JPS59156994A - るつぼからモノクリスタルを引出すための装置 - Google Patents

るつぼからモノクリスタルを引出すための装置

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Publication number
JPS59156994A
JPS59156994A JP59029702A JP2970284A JPS59156994A JP S59156994 A JPS59156994 A JP S59156994A JP 59029702 A JP59029702 A JP 59029702A JP 2970284 A JP2970284 A JP 2970284A JP S59156994 A JPS59156994 A JP S59156994A
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JP
Japan
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platform
hoisting
seed crystal
tension member
holder
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Pending
Application number
JP59029702A
Other languages
English (en)
Inventor
ブルクハルト・アルテクリユ−ガ−
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
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Publication date
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Publication of JPS59156994A publication Critical patent/JPS59156994A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、少なくとも1つの巻上げ可能な引張り部材、
たとえば少なくとも1つのロープをブrしてるつぼから
モノクリスタルを引出すための装置であって、るつほの
上伸に配置された引張シ部拐の端部に種子りリ諷タル保
持体が固定されておシ、該種子クリスタル保持体が、ク
リスタル軸線を中心に回転されるフ0ラットフオーム上
に配置されている行程−駆動装置と結合されている形式
のものに関する。
このような形式の装置はドイツ連邦共和国特許出願公開
第3116916号明細書によシ公知である。引出し行
程中のプラットフォームの回転は、種子クリスタル保持
体に相応する回転を /伝達するために役立ち、従ってクリスタルのすでに引
出された部分もるつほに対して連続的な回転を行ない、
その回転数は15〜20 r、p、m。
である。しかし公知の装置は唯1つのロープのみを有し
ておシ、このロープは巻上はドラムに接線方向で走入す
るまで垂直に延びかつお11子クリスタル保持体もしく
はクリスタルと一緒に一種の振子を形成する。プラット
フォームの回転運動が罹災にクリスタルに伝達されるの
に対して、振子運動は幾つかの問題を惹起し、とりわけ
自由なロープ長さが引出しプロセスの始めにどうしても
6mになり、このばあいとの値はその後はなお増加する
びにロープ長さは、振子運動が緩衝されているかあるい
は拡大されるか全決定する。限界回転数Wkもしくは限
界ロープ長さLkが存在し、それを超過するさいに安定
的な回転はもはや不可能である。このような大きさは以
下のような関係にある: 2 クリスタル回転のだめの安定的な回転数範囲は、公知の
構成のばあいにはほぼ2.5mのロープ長さで最高はぼ
15〜20 r、p、m、に限定されている。50 r
、p、m、及びそれ以上の比較的ぬい回転数は引出しプ
ロセスから屋まれでおり、しかし従来は、クリスタルが
障害に基づく俗解の対流によって振動されるので所痒の
回転数は達成されず、従って引出し70ロセスの継続は
不可能である。
安定性の一梓出は、−曲では1力を、かつ他面では遠心
力を受ける質量Mで長さLの回転する振子で必ると見な
されることに基ついて而単に行なうことができる。韓出
によシ限界回転数と敬子長さく自由なロープ長さ)との
関係か生じ、この関係は以下の表によって示される:要
するに、質量Mにおける遠心力と戻り力の比例性のため
に、たとえば重いJlj4子クリヌクリスタル保持体て
質量が増大したとしてもさして問題にならない。しかも
成長したクリスタルによってl、心の移動が行なわれる
と、引出しプロセスの開始時の有効伝子長さは、長くな
