JPS59149627A - 曲面透光マスクの形成方法 - Google Patents
曲面透光マスクの形成方法Info
- Publication number
- JPS59149627A JPS59149627A JP2442983A JP2442983A JPS59149627A JP S59149627 A JPS59149627 A JP S59149627A JP 2442983 A JP2442983 A JP 2442983A JP 2442983 A JP2442983 A JP 2442983A JP S59149627 A JPS59149627 A JP S59149627A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opaque film
- curved
- plate
- curved transparent
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
（イ） 産業上の利用分野
本発明はカラーブラウン管の曲面状フェースプレート内
面に螢光体を施こ丁のに用いる曲面透光マスクの形成方
法（二関する。 （ａ）従来技術 現在実用に供されているカラーブラウン管の殆んどはシ
ャドウマスク型ブラウン管であって、それに使用される
シャドウマスクを螢光面露光用のフォトマスクとして用
いているが、ンヤドゥマスク型ブラウン管以外の方式、
例えばビームインテックス型カラーブラウン管ではシャ
ドウマスクを必要としないので別途所定のパターンが形
成されに螢光面露光用のフォトマスクを用意する必要が
ある。 前記フォトマスクパターンは、ブラウン管のフェースプ
レートの内面曲率に光学的に合っπ透光基板上に形成さ
れていることが光学歪を排除する上で必要である。 ところで、従来のフォトマスクは平面透光基板の上に施
しに不透明膜にフェースプレートの内面曲率を考慮して
エツチング等の処理により所定のマスクパターンを描く
ようにしているが、この方法では複雑な図形処理を必要
とするばかりでなく加工精度も低く満足なものが得られ
ないという欠点があった。 し１ 発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み為されたものであり、高精度の
フォトマスクを容易に得ることができるよう（二するこ
とを目的とする。 に）発明の構成 本発明はブラウン管の曲面状フェースプレート内面に螢
光体を施こすのに用いる曲面透菟マスクの形成方法であ
って、曲面透光板の一方の面（二施された不透明膜をＶ
−ザ光でトリミングすることにより所定のマスクパター
ンを得るようにしている。 （利実施例 本発明の実施例を第１図乃至第６図を参照しつつ説明す
る。 第１図は螢光体の露光工程を示してＢす、（１）は露光
用の光妹、（２）はブラウン管のフェースプレート、空
は支持部材＋４１に載置されに曲面透孔マスクであって
、該曲面透孔マスク（３）は前記フェースブレー） ＋
２１の内面（２ａ）の曲率と同一曲率になるように加工
された曲面透孔板（５）の一方の面に施されに不透明膜
（６）にマスクパターンを形成することによって構成さ
れる。 上記曲面透光マスク（３）は次のようにして形成される
。 曲面透光板（５）を構成する材料として硝子板を用いる
場合、まず透明な平面形状の板硝子を熱プレス等の手段
によりブラウン管の球面状のフェースプレート＋２）の
内面（２ａ）の曲率と略同程度（二なるように前記板硝
子を変形させ、しかる後その曲面硝子板の表面及び裏面
を研削材が施された曲面研磨椀により、球面状フェース
プレート内面曲率と同一となるように研磨し、前記球面
状フェースプレート内面と光学的に対応するよう（ニレ
に曲面透光板を形成する。 もし、ブラウン管のフェースプレートの内面が非球面で
あってもそれに対廃した研磨面を創成することにより上
記の如き方法で容易に曲面透光板が得られる。 次に、上記のように形成された曲面透光板（５）の一方
の面、換言すれば露光工程に？いてブラウン管のフェー
スプレート（２１の内面（２ａ）に対向する側の面に不
透明膜（６）を施す。この不透明膜を形成する材料とし
ては金属が適当である、そして前記不透明膜を施こす方
法としては、クローム、アルミニウム、銅、ニッケル等
の金属を真空蒸着法等の手段により行ない曲面透光板の
一方の面全体に榎って均一に
面に螢光体を施こ丁のに用いる曲面透光マスクの形成方
法（二関する。 （ａ）従来技術 現在実用に供されているカラーブラウン管の殆んどはシ
ャドウマスク型ブラウン管であって、それに使用される
シャドウマスクを螢光面露光用のフォトマスクとして用
いているが、ンヤドゥマスク型ブラウン管以外の方式、
例えばビームインテックス型カラーブラウン管ではシャ
ドウマスクを必要としないので別途所定のパターンが形
成されに螢光面露光用のフォトマスクを用意する必要が
ある。 前記フォトマスクパターンは、ブラウン管のフェースプ
レートの内面曲率に光学的に合っπ透光基板上に形成さ
