JPS59163224A - リ−ドフレ−ム搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体製造装置に係り、特に半導体チップの実
装時にリードフレームの移送，位置決めを行うリードフ
レ−１＝　搬送装置に関する。

〔発明の技術的背景εよびその間照点〕一般に半導体チ
ツプの実装時には、複数のチップに対応するリードが連
続的に形成されたリードフレームを所定のピッチで移送
，位置決めするリードフレーム搬送装置を用いて、特定
の場所にてタイボンデングやワイヤボンテング等を行っ
ていプこ。

従来のリードフレーム搬送装置は、凍１図に示すように
、リードフレーム１のｉ陥方向端部をそれぞれ支持する
杏ともに、このリードフレーム１を長手方向に移送させ
るための案内路を形成するガイドレール２および３が平
行に配設され、ダイボンテングまたはワイヤポンテンク
を行う位置（以下単にホンデング位置と言う）Ａにリー
ドフレームｌを移送するために、ガイドレールと平行な
軸８上に送り爪４〜７を配置して、これらを図示しない
カムまたはクランクによって駆動するようにした送り機
構が設けられ、さらに、ボンデング位ｆＡの近傍にはリ
ードフレーム１の平面部に対して圭直な方向に位置決め
ピンを往復動作させる図示しない位置決め装置が設けら
れている。

この場合、リードフレーム１には棟々の形状の郷や穴が
形成されており、その移送に際しては、例えば、幅方向
の二端部に形成された角穴１ａが、その位置決めに際し
ては幅方向の他端部に形成された丸穴１ｂがそれぞれ用
いられる。

しかして、送り爪４〜７の先端部にはそれぞわ角穴１ａ
に係合する駒４ａ〜７ａが取付けられ、位置決め装置に
は丸穴１ｂに獣舎する位置決めピン９が取付けられてい
る。

斯かる従来のリードフレーム搬送装置にあっては、通常
、ボンデング位置Ａを固定とし、この位置にリードフレ
ーム１の被ボンデング部を順次停止させるため、例えば
、横幅の異るリードフレームに対してはガイドレール２
および３を中心から振分けて個別に調節しなければなら
ず、ピッチの異るリードフレームに対しては送り爪４〜
７の位置、相対間隔およびストロークを調節しなければ
ならなかった。さらに、穴形状の異るリードフレームに
対しては駒４ａ〜７ａおよび位置決めピン９の調整また
は変更を余儀なくされる。

通常、リードフレームの種類が異ると、横幅。

ピッチ、穴形状等が互いに関連を持って同時に変わるこ
きが多く、その度毎に調整および部品交換に多大な時間
を責やし、これが稼動率を低下させるだけでなく、試運
転によって初めて調整の不完全さを発見することがある
ため、製品歩留りを著しく低下させる等の欠点があった
。

〔発明の目的〕

本発明は上記従来のものの欠点を除去するためになされ
たもので、形状の異るリードフレームに対して、高梢度
且つ迅速な調整を可能にするとともに、体動率および製
品歩留りの向上を図り得るリードフレーム搬送装置の提
供を目的とする。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために本発明は、ガイドレールに沿
ってリードフレームを搬入するとともに、このリードフ
レームの種類によって定まるピッチで移送２位置決めす
るリードフレーム搬送装置において、搬入される前記リ
ードフレームの先端部を当接させるストッパと、ｆｉｔ
記リードフレームのピッチの変化に対応してストローク
を調節し得、前記ストッパに尚接した位置の前記リード
フレームを補正して移送する間欠送り装置とを具備する
ことを特徴とするもので、ある。

〔発明の実施例〕

以下、添付図面を参照して本発明の一実施例について説
明する。

第２図は本発明に係るリードフレーム搬送装置の平面図
、第３図はその側面図で、第１図と同一の符号を付した
ものはそれぞれ同一の’ｌを示す。

このリードフレーム搬送装置は、主に、ガイドレール２
，３および下記の各駆動系を固定する架台部１０と、ガ
イドレール２，３に沿ってボンデング処理前のリードフ
レームを送り込む搬入装ｊ［２０と、ボンデング処理後
のリードフレームを次段の処理工程に送り出す搬出装置
側と、ストロークを任意に調節し得、搬入装置側によっ
て送り込まれたリードフレームを、調節されたストロー
クで順次移送する間欠送り装置４０と、リードフレーム
搬入時の先端を当接せしめて定位置に停止させる停止装
置間と、ボンデング時の位置決めを行うターレット型の
位置決め装置６０とで構成されている。

ここで、架台部１０は主基板ｌｌ上に、支持板１２によ
って結合された中間基板１３を有し、さらに、この中間
基板１３上には１対の支持板１４　、１５が離隔配置さ
れ、この支持板１４　、１５上にガイドレール２゜３が
固定されている。なお、支持板１４　、１５のガイドレ
ール３を取付ける部分には’＃４１４ａ　、　１５ａが
それぞれ設けられ、ガイドレール２を基準として、ガイ
ドレール３をリードフレーム１の横幅方向に相対的に移
動させ得る構成になっている。

