JPS59143410A - タンタル酸リチウム振動子 - Google Patents
タンタル酸リチウム振動子Info
- Publication number
- JPS59143410A JPS59143410A JP1698283A JP1698283A JPS59143410A JP S59143410 A JPS59143410 A JP S59143410A JP 1698283 A JP1698283 A JP 1698283A JP 1698283 A JP1698283 A JP 1698283A JP S59143410 A JPS59143410 A JP S59143410A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lithium tantalate
- oscillator
- main surface
- electrode
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02015—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles
- H03H9/02031—Characteristics of piezoelectric layers, e.g. cutting angles consisting of ceramic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
たタンタル酸リチウム振動子に関する。
一般にタンタル酸リチウム（ ＬｉＴａ０５ ） ’
− ニオブ酸リチウム（ ＬｔＮｂＯｓ ）等の圧電
素子は電気機械結合係数が太きいため、広帯域フィルタ
ー、広い可変幅の電圧制御発振器用の圧電材料として有
用である。特にタンタル酸リチウムを用いた厚みすべり
振動子は加工が容易で温度特性も比較的良好なために実
用化への努力がなされている。しかしながらこのような
タンタル酸リチウムを用いた振動子は、変位方向が互い
に直交し、電気機械結合係数の異なる２つの厚みすべり
振動が同時に励振される。このため、一方の振動を主振
動とすると他方の振動は副振動となり、この副振動によ
りスプリアスを発生する等の種々の不都合がちる。
− ニオブ酸リチウム（ ＬｔＮｂＯｓ ）等の圧電
素子は電気機械結合係数が太きいため、広帯域フィルタ
ー、広い可変幅の電圧制御発振器用の圧電材料として有
用である。特にタンタル酸リチウムを用いた厚みすべり
振動子は加工が容易で温度特性も比較的良好なために実
用化への努力がなされている。しかしながらこのような
タンタル酸リチウムを用いた振動子は、変位方向が互い
に直交し、電気機械結合係数の異なる２つの厚みすべり
振動が同時に励振される。このため、一方の振動を主振
動とすると他方の振動は副振動となり、この副振動によ
りスプリアスを発生する等の種々の不都合がちる。
また従来の振動子は、たとえば第１図に示すように振動
子１の主面の略中夫に主１ｌＬ極１ａを形成し、この主
電極１ａかも角部へ接続電極７ｂを導出し、この接続電
極１ｂを先端にクリッｆを形成したり−ド勝２で挟持す
るようにしている。そしてこのリード線２０基端をペー
ス３に植設したビン４の先端に巷回し、ハンダ等を併用
して取着するようにしている。
子１の主面の略中夫に主１ｌＬ極１ａを形成し、この主
電極１ａかも角部へ接続電極７ｂを導出し、この接続電
極１ｂを先端にクリッｆを形成したり−ド勝２で挟持す
るようにしている。そしてこのリード線２０基端をペー
ス３に植設したビン４の先端に巷回し、ハンダ等を併用
して取着するようにしている。
しかしながらこのようなものでは、振動子１の主面に部
分的に電極１ ａ ＋ ’１ ｂを形成するために、た
とえは蒸着を行なう際のマスク合せ等に精密な作業を必
要とし生産性の低下を余儀なくされていた。また振動子
１を保持するリード線２の形状が？Ｊｊ Ｍ＋で加工が
面倒でコストも高価になりしかも振動子１をクリップで
挟持する作業性も悪く生産性を低下させる原因となって
いた。
分的に電極１ ａ ＋ ’１ ｂを形成するために、た
