JPS59167017A - アルミニウムあるいはアルミニウム合金のスパツタ方法 - Google Patents

アルミニウムあるいはアルミニウム合金のスパツタ方法

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JPS59167017A
JPS59167017A JP58040896A JP4089683A JPS59167017A JP S59167017 A JPS59167017 A JP S59167017A JP 58040896 A JP58040896 A JP 58040896A JP 4089683 A JP4089683 A JP 4089683A JP S59167017 A JPS59167017 A JP S59167017A
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JP
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aluminum
gas
alloy
film
processing chamber
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喜美 塩谷
Mamoru Maeda
守 前田
Mikio Takagi
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61245525A (ja) * 1985-04-23 1986-10-31 Fujitsu Ltd 金属薄膜の製造方法
JPS6270571A (ja) * 1985-07-01 1987-04-01 ユナイテッド　キングドム　アトミック　エナ↓−ヂイ　オ↓−ソリテイ スパツタイオンメツキにより基板上に被覆を形成する方法
JP2005068558A (ja) * 2003-08-07 2005-03-17 Canon Inc ナノ構造体及びその製造方法

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JP2005068558A (ja) * 2003-08-07 2005-03-17 Canon Inc ナノ構造体及びその製造方法

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