から該磁性膜に拡散させ、該
材料が拡散した部分の磁性膜の飽和磁化を減少させる第
５工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。 - 【請求項７】請求項６記載の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、上記第５工程は、加熱により行うことを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項８】請求項６又は７記載の磁気記録媒体の製造
方法において、上記第３工程で形成する所望のパターン
は、同心円状又はらせん状のパターンであることを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046348A JPH05109047A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US07/847,276 US5372843A (en) | 1991-03-12 | 1992-03-10 | Process for producing a magnetic recording medium using a patterned diffusion barrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046348A JPH05109047A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109047A true JPH05109047A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=12744641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3046348A Pending JPH05109047A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5372843A (ja) |
| JP (1) | JPH05109047A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06103574A (ja) * | 1992-05-01 | 1994-04-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気モーメント低下方法及びデータ記憶装置 |
| WO2007094481A1 (en) * | 2006-02-14 | 2007-08-23 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium5 method for production thereof and magnetic recording and reproducing device |
| JP2008123663A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | パターン化磁気記録媒体及びその製造方法、垂直磁気記録システム |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06215345A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-05 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| KR100630585B1 (ko) * | 1999-05-28 | 2006-10-04 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 자기 기록 매체 및 그 제조 방법과 자기 디스크 장치 |
| WO2002095739A1 (fr) * | 2001-05-23 | 2002-11-28 | Fujitsu Limited | Support d'enregistrement magnetique du type a enregistrement vertical et dispositif de memoire magnetique comprenant ledit support |
| US20080074786A1 (en) | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US7670696B2 (en) * | 2007-05-01 | 2010-03-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with patterned magnetic islands and nonmagnetic trenches and manufacturing method for suppressing surface diffusion of trench material |
| US7776388B2 (en) * | 2007-09-05 | 2010-08-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Fabricating magnetic recording media on patterned seed layers |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US3902930A (en) * | 1972-03-13 | 1975-09-02 | Nippon Musical Instruments Mfg | Method of manufacturing iron-silicon-aluminum alloy particularly suitable for magnetic head core |
| GB1443248A (en) * | 1974-08-29 | 1976-07-21 | Burroughs Corp | making same |
| FR2483111A1 (fr) * | 1980-05-21 | 1981-11-27 | Crouzet Sa | Element de memoire magnetique thermodestructible |
| JP2561655B2 (ja) * | 1987-01-29 | 1996-12-11 | 株式会社日立製作所 | 面内磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP3046348A patent/JPH05109047A/ja active Pending
-
1992
- 1992-03-10 US US07/847,276 patent/US5372843A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06103574A (ja) * | 1992-05-01 | 1994-04-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気モーメント低下方法及びデータ記憶装置 |
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| US8213118B2 (en) | 2006-02-14 | 2012-07-03 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium, method for production thereof and magnetic recording and reproducing device |
| JP2008123663A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | パターン化磁気記録媒体及びその製造方法、垂直磁気記録システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5372843A (en) | 1994-12-13 |
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