JPS59169038A - ガス放電表示パネル - Google Patents
ガス放電表示パネルInfo
- Publication number
- JPS59169038A JPS59169038A JP58042182A JP4218283A JPS59169038A JP S59169038 A JPS59169038 A JP S59169038A JP 58042182 A JP58042182 A JP 58042182A JP 4218283 A JP4218283 A JP 4218283A JP S59169038 A JPS59169038 A JP S59169038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathodes
- panel
- display panel
- anodes
- discharge display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/38—Cold-cathode tubes
- H01J17/48—Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
- H01J17/49—Display panels, e.g. with crossed electrodes, e.g. making use of direct current
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ガス放電を用いた画像等を表示するガス放電
表示パネルの特に電極に関する。
表示パネルの特に電極に関する。
従来のガス放電表示パネルは、第1図に示すような工程
を経て製作される。即ち、基板や面板にニッケル又はア
ルミニウムペーストを印刷焼成して必要な電極を形成す
る。次に1 これらをスペーサを介して重ね合せ、組立
てた後高真壁に耐えるようパネル周辺を封着する。封着
したパネルは高真窒に加熱排気した後% He十Xe混
合ガス等発光に必要なガスを適当な圧力に封入し、パネ
ルを完成する。
を経て製作される。即ち、基板や面板にニッケル又はア
ルミニウムペーストを印刷焼成して必要な電極を形成す
る。次に1 これらをスペーサを介して重ね合せ、組立
てた後高真壁に耐えるようパネル周辺を封着する。封着
したパネルは高真窒に加熱排気した後% He十Xe混
合ガス等発光に必要なガスを適当な圧力に封入し、パネ
ルを完成する。
このようにして作成したパネルは、陰極のスパッタリン
グが大きく、スパッタ物質の螢光面への耐着による輝度
の低下や電極間への耐着による電極間の絶縁特性の劣化
等の本質的な問題があった。
グが大きく、スパッタ物質の螢光面への耐着による輝度
の低下や電極間への耐着による電極間の絶縁特性の劣化
等の本質的な問題があった。
本発明は、上記従来パネルの問題点を解決し、長寿命化
および放電特性の安定化を図ったガス放電表示パネルを
提供することを目的とする。
および放電特性の安定化を図ったガス放電表示パネルを
提供することを目的とする。
本発明は電極表面を酸化(特に酸化アルミニウム)する
ととも忙酸累プラズマ中のイオンやラジカル等の活性種
を用いて放電領域を表面処理することによシ、従来技術
の問題点を解決したことを特徴とする。
ととも忙酸累プラズマ中のイオンやラジカル等の活性種
を用いて放電領域を表面処理することによシ、従来技術
の問題点を解決したことを特徴とする。
以下、本発明を図面を用いて説明する。第2図は本発明
による代表的なガス放電表示パネルの分・解斜視図を示
す。1はガラス等の絶縁基板、2は金ペースト等を印刷
焼成した端子、3は電極の多相結線(金ペースト系を印
刷焼成)、4はアルミニウムやニッケルペーストを印刷
焼成後表面を酸化させた陰極、5はアルミニウムやニッ
ケルペーストを印刷焼成した陽極、6はリセット電極、
7はキープアライブ電極、8はガラスペーストを印刷焼
成したカバーガラス(但し電極上は除く)、9は放電空
間、10はガラス板等のスペーサ、11はガラス等透明
な面板、12は黒色ガラスペーストを印刷焼成したブラ
ックマトリックス、13は真空紫外線用螢光体を示す。
による代表的なガス放電表示パネルの分・解斜視図を示
す。1はガラス等の絶縁基板、2は金ペースト等を印刷
焼成した端子、3は電極の多相結線(金ペースト系を印
刷焼成)、4はアルミニウムやニッケルペーストを印刷
焼成後表面を酸化させた陰極、5はアルミニウムやニッ
ケルペーストを印刷焼成した陽極、6はリセット電極、
7はキープアライブ電極、8はガラスペーストを印刷焼
成したカバーガラス(但し電極上は除く)、9は放電空
間、10はガラス板等のスペーサ、11はガラス等透明
な面板、12は黒色ガラスペーストを印刷焼成したブラ
ックマトリックス、13は真空紫外線用螢光体を示す。
なお、第2図において、少なくとも陰極5の表面には第
3図の断面図に示すような陰極4を酸化させて形成した
酸化層4′が設けである。この酸化層4′の形成による
放電陰極としての電気伝導度の低下の割合は、陰極とし
てアルミニウムを用いた場合、20〜60%の範囲が適
当である。
3図の断面図に示すような陰極4を酸化させて形成した
酸化層4′が設けである。この酸化層4′の形成による
放電陰極としての電気伝導度の低下の割合は、陰極とし
てアルミニウムを用いた場合、20〜60%の範囲が適
当である。
次に具体的な酸化層の形成方法について述べる。
第4図は、本発明による代表的なパネル製作工程を示す
。酸化層の形成は、第4図に示すように、パネル加熱排
気後、酸素ガスをパネル内に0.1〜30Torr導入
し、第2図のパネル端子2に高周波や直流電圧を印加し
て化学的物理的に活性な・ρ素プラズマをパネル内に0
.2〜2時間(電流密度10−”A/i−程度)生成し
、この時、発生した酸素イオンやラジカル等の活性種を
用いて電極表面を酸化させることによシ行う。この後、
パネル中の酸素ガスや発生した不純な酸素化合物等を加
熱排気し、パネル中を高真空c〜10−’Torr)に
する。このような方法を用いると酸化層の形成のみなら
ず、放電域表面の不純物が前記活性種によシ低分子化さ
れまた酸化されて気化するので、よシ効果がある。
。酸化層の形成は、第4図に示すように、パネル加熱排
気後、酸素ガスをパネル内に0.1〜30Torr導入
し、第2図のパネル端子2に高周波や直流電圧を印加し
て化学的物理的に活性な・ρ素プラズマをパネル内に0
.2〜2時間(電流密度10−”A/i−程度)生成し
、この時、発生した酸素イオンやラジカル等の活性種を