るクリスタルによって再び短かくされるたけ長くされる
。これは、鞠子クリスタル保持体とクリスタルの質量が
均衡する以後は共追の重心が引出し連層のほぼ半分で再
び上方へ移動するからである。
表中に示された限界回転以1直は、限界回転数な均4)
ことk ri味する。しかし限界回転数もしくは限が振
子長さ以上では、振子Gフ、さらに外方ヘセベ励妊れる
(年女定状態)。)1え終位1汽は、戻シカが変向に対
して逓増的に上昇するような変向範囲に達する。しかし
このような糾躊位1置は引出しプロセスのために支えき
れない。
本発明の課題は、前述の形式の装置を、振子に対するク
リスタル支持部の頑斜が著しく押えられるように改良す
ることである。とりわけ、クリスタルの回転数全従来使
用された回転数に較べてかなシ高めることができるよう
に公知の装置を改良することである。
このような課題を解決するために本発明では、プラット
フォームに位置する三角形の角から、はぼ同じ長さの3
つの引張シ部材が下方へ種子クリスタル保持体に向かっ
て案内されておりかつ共通の結合個所で互いに結合され
ているようにした。このような形式で安定的な三点支持
が達成され、従って自由なロープ長さはいずれにせよ振
子の形式に関与していない。
このばちいとりわけ有利には、6つの引張シ部材のだめ
の共通の結合個所ができるだけ下方へ移されている。従
って、柚子クリスタル保持体自体を6つの引張シ部材(
ロープ)のだめの共通の固定個所として形成すると有利
である。
このような構成に基づいて、あらゆるばあいに種子クリ
スタル保持体の下側に位置するクリスタルがなお振子を
形成する。しかしただこのためにだけ、限界回転数は、
笑味の引出し運転時にもはや達成されない程の高さにあ
る。
このような装置が特別な固定状態を有しているので、振
子運動のための励起力はいずれにせよ極めて小さい。す
でに述べたように励起力は、主にるつは内の溶解液の対
流連動によって惹起される。それ故に実際の実験では、
プラットフォームに位置する三角形の1fiij長を比
較的短くすることができる。すでに、三角形の角が半径
方向でクリスタルの回転蝿1線から5c1n離されてい
るばあいのために、一般に変向を可能にするように質量
MO= 51#にとって少なくとも0.1kpの必要な
力が算出される。しかしこのような力は正常運転時には
生じない。相応する妨害あるいは励起力が相応する限界
値以下にある眠シでは、重心はもはや中心位置から連動
されない。
このような初期−安定性は、振子長さもしくは回転数の
ための限界値の上側でも安定性な均衡をもたらす。さら
に本発明の解決策にかいては、初期質ftMo (43
子クリスタル保持体)の増加力3安定性を高める。この
ことは、すでに述べたように、一本ロープ支持のばあい
には不可能である。
支持するケースが真空寮によって形成されるような装置
内に柚子クリスタル保拷俳旨心定めするために、少なく
とも1つの引張り部材に長さ調整装置が配置4されてい
るととりわけ有利である。クリスタルの回転連動のため
にノf6 iU%プラットフォームとしてもみなされる
プラットフォームは一般的に回転体として形成される。
このばあい引張り部材は個々に、プラットフォームにお
りる相応する孔あるいはスリットに辿って案内される。
しかし組立てに関しては、プラットフォームがリング円
板として形成されていてかつその直径か三角形の角ラス
厖つ一ξ廼びる円形と同じ大きさか、あるいはそれより
大きい開口を有しているはあいX特に有利である。
本発明の別の実施例により、プラットフォーム上に、そ
れに清って縦移動可能な巻上はドラムを有する駆動水平
軸が配置されており、前記巻上げドラムに6つの引張り
部材が巻上けられ、該6つの引張り部材のうち少なくと
も1つの引張シ部材が変向ローラ金倉して側方へ変向さ
れることによシ簡単な装置が得られる。このばあいとり
わけ有利には、巻上はドラムの局面が、6つの引張9部
材を受容かつ余肉するだめの相応するリード−の6つの
ら旋状のみそを俯えている。2つのこれらの引張シ部材
は巻上げドラムから直線的に共通の結合個所の方向に延
びており、これに対して第6の引張り部材は、フ0ラッ
トフオームを通る貫通個所における引張り部材の中心点
が三角形の角に位置しているように変向ローラ金倉して
側方へ変向される。このばりいとりわけ有利には、変向
ローラは水平方向に調整可能に配置されておシ、従って
柚子クリスタル保持体の調整は装置の内側において必定
めの方向で可能である。前述のはあいには唯1つの巻上
げドラムで十分である。しかし引張り部材の巻上は及び
案内のために、同期的に1.t4動されなければならな
い2つあるいは6つの分配された巻上げドラムを設ける
ことが可能である。
本発明のさらに有利な実施例によれば、プラットフォー
