JPS59156688A - 三点把持形ハンド - Google Patents
三点把持形ハンドInfo
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- JPS59156688A JPS59156688A JP2834083A JP2834083A JPS59156688A JP S59156688 A JPS59156688 A JP S59156688A JP 2834083 A JP2834083 A JP 2834083A JP 2834083 A JP2834083 A JP 2834083A JP S59156688 A JPS59156688 A JP S59156688A
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- Japan
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- gripping
- levers
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- lever
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
クと称す】ケ外側力）ら挾みつけるだけでなく、円１−
筒状の丸物ワークの場合は内側から張らせることＬこよ
って三点把持が容易に行なえる三点把持形ハンドに関す
る。 工作機械などに設けるワーク移送用θＪロボツトは丸物
ワークの径が変ろうとも把持中心点がノ１ンドの所定位
置に固定される形態のものが好ましくしかも２点よりも
３点で支持できる構造のものが把持安定性にすぐれてい
るので好都合である。 さらに丸物ワークの形状に」＝つてダ［１からで５内側
からでも把持てきると共に一回転中でも抵抗なく把持で
きる如きノ１ンド構造が要求されることが多い。 しかし乍ら従来のこの種ノ１ンドににかかる所条件を悉
く満足し得るものが単体とじてに無かったために、幾つ
かのハンドを用意しておし１て必要に応じ適応するハン
ドに取替えるようにしており、従って取扱いが面倒であ
ると共に、部品数増によるコスト高が避けられなかった
。 このような実状に対処して本発明は単体として前述する
要求内容に十分応えることか可能す，、ン２ー ドを完成するに至ったものであって、各種のワークにえ
１し適用できて汎用性に冨み−かつ移送の際の位置決め
か容易で精度が高く、シかもノＡンドのｙ＆のためのロ
スタイムの解消による加工処理効率の向上かにかわ、て
、もってワーク移送の自動化推進をより果させることケ
本発明は目的とするものである。 そのために本発明は固定点を中心とする円周上の３等分
位置に支点を夫々持つ固定部材と、前記各支点に一端を
支持させそ揺動可能に夫々設けたレバーと、前記レバー
の自由端側にそｎ等の揺動軸と平行な軸の周りの回転自
在となして夫々取着した把持用ローラと、前記固定点を
中心とする揺動可能に設け、かつ前記レバー上の各支点
から等距離をなす個所Ｃ，：対し摺動可能に結合する摺
動結合部ケ固足点ケ中心とする円周上の３等分位置に夫
々持つ支持部材とこの支持部材を揺動せしめるアクチュ
エータとから三点支持形ハンｌ’ −＞ ｔｌ ５’ｘ
していて一三つの把持用ローラレコ丸物ワ−りの円筒面
に対し法線方向から接近するのでＯゴなくて法線３− に角度を持つ斜め方向から接近するために接触ｌＳの衝
撃が緩和され５ると共に、ワークが回転中のｊ烏合にＧ
１把持用ローラが接触と同時に従回転するために制動を
与えることなく−従って円滑な求心把持が可能であって
、ここに所！ｇ１の目的は十分に達成さオ］、る。 以下、本発明の１実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。 第１図および第２図において、ｌｌＩＣゴ固定部材、＋
２ ａ） 、 ＋２ｂ） 、 ＋２０） ｉ：Ｉレバー
、 ［３ａ） 、＋３ｂｌ 、１３ｃｌ Ｇ１把持用ロ
ーラ、（４）は支持部ＩＪ’、（５＋にアクチュエータ