用いて電極表面を酸化させることによシ行う。この後、
パネル中の酸素ガスや発生した不純な酸素化合物等を加
熱排気し、パネル中を高真空c〜10−’Torr)に
する。このような方法を用いると酸化層の形成のみなら
ず、放電域表面の不純物が前記活性種によシ低分子化さ
れまた酸化されて気化するので、よシ効果がある。
第5図は上記発明パネルの輝度の経時変化を、従来技術
によるパネルの特性とを比較したものである(電極母材
ニアルミニウムペースト)。
によるパネルの特性とを比較したものである(電極母材
ニアルミニウムペースト)。
曲線aで示すように本発明による酸素プラズマによる電
極等表面処理を行ったパネルでは、輝度維持率50%で
比較した場合。曲線すで示される従来パネルの特性に比
し約4倍の改善が達成できた。
極等表面処理を行ったパネルでは、輝度維持率50%で
比較した場合。曲線すで示される従来パネルの特性に比
し約4倍の改善が達成できた。
なお、電極の表面処理法として、第4図の点線で示した
ように、アルミニウムやニッケル等のペーストを用いて
基板上に電極を印刷焼成した後、パネルを組立てる前に
、前記電極等を形成した基板1′のみを第6図に示すよ
うに高周波(含マイクロ波)や直流等の電源50を用い
て発生させた酸素プラズマ100中に0.2〜2時間挿
入して表面処理を行ってもよい。
ように、アルミニウムやニッケル等のペーストを用いて
基板上に電極を印刷焼成した後、パネルを組立てる前に
、前記電極等を形成した基板1′のみを第6図に示すよ
うに高周波(含マイクロ波)や直流等の電源50を用い
て発生させた酸素プラズマ100中に0.2〜2時間挿
入して表面処理を行ってもよい。
さらにまた、金属電極の場合には、しゆう酸溶液(1〜
10%)を用いた陽極酸化法であらかじめ表面処理を行
ってもよい。 □ 本発明は電極母材としてアルミニウムはじめニッケル等
に適用できるが、特にアルミニウムの場合に効果的であ
る。また、この時、水銀も不要になる大きな利点もある
。
10%)を用いた陽極酸化法であらかじめ表面処理を行
ってもよい。 □ 本発明は電極母材としてアルミニウムはじめニッケル等
に適用できるが、特にアルミニウムの場合に効果的であ
る。また、この時、水銀も不要になる大きな利点もある
。
以上述べたように2本発明によれば、電極の酸化や酸素
プラズマ中のイオンやラジカル等の活性種との化学的物
理的作用による放電領域のりIJ −ニング効果により
、スパッタリングの低減や不純物の除去等による輝度の
経時変化の低減および動作特性の安定化が達成できると
いう大きな特長がある。
プラズマ中のイオンやラジカル等の活性種との化学的物
理的作用による放電領域のりIJ −ニング効果により
、スパッタリングの低減や不純物の除去等による輝度の
経時変化の低減および動作特性の安定化が達成できると
いう大きな特長がある。
第1図は従来パネルの製作工程を示す図、第2図は本発
明による表示パネルの分解斜視図、第3図は本発明によ
るパネルの電極断面図、第4図は本発明による表示パネ
ルの裏作工程を示す図、第5図は本発明の効果を示すた
めの図、第6図は本発明による表示パネルの製作方法を
説明するだめの図である。 1・・・基板、2・・・端子、4・・・陰極、5・・・
陽極、9・・・放電空間、10・・・スペーサ、11・
・・面板、13・・・葛 5 図 晒n(社嚢目盛)
明による表示パネルの分解斜視図、第3図は本発明によ
るパネルの電極断面図、第4図は本発明による表示パネ
ルの裏作工程を示す図、第5図は本発明の効果を示すた
めの図、第6図は本発明による表示パネルの製作方法を
説明するだめの図である。 1・・・基板、2・・・端子、4・・・陰極、5・・・
陽極、9・・・放電空間、10・・・スペーサ、11・
・・面板、13・・・葛 5 図 晒n(社嚢目盛)
Claims (1)
- 少なくとも多数の陰極と多数の陽極とから構成されたガ
ス放電表示パネルにおいて、少なくとも前記多数の陰極
として酸化アルミニウムを用いたことを特徴とするガス
放電表示パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58042182A JPS59169038A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | ガス放電表示パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58042182A JPS59169038A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | ガス放電表示パネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59169038A true JPS59169038A (ja) | 1984-09-22 |
Family
ID=12628848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58042182A Pending JPS59169038A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | ガス放電表示パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59169038A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02131549U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-11-01 | ||
EP1746625A3 (en) * | 2005-07-18 | 2007-05-09 | LG Electronics Inc. | Plasma display apparatus |
-
1983
- 1983-03-16 JP JP58042182A patent/JPS59169038A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02131549U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-11-01 | ||
EP1746625A3 (en) * | 2005-07-18 | 2007-05-09 | LG Electronics Inc. | Plasma display apparatus |
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