JPS59152734U - 多結晶シリコンウエハ用製造皿 - Google Patents

多結晶シリコンウエハ用製造皿

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JPS59152734U
JPS59152734U JP4793083U JP4793083U JPS59152734U JP S59152734 U JPS59152734 U JP S59152734U JP 4793083 U JP4793083 U JP 4793083U JP 4793083 U JP4793083 U JP 4793083U JP S59152734 U JPS59152734 U JP S59152734U
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JP
Japan
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polycrystalline silicon
wafer forming
dish
production plate
silicon wafers
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JP4793083U
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JPH0142339Y2 (ja
Inventor
敬志 横山
一郎 秀
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株式会社ほくさん
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Publication date
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は、本出願人が先に提案したスピン法
によるウェハの製造方法に係り、第１図は同法の実施装
置を示す断面説明図、第２図は同装置の製造皿を高速回
転させた場合断面説明図、第３′図は同製造皿低速回転
状態の断面説明図、第、４図と第５図は、この考案の第
１実施例に係る製造皿を示し、第４図は回器でウェハを
製造する設備例を示す一部断面説明図、第５図は第４図
Ｖ円内拡大説明図、第６図はこの考案の第２実施例に係
る製造皿の縦断面図である。 Ａ・・・・・・皿本体、１・・・・・・製造皿、１ａ・
・・・・・ウェハ形成面、１ｂ・・・・・・ウェハ形成
平面、ＩＣ・・・・・・傾斜面、２・・・・・・融液、
３・・・・・・融液薄層。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 所望雰囲気内にあって、皿本体を所要速度で回転させ、
    この回転する皿本体のウェハ形成面にシリコン母材融液
    を当該回転による遠心力によって拡径方向へ流動させる
    ことにより所望径の融液薄層を形成し、これを固化する
    ことにより多結晶シリコンウェハを製造するための製造
    皿であって、上記皿本体のウェハ形成面を、ウェハ形成
    平面と、その外周縁部に、外側へ向は下降して連続させ
    た傾斜面とにより形成してなる多結晶シリコンウェハ用
    製造皿。
JP4793083U 1983-03-31 1983-03-31 多結晶シリコンウエハ用製造皿 Granted JPS59152734U (ja)

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JPS59152734U true JPS59152734U (ja) 1984-10-13
JPH0142339Y2 JPH0142339Y2 (ja) 1989-12-12

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004016836A1 (ja) * 2002-08-12 2004-02-26 Sharp Kabushiki Kaisha 板状シリコン、板状シリコンの製造方法、太陽電池および板状シリコン製造用基板
JP2007176765A (ja) * 2005-12-28 2007-07-12 Sharp Corp 薄板製造用基板、薄板製造装置、および薄板製造方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH0142339Y2 (ja) 1989-12-12

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