例えばパルスモータであって〜そね等ｈ 械要素によっ
て三点把持形）＼ンドが構成される。 固定部材＋ｌ＋に三叉状板片から形成さねていて、固定
点
って三点把持が容易に行なえる三点把持形ハンドに関す
る。 工作機械などに設けるワーク移送用θＪロボツトは丸物
ワークの径が変ろうとも把持中心点がノ１ンドの所定位
置に固定される形態のものが好ましくしかも２点よりも
３点で支持できる構造のものが把持安定性にすぐれてい
るので好都合である。 さらに丸物ワークの形状に」＝つてダ［１からで５内側
からでも把持てきると共に一回転中でも抵抗なく把持で
きる如きノ１ンド構造が要求されることが多い。 しかし乍ら従来のこの種ノ１ンドににかかる所条件を悉
く満足し得るものが単体とじてに無かったために、幾つ
かのハンドを用意しておし１て必要に応じ適応するハン
ドに取替えるようにしており、従って取扱いが面倒であ
ると共に、部品数増によるコスト高が避けられなかった
。 このような実状に対処して本発明は単体として前述する
要求内容に十分応えることか可能す，、ン２ー ドを完成するに至ったものであって、各種のワークにえ
１し適用できて汎用性に冨み−かつ移送の際の位置決め
か容易で精度が高く、シかもノＡンドのｙ＆のためのロ
スタイムの解消による加工処理効率の向上かにかわ、て
、もってワーク移送の自動化推進をより果させることケ
本発明は目的とするものである。 そのために本発明は固定点を中心とする円周上の３等分
位置に支点を夫々持つ固定部材と、前記各支点に一端を
支持させそ揺動可能に夫々設けたレバーと、前記レバー
の自由端側にそｎ等の揺動軸と平行な軸の周りの回転自
在となして夫々取着した把持用ローラと、前記固定点を
中心とする揺動可能に設け、かつ前記レバー上の各支点
から等距離をなす個所Ｃ，：対し摺動可能に結合する摺
動結合部ケ固足点ケ中心とする円周上の３等分位置に夫
々持つ支持部材とこの支持部材を揺動せしめるアクチュ
エータとから三点支持形ハンｌ’ −＞ ｔｌ ５’ｘ
していて一三つの把持用ローラレコ丸物ワ−りの円筒面
に対し法線方向から接近するのでＯゴなくて法線３− に角度を持つ斜め方向から接近するために接触ｌＳの衝
撃が緩和され５ると共に、ワークが回転中のｊ烏合にＧ
１把持用ローラが接触と同時に従回転するために制動を
与えることなく−従って円滑な求心把持が可能であって
、ここに所！ｇ１の目的は十分に達成さオ］、る。 以下、本発明の１実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。 第１図および第２図において、ｌｌＩＣゴ固定部材、＋
２ ａ） 、 ＋２ｂ） 、 ＋２０） ｉ：Ｉレバー
、 ［３ａ） 、＋３ｂｌ 、１３ｃｌ Ｇ１把持用ロ
ーラ、（４）は支持部ＩＪ’、（５＋にアクチュエータ
例えばパルスモータであって〜そね等ｈ 械要素によっ
て三点把持形）＼ンドが構成される。 固定部材＋ｌ＋に三叉状板片から形成さねていて、固定
点
〔０〕を中心とする円周上の３等分位置にピン［６ａ
ｌ 、 ［６ｂｌ 、 ＋６０１を立設固定していて、
各ピンｆ６ａ）、１５ｂｌ、＋６０） を支点となし
ている。 レバー［２ａｌ 、＋２ｂｌ 、＋２（りレズ寸法形状
いずれも同じであって、短冊状の板片の一端を夫々前Ｖ
Ｃ支点１６ａ）。 ＋６ｂｌ 、 （６ａ） ｃこ回動自在に枢支して、各
支点［６ａＪ 、１６ｂｌ 。 ４−
ｌ 、 ［６ｂｌ 、 ＋６０１を立設固定していて、
各ピンｆ６ａ）、１５ｂｌ、＋６０） を支点となし
ている。 レバー［２ａｌ 、＋２ｂｌ 、＋２（りレズ寸法形状
いずれも同じであって、短冊状の板片の一端を夫々前Ｖ
Ｃ支点１６ａ）。 ＋６ｂｌ 、 （６ａ） ｃこ回動自在に枢支して、各
支点［６ａＪ 、１６ｂｌ 。 ４−
【６０］？ｔ・中心とした揺動可能に配設してしする。
把持用ローラ（３ω、 ＋３ｂｌ 、 ＋３０）に径、
軸長いずれも同じであって、前記レバー［２ａ） 、＋
２ｂ） 、１２ｃ］の自由端＋６ ｂｌ 、 １６ ｏ
ｌからの距離が相等しく、かつ各レノ（−（２ａｌ 、
［２＋：＋１ ｊ２ｃｌの揺動軸と平行な軸の周りに回
