JPS59160564U - 化学気相成長装置 - Google Patents
化学気相成長装置Info
- Publication number
- JPS59160564U JPS59160564U JP5600883U JP5600883U JPS59160564U JP S59160564 U JPS59160564 U JP S59160564U JP 5600883 U JP5600883 U JP 5600883U JP 5600883 U JP5600883 U JP 5600883U JP S59160564 U JPS59160564 U JP S59160564U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- chemical vapor
- vapor deposition
- movable part
- deposition apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による化学気相成長装置の一実施例の要
部を示す平面図、第２図は第１図の■−■線による断面
図、第３図は第２図における可動部分を上昇させた状態
を示す断面図、第４図は本考案の他の実施例の要部を示
す平面図、第５図は −第４図の■−■線によ
る断面図、第６図は第５図における可動部分を下降させ
た状態を示す断面図である。 １．１１・・・・・・サセプタ、２・・・・・・試料基
板、３・・・・・・ザグリ、４．１４・・・・・・可動
部分、５・・・・・・操作ロッド、１５・・・・・・操
作スリーブ、６．１６・・・・・・回転軸、７・・・・
・・治具。
部を示す平面図、第２図は第１図の■−■線による断面
図、第３図は第２図における可動部分を上昇させた状態
を示す断面図、第４図は本考案の他の実施例の要部を示
す平面図、第５図は −第４図の■−■線によ
る断面図、第６図は第５図における可動部分を下降させ
た状態を示す断面図である。 １．１１・・・・・・サセプタ、２・・・・・・試料基
板、３・・・・・・ザグリ、４．１４・・・・・・可動
部分、５・・・・・・操作ロッド、１５・・・・・・操
作スリーブ、６．１６・・・・・・回転軸、７・・・・
・・治具。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ サセプタの上面に試料基板を配列する方式の−化学
気相最長装置において、前記サセプタの試料基板載置部
に、試料基板の裏面の一部に対応しサセプタに対して相
対的に上下動可能な可動部分を設け、該可動部分により
試料基板をサセプタに対して昇降可能にしたことを特徴
とする化学気相成長装置。 ２ 可動部分が、個々の試料基板毎に独立して上、
下動可能に設けられ、サセプタの回転方向の所定角度位
置にあるとき個々に上下動運動を付与されるようト構成
されている実用新案登録請求の範囲第１項記載の化学気
相成長装置。 ３ 可動部分が、サセプタと同一材質で形成され、てい
る実用新案登録請求の範囲第１または２項記載の化学気
相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600883U JPS59160564U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 化学気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600883U JPS59160564U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 化学気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59160564U true JPS59160564U (ja) | 1984-10-27 |
| JPS6142920Y2 JPS6142920Y2 (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=30186333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5600883U Granted JPS59160564U (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 化学気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59160564U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61132595A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-20 | Toshiba Corp | 有機金属熱分解気相結晶成長装置 |
-
1983
- 1983-04-14 JP JP5600883U patent/JPS59160564U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61132595A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-20 | Toshiba Corp | 有機金属熱分解気相結晶成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6142920Y2 (ja) | 1986-12-05 |
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