JPS59158015A - 透明導電性フイルム - Google Patents
透明導電性フイルムInfo
- Publication number
- JPS59158015A JPS59158015A JP3092683A JP3092683A JPS59158015A JP S59158015 A JPS59158015 A JP S59158015A JP 3092683 A JP3092683 A JP 3092683A JP 3092683 A JP3092683 A JP 3092683A JP S59158015 A JPS59158015 A JP S59158015A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- birefringence
- conductive film
- liquid crystal
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特定のプラスチックフィルムに、インジウム
又はスズなどの金属酸化物膜を形成した透明導電性フィ
ルムに関するものである。従来透明導電性フィルムは、
主にポリエステルフィルムヲヘーストシ、エレクトロル
ミネッセンスディスプレイや、エレクトロクロミックア
イスプレイの透明電極、デイフロスタ、透明ヒータ等の
面発熱体や、タッチパネル等の面スィッチ、赤外線反射
膜及び透明フレキシブル回路板等に広く用いられている
が、最近は液晶表示素子への適用も検討されている。こ
れは、従来のガラス電極にかわシブラスチックのフィル
ム状の！極を使用することにより、素子を軽量化、薄型
化できること、又生産工程において取り扱い易く、打抜
き加工等も可能であり、フィルム状素材から連続生産が
可能となるという特長をもっている。
又はスズなどの金属酸化物膜を形成した透明導電性フィ
ルムに関するものである。従来透明導電性フィルムは、
主にポリエステルフィルムヲヘーストシ、エレクトロル
ミネッセンスディスプレイや、エレクトロクロミックア
イスプレイの透明電極、デイフロスタ、透明ヒータ等の
面発熱体や、タッチパネル等の面スィッチ、赤外線反射
膜及び透明フレキシブル回路板等に広く用いられている
が、最近は液晶表示素子への適用も検討されている。こ
れは、従来のガラス電極にかわシブラスチックのフィル
ム状の！極を使用することにより、素子を軽量化、薄型
化できること、又生産工程において取り扱い易く、打抜
き加工等も可能であり、フィルム状素材から連続生産が
可能となるという特長をもっている。
しかしながらポリエステルフィルムは、通常２軸延伸法
により作製するため、複屈折を生じ、ＴＮ型（ねじれネ
マティック湯）液晶表示素子の透明電極としては用いる
ことができない。そのため、−軸延伸ポリエステルフィ
ルムが液晶素子用透明電極として検討されているが、こ
れを用いる場合は光学異方性の軸を液晶素子に用いられ
る偏光板の軸と厳密に一致させなくてはならず、作業性
が非常に悪い。また−軸延伸であるため、熱時の収縮率
に異方性がお９、光学的にも、外観的にも透明電極とし
ての性能を損なう。
により作製するため、複屈折を生じ、ＴＮ型（ねじれネ
マティック湯）液晶表示素子の透明電極としては用いる
ことができない。そのため、−軸延伸ポリエステルフィ
ルムが液晶素子用透明電極として検討されているが、こ
れを用いる場合は光学異方性の軸を液晶素子に用いられ
る偏光板の軸と厳密に一致させなくてはならず、作業性
が非常に悪い。また−軸延伸であるため、熱時の収縮率
に異方性がお９、光学的にも、外観的にも透明電極とし
ての性能を損なう。
七の他セルローズ系のフィルムなどが検討されているが
、耐熱性がなく、液晶表示素子の加工工程でかなり変形
するため使用することが困難である。
、耐熱性がなく、液晶表示素子の加工工程でかなり変形
するため使用することが困難である。
したがって、液晶表示素子用電極としては、透明性がよ
く、非晶質で、耐熱性のあるフィルムを用いなくてはな
らないが、発明者らが鋭意研究を行なった結果では、複
屈折が位相差にして４０度以内で、光弾性常数が２．０
■／Ｋｆ以下でおシ、２００℃における熱収縮率が５チ