転自在となっている。 一方、支持部材（４）に三叉状板片から形成されていて
、１ｉ！０定部材（１）の中心でＩ）る前記固定点【０
】を中心とｉ〜て固定ｆＪ ０’ ［１１と平行な面で
の揺動可能に設にており、そしてその自由端＠１におい
て揺動中心から等距離をなす個所に摺動結合部＋７ａ］
、［’７’ｂ） 、（７０）例えば長孔を有している
。 この摺動結合部
軸長いずれも同じであって、前記レバー［２ａ） 、＋
２ｂ） 、１２ｃ］の自由端＋６ ｂｌ 、 １６ ｏ
ｌからの距離が相等しく、かつ各レノ（−（２ａｌ 、
［２＋：＋１ ｊ２ｃｌの揺動軸と平行な軸の周りに回
転自在となっている。 一方、支持部材（４）に三叉状板片から形成されていて
、１ｉ！０定部材（１）の中心でＩ）る前記固定点【０
】を中心とｉ〜て固定ｆＪ ０’ ［１１と平行な面で
の揺動可能に設にており、そしてその自由端＠１におい
て揺動中心から等距離をなす個所に摺動結合部＋７ａ］
、［’７’ｂ） 、（７０）例えば長孔を有している
。 この摺動結合部
【７ａｌ 、（７ｂｌ 、［７０１Ｇゴ
固定点（０］を中心とする円滑１上の３等分位置に設け
られていて、前記ｌ／バー４２ａ） 、 ＋２ｂｌ 、
＋２０）上における各支点＋５ ａ） 、［６ｂ）
＋【６Ｃ】から等距離をなす各個所に設けたピン＋８ａ
】、（８ｂ） 、 ［８０１に対し摺動可能に係合させ
ている。 なお、摺動結合Ｈ３［７ａ］ 、＋７ｂ） 、Ｉ’７ｃ
） としてに長孔に５− 限らなく、固定ピンＤこ置換してもよくてこの場合シこ
はレバー＋２ ａｌ 、 ＋２ｂ）、 ＋２０）のズ・
ｌ応個所Ｖこ長孔を設けるものであって摺動的に結合さ
オ］、てなる点（ゴ両者同じである。 次＆こアクチュエータ（５）についてＧコ、第２図によ
り明らかな如く、パルスモータなどの回転機をその回転
軸が前記固定点（０〕として機能するように、固定部材
＋１１および支持部材（４）に同心させて配設すると共
に、モータ本体を固定部材（１）に、回転軸を支持部材
１４）に夫々固着せしめており、該パルスモータ（５）
を適当角度回転駆動せしめることによｒノ、固定部材ｆ
ｉ＋と支持部材（４〕との間に回転角度に等しい偏差が
生じるようになっている。 なお、アクチュエータを用いてこの本体側を固定部材ｉ
ｌｌあるいＯコ支持部材（４）に−ビストンロツドケ支
持部材（４）あるいは固定部材ｉ１Ｎこ夫々係止するよ
うにしたものであっても勿論差支えない。 叙Ｊｊ７）ｍ造となしたへンドは、アクチュエータ（５
）を正逆回転せしめて、固定部材（１）と支持部拐（４
）とが固定点（０）に対する回転座標上での位相差を有
６一 し−そノ］、が大か小かによって固定点（０）に対する
把持用ローラｆ３ａｌ 、［３ｂｌ 、＋３ｃｌ の距
離が変ることＣゴ当然であって、ピン［８ａｌ 、［８
ｂ） 、［８ｃｌ が長孔１’７ ａ、］ 、 ＋１
ｂｌ 、ｌ’７ ＱＩ内で摺動可能な範囲で前記位相差
が小さい程、把持用ローラ［３ａ） 、［３ｂ）、＋３
０１ の距離に大となる。 丸物ワークイｒ外側から挾み付けて把持するＤこシコ、
第１図上でレバー＋２ａ） 、 ＋２ ｂ） 、 ［２
ｃｌが開ききった状態から支持部口（４）を時計回転方
向Ｃ二回転すればよく、前記位相差が最大の状態が把持
し得る丸物ワークの最小外径に相当する。 一刀、丸物ワークで筒状体をなすものを内側から押し拡
げる」：うにして把持するには、レバー【２ａｌ 、
＋２ｂｌ 、 ［２ｃｌが閉じさった状態から支持部材
（４ンを反時計回転方向に回転すｎばよく、前記位相差
力（最小の状態が把持し得る丸物ワークの最大内径に相
当する。 しかしていす２］、の場合に５、ワークの円周面に３点
接触する部材は回転自在に設けた把持用ローラＦ３ａ）
、 ［３ｂ］ 、 ［３０］であるので回転中の丸物
ワークに対しても把持全行なわせることが可能であり、
し−７＝ かも把持用ローラ【３ω、［３ｂｌ、［３０］か把持の
ために移動するときの軌跡は把持中心となる固定点（０
〕を中−シ・とする円に対して法線方向をとらなくて、
該法線Ｇこ角度を持つ斜め方向から接近するために接触
