JPS59146283A - パタ−ン検査方法 - Google Patents
パタ−ン検査方法Info
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- JPS59146283A JPS59146283A JP58019584A JP1958483A JPS59146283A JP S59146283 A JPS59146283 A JP S59146283A JP 58019584 A JP58019584 A JP 58019584A JP 1958483 A JP1958483 A JP 1958483A JP S59146283 A JPS59146283 A JP S59146283A
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- JP
- Japan
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- data
- pattern
- circuit
- memory
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- Prior art date
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Character Discrimination (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、データ処理技術によるパターン検査方法に係
り、特に輪転印刷機など、高速で移動−する絵柄の刷り
上り状態を高精度で検査−す−るのに適したパターン検
査方法に関する。 印刷物の検査方法としては、従来から人間の[」祝によ
る方法が広く採用されている。 しかしながら、このような視覚に頼る方法では、常に一
定の判定基準のもとで高精度の検査を行なうことは極め
て困員1[であり、特に輪転印刷機で印刷された印刷物
をリアルタイムで検査する場合など、高速で移動する印
刷物の検査は不iiJ能である。 そのため、従来の視覚的な検査方法に代って画1象処理
技術を利用して画像データの比較により印刷物の検査を
自動的に行なうようにした方法が提案され、実用化され
ろようになってきた。 このような両鐵データの比較による検査方法の一例を原
理的に示1〜だのが第1図で、1は印刷物、2は回転ド
ラム、3はラインセンサカメラ、4はアカログ・ディジ
タル(−A−/’1))変換器、5は切11良スイッチ
、0は基準データメモリ、7は検出データメモリである
。 印刷物1は長尺の紙、フィルムなどであり、輪転印桐機
により所定の絵柄かその走行方向に沿って順次、繰り返
し連続的に印刷され、回転ドラム2によって送り出され
℃いる。 ラインセンサカメラ(以下、LSカメラという)3は印
刷物1の絵柄が印刷された面を撮像し、印刷物10走行
方向yと直角に7.cつだ幅方向Xに沿った所定の部分
を一次元的に走査して画1埃伯号を取り出−Joそして
、この印刷物1から読取った一次元的1象信号を所定の
画素ごとにA / D g換器4でディジタル化してス
イッチ5に供給する。 基準データメモリ6と検出データメモリ7は第2図に示
すような記憶内容を有1〜、両メモリとも印刷幅方向及
び走行方向に分割されたアトL/スaに各画素ごとのデ
ィジタル化された濃度情報の簀込み、読出しが可能なよ
うに構成されている。そこで、℃・ま、スイッチ5を図
示のように基準データメモリ6に切換え、印刷物〕の所
定の絵柄部分をL Sカメラ3によって撮像すれは、幅
方向Xに沿った部分の各画素ごとの濃度情報が順次、基
準データメモリ6の印刷幅方向に分割きれたアドレスに
1込まれ、それが印刷物1の走行方向yの動きにより順
次繰り返されて基準データメモリ6の走行方向に分割さ
れたアドレスに濃度情報としてVj、込まれ、結局、こ
の基準データメ七り6には印刷物1に印刷された絵柄の
所定の範囲の画隊データが書込まれることになる。また
、スイッチ5を図示とは反対の下側に切換えり、は、同
様に印刷物1の絵柄の所定の範囲の一障データか書込ま
れることになる。 従って、印刷動作を開始l−だ直抜の所定の時期で、絵
柄に欠陥の無い印刷物が得られたこと金離ii、? L
/た後でスイッチ5を基準データメモリ6の方に切換え
、そのときに印刷物1から得られた1IiII隊テータ
を基準データとして基準データメモリ6に書込み、以後
はスイッチ5を検出データメモリ7に切換上−1れば、
このメモリ7には印刷′吻1かもj阻次記取った画1(
千−夕が仄々と入力され、順次新し、い画1゛づjl−
タが検出データとし5で1き替えられていることになる
。 そこで、そit以後、基準データメモリ6と検出データ
メモリ7の対応−[るアドレスの娘度情♀艮をj旧人i
’Mt出t、−C比軟し、それらが一致しているか古か
を調べれは印fill jiJ作中高速1隻で重イ=J
’ L、ている印刷物1の印刷の良否を連続的に判定す
ることかでき、しかも目視によ、71)牛375有4と
は比里又にならないh1高い1d幀LWを保って瑛査全
行なうことかできる。 なお、この第1図の1(I」は原理を判り易く説明する
ため、メモリ7を使用し、このメ七り7に検出データを
一旦、書込んだ後、それをW′し出して比較する方式と
しているか、実際にはメモリ7を使用せず、検出データ
をそのまま直ちにメモリ6から読出した基準データと比
較するようにするのが一般的である。 しか17ながら、この従来の画1床データによる検査方
法では、印刷物1の1. Sカメラ3による撮像面での
照度変化ベノ、LSカメラ3のドリフト、それに印刷物
1が搬送中に受ける位置ずれなどにより検査哨度が低下
し易いという欠点かある。すなわち、照明系の光量変化
による照度変化べ−L8カメラ3のドリフトなどは検出
したlI!111冗伯吟のレベル変化となって現われ、
画1埃データの葭淡階調か変動し、濃淡階調差の許容値
を超えて誤判定の原因になり、印刷物1の位置ずれは、
特に絵柄のエツジ部分で濃淡階調差の大きな変化となっ
て層、われ誤判定の原因となり、いJ゛れも検査精度の
低下をもたらしでしまうからである。 また、このような画凶データの各画素ごとの比較による
検査方法では、検査精度を−Lけ4)ため、各画素ごと
に濃淡階Aを表わすデータを心太とするため、取扱うべ
き情報1i、が極めて多(なり、そのため装置が複雑化
し、)・−ド面でのコストアツグが著しいという欠点が
ある。 本発明の1」的は、上記した従来技術の欠点を除き、印
刷物の私信パターン/Lどがら得た画像イi号のレベル
変動や、絵柄パターンの位置ずれなどによるζ;−滓が
少な(て篩鞘度の検査ができ、かつ、取扱う+11ζ報
昂が少なくてび′iむためローコスト化が簀易なパター
ン(炙査7J法を提供するにある。 この目的を達成−3−るため、本発明は、基準パターン
による画数データと被検査パターンにょる画l’E 7
−−−タを2値イ昌号化し、てがら比較するように1−
7、その際、画1永ブータか各画素間で単ab’を増加
してぃイ)ときに(工その画素の両隊データをレベル′
°1°′(又はレベル”o” )に、そしてそれ以外の
ときにはその画ふの卸1象ラーータをレベル゛0°°(
又はレベルN 11+になるように2値化した点を特徴
とする。 見、1′:、本発明によるパターン挟置方法の実施例を
図面につい゛C説明すイ)。 第3図は本発明の一実施例の全体構成を概略的に示した
図で、印刷物17回転ドラム2.LSカメラ3.A/l
)変換器4.切換スイッチ5などは第1図の従来例と同
じであり、さらに、8は同期回路、9は光源、10は変
調パターン発生回路、11はロータリーエンコーダ、1
2はアドレスN路、■コ3は(↓jj+ 本パターンメ
モリ、14はパターンマツチング回路である。 印刷物1の印刷済絵柄などのパターンはL Sカメラ3
で幅方向に走査され、絵柄の6謎淡1^報イ、1号が取
り出される。 このとき、回転ドラム2に取り句けてk〉るロータリー
エンコーダ月の出力により同期回路8か同Jυ」イ呂号
を発生し、J、 Sカメラ3による走査の回期が取ら第
1、印刷物1の照明は光線9によって行ブ工われる。 こうしてLSカメラ3で撮f埃さJし出力された画1象
信号はAl1)変換器4でディジタル化さね、濃淡情報
を8ビツトで表わしたプイシタル画汀データ′丁となり
、変調パターン発生回路川で1ヒツトの変調パターン(
2値化データ)に変換される。 そこで、ます、検査開始に先立って切換スィッチ5葡標
本パターンメモリ13の方に切換え、印刷物1から基準
どムニる私信を】〉り定し、それを標本パターンとずろ
。そして、この標本パターンをl、 Sカメラ;うでJ
i、a I埃し、標本パターンの2値化による標本パタ
ーンデータSP′をメモ1月3に畳込む。なお、このと
き゛の一アドレス目、同期回路8がらの同期イpZ−”
jによって51駆動さ才するアドレス回路12によって
与えられている。 次に、1υ換スイツチ5をパターンマツチング回II′
L′t14に切換え、印Al;il物10m食を開始す
る。 このときには、lノSカメラ3で印Ar+lI ’!勿
10耘柄から撮1寡したul++ +家伯号が破恢査パ
ターンデータ゛rP′とじてパターンマツチング回路1
4に入力され、同時に、これと並行1−で標本パターン
メモリ13カ・らは標本パターンデータSP′が読出さ