れていることが光学歪を排除する上で必要である。 ところで、従来のフォトマスクは平面透光基板の上に施
しに不透明膜にフェースプレートの内面曲率を考慮して
エツチング等の処理により所定のマスクパターンを描く
ようにしているが、この方法では複雑な図形処理を必要
とするばかりでなく加工精度も低く満足なものが得られ
ないという欠点があった。 し１ 発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み為されたものであり、高精度の
フォトマスクを容易に得ることができるよう（二するこ
とを目的とする。 に）発明の構成 本発明はブラウン管の曲面状フェースプレート内面に螢
光体を施こすのに用いる曲面透菟マスクの形成方法であ
って、曲面透光板の一方の面（二施された不透明膜をＶ
−ザ光でトリミングすることにより所定のマスクパター
ンを得るようにしている。 （利実施例 本発明の実施例を第１図乃至第６図を参照しつつ説明す
る。 第１図は螢光体の露光工程を示してＢす、（１）は露光
用の光妹、（２）はブラウン管のフェースプレート、空
は支持部材＋４１に載置されに曲面透孔マスクであって
、該曲面透孔マスク（３）は前記フェースブレー） ＋
２１の内面（２ａ）の曲率と同一曲率になるように加工
された曲面透孔板（５）の一方の面に施されに不透明膜
（６）にマスクパターンを形成することによって構成さ
れる。 上記曲面透光マスク（３）は次のようにして形成される
。 曲面透光板（５）を構成する材料として硝子板を用いる
場合、まず透明な平面形状の板硝子を熱プレス等の手段
によりブラウン管の球面状のフェースプレート＋２）の
内面（２ａ）の曲率と略同程度（二なるように前記板硝
子を変形させ、しかる後その曲面硝子板の表面及び裏面
を研削材が施された曲面研磨椀により、球面状フェース
プレート内面曲率と同一となるように研磨し、前記球面
状フェースプレート内面と光学的に対応するよう（ニレ
に曲面透光板を形成する。 もし、ブラウン管のフェースプレートの内面が非球面で
あってもそれに対廃した研磨面を創成することにより上
記の如き方法で容易に曲面透光板が得られる。 次に、上記のように形成された曲面透光板（５）の一方
の面、換言すれば露光工程に？いてブラウン管のフェー
スプレート（２１の内面（２ａ）に対向する側の面に不
透明膜（６）を施す。この不透明膜を形成する材料とし
ては金属が適当である、そして前記不透明膜を施こす方
法としては、クローム、アルミニウム、銅、ニッケル等
の金属を真空蒸着法等の手段により行ない曲面透光板の
一方の面全体に榎って均一に
【例えば２０ ＯＤＡ程度
の厚さで】金属性不透明膜を形成する。 次シニ、上記不透明膜が施されに曲面透光板の不透明膜
面をレーザ光で所定のマスクパターンを得るようにトリ
ミングする。前記レーザ光としては、トリミング用ＹＡ
Ｇレーザ光が適当である。 トリミングに当っては曲面透光板を固定してＲいて、レ
ーザ光の照射位置の移動を制御する方法が考えられるが
レーザ装置が大型な場合この方法は適当ではない。 従って、本発明では次のような方法でレーザ光によるト
リミングを行っている。 すなゎら、第２図（二示す如く三軸駆動可能な加工用テ
ーブル〔第２図に３いて矢印で示された（Ｘ、ｙ、Ｚ）
軸方間に移動０ＩＪ能なテーブル〕に不透明膜を施した
曲面透光板を載置固定する。この三軸駆動デープルはＮ
Ｃ（数値側、＠ｌ）で高精度に制御される工作機械が良
く、例えばＮＧフライス盤を利用するのも奸策である。 また、前記三軸駆動テーブル以外に、二軸同時同転駆・
動可能なカ目工用テーブル〔第２図にどいて矢印Ｘ、Ｙ
をそれぞれ軸にして回転可能なテープ！し〕を用いても
よい。 そして、固定位置にあるレーザ光ｔ７１に対し、不透明
膜（６）が前記レープ１光（７）に対向するように曲面
透光板（５）を前記三軸駆動テーブル或は二軸回転駆動
テーブルに載置固定し、その加工用テーブルを制御しな
がら、レーザ光（７）を不透明膜（６１に照射すること
により、不透明膜（６）をトリミング−ｒる。これによ
って第６図に示される如く所定のマスクパターンが形成
されに曲面透光マスク１３）が完成する尚、第２図及び
第６図で多くのドツトを付しに部分は不透明ｌ換（６）
を示し、（８）はレーザ装置の一部を表わしている。 ト） 発明の効果 本発明の曲面透光マスクの形成方法は曲面透光板の一方
の面に施され１′：、不透明膜をＶ−ザ光でトリミング
すること（二より所定のマスクパターンを得るようにし
ているので、曲面透光マスクの形成が容易に行えるばか
りでなく、高精度の曲面送先マスクが得られるという効
果がある。
の厚さで】金属性不透明膜を形成する。 次シニ、上記不透明膜が施されに曲面透光板の不透明膜
面をレーザ光で所定のマスクパターンを得るようにトリ
ミングする。前記レーザ光としては、トリミング用ＹＡ
Ｇレーザ光が適当である。 トリミングに当っては曲面透光板を固定してＲいて、レ
ーザ光の照射位置の移動を制御する方法が考えられるが
レーザ装置が大型な場合この方法は適当ではない。 従って、本発明では次のような方法でレーザ光によるト