次に、搬入装置側は１対のロール支持部２１の軸端にそ
れぞれローラｎを有し、ベルトを介して電動後回に結合
された主動ロール機構と、コ字形に形成されたロール支
持部列の両端に、それぞれ」二記ローラ２２とともにリ
ードフレーム１の側端部を押圧するローラ５が取付けら
れ、且つ、そのロール間隙を開閉するためのシリンダ部
を有する従動ロール機構とで構成されている。

また、搬出装置（資）もこれと同様に、一対のロール支
持部３１の＠端にそれぞれローラ３２を有し、ベルトを
介して′４駆動３３・に結合された主動ロール機構と、
コ字形に形成されたロール支持部Ｍの両端に、それぞれ
上記ローラ３２とともにリードフレーム１の・側端部を
押圧するローラ３５が取付けられ、且つ、そのロール間
隙を開閉するためのシリンダ３６を有する従動ロール・
機構とで構成されている。

次に、間欠送り装置４０は、固定爪４１と、シリンダ４
３によって相対間隔を変化させ得る可動爪４２とでリー
ドフレーム１の側端部を両面から挾み付ける１対のチャ
ック機構必が、それぞれガイドレール２と平行に配置さ
れたスライド軸４５の軸方向に２組離隔して取付けられ
、さらに、このスライド軸４５はアーム４６を介してね
じ軸４８に螺合するナツト４７と結合されており、電動
機４９によりねじ軸４８を回動させることによってチャ
ック機構４４をガイドレール２に沿う方向にストローク
運動させるように構成されでいる。

次に、停止装置５０はガイドレール２側で、且つ、その
長手方向中間部に配置され、リードフレーム１の蜜入時
にこの先端を当接せしめるストッパ５１と、リードフレ
ーム１の移送２位置決め時にこのストッパ５１を逃がす
シリンダ５２とを具えている。

また、位置決め装置６０はボンデング位置に設けられ、
それ自体ターレット状に配置された複数の位置決めピン
６１ソ有し、リードフレーム１の穴形状および位置の変
化に対応した適切なものを選択してその先端をリードフ
レーム１の穴に挿入するものである。その他ヒータブロ
ック６２、フレーム押え（図示せず）等で構成されてい
る。

一方、上述した架台部゛１０の基板１１および中間基板
１３間には、ガイドレール２，３と平行な＠１８が支持
板１２を頁運して回動自在に支持されており、この軸の
リードフレーム搬入側端部にセンサ群１６が取付けられ
、位置決め装置６０に対応する軸方向中間部にカム群１
７が取付けられ、さらに、この軸のリードフレーム搬田
側端郡に電動機１９が設けられている。なお、カム群１
７は図示しない連結部材を介して位置決め装置６０を作
動させるものである０また、停止装置（資）の近傍には
、搬入せしめられタリードフレーム１の先端ＶＡ　＠　
検出するセンサ７１と、所定のピッチで移送されるリー
ドフレーム１の後端部が通過したことを検出するセンサ
７２　　とかリードフレーム１の移送方向に並設されて
いる。

なお、上述した間欠送り装置４０、停止装置５０および
位置決め装置６θ等の電Ｓ機＊たはシリンダを具える駆
動系は全てガイドレール２側に集中配置さｎている。

上記の如く構成されたリードフレーム鍜送装置の作用を
以下に説明する。

先ず、゛電動機またはシリンダを具える駆動系はガイド
レール２と一体的に固定されていることから、リードフ
レーム１の横幅が変化した場合には、取付位置を随時変
更し得るガイドレール３を調節してリードフレームの横
幅に見合った案内路を形成する。このＩＭｉｆｆｉを完
了した段階でリードフレーム１を送給すると、これが搬
入鉄１ｉ１２０を構成するローラｎおよび冴に噛み込ま
れてボンデング位置Ａに向かって移動し、その先端がス
トッパ５１に当接する。このとき、センサ７１　　がリ
ードフレーム１を横細して、ローラ２２および冴の間隙
を拡げる側にシリンダ２６を作動させる。したかつて、
リードフレーム１はストッパ５１に当接した状態で停止
する。

この状態にて、′電動機１９を駆動させるとカム群１７
により位置決め装置６０が７９！除され・て次にセンサ
群１６により間欠送り装置４０を構成するシリンダ４３
を作動させて固定爪４１および可動爪４２によってリー
ドフレーム１を挾持する一方、停止装置間を構成するシ
リンダ５２を作動させてストッパ５１を逃がした状態に
て間欠送り装置の電動機４９を駆動すると、リードフレ
ーム１は定められたストロークで移送される。もぢろん
、この移送を完了した時点でシリンダ４３が復帰せられ
てリードフレームエは離されるが、略これと同期して駆
動されるカム群１７が位置決め装置６０を作動させて位
置決めピン６１をリードフレーム１の穴に挿入せしめる
。

かくして、リードフレームの移送２位置決めが完了し、
ボンデング位置Ａでのボンデング作業が行なわれる。ま
た、ボンデング作業中に間欠送り装置４０は図示した状
態に復帰する。