れ、このデータSP’もパターンマツチング回路14に
入力される。ぞし、て、このときの2つのデータ゛rP
′とS P’の各画素ごとの対応は、ロータリーエンコ
ーダ11の出力で動作する回期回路8による同期イ6号
ケルSカメラ3とアドレス回路12に供給′1−ること
により、正確に行ン、1われる。 これらのパターンデータTP’、 SP’は共に時系
列データであり、パターンマツチング回路14ば、これ
ら被検査パターンテータTll k)(と標本パターン
データSP′とを各画素ごとに比較し、所定の条件のも
どで両者の一致状態を調べ、’1′4J定テータ・1を
出力[−1印刷物1の絵柄の良否判定を行なう。 第4図は変調パターン発生回路10の一実施ヤ1]で、
この実施例によれは、変調パターン発生回路it)は、
平滑フィルタ15と、単調増加変調回路16、そhにパ
ターンフィルタ17かも構成され、A / D変換zト
14(第3図)でディジタル化され、その碌淡階調が8
ビツトで表わされている両区データIl+は、まず平甫
フィルタ15で平滑化されたのち単調ハイ加変調回路1
Gに供給さオ区濃淡階潤が各画素ごとに単調増加1−て
いる部分ではレベル゛1″となり、それ以外の部分では
レベル”0“となるように2値化されたパターンデータ
′1゛Pに変換される3、その後、このデータT l)
はパターンフィルタ17によりハr5鈴の画素数以下の
長さの部分をつぷ1−ための処111r受け、パターン
データTP’と(−2て出力されるようになっている。 ;H5図は平?トtフィルタ15の一実施例で、重ミツ
は平均による簡易形ディジタ四・フィルタの一種で構成
[7たもので、車みづけを3=1としたものである。な
お、この−小みづけの割合は任意に設定可能テ、4:1
,5:l・・曲等とすることができ、車みづけの度合い
が大きくなればなる程、平滑化の10−合いも強く、な
′るものである。 まず、その原理について説明すると、A / I)変換
器4がらの画1′4!ア−タ゛■゛け、8ビツトで濃淡
階調が表わされている時系列データとなっており、この
データ’k T(tJとし、データi”(tJ口を以下
の式によって求めてみる。なお、この変数
り、特に輪転印刷機など、高速で移動−する絵柄の刷り
上り状態を高精度で検査−す−るのに適したパターン検
査方法に関する。 印刷物の検査方法としては、従来から人間の[」祝によ
る方法が広く採用されている。 しかしながら、このような視覚に頼る方法では、常に一
定の判定基準のもとで高精度の検査を行なうことは極め
て困員1[であり、特に輪転印刷機で印刷された印刷物
をリアルタイムで検査する場合など、高速で移動する印
刷物の検査は不iiJ能である。 そのため、従来の視覚的な検査方法に代って画1象処理
技術を利用して画像データの比較により印刷物の検査を
自動的に行なうようにした方法が提案され、実用化され
ろようになってきた。 このような両鐵データの比較による検査方法の一例を原
理的に示1〜だのが第1図で、1は印刷物、2は回転ド
ラム、3はラインセンサカメラ、4はアカログ・ディジ
タル(−A−/’1))変換器、5は切11良スイッチ
、0は基準データメモリ、7は検出データメモリである
。 印刷物1は長尺の紙、フィルムなどであり、輪転印桐機
により所定の絵柄かその走行方向に沿って順次、繰り返
し連続的に印刷され、回転ドラム2によって送り出され
℃いる。 ラインセンサカメラ(以下、LSカメラという)3は印
刷物1の絵柄が印刷された面を撮像し、印刷物10走行
方向yと直角に7.cつだ幅方向Xに沿った所定の部分
を一次元的に走査して画1埃伯号を取り出−Joそして
、この印刷物1から読取った一次元的1象信号を所定の
画素ごとにA / D g換器4でディジタル化してス
イッチ5に供給する。 基準データメモリ6と検出データメモリ7は第2図に示
すような記憶内容を有1〜、両メモリとも印刷幅方向及
び走行方向に分割されたアトL/スaに各画素ごとのデ
ィジタル化された濃度情報の簀込み、読出しが可能なよ
うに構成されている。そこで、℃・ま、スイッチ5を図
示のように基準データメモリ6に切換え、印刷物〕の所
定の絵柄部分をL Sカメラ3によって撮像すれは、幅
方向Xに沿った部分の各画素ごとの濃度情報が順次、基
準データメモリ6の印刷幅方向に分割きれたアドレスに
1込まれ、それが印刷物1の走行方向yの動きにより順
次繰り返されて基準データメモリ6の走行方向に分割さ
れたアドレスに濃度情報としてVj、込まれ、結局、こ
の基準データメ七り6には印刷物1に印刷された絵柄の
所定の範囲の画隊データが書込まれることになる。また
、スイッチ5を図示とは反対の下側に切換えり、は、同
様に印刷物1の絵柄の所定の範囲の一障データか書込ま
れることになる。 従って、印刷動作を開始l−だ直抜の所定の時期で、絵
柄に欠陥の無い印刷物が得られたこと金離ii、? L
/た後でスイッチ5を基準データメモリ6の方に切換え
、そのときに印刷物1から得られた1IiII隊テータ
を基準データとして基準データメモリ6に書込み、以後
はスイッチ5を検出データメモリ7に切換上−1れば、
このメモリ7には印刷′吻1かもj阻次記取った画1(
千−夕が仄々と入力され、順次新し、い画1゛づjl−
タが検出データとし5で1き替えられていることになる
。 そこで、そit以後、基準データメモリ6と検出データ
メモリ7の対応−[るアドレスの娘度情♀艮をj旧人i
’Mt出t、−C比軟し、それらが一致しているか古か
を調べれは印fill jiJ作中高速1隻で重イ=J
’ L、ている印刷物1の印刷の良否を連続的に判定す
ることかでき、しかも目視によ、71)牛375有4と
は比里又にならないh1高い1d幀LWを保って瑛査全
行なうことかできる。 なお、この第1図の1(I」は原理を判り易く説明する
ため、メモリ7を使用し、このメ七り7に検出データを
一旦、書込んだ後、それをW′し出して比較する方式と
しているか、実際にはメモリ7を使用せず、検出データ
をそのまま直ちにメモリ6から読出した基準データと比
較するようにするのが一般的である。 しか17ながら、この従来の画1床データによる検査方
法では、印刷物1の1. Sカメラ3による撮像面での
照度変化ベノ、LSカメラ3のドリフト、それに印刷物
1が搬送中に受ける位置ずれなどにより検査哨度が低下
し易いという欠点かある。すなわち、照明系の光量変化
による照度変化べ−L8カメラ3のドリフトなどは検出
したlI!111冗伯吟のレベル変化となって現われ、
画1埃データの葭淡階調か変動し、濃淡階調差の許容値
を超えて誤判定の原因になり、印刷物1の位置ずれは、
特に絵柄のエツジ部分で濃淡階調差の大きな変化となっ
て層、われ誤判定の原因となり、いJ゛れも検査精度の
低下をもたらしでしまうからである。 また、このような画凶データの各画素ごとの比較による
検査方法では、検査精度を−Lけ4)ため、各画素ごと
に濃淡階Aを表わすデータを心太とするため、取扱うべ
き情報1i、が極めて多(なり、そのため装置が複雑化
し、)・−ド面でのコストアツグが著しいという欠点が
ある。 本発明の1」的は、上記した従来技術の欠点を除き、印
刷物の私信パターン/Lどがら得た画像イi号のレベル
変動や、絵柄パターンの位置ずれなどによるζ;−滓が
少な(て篩鞘度の検査ができ、かつ、取扱う+11ζ報
昂が少なくてび′iむためローコスト化が簀易なパター
ン(炙査7J法を提供するにある。 この目的を達成−3−るため、本発明は、基準パターン
による画数データと被検査パターンにょる画l’E 7
−−−タを2値イ昌号化し、てがら比較するように1−
7、その際、画1永ブータか各画素間で単ab’を増加
してぃイ)ときに(工その画素の両隊データをレベル′
°1°′(又はレベル”o” )に、そしてそれ以外の
ときにはその画ふの卸1象ラーータをレベル゛0°°(
又はレベルN 11+になるように2値化した点を特徴
とする。 見、1′:、本発明によるパターン挟置方法の実施例を
図面につい゛C説明すイ)。 第3図は本発明の一実施例の全体構成を概略的に示した
図で、印刷物17回転ドラム2.LSカメラ3.A/l
)変換器4.切換スイッチ5などは第1図の従来例と同
じであり、さらに、8は同期回路、9は光源、10は変
調パターン発生回路、11はロータリーエンコーダ、1
2はアドレスN路、■コ3は(↓jj+ 本パターンメ
モリ、14はパターンマツチング回路である。 印刷物1の印刷済絵柄などのパターンはL Sカメラ3
で幅方向に走査され、絵柄の6謎淡1^報イ、1号が取
り出される。 このとき、回転ドラム2に取り句けてk〉るロータリー
エンコーダ月の出力により同期回路8か同Jυ」イ呂号
を発生し、J、 Sカメラ3による走査の回期が取ら第
1、印刷物1の照明は光線9によって行ブ工われる。 こうしてLSカメラ3で撮f埃さJし出力された画1象
信号はAl1)変換器4でディジタル化さね、濃淡情報
を8ビツトで表わしたプイシタル画汀データ′丁となり
、変調パターン発生回路川で1ヒツトの変調パターン(
2値化データ)に変換される。 そこで、ます、検査開始に先立って切換スィッチ5葡標
本パターンメモリ13の方に切換え、印刷物1から基準
どムニる私信を】〉り定し、それを標本パターンとずろ
。そして、この標本パターンをl、 Sカメラ;うでJ
i、a I埃し、標本パターンの2値化による標本パタ
ーンデータSP′をメモ1月3に畳込む。なお、このと
き゛の一アドレス目、同期回路8がらの同期イpZ−”