時の衝撃が緩和され、従って回転中のワークに対してス
ムースに接触することが可能である。 本発明は叙」二の構成および作用を有するものであって
、３個の把持用ローラＣ３場、 ＋３ｂ］ 、 （３ａ
ｌ で丸物ワークを把持する形態であるので、外側、内
側からの両刀から三点把持できる。 また、把持用ローラ［３ａｌ、１３ｂ）、（３ｃｌ Ｇ
２回転自在に支持しているσ〕で回転中のものも把持可
能であり、従って回転が停止するまでワークの受取りが
できない従来のハンドに比してロス時間の短縮がレコか
れ、生産効率の向上に寄与するところ大である。 さらに−把持用ローラ１３ａ） 、１３ｂｌ 、＋３ａ
）がワークの円闇面に対し直角方向でなく斜め方向から
接近するため接触把持の際の急激な作用力変化を軽減し
得る。 しかも固定部材（」〕、レバー＋２ａｌ 、［２ｂ）
、（２ｃ） 、支持８一 部材１４１？ｒ−板片により形成し、全体として把持中
心輔方向に薄い平面的構造となし得るので、把持用ロー
ラ１３ａｌ 、（３ｂ） 、［３ｃｌ によって薄物の
ワークを把持することも可能である。
固定点（０］を中心とする円滑１上の３等分位置に設け
られていて、前記ｌ／バー４２ａ） 、 ＋２ｂｌ 、
＋２０）上における各支点＋５ ａ） 、［６ｂ）
＋【６Ｃ】から等距離をなす各個所に設けたピン＋８ａ
】、（８ｂ） 、 ［８０１に対し摺動可能に係合させ
ている。 なお、摺動結合Ｈ３［７ａ］ 、＋７ｂ） 、Ｉ’７ｃ
） としてに長孔に５− 限らなく、固定ピンＤこ置換してもよくてこの場合シこ
はレバー＋２ ａｌ 、 ＋２ｂ）、 ＋２０）のズ・
ｌ応個所Ｖこ長孔を設けるものであって摺動的に結合さ
オ］、てなる点（ゴ両者同じである。 次＆こアクチュエータ（５）についてＧコ、第２図によ
り明らかな如く、パルスモータなどの回転機をその回転
軸が前記固定点（０〕として機能するように、固定部材
＋１１および支持部材（４）に同心させて配設すると共
に、モータ本体を固定部材（１）に、回転軸を支持部材
１４）に夫々固着せしめており、該パルスモータ（５）
を適当角度回転駆動せしめることによｒノ、固定部材ｆ
ｉ＋と支持部材（４〕との間に回転角度に等しい偏差が
生じるようになっている。 なお、アクチュエータを用いてこの本体側を固定部材ｉ
ｌｌあるいＯコ支持部材（４）に−ビストンロツドケ支
持部材（４）あるいは固定部材ｉ１Ｎこ夫々係止するよ
うにしたものであっても勿論差支えない。 叙Ｊｊ７）ｍ造となしたへンドは、アクチュエータ（５
）を正逆回転せしめて、固定部材（１）と支持部拐（４
）とが固定点（０）に対する回転座標上での位相差を有
６一 し−そノ］、が大か小かによって固定点（０）に対する
把持用ローラｆ３ａｌ 、［３ｂｌ 、＋３ｃｌ の距
離が変ることＣゴ当然であって、ピン［８ａｌ 、［８
ｂ） 、［８ｃｌ が長孔１’７ ａ、］ 、 ＋１
ｂｌ 、ｌ’７ ＱＩ内で摺動可能な範囲で前記位相差
が小さい程、把持用ローラ［３ａ） 、［３ｂ）、＋３
０１ の距離に大となる。 丸物ワークイｒ外側から挾み付けて把持するＤこシコ、
第１図上でレバー＋２ａ） 、 ＋２ ｂ） 、 ［２
ｃｌが開ききった状態から支持部口（４）を時計回転方
向Ｃ二回転すればよく、前記位相差が最大の状態が把持
し得る丸物ワークの最小外径に相当する。 一刀、丸物ワークで筒状体をなすものを内側から押し拡
げる」：うにして把持するには、レバー【２ａｌ 、
＋２ｂｌ 、 ［２ｃｌが閉じさった状態から支持部材
（４ンを反時計回転方向に回転すｎばよく、前記位相差
力（最小の状態が把持し得る丸物ワークの最大内径に相
当する。 しかしていす２］、の場合に５、ワークの円周面に３点
接触する部材は回転自在に設けた把持用ローラＦ３ａ）
、 ［３ｂ］ 、 ［３０］であるので回転中の丸物
ワークに対しても把持全行なわせることが可能であり、
し−７＝ かも把持用ローラ【３ω、［３ｂｌ、［３０］か把持の
ために移動するときの軌跡は把持中心となる固定点（０
〕を中−シ・とする円に対して法線方向をとらなくて、
該法線Ｇこ角度を持つ斜め方向から接近するために接触
時の衝撃が緩和され、従って回転中のワークに対してス