ム上に、その周シに分配された6つの巻上げドラムが配
置されておシ、該巻上げドラムがその巻上げ速度に関連
して同期的に駆動されている。このばあいしかも、駆動
される水平の軸において巻上げドラムを長さ移動させな
くてもよい。これはつまシ巻上げあるいは繰出すさいの
巻上げドラムにおける引張り部材の移動が6つの全ての
巻上げドラムにおいて同方向で行なわれ、従ってこのよ
うな移動は、すべてのばあいにプラント7オームの関連
する直径における周速度に加えられるからである。しか
し巻上げドラムにおける引張シ部材の軸方向の移の 両速度は、プラット7オームー周速度もしくは回転数に
較べて小さい。
以下に図示の実施例につき本発明を説明する。
第1図は、極めて簡略化された図面において、すなわち
チャージ開口、監視装置及びil:):整装置を省略し
た図面において、鉛直な軸線を有するほぼ円筒状のボイ
ラとして形成されている真空室1を示す。真空室はその
上側に、同軸的な円筒状のスロート2全有しており、該
スロートに回1jノ可能なプラットフォーム3のだめの
図示しない回転支承部が配置されている。回転支承部は
、自由開口3aを下方に有するように形成されている。
プラットフォーム3は、リング円板として形成されてい
て、スロート2に対して同心的に配置されていてかつそ
の下側にやは9図示されないベルト車を備えており、該
ベルト車を介してVベルト4が案内されている。プラッ
トフォームの外側に位置する別のベルト車5は、モータ
8及び減速ギヤ装置9から取る回転駆動装置Iの被駆動
軸6に支承されている。モータ8は広い回転数範囲で調
整される。減速ギヤ装置9は、支持アングル部材10を
介して真空室1の上側に固定されている。所定の形式で
、プラットフォーム3は、真空室1及びスロート2の共
通の軸線と一致する鉛直な軸線を中心とする回転運動を
行なう。
プラットフォーム3上には、該プラットフォームと一緒
に回転可能に、2つの支承台11゜12が配置されてお
9、これらの支承台に水平な軸13が支承されている。
この軸にはさらに巻上げドラム14が縦移動可能に配置
されてお9、しかし軸13に対しては回転不能であり、
すなわち巻上げドラムは軸13によって強制的に連行さ
れる。巻上げドラム140周壁には6つのら旋状のみそ
が設けられており、これらのみそは概略的にのみ示され
ていて、かつみそ内に5つの巻上げられる引張り部材が
案内されている。このような巻上げ装置の上側端部が巻
上げドラム14と不動に結合されている。巻上げドラム
は、引張シ部材が巻上げドラムに接線方向で走入する個
所が常にプラット7オーム3に関して同じ相対位置にあ
る寸法たけ軸13に宿って軸方向に移動可能である。こ
のことは、ら旋状のみそ内に係合しかつプラットフォー
ム自体に固定されている相応の案内部制によって内単に
達成される。
第1図から判るように、2つの引張9部材15.16は
、該引張9部材が巻上げドラムを接線方向で離れる個所
から、共通の結合個所18で合流するまで極めてとがっ
た角度で下方へ案内される。この顔合個所は、とのはあ
い種子クリスタル保持体19のすぐ上側に位置している
第6の引張り部材17は巻上はドラム14金離れた後に
、まず水平方向で変向ローラ20へ案内されるが、この
変向ローラは、支承部21によってアングル支持部材2
2に置屋されていて、アングル支持部材自体は縦孔を介
してプラットフォーム3とねじ結合されており、従って
変向ローラ20を巻上げドラム14に対して適当に調節
することによって引張り部材相互の縦Kl・・1整が行
なわれる。もちろん引う艮9部材の単数あるいは複数が
長さ調整装置38を備えていることができ、この長さ両
釜装置は、ボーデンワイヤのための後調整シさ置によシ
周知であるような形つて、共通の結合個所18がプラッ
トフォーム30回転用!i hiと正確に一致すること
ができ、その結果種子クリスタル保持体19のあらゆる
偏心性が取除かれる b子りリスタル保持体19内に、所m1種子クリスタル
あるいは核が締付けられており、この種子クリスタル保
持体から出発するクリスタル23が細いくび24及びシ
ョルダ25をII蛇て引出される。この引出しは、加熱
コイル28によって取囲まれたるっぽ27内にある俗解
液26から行なわれる。引出し中に、クリスタル23は
プラットフォーム3の回転によってその縦軸線を中心に
して回動せしめられる。チョクラルスキ(Ozochr
alski )−プロセスとして知られているこの引出
しプロセスの詳細な説明は、周知技術であるので省略す
る。
軸13とウオーム歯車29が不動に結合されておシ、該
ウオーム歯車はウオーム3oにょって駆動される。この
ためにウオーム30が4IllI31に固定されており
、該軸31はその下方端部で支承部32を介してプラッ
トフォーム3に、かつ上方端部で減速ギヤ装置33に支