jによって51駆動さ才するアドレス回路12によって
与えられている。 次に、1υ換スイツチ5をパターンマツチング回II′
L′t14に切換え、印Al;il物10m食を開始す
る。 このときには、lノSカメラ3で印Ar+lI ’!勿
10耘柄から撮1寡したul++ +家伯号が破恢査パ
ターンデータ゛rP′とじてパターンマツチング回路1
4に入力され、同時に、これと並行1−で標本パターン
メモリ13カ・らは標本パターンデータSP′が読出さ
れ、このデータSP’もパターンマツチング回路14に
入力される。ぞし、て、このときの2つのデータ゛rP
′とS P’の各画素ごとの対応は、ロータリーエンコ
ーダ11の出力で動作する回期回路8による同期イ6号
ケルSカメラ3とアドレス回路12に供給′1−ること
により、正確に行ン、1われる。 これらのパターンデータTP’、 SP’は共に時系
列データであり、パターンマツチング回路14ば、これ
ら被検査パターンテータTll k)(と標本パターン
データSP′とを各画素ごとに比較し、所定の条件のも
どで両者の一致状態を調べ、’1′4J定テータ・1を
出力[−1印刷物1の絵柄の良否判定を行なう。 第4図は変調パターン発生回路10の一実施ヤ1]で、
この実施例によれは、変調パターン発生回路it)は、
平滑フィルタ15と、単調増加変調回路16、そhにパ
ターンフィルタ17かも構成され、A / D変換zト
14(第3図)でディジタル化され、その碌淡階調が8
ビツトで表わされている両区データIl+は、まず平甫
フィルタ15で平滑化されたのち単調ハイ加変調回路1
Gに供給さオ区濃淡階潤が各画素ごとに単調増加1−て
いる部分ではレベル゛1″となり、それ以外の部分では
レベル”0“となるように2値化されたパターンデータ
′1゛Pに変換される3、その後、このデータT l)
はパターンフィルタ17によりハr5鈴の画素数以下の
長さの部分をつぷ1−ための処111r受け、パターン
データTP’と(−2て出力されるようになっている。 ;H5図は平?トtフィルタ15の一実施例で、重ミツ
は平均による簡易形ディジタ四・フィルタの一種で構成
[7たもので、車みづけを3=1としたものである。な
お、この−小みづけの割合は任意に設定可能テ、4:1
,5:l・・曲等とすることができ、車みづけの度合い
が大きくなればなる程、平滑化の10−合いも強く、な
′るものである。 まず、その原理について説明すると、A / I)変換
器4がらの画1′4!ア−タ゛■゛け、8ビツトで濃淡
階調が表わされている時系列データとなっており、この
データ’k T(tJとし、データi”(tJ口を以下
の式によって求めてみる。なお、この変数
【は時間を衣
わ−1のは勿、捕で、1;)るが、この場合のような両
数データのとぎには、時間というよりはむしろ画素の位
置、或いは画素の番号と考えた方が適切である。 但し、上式は左辺が右辺に等しいことを表わすので&プ
、ゾエく、左辺を右辺で置き換えることを意味する。 即ち、成る画素のデータ′P(t)とそれに隣接する次
の画素のデータT(tJ1)にふ5いて、これらに対し
2て3:1の重みづゆを行ない、これを本来の゛データ
T自+1)K置き換えてやるため、新たに得られたデー
タ’l”(tJx)はその前のデ〜りLf (1)に:
3:10単みて「引っばられる」状態になる。 そして、この置き換えにより得た新たなデータIll、
を十1.を用いてさらに を求め、これを新たなデータ゛f’(tJz)とする。 この繰作をそれぞれの走査線ごとに、1走査線分のデー
タにわたって行なうことにより擬似的なローパスフィル
タが形成され、平滑化を行jようことかできる。 ここで、上記(1)式は次の(3)式として表わせる。 −L N ’]’ (−”−Σ″゛(リ 士ヅ(=甲)
+ 2. ) (3)なトマ、)一式で、
I N Tは贅数部だけをとる関数を意味し、従って、
上記(3)式で0,5を加算した後整数部だけを取るこ
とにより小破>rl−の切り捨てを行なえは、4捨5人
が行なわれたことになり、(1)式は<3)式゛ひ表わ
されることにプ工ろ。 ン゛J−!、5図の実施例(工この(3)式にしたがっ
た操作音よ14体化し5た例で、加n回路18で定数2
σ)加算を行ない、加11回蹟19はデータi” (t
J1 ) ト3 X T(+)I:’)加金1を?iな
う一1結線B+s :t:+では10ビツトのデータの
一トゴ)742ビツトを尖((ネ兄−3−ることにより
1/4のi昧算を行Δ[い、ラッチ21によりlクロッ
クi11のデータとし′(保持する。このラッチ21は
LSカメラ3(第23図)の走有−クロックと同じクロ
ック(ΣKLによって口!υ作17.1時系列データと
なっ−rいるデータ′1゛丘保持し、′r(りと’1’
(tJ11の演算を0」能にする。乗p回路22は加y
、!回路20と、]′:位↓イ■に1ビット付加″J−
るごとにより×2の乗算を行なう結線部24からなり、
結果的に×3の采算を行なうようになって見・る。フ、
[お、小数点以下の切捨ては結線部Z3で下位桁を無視
することにより同時に行なわれている。 次に、第6図は単調増加変調回路[6の一実施例で、平
滑フィルタ15により平滑化され、8ビツトの濃淡階調
からなる時系列データとなっている画1象テータT′を
入力とし、その濃淡階調が単調増加する部分ではレベル
が11111となり、それ以外の部分ではレベルがNO
″どなっているパターンデータTPに変換する働きをす
るもので、ここでは、画成データ゛r′の濃淡階調が連
続して2つ以−ヒの画素にわたって増加したとき、その
笥へ分を1¥調増加部分と1.゛C検出するようにした
ものである。)、’f: 3cS 。 平滑フイノ[り15を用い、平滑化データIP +を入
力としている理由につ(・では後述−(る。 第6図において、第1と第2のラッチが、2〔りは連続
した画素ごとのデータを保持−する働きを(〜、成る位
1δでの画素のデータ゛J゛′(りに対1,7【ぞねに
隣接1−る前後の画素のデータT’(t−1)とT′(
tJx)の比較音iiJ能に−する。そして、この比較
は第1と第2の比較回路27.28によって11なわれ
ろ。 傾き検出回路:3+、1 i’lJ−データ′1゛′の
IT!!η素間での濃淡階調の変化の割合い、つまり傾
きが71i定値以上になったときだげアンドゲート29
を能1ffjl化し、このときだけパターンデータ′1
゛Pが単調増加を表わずレベルパ1′″にy、c +)
得、7.)ようにするためυ)もので、これによりパタ
ーンマツチング動作が誤判定するのが防止でき、確実ブ
Z判定が得ら′にするようになる。 つまり、データ′1゛′の濃淡Dk調が極くゆるやかな
部分では、検子化などによる僅かなノイズ成分によって
も単調増加部分か↓■とわれ、これによる誤動作の虞れ
を生じるか、傾き検出回路S幻を設けることにより階調
が平坦ブエ部分ではパターンデータTPも単調になり、
誤」41定かvJ止できるのでk〕る。 この傾き検出回路間の一実施例を第7図に示1“。 画1永データ′1゛′は引算回路3;5の一方の入力に
そのまま供給され4)と共に、ラッチ31を介して他方
の入力に供給され4)。この結果、1看回路35では、
成る1…1素のデータT、 ’(+)と、その一つA+
Jの画素のデータ′vj < t、 )どの間での差の
絶対値を衣わ一1″データS (t)か得られる。そ(
,2て、この点のデータ5(t)はn個のランチ32〜
34によってl1llI11索前のデータにわたって保
持され、加算回路:30によって加3・マされ℃データ
S S (t)となる〇 つまり、 S<t)= l コ゛’(t) −T’ (t
−−−1+ 1 ・・・・・・・・
(4)S 5(t) = 5(t)+ S(t−1>
+ S(t−2)+−−+ Sf t−n )・・・
・・・ (5) となる。 この橋第1デーメS S (i)は比較回路:37によ
って設定値gと比較され、SS(す2gのときにだけレ
ベル゛1′となるデータ(j(1)か得られる。なお、
このとき、ラッテ:32〜34の個舷nと設定値gとは
、検出すべき傾きに応じて最適な値を退ぷよ5にすれば
よい。 第6図に戻り、第1と第2のラッチか、26によってイ
乍り出されたデータT’H+t)、 T′(g 、 T
’(1−1)はそれぞれ比較回路27.28で比較され
、その結果がアンドゲート29に人力される。従って、
この′アントゲー) 29の出力に現われるデータ′1
゛Pは、傾き検出回路刃からのデータG (t)が勺″
で、かつ、Ill I (、i 、 、、 Ill ’
(t)呉′J゛′(t→l)の条件がイd4だされたと
きだけレベルパ1′となり、データ′1゛′が2つの画
素以りにわたって印、jJIAI増加したことを正確に
検出できることになる。 この結果、データ′1゛Pば、第8図(a)、 (b>
に示すように7ぶり、印刷Ji・す114x3図)0)
欠陥Q)ない絵柄から14トた場付が第8図(a)で、
絵柄に欠陥部分FかあったJ初会は同図(b)のように
なるため、(a)の場合σ)データ゛p l) j7標
本パターンデータSPとしてやれば印刷物の横潰・を行
なうことができる。 ここで、平滑フィルタ15を用い、データ′1゛を平滑
化したテーク゛1゛′とl、−Cから単調増加入調回路
16に供給−するようにし7ている理由を第9図(a)
、 (1))によって説明する。 画1埴データ′1゛はそれに含まれるノイズ成分により
、第9図(a)に下すように細かな濃淡階調の変化をも