リミングを行っている。 すなゎら、第２図（二示す如く三軸駆動可能な加工用テ
ーブル〔第２図に３いて矢印で示された（Ｘ、ｙ、Ｚ）
軸方間に移動０ＩＪ能なテーブル〕に不透明膜を施した
曲面透光板を載置固定する。この三軸駆動デープルはＮ
Ｃ（数値側、＠ｌ）で高精度に制御される工作機械が良
く、例えばＮＧフライス盤を利用するのも奸策である。 また、前記三軸駆動テーブル以外に、二軸同時同転駆・
動可能なカ目工用テーブル〔第２図にどいて矢印Ｘ、Ｙ
をそれぞれ軸にして回転可能なテープ！し〕を用いても
よい。 そして、固定位置にあるレーザ光ｔ７１に対し、不透明
膜（６）が前記レープ１光（７）に対向するように曲面
透光板（５）を前記三軸駆動テーブル或は二軸回転駆動
テーブルに載置固定し、その加工用テーブルを制御しな
がら、レーザ光（７）を不透明膜（６１に照射すること
により、不透明膜（６）をトリミング−ｒる。これによ
って第６図に示される如く所定のマスクパターンが形成
されに曲面透光マスク１３）が完成する尚、第２図及び
第６図で多くのドツトを付しに部分は不透明ｌ換（６）
を示し、（８）はレーザ装置の一部を表わしている。 ト） 発明の効果 本発明の曲面透光マスクの形成方法は曲面透光板の一方
の面に施され１′：、不透明膜をＶ−ザ光でトリミング
すること（二より所定のマスクパターンを得るようにし
ているので、曲面透光マスクの形成が容易に行えるばか
りでなく、高精度の曲面送先マスクが得られるという効
果がある。
図面は回れも本発明に関するものであって、第゛１図は
螢光体の露光工程を示す要部断面図、第２図はトリミン
グの方法を示す為の曲面透光板の斜視図、第６図は完成
されに曲面透光マスクの斜視図である。 （２）・・・フェースプレート、 （３）・・・曲面透
もマスク′（６）・・・曲面透光板、 （６）・・・不
透明膜、 ＋７１・・・Ｖ−ザンＶシ。 戯８図
螢光体の露光工程を示す要部断面図、第２図はトリミン
グの方法を示す為の曲面透光板の斜視図、第６図は完成
されに曲面透光マスクの斜視図である。 （２）・・・フェースプレート、 （３）・・・曲面透
もマスク′（６）・・・曲面透光板、 （６）・・・不
透明膜、 ＋７１・・・Ｖ−ザンＶシ。 戯８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｉｌ＋ ブラウン管の曲面状フェースプレート内面に
螢光体を施こすのに用いる曲面透光マスクの形成方法で
あって、曲面透光板の一方の面に施された不透明膜をＶ
・−ザ光でトリミングすることにより所定のマスクパタ
ーンを得るようにした曲面透光マスクの形成方法。 １２＋ 固定位＃にあるＶ−ザ光に対し前記不透明膜
が施されに曲面透光板を駆動可能な加工用テーブルに載
置し、該加工用テーブルを駆動させることによって前記
不透明膜をトリミングすることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の曲面透光マスクの形成方法。 １３）前記加工用テーブルは二軸回転駆動可能な加工用
テーブルであることを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の曲面透光マスクの形成方法。 （４）前記加工用テーブルは三軸駆動可能な加工用テー
ブルであることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の曲面透光マスクの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2442983A JPS59149627A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 曲面透光マスクの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2442983A JPS59149627A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 曲面透光マスクの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59149627A true JPS59149627A (ja) | 1984-08-27 |
Family
ID=12137906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2442983A Pending JPS59149627A (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 曲面透光マスクの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59149627A (ja) |
-
1983
- 1983-02-15 JP JP2442983A patent/JPS59149627A/ja active Pending
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