JPS6052620U - 縦形気相成長装置のコイルカバ− - Google Patents
縦形気相成長装置のコイルカバ−Info
- Publication number
- JPS6052620U JPS6052620U JP14307383U JP14307383U JPS6052620U JP S6052620 U JPS6052620 U JP S6052620U JP 14307383 U JP14307383 U JP 14307383U JP 14307383 U JP14307383 U JP 14307383U JP S6052620 U JPS6052620 U JP S6052620U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase growth
- growth equipment
- vapor phase
- coil cover
- vertical vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の縦断面図、第２図および第３図は本考
案の一実施例を示し第２図は縦断面図、第３図は第２図
の３−３線断面図である。 １４・・・ウェハ、１５・・・サセプタ、２１・・・コ
イル、２２・・・カバー、３１・・・支承体。
案の一実施例を示し第２図は縦断面図、第３図は第２図
の３−３線断面図である。 １４・・・ウェハ、１５・・・サセプタ、２１・・・コ
イル、２２・・・カバー、３１・・・支承体。
Claims (1)
- ウェハを載置し上回転するサセプタの下方にありかつ誘
導加熱用のコイルを被っているカバーの上面に、前記サ
セプタ下面に対しその上面を僅かな隙間をもって設けた
複数の支承体を有する縦形気相成長装置のコイルカバー
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307383U JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14307383U JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052620U true JPS6052620U (ja) | 1985-04-13 |
Family
ID=30319475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14307383U Pending JPS6052620U (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 縦形気相成長装置のコイルカバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052620U (ja) |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP14307383U patent/JPS6052620U/ja active Pending
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