っており、このため、このままでパターンデータ′]゛
Pに変換したので(・工、同図から明らかなように、デ
ータ’、r (7)濃淡階調ケ表わすパターンデータが
正確に得られなくなる。そこで、平滑ソイ2ルタ15を
設Vj、第9図(1))に示すように平謂化(−たデ1
−タIl’l ’を得るように1.、これにより止[7
(・〕くターンデータTPが州られるようにしているの
である。 次に、第10図はパターンノイ/L、夕17σ)一実施
例を示す。 このパターンフィルタ17は、印調増加変調回路16か
ら得られた、画隊データ′PのW>淡階@14 a>単
調増加を表わすパターンデータ゛P1)に設定値以下σ
)パルス幅の部分か現わ牙1ブことと1.+Lσ)部分
分つ、ふ・I2て除去する働きをするもので、これを設
けたj1↓1由はパターンマツチング回路14による位
置ずオtrt容度を設定1−るためである。な4・5、
こ(1)詳細なj−1,4j由については後述]る。 さて、第10図に戻り、この実施i+lJは2 t=ソ
ト幅(2画素分)以下のパルスをつぶすように構成した
もので、時系列2値テータとして供給され、整数部が1
ビツトからなるノくターンデータ′■″13(j、加算
回路あに入力される。そして、加算回路38 、39と
ラッチ41、それに下位桁2ビツトケ除いて整数部3ビ
ット、小数部3ビットの6ビツトから7よる−γ゛−タ
を整数部1ビット、小数部3ビット04ビットか17)
なるデータに変換する結絢部45と、最下位+i″Tに
1ビツトのゼロを(=1加し1、整数耶1ビット。 小数部3ビットの4ビツトからなるデータから整数R(
X2ビツト、小数部3ビットの5ビツトからなるデータ
を得るための結輯部46からなり、これらにより の−車みイき4げ言t Jt ’;tイエない、これを
C尺の′1゛Pか人力さfi、、 7;、)ごとにl1
ll’j次繰り返す。このとさ、第10図から明らかな
ように、上記(6)式の81劃−は小数点以下:3ビツ
トの梢1隻でイ丁ない、さらにラッチ42、比較回路4
3、選択回路44が無かった場合を想定し、ている。ま
た、この(6)式の意味も、h辺を右辺で置き換えるこ
とを表わ17ているものである点に性悪する必巽がhる
。 この(6)式の結果は、第101QJでラッチ41の出
力に現われ、これ全上位Nr 2ビツトで取り出したデ
ータをTPIIとずれは、このデータT pHは桁洛ち
のため第11図(a)〜(C)のように/よる6、そこ
で、このデータT Prrを加算回路4(l VCC六
方〜、2ビツトのデータ(0,1)を細切ニー1’ろ、
−と(マーより4捨5人−イ゛れば、データIII )
)lがイξIられる。 ま刊゛、第11図(a)は、データ’l’ )’σラバ
ルス幅が充分に長くなっていた揚台で、このときにはチ
ルタフ゛PがほとんどそのままデータTl k) lと
して出力される。 仄に、第11図(b)は、プ〜り′1゛Pのパルス幅カ
2ビットしがな(、この結果、5jに4a、1;1す゛
?1iJjツマ、【〜/、゛−イ々のデータTP”は0
.5にまで達ぜ1−14捨5人しても1.0にならない
ため除去され、っぷさ11− CLまってデータIll
IJ Jとしては表われなくなっ”Cいる状態f71
\している。 従って、この^klO図に示したパターンフィルタI7
によれは、パターンデ〜り’J’ k’のパルス幅が2
ビツト以Fとなっている部分全除去し、データl1lP
lとしては現われム、いようにすることができる。 なお、このようにする必要性について(Jl、上述のよ
うに彼で説明する。 どとろで、以上は、ラッチ42、比較回路43、選択回
路4・1が41(qい9,17合を想定して説明し一〇
k)る。しかし−C1こQ)ときには、第11図(C)
に示すように、パターンフィルタ′1゛Pθ)パルス]
1モ、が丁度3ビツトと/lっだとぎに、データ’i’
p’として1ビツト幅のパルスが+11わオl、これは
後述−するようにパターンフィルタ17を11文けた理
由に反するものとなり不都合−Cue、イ、。 そこで、このような場合のために、ラッチ42゜比較回
路43.:+:べ択回路44が収はト9れており、以下
、これら會浩んだ騙1合について説明I−る。 ラッチ42はデータ゛l’P’を11向系」υ月用1呆
1守する。 従っ′C1その人力θ)データをl’P’(I)とすれ
ば、出力には1画素[)IJσ)データ゛l”)”(t
、)が州られることになる。モして、比較回路43はラ
ンチ42の入力と出力全比較t、’tいるから、それら
か−・蚊しなく?、Cっだとぎに出力A\Bがレベル”
1”に7よる。っ仕り、この出力A\BはデータTP’
が変化したタイミングでだけ1凹J系1男間にわたって
レベル01°゛となる。 一方、選択回路44は、その切換人力8がレベル゛0゛
のときには人力13のデータを出力1−1す(婆入力S
がレベル゛1′″になったときには入力へのデータを出
力1゛るように動作1ろ3、 この結果、データ’rp’が変化し、たとぎ、つまりレ
ベル″0パからレベル”1” VC,&いハレヘル′″
1″からレベル″0゛′に反転したときには、その後の
1画素JjJ1間だけラッチ4]の出力データに代えて
データ1゛P′を4ピツl”cj表わtまたデータが選
択回路44から出力されることになり、第11図(C1
の状、1川となった場合には、同図((1)にボすBi
ノ」作となり、デー タ′1゛)ゝ′とし、ては必ず3
ビyト以、上のパルス幅のものが担われるようにするこ
とができ、後述−J−るパターンVノチング回路におけ
る誤動作ケ防11ゾ4”ることかできることになる。 なお、この第10図の実施例は、データ’l’ l)の
パルス幅が内索2ビット分以1:となっている部分全つ
ぷずようにしたセ1」であるか、上記(6)式で表わさ
れる重み付けの大きさを4:1,5:1・・・・・ と
変えてやれは、それに応じてつぶされるパルス1lli
+i ’f大きくすることかでき4)のはいうよでもな
い。 次に、パターンマツチング回路計1(第3図)の一実施
例を第12図に示す。 各画素ごとに対応して変調パターン発生回路1゜(第3
図)と標本パターンメモIJ 13 (第3図)から供
給されるパターンデータTP’とSP’とは、そ、+t
ぞれラッチ5(、)、 51とエクスクルーシブオア
ゲ)52.53に人力され、さらにこれらエクスクルー
シブオアゲー)52.53の他方の入力にはラッチ50
.51でそれぞれ保持さえtだ1画素前のデータrJ)
PI(t、)とST楡ドl)が供給される。 この結果、エクスクル−シブオアゲート52の出力は、
パターンデータT P ’(1)か入力され、それが1
画素前のデータi” k”(t−1)と異なっていたと
き、つまり、データ7111)L coが反転したとき
にレベル°′1”になり、同様に、エクスクル−シブオ
アゲート53の出力は、パターンデータSF’(1)が
入力されタトキ、ソftカ11lIjt、前0)チー
I SP’(1−1)と反転したデータとなっていた場
合にレベル″1″になる。 カウンタ54,55はエクスクル−/フォアゲート52
.53の出力をカウントイネーブル人力Cとし、クロッ
クCLKをカウントパルスとし2て動作する2ピントの
カウンタであり、従って、これらカウンタ54,55の
カウント出力データは、これらのカウンタが同時にクリ
アされた。fi)と、成る時間までに供給された入カバ
ルスの個数の差に応じて異なったデータとなる。つまり
、成る期間内にエクスクル−シブオアゲート52と5;
3の出力に現われるパルスの数(Oを含む)が等1〜く
なっていたときには、これらのカウンタ54,55のカ
ウントデータも一致し、これらのパルス数がH7,rっ
たときには、その個数の差に応じてカウンタ54と55
の出力データに差を生じるようにI動作することになる
。 これらカウンタ54,55の出力データはそれぞれ差の
絶対値回’7656に供給され、これらのデータの差の
絶対値を表わすデータ1Et−E21が出力され、この
データ1jコ〕1−1つ21ケ人力A、定数2を入力B
とする比較回路57に供給し、この比軟回路57の出力
を判定信−け、■とする。 また、この判定信号、Jはインバータ58を介して2個
のカウンタ54,55のクリア入力(L(負入力)に供
給さJl、こhにより判冗伯号、■が現わハるごとに、
つまり欠陥が検出されること(てカウンタ54.55が
クリアさ第1.乙)ようになっ−((・る。 次に、この第12図によるパターンマツチング回路j4
の実施例の動作を第13陳](d)〜(e)によって説
明−す る、。 マー1、パターンフィルタ17が無かったものと想5辷
4−る (一つ ま リ l”P′、、TP 、
S)”= SP )。 いま、印、t+;li物1(第3図)の被検査絵柄に欠
陥かなく、また、[4]刷物1がら標本パターンデータ
8P′を1.)シ取ったときと、被検査用のパターンデ
ータl1l))’をjDr、取ったときとで印刷物1に
ずれがなかったと−」オしは、エクスクル−シブオアゲ
ート52と5;つの出力にば′帛に同じタイミングで同
じ個数のバ、ルスが現われることになり、従って、カウ
ンタ54と55のカウントデータも常に一致したままに
保たれ、この結果、第13図(a)に示すように差の絶
対値回路56の出力データもlト;1−E21=0のま
まとなるから、比較回路570入力条件け、A−0,B
=・2となり、判定信号Jはレベル°°0“の=!まで
欠陥が無かったことを表わす。 一力、被検査絵柄に欠陥があり、例えは(県木パターン