ムースに接触することが可能である。 本発明は叙」二の構成および作用を有するものであって
、３個の把持用ローラＣ３場、 ＋３ｂ］ 、 （３ａ
ｌ で丸物ワークを把持する形態であるので、外側、内
側からの両刀から三点把持できる。 また、把持用ローラ［３ａｌ、１３ｂ）、（３ｃｌ Ｇ
２回転自在に支持しているσ〕で回転中のものも把持可
能であり、従って回転が停止するまでワークの受取りが
できない従来のハンドに比してロス時間の短縮がレコか
れ、生産効率の向上に寄与するところ大である。 さらに−把持用ローラ１３ａ） 、１３ｂｌ 、＋３ａ
）がワークの円闇面に対し直角方向でなく斜め方向から
接近するため接触把持の際の急激な作用力変化を軽減し
得る。 しかも固定部材（」〕、レバー＋２ａｌ 、［２ｂ）
、（２ｃ） 、支持８一 部材１４１？ｒ−板片により形成し、全体として把持中
心輔方向に薄い平面的構造となし得るので、把持用ロー
ラ１３ａｌ 、（３ｂ） 、［３ｃｌ によって薄物の
ワークを把持することも可能である。
第１図に本発明の１実施例に係る平面図、第２図に同じ
く各部材間の結合状態を説明するための展開示骨格図で
ある。 （１１・・・［１ｊＩ定部材、 ＋２ａ） （２ｂ
） ＋２ｃ）−＝ レバー 。 ＋３Ｆｌコ［３１１］ ＋３ ｃ）−・把持用ローラ、
＋４１・・・支持部材。 ＋５１ ＝アクチュエータ、 ＋６ ａ） ［６ｂ
ｌ ＋６ ｃｌ−支点。 （’７ ａ） ［７ｂｌ ［７ｃｌ・・・摺動結合部。 第１図 第２図
く各部材間の結合状態を説明するための展開示骨格図で
ある。 （１１・・・［１ｊＩ定部材、 ＋２ａ） （２ｂ
） ＋２ｃ）−＝ レバー 。 ＋３Ｆｌコ［３１１］ ＋３ ｃ）−・把持用ローラ、
＋４１・・・支持部材。 ＋５１ ＝アクチュエータ、 ＋６ ａ） ［６ｂ
ｌ ＋６ ｃｌ−支点。 （’７ ａ） ［７ｂｌ ［７ｃｌ・・・摺動結合部。 第１図 第２図
Claims (1)
- Ｚ 固定点［ＯＪを中１１％とする円周上の３等分位置
に支点［６ａ） 、 ＋６ｂｌ 、 ［６０１を夫々持
つ固定部材（１）と−前記各支点［６ａ］ 、＋６ｂｌ
、［６０） ＆こ一端ケ支持させて揺動可能に夫々設
けたレバー＋２ａ） 、［２ｂ］ 、＋２ｃ］ と、
前記レバー１２ａｌ 、 ［２ｂｌ 、 ［２０］の自
由端側にそれらの揺動軸と平行な軸の周りの回転自在と
なし夫々取着しＬ把持用１０−ラ＋３ａｌ 、 ＋３ｂ
ｌ 、１３ｃｌ と、前記固定点［ＯＪ ’に中心と
する揺動可能に設け、かつ前記レバー［２ａｌ 、（２
ｂｌ 、＋２ｃｌ上に位置し、各支点［６ａｌ 、＋６
ｂｌ 、１６Ｇ＋ から等距離ケなす個所ｉ８ａ、ｌ、
１ｓｂｌ 、＋８ｃｌに対し摺動可能りこ結合する摺動
結合１１（７ａ＋ 、［７ｂｌ 、＋７ｃｌ を固定点
（ｏｌ ｋ中心とする円周上の３等分位置に夫々持つ支
持部材（４）と−この支持部材（４）全揺動せしめるア
クチュエータ（５）とからなることを特徴とする三点把
持形ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2834083A JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2834083A JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59156688A true JPS59156688A (ja) | 1984-09-05 |
| JPH042396B2 JPH042396B2 (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=12245864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2834083A Granted JPS59156688A (ja) | 1983-02-21 | 1983-02-21 | 三点把持形ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59156688A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191886U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-29 | ||