以下である高分子フィルムが最も適していることを見出
したので、以下に詳細に説明する。
く、非晶質で、耐熱性のあるフィルムを用いなくてはな
らないが、発明者らが鋭意研究を行なった結果では、複
屈折が位相差にして４０度以内で、光弾性常数が２．０
■／Ｋｆ以下でおシ、２００℃における熱収縮率が５チ
以下である高分子フィルムが最も適していることを見出
したので、以下に詳細に説明する。
本発明に用いるベースフィルムは、まず第１にフィルム
の厚さにかかわらず４０度以上の位相差があってはなら
ない。例えば普通ＴＮ型液晶表示素子は明視野で用いる
が、フィルムの複屈折が大きな場合は、地が着色し、文
字のコントラストが小さくなるという欠点を生ずる。し
たがってフィルムの複屈折は全くないことが好ましいが
、生産工程におけるバラツキなども考慮した場合は、複
屈折の程度はフィルム厚によらず位相差にて４０度が限
界である。なお、この測定は位相差メータにて、フィル
ムの主軸方向の光波の速度差から生ずる位相差を測定す
ることにより得られる。
の厚さにかかわらず４０度以上の位相差があってはなら
ない。例えば普通ＴＮ型液晶表示素子は明視野で用いる
が、フィルムの複屈折が大きな場合は、地が着色し、文
字のコントラストが小さくなるという欠点を生ずる。し
たがってフィルムの複屈折は全くないことが好ましいが
、生産工程におけるバラツキなども考慮した場合は、複
屈折の程度はフィルム厚によらず位相差にて４０度が限
界である。なお、この測定は位相差メータにて、フィル
ムの主軸方向の光波の速度差から生ずる位相差を測定す
ることにより得られる。
第２に光弾性常数でおるが、これはフィルムに力を加え
変形した場合、複屈折の生じやすさを表わしている常数
である。
変形した場合、複屈折の生じやすさを表わしている常数
である。
例えば一般にフィルム電極を用いた液晶セルにおいては
、フィルム電極全セットする場合とか、フィルム電極を
接着する場合など、フィルム電極に張力や圧縮力が加わ
る場合があるが、この時大きな複屈折を生じたのでは第
１の場合と同じく、表示のコントラストが小さくなる。
、フィルム電極全セットする場合とか、フィルム電極を
接着する場合など、フィルム電極に張力や圧縮力が加わ
る場合があるが、この時大きな複屈折を生じたのでは第
１の場合と同じく、表示のコントラストが小さくなる。
さらに重要な点は、フィルム電極を用いる場合は、液晶
の曲面表示が行われる場合があり、フィルムにかなシの
張力及び圧縮力がかかるため、応力下で大きな複屈折を
生じる材料では前述の理由によυ、表示のコントラスを
小さくするため好ましくな９゜したがってフィルム電極
のベースフィルムは応力下でできるだけ複屈折を生じな
い材質が好ましい。発明者らが、種々の透明グラスチッ
クフィルムにつき検討した結果では、光弾性常数は２．
０ｍ／Ｋｆが限界であｐｌこれ以下の値が好ましい。一
般に、光弾性感度の小さな材料としてはヤング率が大き
く、シたがって歪が生じにくく、組成的には大きな分極
率を有する分子を有していないことが好ましい。
の曲面表示が行われる場合があり、フィルムにかなシの
張力及び圧縮力がかかるため、応力下で大きな複屈折を
生じる材料では前述の理由によυ、表示のコントラスを
小さくするため好ましくな９゜したがってフィルム電極
のベースフィルムは応力下でできるだけ複屈折を生じな
い材質が好ましい。発明者らが、種々の透明グラスチッ
クフィルムにつき検討した結果では、光弾性常数は２．
０ｍ／Ｋｆが限界であｐｌこれ以下の値が好ましい。一
般に、光弾性感度の小さな材料としてはヤング率が大き
く、シたがって歪が生じにくく、組成的には大きな分極
率を有する分子を有していないことが好ましい。
なお、光弾性常数の測定は、光弾性装置を用い、試料に
かけた応力と生じた光弾性縞の関係から求められる。
かけた応力と生じた光弾性縞の関係から求められる。
次にフィルムの熱的性質であるが、まず透明導電フィル
ムの作製時、一般には金属酸化物の安定化のため１００
℃から２００℃の範囲で熱処理を行なうが、フィルムの
収縮率が大きい場合には、金属酸化膜にしわやクラック
が入る。また、電極ｉ＋メタン加工する工程においては
、洗滌、乾燥等の工程を何回か通るが、フィルムの熱収