データS P f:取り込んだときの画1家データ′J
゛′が第8図(a)の状態となっていたのに対して、検
査パターンデータT Pを取り込んでいるときの++i
。 1ψデータが第8図(b)のようになっていたとすれは
、このときには第1:3図(b)に示すように、欠陥部
分Fでエクスフルルシブオアゲート52からは2個のパ
ルスか出力され、これによりカウンタ54のカウントデ
ータは2だけ」vノ加するのに対し−C1こねに対応し
た部分Sではエクスクル−シブオアゲート53からはf
l’Jもパルスが得られず、カウンタ55のカウントデ
ータには変化を生じない。従って、このときには差の絶
対値回路56の出力データか2、則ちIEl−E21=
2となり、判定信号、Jが出力され、欠陥部分Fを検出
することができる。 そして、このときの検出!動作は、助j1殖データTの
祷淡階調が)>i調増加1〜てい4)部分を表ゎ1パタ
ーンデータの比較に基ζ)くものとなっているため、第
14図に示−すように標本パターンデータsP′を取り
込んだときの画[象データ1゛8に対して、その後、印
刷物1に対すイ)照明尤鼠の変化やLSカメラ3ドリフ
トなどにより、検)ハーバターンデータ゛FP′を)1
vり込んだときの画1埃データ′1゛Tの平均レベルが
変化しても、これによ”;;y 誤判定発生の虞れはほ
とんトナ<、確実な欠陥の検出を行なうことができる。 次に、標本ウーータSP′を取り込んだときの印刷物1
0位INと、検査データ’J”P’l得たときの印刷物
1の位置とが異なった場合について説明する。 第13図(C)は被検査ね柄に欠陥がなく、位IIイ1
れだけを生じた場合で、まず柿本パターンデータSP’
(t) タn 力レベル゛1゛に変り、これによりエク
スクル−シブオアゲート53がパルスを1個発生し、カ
ウンタ55のカウントデータだけがまたけ増加する。従
って、このタイミングではカウンタ55のカウントデー
タE2かカウンタ54のカウントデータE1より1だけ
先行し、差の絶対値回路56の出力データ1El−E2
1は1にブIる。し、かして比較回hYt 57の入力
Bには定数2がJjえられているため、この場合には判
定4g ”−T Jは出力されない。そして、その後、
位1hずれに応じた遅れをもってパターンデータTP’
(I)かレベル゛1″になったタイミングでカウンタ5
4のカウントデータ1′J1け、1(]2に退い伺ぎ、
これによりデータ11づx−E21は0に戻る。 また、検査パターンデータ′J″”(t)に欠陥部分を
も言んでいた場合には、第13図(d)に丁すようにな
り、結局、この第12図の実施例によれは、位ipずれ
の影1・vを受けることな(、絵柄の欠陥部分だけで判
定信号Jを発生さぜることかでとる。 そして、この実施例では、判定信号Jか駅、われるごと
にカウンタ54,55がクリアされ、その出力データが
等しい状態罠戻されるため、常に新たな欠陥の検出動作
を行なうことがでとる。 ところで、この実施例では、画1床データ′Vの閾皺階
調の単調増加部分及びそうでない部分のル食方向の長さ
以上の位置ずれに対しては、このままでは幅判定し、本
来欠陥の無い部分でも欠陥ありとj′41定する1、q
jl、がk)る。例えば、第1:3図(e)は単調増
加743分の幅以上の位IIMずれを生じた場合で、こ
のときにはそれぞれの部分でデータ1Et−E2+か2
となり、欠陥ではないのにもがかわらず判定イ1−1号
、■が2回も出力されてしまう。 そこで、パターンフィルタ17を設け、パターンデータ
l’ Pの2ビツト(2画素)以下のパルス幅の部分は
第11図(1))に示すようにっぷ1−て除去し、3ピ
ノ) ]iy、3の部分では同図(C)に示すように1
ビット’、17viのパルスか出力されようとするのを
抑ルし、同図(C1)に示すように3ビツト幅以上のパ
ルスしか出力さねないようにしているのでk)す、1正
って、この欠施1<・1jによれば、位ti!イ、1′
れの山iがf9r定ピント長にまでな、っても誤判定の
屓れはなく、ただ所定ビット4’9以下の欠陥(心つい
ての#1」定動作が停止さ牙するだけで槍む。なお、こ
のときの所定ビット長(・Jパターンフィルタ17によ
る重み付は量によって仕;ij、に設定1iJ’ i止
なことは前述のとおりであり、か′つ、これにより欠陥
検出の最ホビソト軸度が仄る。 そして、第10図の実施例によれは、パターンデータT
Pの2ビツト以下の長さの部分がつぶされるのである
から、最小検出ビット数は3ピノ)となり、許容位置ず
れ量は2ビツト長と/f、っている。 従って、これら第3図ないし第】4図で説5明した実施
例によれば、光諒9による印刷物1の絵柄部分に対する
照度変化やLSカメラ3のドリフドブよどの影響を受け
ることなく欠陥検出が行なえる上、印刷物10位tkず
れによる誤判定の虞れもブjいがl−、、常に安定確実
に欠陥部分の検出を1“]“なうことかできる。 なお、以上の実施例では、」4」定信号Jの処理をどの
ように行なって最終的な欠陥判定を得るかについて+:
J、特に説明しなかったが、この点については当業者が
任意に定めればよく、例えは、判定信号Jが発生1〜た
ら直ちにそのどき検査中の絵柄に欠陥ありとしてもよく
、或いは判定イ1j−弓Jケ1走査線期間又は1絵柄面
走査期間でカウントL−1それが所定値を超えたときに
欠陥44]定を行なうようにしてもよい。 また、これらを組合わせ、1走査線期間及び1絵柄面走
査期間ごとにカウントしまた判定信号Jの回数が、そf
lそれ別に設定した基準値のいずれかを1yiiえたら
欠陥k〕りと判定するようにしてもよい。 以−1−説明(〜たように、本発明によれば、従来技術
(ハ欠点を除き、以下に列挙する顕著な効果が得ら、I
するパターン検査方法を容易に提供することができる。 (1)ハード的な構成が単純になり、装債のローコスト
化と処理の高速化が充分に期待できる。 (11)変調パターン発生II−!j路がディジタル化
されているため、簡単な構成で済む。 (iii) 光量変化にjJi ’y・たけでなく、
位置ずれにも強い装Wiを得ることができる。 (iv) 光11(変化に強いため、検査環境を選ば
ずに適用でき、かつ光量変動に対する補償が不要になる
ので、この点でのローコスト化モ可能。 (■)位fttずれに強い構成とすることもできるため
、印刷物の搬送系による位置決めに高精度を−9l−な
(なり、この面でのコストダウンが容易である。 (Vi) 比較すべきデータが2値化されている・く
ターンブ゛−夕と/Iっているプこめ、メモリ容!神が
少くてθイむ。
わ−1のは勿、捕で、1;)るが、この場合のような両
数データのとぎには、時間というよりはむしろ画素の位
置、或いは画素の番号と考えた方が適切である。 但し、上式は左辺が右辺に等しいことを表わすので&プ
、ゾエく、左辺を右辺で置き換えることを意味する。 即ち、成る画素のデータ′P(t)とそれに隣接する次
の画素のデータT(tJ1)にふ5いて、これらに対し
2て3:1の重みづゆを行ない、これを本来の゛データ
T自+1)K置き換えてやるため、新たに得られたデー
タ’l”(tJx)はその前のデ〜りLf (1)に:
3:10単みて「引っばられる」状態になる。 そして、この置き換えにより得た新たなデータIll、
を十1.を用いてさらに を求め、これを新たなデータ゛f’(tJz)とする。 この繰作をそれぞれの走査線ごとに、1走査線分のデー
タにわたって行なうことにより擬似的なローパスフィル
タが形成され、平滑化を行jようことかできる。 ここで、上記(1)式は次の(3)式として表わせる。 −L N ’]’ (−”−Σ″゛(リ 士ヅ(=甲)
+ 2. ) (3)なトマ、)一式で、
I N Tは贅数部だけをとる関数を意味し、従って、
上記(3)式で0,5を加算した後整数部だけを取るこ
とにより小破>rl−の切り捨てを行なえは、4捨5人
が行なわれたことになり、(1)式は<3)式゛ひ表わ
されることにプ工ろ。 ン゛J−!、5図の実施例(工この(3)式にしたがっ
た操作音よ14体化し5た例で、加n回路18で定数2
σ)加算を行ない、加11回蹟19はデータi” (t
J1 ) ト3 X T(+)I:’)加金1を?iな
う一1結線B+s :t:+では10ビツトのデータの
一トゴ)742ビツトを尖((ネ兄−3−ることにより
1/4のi昧算を行Δ[い、ラッチ21によりlクロッ
クi11のデータとし′(保持する。このラッチ21は
LSカメラ3(第23図)の走有−クロックと同じクロ
ック(ΣKLによって口!υ作17.1時系列データと
なっ−rいるデータ′1゛丘保持し、′r(りと’1’
(tJ11の演算を0」能にする。乗p回路22は加y
、!回路20と、]′:位↓イ■に1ビット付加″J−
るごとにより×2の乗算を行なう結線部24からなり、
結果的に×3の采算を行なうようになって見・る。フ、
[お、小数点以下の切捨ては結線部Z3で下位桁を無視
することにより同時に行なわれている。 次に、第6図は単調増加変調回路[6の一実施例で、平
滑フィルタ15により平滑化され、8ビツトの濃淡階調
からなる時系列データとなっている画1象テータT′を
入力とし、その濃淡階調が単調増加する部分ではレベル
が11111となり、それ以外の部分ではレベルがNO
″どなっているパターンデータTPに変換する働きをす
るもので、ここでは、画成データ゛r′の濃淡階調が連
続して2つ以−ヒの画素にわたって増加したとき、その