承されており、該減速ギヤ装置自体はモータ34によっ
て1駆動される。やはシ回転数調整されていてかつばあ
いによっては切換え装置も有しているモータ34によっ
て、行程−駆動装置35が形成され、該行程−駆動装置
によって6つの全ての引張シ部材15.’16.17が
同時九巻上げドラム14に巻上けられあるいはこれから
繰出されることができ、従って共通の結合イー所′18
が常にプラットフォーム3の鉛直方向の回転軸腕に沿っ
て運動される。所定の形式で、釘程−駆動装置35はプ
ラットフォーム3と一緒に強制的に回転する。プラット
フォームは上方へ破線だけで示されたフード36によっ
て被われている。このようなフード36上に、図示され
ない形式で減速ギヤ装置33が固定されておシ、従って
軸31が見えるように支承されている。
第2図は、周囲に等間隔で分配された6つの行程−駆動
装置35a、351)、35C’r有する円形のプラッ
トフォーム3の平面図を示しておシ、前記行程−1駆動
装置はすべて同じ構成を有していてかつ軸13、巻上げ
ドラム14、ウオーム歯車29及び駆動するウオーム3
0から成る。さらに、支承台11,12に支承された軸
は、プラットフォーム30回転軸、W3に対して半径方
向に向いていてかつ巻上げドラム14のほぼ重心を通っ
て延びる一平面に対してほぼ垂直に延びている。6つの
引張シ部材15,16.1Tはこのばあいも、種子クリ
スタル19のすぐ上方の共通の結合個所18に向いてお
り、従ってクリスタルの所望の三点、支持が得られる。
巻上げドラム14は同じ直径を有していてかつ同期駆動
のためにウオーム30が互いに強制的に連結されており
、かつしかも有利には第2図において一点鎖線で示され
ている根状のチェーン37によって連結されている。こ
のばあい、ウオーム30は、第1図に示す実施例に類似
するような形式で駆動することで十分である。
引張シ部材15.16.17には、リンクチェーン、ボ
ールチェーンあるいは有利にはワイヤロープが使用され
る。しをし周知技術では相応してねじれに強く構成され
ていなければならずかつ従って巻上けに対する著しい曲
はモーメントも有しているような唯1つのロープが使用
されるのに対して、本発明による複式構成における引張
り装置は実際に回転モーメントを伝達する必要がなく、
従ってロープは細く、かつこのことによってたわみ弾性
的に構成されることができ、さらに巻上けは著しくrハ
1単になる。その結果、単線のロープだけでなく、小さ
な直径及び著しく短い長さの巻上げドラム’(r +5
12用することもでき、従って装置全体は、6つの引張
シ部材を配置するにもかかわらず著しくコンパクトにさ
れかつ確実に構成される。
本発明で示された三角形は、もちろん引5R#)部材の
幾可学的な位置全述べるだめの補助構成である。プラッ
トフォームに上置するこのような三角形は、その角によ
って6つの点を規定しており、該点を通って引張シ部材
の縦IIqlI線が固定個所と巻上げドラムとの間に延
ひそおり、従って前述の三点支持が得られる。三角形は
、もちろん不等辺三角形であるが、しかもできる限シ均
等な力分配全考慮して、この三角形は正三角形として見
なすようにする。当該の三角形は、周方向でプラットフ
ォーム3に対して決して固定的な位置ではない。たとえ
ば第2図による配置から出発して引張シ部材(ロープ)
が巻上げもしくは繰出されるばあいに、当該の三角形は
プラットフォーム3に対して相対的にゆっくりした回転
運動を行ない、しかしその角速度は、運転時のプラット
フオーム30角速度に較べて無視できる程である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の装置の第1実施例を示す部分的に破断
した斜視図、第2図は第2実施例を示す装置のプラット
フォームの平面図である。 1・・・真望室、2・・・スロート、3・・・プラット
フォーム、3a・・・自由開口、4・・・Vベルト、5
・・。 ベルト車、6・・・被駆動軸、7・・・回転駆動装置、
8・・・モータ、9・・・減速ギヤ装置、10・・・支
持アングル部材、11.12・・・支承台 13・・・
軸、14・・・巻上げドラム、15.16.17・・・
引張シ部材、18・・・結合個所、19・・・柚子クリ
スタル保持体、20・・・変向ローラ、21・・・支承
部、22・・・アングル支持部材、23・・・クリスタ
ル、24、・・・細いくび、25・・・ショルダ、26
・・・溶解液、2T・・・るつぼ、28・・・加熱コイ
ル、29・・・ウオーム歯車、30・・・ウオーム、3
1・・・軸、32・・・支承部、33・・・減速ギヤ装
置、34・・・モータ、3 ’:l −3b a −3
5b −35C−・・行程−鳴動装置、36・・・フー
ド、37・・・チェーン、38・・・長さ調整装置 (ほか1名) 〜区 致