縮率が大きな場合は、ツクタン精度がそこなわれ、その
後の加工に支障をきたす。
ムの作製時、一般には金属酸化物の安定化のため１００
℃から２００℃の範囲で熱処理を行なうが、フィルムの
収縮率が大きい場合には、金属酸化膜にしわやクラック
が入る。また、電極ｉ＋メタン加工する工程においては
、洗滌、乾燥等の工程を何回か通るが、フィルムの熱収
縮率が大きな場合は、ツクタン精度がそこなわれ、その
後の加工に支障をきたす。
その他例えば液晶表示体を組込んだ機器が比較的茜温に
なる場合があるが、この様な猿境では電極フィルムが収
縮、変形し、その機能を損なう恐れが十分にある。
なる場合があるが、この様な猿境では電極フィルムが収
縮、変形し、その機能を損なう恐れが十分にある。
この様な理由から、例えば液晶用電極に用いるフィルム
は耐熱性が必要であり、発明者らが種々火討した結果で
は、最低限度２００℃における収縮率が５％以下である
ことが必要である。
は耐熱性が必要であり、発明者らが種々火討した結果で
は、最低限度２００℃における収縮率が５％以下である
ことが必要である。
以上述べたごとく、液晶用フィルム電極に用いられるベ
ースフィルムは、少なくとも複屈折が位相差にして４０
度以内であり、光弾性常数が２．０ ｍ／縁以下でアシ
、熱収縮率が２００℃で５％以下であることが必要であ
る。
ースフィルムは、少なくとも複屈折が位相差にして４０
度以内であり、光弾性常数が２．０ ｍ／縁以下でアシ
、熱収縮率が２００℃で５％以下であることが必要であ
る。
以上述べ之特性をあわせ持つ高分子フィルムに、金属酸
化物等の透明導電膜を付与した透明導電性フィルムとす
ることによシ、軽く七、薄く、フレとが可能となると共
に、生産面においては取扱いが容易で、打抜き加工も可
能であり、生産性を飛躍的に向上することができる。
化物等の透明導電膜を付与した透明導電性フィルムとす
ることによシ、軽く七、薄く、フレとが可能となると共
に、生産面においては取扱いが容易で、打抜き加工も可
能であり、生産性を飛躍的に向上することができる。
フィルム電極のベースフィルムとしては、これらの制約
の他にもフィルムの腰の強さ、表面硬匿、透明性、水そ
の他のバリヤー性、耐薬品性等の制約もあるが、前述の
３項目の特性は絶対に不可欠な要件である。
の他にもフィルムの腰の強さ、表面硬匿、透明性、水そ
の他のバリヤー性、耐薬品性等の制約もあるが、前述の
３項目の特性は絶対に不可欠な要件である。
なお本発明に用いられる透明導電膜としては、例えば酸
化インジウム、酸化スズ、酸化チタン、酸化カドミウム
、インジウム−スズ酸化物、スズ−アンチモン酸化物、
カドミウム−スズ酸化物等がある。又、透明導電膜の形
成法としては、真空蒸着法、イオンル−ティング法、ス
パッタ法、反応性蒸着法、反応性イオンブレーティング
法、反応性スフ４ツタ法、プラズマ反応蒸着法などが用
いられる。又用途によシ耐摩耗性、密着性が必要な場合
は、フィルムにアンダーコートを行なってもよい。アン
ダーコートとしては、熱硬化性樹脂、υＶ硬化型樹脂、
カップリング剤、酸化物膜などがある。
化インジウム、酸化スズ、酸化チタン、酸化カドミウム
、インジウム−スズ酸化物、スズ−アンチモン酸化物、
カドミウム−スズ酸化物等がある。又、透明導電膜の形
成法としては、真空蒸着法、イオンル−ティング法、ス
パッタ法、反応性蒸着法、反応性イオンブレーティング
法、反応性スフ４ツタ法、プラズマ反応蒸着法などが用
いられる。又用途によシ耐摩耗性、密着性が必要な場合
は、フィルムにアンダーコートを行なってもよい。アン
ダーコートとしては、熱硬化性樹脂、υＶ硬化型樹脂、
カップリング剤、酸化物膜などがある。
以上述べたごとく、本発明は種々の用途に適した特性の
優れた透明導電性フィルムである。
優れた透明導電性フィルムである。
以下実施例に従って本発明を更に詳細に説明する。
実施例１
複屈折が位相差にして２０度、光弾性常数が１．７５ｗ
ｍ／〜、２００℃における熱収縮率が１．０ ％以下の
性能を有する、ｌＯＯμ厚のポリエーテルサルフオンフ
イルムにインジクム酸化物膜を３０ＯＡ厚に、反応性ス
フ４ツタにより形成した。この様にして得られた透明導
電性フィルムは６００℃ｍにおける透過率が８４チで、