笥へ分を1¥調増加部分と1.゛C検出するようにした
ものである。)、’f: 3cS 。 平滑フイノ[り15を用い、平滑化データIP +を入
力としている理由につ(・では後述−(る。 第6図において、第1と第2のラッチが、2〔りは連続
した画素ごとのデータを保持−する働きを(〜、成る位
1δでの画素のデータ゛J゛′(りに対1,7【ぞねに
隣接1−る前後の画素のデータT’(t−1)とT′(
tJx)の比較音iiJ能に−する。そして、この比較
は第1と第2の比較回路27.28によって11なわれ
ろ。 傾き検出回路:3+、1 i’lJ−データ′1゛′の
IT!!η素間での濃淡階調の変化の割合い、つまり傾
きが71i定値以上になったときだげアンドゲート29
を能1ffjl化し、このときだけパターンデータ′1
゛Pが単調増加を表わずレベルパ1′″にy、c +)
得、7.)ようにするためυ)もので、これによりパタ
ーンマツチング動作が誤判定するのが防止でき、確実ブ
Z判定が得ら′にするようになる。 つまり、データ′1゛′の濃淡Dk調が極くゆるやかな
部分では、検子化などによる僅かなノイズ成分によって
も単調増加部分か↓■とわれ、これによる誤動作の虞れ
を生じるか、傾き検出回路S幻を設けることにより階調
が平坦ブエ部分ではパターンデータTPも単調になり、
誤」41定かvJ止できるのでk〕る。 この傾き検出回路間の一実施例を第7図に示1“。 画1永データ′1゛′は引算回路3;5の一方の入力に
そのまま供給され4)と共に、ラッチ31を介して他方
の入力に供給され4)。この結果、1看回路35では、
成る1…1素のデータT、 ’(+)と、その一つA+
Jの画素のデータ′vj < t、 )どの間での差の
絶対値を衣わ一1″データS (t)か得られる。そ(
,2て、この点のデータ5(t)はn個のランチ32〜
34によってl1llI11索前のデータにわたって保
持され、加算回路:30によって加3・マされ℃データ
S S (t)となる〇 つまり、 S<t)= l コ゛’(t) −T’ (t
−−−1+ 1 ・・・・・・・・
(4)S 5(t) = 5(t)+ S(t−1>
+ S(t−2)+−−+ Sf t−n )・・・
・・・ (5) となる。 この橋第1デーメS S (i)は比較回路:37によ
って設定値gと比較され、SS(す2gのときにだけレ
ベル゛1′となるデータ(j(1)か得られる。なお、
このとき、ラッテ:32〜34の個舷nと設定値gとは
、検出すべき傾きに応じて最適な値を退ぷよ5にすれば
よい。 第6図に戻り、第1と第2のラッチか、26によってイ
乍り出されたデータT’H+t)、 T′(g 、 T
’(1−1)はそれぞれ比較回路27.28で比較され
、その結果がアンドゲート29に人力される。従って、
この′アントゲー) 29の出力に現われるデータ′1
゛Pは、傾き検出回路刃からのデータG (t)が勺″
で、かつ、Ill I (、i 、 、、 Ill ’
(t)呉′J゛′(t→l)の条件がイd4だされたと
きだけレベルパ1′となり、データ′1゛′が2つの画
素以りにわたって印、jJIAI増加したことを正確に
検出できることになる。 この結果、データ′1゛Pば、第8図(a)、 (b>
に示すように7ぶり、印刷Ji・す114x3図)0)
欠陥Q)ない絵柄から14トた場付が第8図(a)で、
絵柄に欠陥部分FかあったJ初会は同図(b)のように
なるため、(a)の場合σ)データ゛p l) j7標
本パターンデータSPとしてやれば印刷物の横潰・を行
なうことができる。 ここで、平滑フィルタ15を用い、データ′1゛を平滑
化したテーク゛1゛′とl、−Cから単調増加入調回路
16に供給−するようにし7ている理由を第9図(a)
、 (1))によって説明する。 画1埴データ′1゛はそれに含まれるノイズ成分により
、第9図(a)に下すように細かな濃淡階調の変化をも
っており、このため、このままでパターンデータ′]゛
Pに変換したので(・工、同図から明らかなように、デ
ータ’、r (7)濃淡階調ケ表わすパターンデータが
正確に得られなくなる。そこで、平滑ソイ2ルタ15を
設Vj、第9図(1))に示すように平謂化(−たデ1
−タIl’l ’を得るように1.、これにより止[7
(・〕くターンデータTPが州られるようにしているの
である。 次に、第10図はパターンノイ/L、夕17σ)一実施
例を示す。 このパターンフィルタ17は、印調増加変調回路16か
ら得られた、画隊データ′PのW>淡階@14 a>単
調増加を表わすパターンデータ゛P1)に設定値以下σ
)パルス幅の部分か現わ牙1ブことと1.+Lσ)部分
分つ、ふ・I2て除去する働きをするもので、これを設
けたj1↓1由はパターンマツチング回路14による位
置ずオtrt容度を設定1−るためである。な4・5、
こ(1)詳細なj−1,4j由については後述]る。 さて、第10図に戻り、この実施i+lJは2 t=ソ
ト幅(2画素分)以下のパルスをつぶすように構成した
もので、時系列2値テータとして供給され、整数部が1
ビツトからなるノくターンデータ′■″13(j、加算
回路あに入力される。そして、加算回路38 、39と
ラッチ41、それに下位桁2ビツトケ除いて整数部3ビ
ット、小数部3ビットの6ビツトから7よる−γ゛−タ
を整数部1ビット、小数部3ビット04ビットか17)
なるデータに変換する結絢部45と、最下位+i″Tに
1ビツトのゼロを(=1加し1、整数耶1ビット。 小数部3ビットの4ビツトからなるデータから整数R(
X2ビツト、小数部3ビットの5ビツトからなるデータ
を得るための結輯部46からなり、これらにより の−車みイき4げ言t Jt ’;tイエない、これを
C尺の′1゛Pか人力さfi、、 7;、)ごとにl1
ll’j次繰り返す。このとさ、第10図から明らかな
ように、上記(6)式の81劃−は小数点以下:3ビツ
トの梢1隻でイ丁ない、さらにラッチ42、比較回路4
3、選択回路44が無かった場合を想定し、ている。ま
た、この(6)式の意味も、h辺を右辺で置き換えるこ
とを表わ17ているものである点に性悪する必巽がhる
。 この(6)式の結果は、第101QJでラッチ41の出
力に現われ、これ全上位Nr 2ビツトで取り出したデ
ータをTPIIとずれは、このデータT pHは桁洛ち
のため第11図(a)〜(C)のように/よる6、そこ
で、このデータT Prrを加算回路4(l VCC六
方〜、2ビツトのデータ(0,1)を細切ニー1’ろ、
−と(マーより4捨5人−イ゛れば、データIII )
)lがイξIられる。 ま刊゛、第11図(a)は、データ’l’ )’σラバ
ルス幅が充分に長くなっていた揚台で、このときにはチ
ルタフ゛PがほとんどそのままデータTl k) lと
して出力される。 仄に、第11図(b)は、プ〜り′1゛Pのパルス幅カ
2ビットしがな(、この結果、5jに4a、1;1す゛
?1iJjツマ、【〜/、゛−イ々のデータTP”は0
.5にまで達ぜ1−14捨5人しても1.0にならない
ため除去され、っぷさ11− CLまってデータIll
IJ Jとしては表われなくなっ”Cいる状態f71
\している。 従って、この^klO図に示したパターンフィルタI7
によれは、パターンデ〜り’J’ k’のパルス幅が2
ビツト以Fとなっている部分全除去し、データl1lP
lとしては現われム、いようにすることができる。 なお、このようにする必要性について(Jl、上述のよ
うに彼で説明する。 どとろで、以上は、ラッチ42、比較回路43、選択回
路4・1が41(qい9,17合を想定して説明し一〇
k)る。しかし−C1こQ)ときには、第11図(C)
に示すように、パターンフィルタ′1゛Pθ)パルス]
1モ、が丁度3ビツトと/lっだとぎに、データ’i’
p’として1ビツト幅のパルスが+11わオl、これは
後述−するようにパターンフィルタ17を11文けた理
由に反するものとなり不都合−Cue、イ、。 そこで、このような場合のために、ラッチ42゜比較回
路43.:+:べ択回路44が収はト9れており、以下
、これら會浩んだ騙1合について説明I−る。 ラッチ42はデータ゛l’P’を11向系」υ月用1呆
1守する。 従っ′C1その人力θ)データをl’P’(I)とすれ
ば、出力には1画素[)IJσ)データ゛l”)”(t
、)が州られることになる。モして、比較回路43はラ
ンチ42の入力と出力全比較t、’tいるから、それら
か−・蚊しなく?、Cっだとぎに出力A\Bがレベル”
1”に7よる。っ仕り、この出力A\BはデータTP’
が変化したタイミングでだけ1凹J系1男間にわたって
レベル01°゛となる。 一方、選択回路44は、その切換人力8がレベル゛0゛
のときには人力13のデータを出力1−1す(婆入力S
がレベル゛1′″になったときには入力へのデータを出
力1゛るように動作1ろ3、 この結果、データ’rp’が変化し、たとぎ、つまりレ
ベル″0パからレベル”1” VC,&いハレヘル′″
1″からレベル″0゛′に反転したときには、その後の
1画素JjJ1間だけラッチ4]の出力データに代えて
データ1゛P′を4ピツl”cj表わtまたデータが選
択回路44から出力されることになり、第11図(C1
の状、1川となった場合には、同図((1)にボすBi
ノ」作となり、デー タ′1゛)ゝ′とし、ては必ず3
ビyト以、上のパルス幅のものが担われるようにするこ
とができ、後述−J−るパターンVノチング回路におけ
る誤動作ケ防11ゾ4”ることかできることになる。 なお、この第10図の実施例は、データ’l’ l)の