| JPS6384041A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-14 | インタ−ナショナル・ビジネス・マシ−ンズ・コ−ポレ−ション | ウエハ移送装置 |
| JPS63151290U (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | ||
| JPH02274489A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-08 | Toray Eng Co Ltd | チャック装置 |
| US5000652A (en) * | 1986-09-22 | 1991-03-19 | International Business Machines Corporation | Wafer transfer apparatus |
| JPH0479083U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-09 | ||
| JP2009202321A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Koganei Corp | チャック装置 |
| JP2017127971A (ja) * | 2017-04-28 | 2017-07-27 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持方法 |
| JP2017154248A (ja) * | 2017-04-28 | 2017-09-07 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持装置 |
| WO2023171169A1 (ja) * | 2022-03-10 | 2023-09-14 | 村田機械株式会社 | チャック装置及びローダ装置 |
-
1983
- 1983-02-21 JP JP2834083A patent/JPS59156688A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191886U (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-29 | ||
| JPH0451995Y2 (ja) * | 1985-05-21 | 1992-12-07 | ||
| JPS6384041A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-14 | インタ−ナショナル・ビジネス・マシ−ンズ・コ−ポレ−ション | ウエハ移送装置 |
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| JP2017127971A (ja) * | 2017-04-28 | 2017-07-27 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持方法 |
| JP2017154248A (ja) * | 2017-04-28 | 2017-09-07 | 昭和電工株式会社 | 円筒体把持装置 |
| WO2023171169A1 (ja) * | 2022-03-10 | 2023-09-14 | 村田機械株式会社 | チャック装置及びローダ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH042396B2 (ja) | 1992-01-17 |
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