シート抵抗が４００Ω／口であシ、光軸が直交した２枚
の偏光板ではさんでみたが、複屈折はほとんど与られな
かった。又このフィルムを光軸が直交する２枚の偏光板
ではさみ、手で張力を加えてみたが、複屈折はほとんど
生ぜず、液晶セルへの加工に十分耐えるものであった。
ｍ／〜、２００℃における熱収縮率が１．０ ％以下の
性能を有する、ｌＯＯμ厚のポリエーテルサルフオンフ
イルムにインジクム酸化物膜を３０ＯＡ厚に、反応性ス
フ４ツタにより形成した。この様にして得られた透明導
電性フィルムは６００℃ｍにおける透過率が８４チで、
シート抵抗が４００Ω／口であシ、光軸が直交した２枚
の偏光板ではさんでみたが、複屈折はほとんど与られな
かった。又このフィルムを光軸が直交する２枚の偏光板
ではさみ、手で張力を加えてみたが、複屈折はほとんど
生ぜず、液晶セルへの加工に十分耐えるものであった。
又この透明導電性フィルムを２００℃にて加分アニール
したが、光学特性はほとんど変化しなかった。
したが、光学特性はほとんど変化しなかった。
実施例２
複屈折が位相差にして関度以下、光弾性感度が１．５ｍ
／〜であり、２００℃における収縮率が３％の７５μ厚
のポリサル７オンフイルムを用い、インジウム−スズ酸
化物を２５ＯＡの厚さに反応性入／４’ツタにて形成す
ることにより透明導電性フィルムを得た。このフィルム
の透過率は６００℃ｍで８５チ、シート抵抗は５００Ω
／口でらシ、複屈折が少なく、応力、熱によっても光学
特性がほとんど変化せず、ＴＮ型液晶表示素子の透明電
極としては良好なものであった。
／〜であり、２００℃における収縮率が３％の７５μ厚
のポリサル７オンフイルムを用い、インジウム−スズ酸
化物を２５ＯＡの厚さに反応性入／４’ツタにて形成す
ることにより透明導電性フィルムを得た。このフィルム
の透過率は６００℃ｍで８５チ、シート抵抗は５００Ω
／口でらシ、複屈折が少なく、応力、熱によっても光学
特性がほとんど変化せず、ＴＮ型液晶表示素子の透明電
極としては良好なものであった。
実施例３
複屈折が位相差にして初度であり、光弾性常は０．９ｍ
／陽であ５．２００℃の収縮率が５％である透明エポキ
シフィルム（０−２ｍ厚）に反応性イオ／ブレーティン
グにて、インジウム−スズ酸化物膜を形成し、透明導電
性フィルムを作製した。これを用いて液晶表示体用セル
を作製した。この電極を光軸が直交した２枚の偏光板で
はさんだ状態で曲げてみたが、はとんど複屈折を生じな
かりた。
／陽であ５．２００℃の収縮率が５％である透明エポキ
シフィルム（０−２ｍ厚）に反応性イオ／ブレーティン
グにて、インジウム−スズ酸化物膜を形成し、透明導電
性フィルムを作製した。これを用いて液晶表示体用セル
を作製した。この電極を光軸が直交した２枚の偏光板で
はさんだ状態で曲げてみたが、はとんど複屈折を生じな
かりた。
又１８０℃にてアニールしｆｃ場合、若干軟化はしたが
、金属酸化物層にクラックは生じることなく、この様に
して得られた透明電極はＴＮＷ液晶表示体用電極として
用いることが可能であった。
、金属酸化物層にクラックは生じることなく、この様に
して得られた透明電極はＴＮＷ液晶表示体用電極として
用いることが可能であった。
比較例１
複屈折が位相差で初度、光弾性常数は２．５＋ｉｎ／縁
、２００℃における収縮率が１．０％である１００μ厚
のＦＥＰテフロンフィルムの片側を放電処理を行ない、
インジウム−スズ酸化物を蒸着し、１８０℃にて１時間
熱処理を行なうことＫより透明導電性フィルムを作製し
た。このフィルムの透明性は滉％（６００℃ｍにおいて
）であシ、表面抵抗は５４０Ω／口であった。しかしな
がら、この透明導電性フィルムを光軸が直交した２枚の
偏光板にはさんだ状態で手で張力を加えてみると、かな
りの複屈折を生じた。この結果からＦＦ１Ｐテフロンは
、ＴＮ型液晶セル用透明電極のベースフィルムとしては
、使用不可能であった。
、２００℃における収縮率が１．０％である１００μ厚
のＦＥＰテフロンフィルムの片側を放電処理を行ない、
インジウム−スズ酸化物を蒸着し、１８０℃にて１時間
熱処理を行なうことＫより透明導電性フィルムを作製し
た。このフィルムの透明性は滉％（６００℃ｍにおいて