パルス幅が内索2ビット分以1:となっている部分全つ
ぷずようにしたセ1」であるか、上記(6)式で表わさ
れる重み付けの大きさを4:1,5:1・・・・・ と
変えてやれは、それに応じてつぶされるパルス1lli
+i ’f大きくすることかでき4)のはいうよでもな
い。 次に、パターンマツチング回路計1(第3図)の一実施
例を第12図に示す。 各画素ごとに対応して変調パターン発生回路1゜(第3
図)と標本パターンメモIJ 13 (第3図)から供
給されるパターンデータTP’とSP’とは、そ、+t
ぞれラッチ5(、)、 51とエクスクルーシブオア
ゲ)52.53に人力され、さらにこれらエクスクルー
シブオアゲー)52.53の他方の入力にはラッチ50
.51でそれぞれ保持さえtだ1画素前のデータrJ)
PI(t、)とST楡ドl)が供給される。 この結果、エクスクル−シブオアゲート52の出力は、
パターンデータT P ’(1)か入力され、それが1
画素前のデータi” k”(t−1)と異なっていたと
き、つまり、データ7111)L coが反転したとき
にレベル°′1”になり、同様に、エクスクル−シブオ
アゲート53の出力は、パターンデータSF’(1)が
入力されタトキ、ソftカ11lIjt、前0)チー
I SP’(1−1)と反転したデータとなっていた場
合にレベル″1″になる。 カウンタ54,55はエクスクル−/フォアゲート52
.53の出力をカウントイネーブル人力Cとし、クロッ
クCLKをカウントパルスとし2て動作する2ピントの
カウンタであり、従って、これらカウンタ54,55の
カウント出力データは、これらのカウンタが同時にクリ
アされた。fi)と、成る時間までに供給された入カバ
ルスの個数の差に応じて異なったデータとなる。つまり
、成る期間内にエクスクル−シブオアゲート52と5;
3の出力に現われるパルスの数(Oを含む)が等1〜く
なっていたときには、これらのカウンタ54,55のカ
ウントデータも一致し、これらのパルス数がH7,rっ
たときには、その個数の差に応じてカウンタ54と55
の出力データに差を生じるようにI動作することになる
。 これらカウンタ54,55の出力データはそれぞれ差の
絶対値回’7656に供給され、これらのデータの差の
絶対値を表わすデータ1Et−E21が出力され、この
データ1jコ〕1−1つ21ケ人力A、定数2を入力B
とする比較回路57に供給し、この比軟回路57の出力
を判定信−け、■とする。 また、この判定信号、Jはインバータ58を介して2個
のカウンタ54,55のクリア入力(L(負入力)に供
給さJl、こhにより判冗伯号、■が現わハるごとに、
つまり欠陥が検出されること(てカウンタ54.55が
クリアさ第1.乙)ようになっ−((・る。 次に、この第12図によるパターンマツチング回路j4
の実施例の動作を第13陳](d)〜(e)によって説
明−す る、。 マー1、パターンフィルタ17が無かったものと想5辷
4−る (一つ ま リ l”P′、、TP 、
S)”= SP )。 いま、印、t+;li物1(第3図)の被検査絵柄に欠
陥かなく、また、[4]刷物1がら標本パターンデータ
8P′を1.)シ取ったときと、被検査用のパターンデ
ータl1l))’をjDr、取ったときとで印刷物1に
ずれがなかったと−」オしは、エクスクル−シブオアゲ
ート52と5;つの出力にば′帛に同じタイミングで同
じ個数のバ、ルスが現われることになり、従って、カウ
ンタ54と55のカウントデータも常に一致したままに
保たれ、この結果、第13図(a)に示すように差の絶
対値回路56の出力データもlト;1−E21=0のま
まとなるから、比較回路570入力条件け、A−0,B
=・2となり、判定信号Jはレベル°°0“の=!まで
欠陥が無かったことを表わす。 一力、被検査絵柄に欠陥があり、例えは(県木パターン
データS P f:取り込んだときの画1家データ′J
゛′が第8図(a)の状態となっていたのに対して、検
査パターンデータT Pを取り込んでいるときの++i
。 1ψデータが第8図(b)のようになっていたとすれは
、このときには第1:3図(b)に示すように、欠陥部
分Fでエクスフルルシブオアゲート52からは2個のパ
ルスか出力され、これによりカウンタ54のカウントデ
ータは2だけ」vノ加するのに対し−C1こねに対応し
た部分Sではエクスクル−シブオアゲート53からはf
l’Jもパルスが得られず、カウンタ55のカウントデ
ータには変化を生じない。従って、このときには差の絶
対値回路56の出力データか2、則ちIEl−E21=
2となり、判定信号、Jが出力され、欠陥部分Fを検出
することができる。 そして、このときの検出!動作は、助j1殖データTの
祷淡階調が)>i調増加1〜てい4)部分を表ゎ1パタ
ーンデータの比較に基ζ)くものとなっているため、第
14図に示−すように標本パターンデータsP′を取り
込んだときの画[象データ1゛8に対して、その後、印
刷物1に対すイ)照明尤鼠の変化やLSカメラ3ドリフ
トなどにより、検)ハーバターンデータ゛FP′を)1
vり込んだときの画1埃データ′1゛Tの平均レベルが
変化しても、これによ”;;y 誤判定発生の虞れはほ
とんトナ<、確実な欠陥の検出を行なうことができる。 次に、標本ウーータSP′を取り込んだときの印刷物1
0位INと、検査データ’J”P’l得たときの印刷物
1の位置とが異なった場合について説明する。 第13図(C)は被検査ね柄に欠陥がなく、位IIイ1
れだけを生じた場合で、まず柿本パターンデータSP’
(t) タn 力レベル゛1゛に変り、これによりエク
スクル−シブオアゲート53がパルスを1個発生し、カ
ウンタ55のカウントデータだけがまたけ増加する。従
って、このタイミングではカウンタ55のカウントデー
タE2かカウンタ54のカウントデータE1より1だけ
先行し、差の絶対値回路56の出力データ1El−E2
1は1にブIる。し、かして比較回hYt 57の入力
Bには定数2がJjえられているため、この場合には判
定4g ”−T Jは出力されない。そして、その後、
位1hずれに応じた遅れをもってパターンデータTP’
(I)かレベル゛1″になったタイミングでカウンタ5
4のカウントデータ1′J1け、1(]2に退い伺ぎ、
これによりデータ11づx−E21は0に戻る。 また、検査パターンデータ′J″”(t)に欠陥部分を
も言んでいた場合には、第13図(d)に丁すようにな
り、結局、この第12図の実施例によれは、位ipずれ
の影1・vを受けることな(、絵柄の欠陥部分だけで判
定信号Jを発生さぜることかでとる。 そして、この実施例では、判定信号Jか駅、われるごと
にカウンタ54,55がクリアされ、その出力データが
等しい状態罠戻されるため、常に新たな欠陥の検出動作
を行なうことがでとる。 ところで、この実施例では、画1床データ′Vの閾皺階
調の単調増加部分及びそうでない部分のル食方向の長さ
以上の位置ずれに対しては、このままでは幅判定し、本
来欠陥の無い部分でも欠陥ありとj′41定する1、q
jl、がk)る。例えば、第1:3図(e)は単調増
加743分の幅以上の位IIMずれを生じた場合で、こ
のときにはそれぞれの部分でデータ1Et−E2+か2
となり、欠陥ではないのにもがかわらず判定イ1−1号
、■が2回も出力されてしまう。 そこで、パターンフィルタ17を設け、パターンデータ
l’ Pの2ビツト(2画素)以下のパルス幅の部分は
第11図(1))に示すようにっぷ1−て除去し、3ピ
ノ) ]iy、3の部分では同図(C)に示すように1
ビット’、17viのパルスか出力されようとするのを
抑ルし、同図(C1)に示すように3ビツト幅以上のパ
ルスしか出力さねないようにしているのでk)す、1正
って、この欠施1<・1jによれば、位ti!イ、1′
れの山iがf9r定ピント長にまでな、っても誤判定の
屓れはなく、ただ所定ビット4’9以下の欠陥(心つい
ての#1」定動作が停止さ牙するだけで槍む。なお、こ
のときの所定ビット長(・Jパターンフィルタ17によ
る重み付は量によって仕;ij、に設定1iJ’ i止
なことは前述のとおりであり、か′つ、これにより欠陥
検出の最ホビソト軸度が仄る。 そして、第10図の実施例によれは、パターンデータT
Pの2ビツト以下の長さの部分がつぶされるのである
から、最小検出ビット数は3ピノ)となり、許容位置ず
れ量は2ビツト長と/f、っている。 従って、これら第3図ないし第】4図で説5明した実施
例によれば、光諒9による印刷物1の絵柄部分に対する
照度変化やLSカメラ3のドリフドブよどの影響を受け
ることなく欠陥検出が行なえる上、印刷物10位tkず
れによる誤判定の虞れもブjいがl−、、常に安定確実
に欠陥部分の検出を1“]“なうことかできる。 なお、以上の実施例では、」4」定信号Jの処理をどの
ように行なって最終的な欠陥判定を得るかについて+:
J、特に説明しなかったが、この点については当業者が
任意に定めればよく、例えは、判定信号Jが発生1〜た
ら直ちにそのどき検査中の絵柄に欠陥ありとしてもよく
、或いは判定イ1j−弓Jケ1走査線期間又は1絵柄面
走査期間でカウントL−1それが所定値を超えたときに
欠陥44]定を行なうようにしてもよい。 また、これらを組合わせ、1走査線期間及び1絵柄面走
査期間ごとにカウントしまた判定信号Jの回数が、そf
lそれ別に設定した基準値のいずれかを1yiiえたら