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 少なくとも1つの巻上げ可能な引張シ部材を介し
    てるつぼからモノクリスタルを引出すだめの装置であっ
    て、るつほの上側に配置された引張り部材の端部に種子
    クリスタル保持体が固定されており、該種子クリスタル
    保持体が、クリスタル軸線を中心に回転されるプラット
    フォーム上に配置されている行程−ルヘ動装置と結合さ
    れている形式のものにおいて、プラットフォーム(3、
    )に位置する三角形の角から、はぼ同じ長さの6つの引
    張り部材(15,16,17)が下方へ種子クリスタル
    保持体(19)に向かって案内されておりかつ共通の結
    合個所(18)で互いに結合されていることを特徴とす
    るるつばからモノクリスタルを引出すための装置。 、2.結合個所(18)が種子クリスタル保持体(19
    )の範囲に位置している特許請求の範囲第1項記載の装
    置。 5、 少なくとも1つの引張シ部材(11)の内側に長
    さ調整装置(38)が配置されている特許請求の範囲第
    1項記載の装置。 4、 プラットフォーム(3)が開口(3a)e有する
    リング円板として形成されてお9、該開口の直径は、三
    角形の角全通って蝙ひる円形と同じ大きさか、あるいは
    それよシ大きい特許請求の範囲第1項記載の装置。 5、 プラットフォーム(3)上に、それに宿って豹l
    [移動可能な巻上げ・ドラム(14)を有する駆動水平
    軸(13)が配置されており、前記巻上はドラムに6つ
    の引張9s材(15゜16.17)が巻上げられ、該6
    つの引張シ部材のうち少なくとも1つの引張シ部@(1
    7)が変向ローラ(20)’に介して側方へ変向される
    特許請求の範囲第1項記載の装置。 6、 プラットフォーム(3)上に、その周りに分配さ
    れた6つの巻上はドラム(14)が配置されておシ、該
    巻上げドラムがその巻上げ速度に関連して同期的に駆動
    されている特許ffN求の範囲第1項記載の装置。
JP59029702A 1983-02-22 1984-02-21 るつぼからモノクリスタルを引出すための装置 Pending JPS59156994A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE33060495 1983-02-22
DE19833306049 DE3306049A1 (de) 1983-02-22 1983-02-22 Vorrichtung zum ziehen eines einkristalls aus einem tiegel

Publications (1)

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JPS59156994A true JPS59156994A (ja) 1984-09-06

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ID=6191464

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JP59029702A Pending JPS59156994A (ja) 1983-02-22 1984-02-21 るつぼからモノクリスタルを引出すための装置

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DE (1) DE3306049A1 (ja)
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IT (1) IT1175935B (ja)
NL (1) NL8400016A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62171987A (ja) * 1986-01-22 1987-07-28 Komatsu Denshi Kinzoku Kk Cz単結晶製造装置及び直径制御装置
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Publication number Publication date
NL8400016A (nl) 1984-09-17
IT8419564A0 (it) 1984-02-10
IT1175935B (it) 1987-08-12
DE3306049A1 (de) 1984-08-23
FR2541315A1 (fr) 1984-08-24

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