）であシ、表面抵抗は５４０Ω／口であった。しかしな
がら、この透明導電性フィルムを光軸が直交した２枚の
偏光板にはさんだ状態で手で張力を加えてみると、かな
りの複屈折を生じた。この結果からＦＦ１Ｐテフロンは
、ＴＮ型液晶セル用透明電極のベースフィルムとしては
、使用不可能であった。
Claims (1)
- 複屈折が位相差にして４０１ｆ以内で、光弾性常数が２
．０ｍ／々ｍ下々あり、２００℃における熱収縮率が５
％以下である高分子フィルムに、金属酸化物膜を形成し
たことを特徴とする透明導電性フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092683A JPS59158015A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092683A JPS59158015A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 透明導電性フイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59158015A true JPS59158015A (ja) | 1984-09-07 |
Family
ID=12317284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3092683A Pending JPS59158015A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59158015A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61279003A (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-09 | コニカ株式会社 | 透明導電性フイルム |
| JPH026126A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-10 | Nitto Denko Corp | 透明導電性積層体 |
| JP2009143026A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Tosoh Corp | 透明導電性フィルム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517135A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-06 | Teijin Ltd | Liquid crystal display body |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP3092683A patent/JPS59158015A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517135A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-06 | Teijin Ltd | Liquid crystal display body |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61279003A (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-09 | コニカ株式会社 | 透明導電性フイルム |
| JPH026126A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-10 | Nitto Denko Corp | 透明導電性積層体 |
| JP2009143026A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Tosoh Corp | 透明導電性フィルム |
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