欠陥k〕りと判定するようにしてもよい。 以−1−説明(〜たように、本発明によれば、従来技術
(ハ欠点を除き、以下に列挙する顕著な効果が得ら、I
するパターン検査方法を容易に提供することができる。 (1)ハード的な構成が単純になり、装債のローコスト
化と処理の高速化が充分に期待できる。 (11)変調パターン発生II−!j路がディジタル化
されているため、簡単な構成で済む。 (iii) 光量変化にjJi ’y・たけでなく、
位置ずれにも強い装Wiを得ることができる。 (iv) 光11(変化に強いため、検査環境を選ば
ずに適用でき、かつ光量変動に対する補償が不要になる
ので、この点でのローコスト化モ可能。 (■)位fttずれに強い構成とすることもできるため
、印刷物の搬送系による位置決めに高精度を−9l−な
(なり、この面でのコストダウンが容易である。 (Vi) 比較すべきデータが2値化されている・く
ターンブ゛−夕と/Iっているプこめ、メモリ容!神が
少くてθイむ。
第1図はパターン検査方法の1ir来例を〕j<−3原
坤+14成図、第2図はそのメモリの記憶内存に゛示す
説明図、第3図は本発明によるパターン検査方法の一実
施ト1jを力・すブロック図、第4図は変調パターン発
生回路の一実施例を示す概略グロック図、第5図&、I
、平滑フィルタの一実施例’c 7J<すブロック図、
第6図は申調工v!加変調回路の一実施例を示すブロッ
ク図、第7図は傾き検出回路の一実施例全示すブロック
図、第8図(a)、(b)は単調増加変調回路の動作説
明図、第9図(a)、(1))は平滑フィルタの動作説
明図、第10図はパターンフィルタ回路の一人カ山例を
示すブロック図、第11図(a)〜((1)はその動作
〜。 四回、第12図はパターンフィルタ回路の一人施例葡示
1″ブロック図、第131yJ (a) −(e)は七
のリソ1作説明図、ilJ図は光量変化を示す説明図で
ある。 1・・・・・・印刷物、2・・・・・・回転ドラム、3
・・・・ラインセンザ(1,S )カメラ、4・・・
・・・h/Il&換器。 5・・・・・切換スイッチ、8・・・・・・同期回路、
9・・・・・−光源、用・・・・変調パターン発生回路
、11・・・・・ロータリエンコーダ、12・・・・・
・アドレス回路、1:3・・・・・・標本パターンメモ
リ、14・・・・・・ノくターンマツチング回路。 15・・・・・・平滑フィルタ、16・−・・・単調増
加変調回路。 17・・・・・・パターンフィルタ。 5 第3図 凡 第4図 第5図 2 第8図 (a)
(b)(0)
(b)
第10図 第1 (a) (C) OTP’ 1図 (b) (d) OTP’ 第72図 6 J 496− 第13図 (c)
(d)(e) IEt−E21 t/”’t(2
坤+14成図、第2図はそのメモリの記憶内存に゛示す
説明図、第3図は本発明によるパターン検査方法の一実
施ト1jを力・すブロック図、第4図は変調パターン発
生回路の一実施例を示す概略グロック図、第5図&、I
、平滑フィルタの一実施例’c 7J<すブロック図、
第6図は申調工v!加変調回路の一実施例を示すブロッ
ク図、第7図は傾き検出回路の一実施例全示すブロック
図、第8図(a)、(b)は単調増加変調回路の動作説
明図、第9図(a)、(1))は平滑フィルタの動作説
明図、第10図はパターンフィルタ回路の一人カ山例を
示すブロック図、第11図(a)〜((1)はその動作
〜。 四回、第12図はパターンフィルタ回路の一人施例葡示
1″ブロック図、第131yJ (a) −(e)は七
のリソ1作説明図、ilJ図は光量変化を示す説明図で
ある。 1・・・・・・印刷物、2・・・・・・回転ドラム、3
・・・・ラインセンザ(1,S )カメラ、4・・・
・・・h/Il&換器。 5・・・・・切換スイッチ、8・・・・・・同期回路、
9・・・・・−光源、用・・・・変調パターン発生回路
、11・・・・・ロータリエンコーダ、12・・・・・
・アドレス回路、1:3・・・・・・標本パターンメモ
リ、14・・・・・・ノくターンマツチング回路。 15・・・・・・平滑フィルタ、16・−・・・単調増
加変調回路。 17・・・・・・パターンフィルタ。 5 第3図 凡 第4図 第5図 2 第8図 (a)
(b)(0)
(b)
第10図 第1 (a) (C) OTP’ 1図 (b) (d) OTP’ 第72図 6 J 496− 第13図 (c)
(d)(e) IEt−E21 t/”’t(2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)基準パターンによる1IIII障データと被検査
パターンによる画f象データと全対応する画素ごとに比
較し7て被検査パターンの良否判定を行なう方式ツバタ
ーン検査方法において、上記基準パターンによる画凶デ
ータと被検査パターンによる画1象データの双方を、そ
れぞれその単調増加部分では画素ごとに1(又は0)、
それ以外の部分では画素ごとにO(又は1)となる2値
化データに変戻し、これらの2 (17:化データの比
較により被検査パターンの良否判定を行なうように構成
したことを特徴とするパターン検査方法。 (2、特許請求の範囲第(1)項において、上記それぞ
れの画1象データを2値化データに変換する際、これら
のデータを予め平滑化するように構成したことを峙鑓と
するパターン検査方法。 (3)特ぎN+“1求の範囲第(1)項において、上記
それぞれの2値化データの1又はOとなっている部分の
うち、その長さが所定画素数Hに達l−でいない部分は
除去し、所定画素数nに等しい部分は画素数(n+1)
の長さのデータに置換えてから」−配食否判定のための
比較を行なうように構成したことを特徴とするパターン
検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58019584A JPH0614748B2 (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | パタ−ン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58019584A JPH0614748B2 (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | パタ−ン検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59146283A true JPS59146283A (ja) | 1984-08-22 |
JPH0614748B2 JPH0614748B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=12003303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58019584A Expired - Lifetime JPH0614748B2 (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | パタ−ン検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0614748B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61166859U (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-16 | ||
JPS6435294A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Shikoku Kakoki Co Ltd | Mark detection |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5988648A (ja) * | 1982-11-13 | 1984-05-22 | Idec Izumi Corp | パタ−ン検査装置 |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP58019584A patent/JPH0614748B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5988648A (ja) * | 1982-11-13 | 1984-05-22 | Idec Izumi Corp | パタ−ン検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61166859U (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-16 | ||
JPH0413184Y2 (ja) * | 1985-04-03 | 1992-03-27 | ||
JPS6435294A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Shikoku Kakoki Co Ltd | Mark detection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0614748B2 (ja) | 1994-02-23 |
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