次に、ボンデング作業を行った後で再び電動機１９を駆
動させると位置決めピン６１が下げられ間欠送り装置が
同期して以下リードフレーム１の移送操作２位置決め操
作およびボンデング作業が順次繰返される。

銃いて、センサ７２　によってリードフレーム１の尾端
部の通過を検知するとともに一連のボンデング作業を完
了した段階で、このリードフレーム１は搬出装置（資）
によって次の工程に送り出される一方、新しいリードフ
レーム１が搬入装置側によって送り込まれる。

第４図はストッパ５１の位置およびボンデング位置Ａと
、間欠送り装置４０のストロークとの関係を示すもので
、リードフレームのピッチをＰＫ、その先端から最初に
ボンデングされる点までの寸法（以下端面寸法と言う）
をＰ２、ストッパ５１とボンデング位置Ａとの距離をＬ
（定数）とすると、ストッパ１に当接した状態でのリー
ドフレームに対してはＬ　＋　Ｐ　ｔだけ移送させる必
要がある。

一方、間欠送り装置４０の図示しない制御装置にはこれ
らの値Ｐ１．Ｐ、およびＬを入力する数値入力部を具え
ており、リードフレームの種類に変更を生じたときにこ
れらの値を入力すると、新たなリードフレーム１が到達
する毎に、間欠送り装置４０は（Ｌ＋Ｐ２）／２　のス
トロークでの移送操作を２回繰り返し、続いてＰｌ　の
ストロークでの移送操作を繰返すとともに、リードフレ
ーム１を保持して前進するとき早送りが行なわれるよう
に構成されている。

かくして、種類の異るリードフレームのボンデングを行
う場合でも、リードフレームの横幅に対応してガイドレ
ール３の取付位置の変更と、ピッチＰ１　および端面寸
法Ｐ２　を数値入力するだけで済み、これによって調整
時間が著しく短縮されるとともに、リードフレームの種
類に対応した適確な移送１位置決め操作が行なわれる。

特にこのリードフレーム搬送装置は、先ずストッパ５１
の先端を一定に位置合わせし、続いて位置合わせされた
リードフレームを、ストロークが可変の間欠送り装置に
よって順次Ｖ送“°せしめているので、従来装置で最も
微妙な調節を要請された、ざわば、心臓部分に対する機
械的な調節操作が全く不要になっている。

なお、上記実施例ではリードフレームを間欠送りする時
の累＃を誤差を生じないようにターレット形式の位置決
め装−置６０を用いて、位置決めピン６１を適合する穴
に挿入しているか、連続形成されるフレーム数が少ない
場合にはこの位置決め装置６０を除去してもよく、ある
いはまた、この位置決め装置６０の代わりに、光学的な
位置検出装置等を採用することによって送り量を制御し
、フレームが多数個連続形成された場合でも、穴若しく
は銹を一切用いる必要のない搬送装置を構成することが
できる。

才た、上記実施例では、ストッパ５１に当接した状態の
リードフレームを、最初にボンデングできるようにする
まで２回に分けて送り操作しているが、ストロークの調
整範囲の広い１ｇｊ欠送り装置を用いるならば一回の送
り操作で揖み、これによって作業能率とさらに向上させ
得る。又ガイドレール３の移動を外部指令で移動せしめ
ることも勿論可能である。

〔発明の効果〕

以上の説明によって明らかな如く、本発明のリードフレ
ーム搬送装置によれば、種類の異るリードフレームに対
して、このリードフレームに形成される穴若しくは溝を
一切用いない移送１位置決めが可能になり、従来装置に
要求された微妙な調整および部品交換作業を省き得、迅
速且つ高祠度な調整が可能になり、生産性および製品歩
留りを大幅に向上させ得るという優れた効果が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のリードフレーム搬送装置の構成を示す平
面図、第２図は本発明に係るリードフレーム搬送装置の
一実施例の構成を示す平面図、第３図は同実施例の構成
を示す側面図、第４図は同実施例の作用を説明するため
に、要部の位置関係を示した平面図である。 １・・・リードフレーム、２，３・・・ガイドレール、
４〜７・・・送り爪、１〇五架台部、加・・・戴入装置
、加・・・搬出装置、４０・・・間欠送り装置、４１・
・・固足爪、４２・・・可動爪、（資）・・・停止装置
、５１・・・ストッパ、６０・・・位置決め装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ガイドレールに沿ってリードフレームを搬入すると
   ともに、このリードフレームの独類によって定まるピッ
   チで移送，位置決めするリードフレーム搬送装置におい
   て、搬入される＠記すードフレームの先端部を当接させ
   るストツバと、前記リードフレームのピッチの変化に対
   応してストロークを調節し得、前記ストツバに当接した
   位置の前記リードフレームを補正して移送する間欠送り
   装置とを具備したことを特徴とするリードフレーム搬送
   装置。 ２、前記間欠送り装置は、前記リードフレームの平面部
   を挾持するチャック機構を具えたことを将畝とする特許
   請求の馳囲弟１項記城のリードフレーム搬送装置。