とえは蒸着を行なう際のマスク合せ等に精密な作業を必
要とし生産性の低下を余儀なくされていた。また振動子
１を保持するリード線２の形状が？Ｊｊ Ｍ＋で加工が
面倒でコストも高価になりしかも振動子１をクリップで
挟持する作業性も悪く生産性を低下させる原因となって
いた。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものでｍ′ｊ単な
構成で副振動によるスプリアス成分を大幅に抑圧するこ
とができ、しかも形状が小型で大量生産に適し、構造も
簡単で良好な生産性を得られ、コストも安価なタンタル
酸すチウム振４１子な提供することを目的とするもので
ある。
構成で副振動によるスプリアス成分を大幅に抑圧するこ
とができ、しかも形状が小型で大量生産に適し、構造も
簡単で良好な生産性を得られ、コストも安価なタンタル
酸すチウム振４１子な提供することを目的とするもので
ある。
以下本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する
。第２図は平面図で１１はタンタル酸リチウムからなる
振動子である。この振動子は、タンタル酸リチウムの互
いに直交する結晶軸、ｘ 、 ｙ’ 、 ｚのＸ軸に直
角なＹ、Ｚ平面に沿って切り出した主面を有する板体を
矩形に成形し板面に図示しない電極を形成してここに高
周波信号を印加して厚みすべり撮動を励振するよ与えら
れる。
。第２図は平面図で１１はタンタル酸リチウムからなる
振動子である。この振動子は、タンタル酸リチウムの互
いに直交する結晶軸、ｘ 、 ｙ’ 、 ｚのＸ軸に直
角なＹ、Ｚ平面に沿って切り出した主面を有する板体を
矩形に成形し板面に図示しない電極を形成してここに高
周波信号を印加して厚みすべり撮動を励振するよ与えら
れる。
ここでＣ１、Ｉ Ｃ５５” ！＋６１０６６は圧電的に
硬化されたスチフネスであり、この解としてＣは３個求
めることができる。しかしそのうちの１個の解は圧電的
に励振されず、残る２個の解が圧電的に励振可能な解と
して求められる。またこの２個の解は、゛音速の速い横
波の振ｍＶｒ と、遅い横波の振動Ｖ２である。捷だ一
般にタンタル酸リチウムのＸ板では速い横波の振１ｔ（
−Ｉ Ｖ ｌを主振動として利用するが同時に遅い横波
の振動ｖ２による副振動によりスプリアスを生じる。し
たがって、円板状、正方形状等の振動子では主振動ｖ１
に対して副振動ｖ２も略等しいレベルまで励振されてし
才う。そこで第２図に示すように主面を主振動Ｖ、の方
向に細長い矩形状に成形することにより副振動■２のレ
ベルを、たとえば第３図に示す周波数応答特性図のよう
に抑圧することができる。ここで主振動ｖ１と副振動ｖ
−１−とのレベル差Ｉ〕は、振動子の主面の長辺−／′ をＹ軸から時計方向に回転した回転角θに対して第４図
に示すように変化した。
硬化されたスチフネスであり、この解としてＣは３個求
めることができる。しかしそのうちの１個の解は圧電的
に励振されず、残る２個の解が圧電的に励振可能な解と
して求められる。またこの２個の解は、゛音速の速い横
波の振ｍＶｒ と、遅い横波の振動Ｖ２である。捷だ一
般にタンタル酸リチウムのＸ板では速い横波の振１ｔ（
−Ｉ Ｖ ｌを主振動として利用するが同時に遅い横波
の振動ｖ２による副振動によりスプリアスを生じる。し
たがって、円板状、正方形状等の振動子では主振動ｖ１
に対して副振動ｖ２も略等しいレベルまで励振されてし
才う。そこで第２図に示すように主面を主振動Ｖ、の方
向に細長い矩形状に成形することにより副振動■２のレ
ベルを、たとえば第３図に示す周波数応答特性図のよう
に抑圧することができる。ここで主振動ｖ１と副振動ｖ
−１−とのレベル差Ｉ〕は、振動子の主面の長辺−／′ をＹ軸から時計方向に回転した回転角θに対して第４図
に示すように変化した。
この結果から明らかなように、最大のレベル差りは２０
ｄＢで回転角θ＝５３°で得られた。また上記レベル差
りを１９ ｄＢで許容するならば回転角θ−５３°±４
°、すなわち４９°乃至５７°とすれはよい。さらにレ
ベル差Ｄｋ１７ｄＢでよけれは回転角θ＝５３°±ｌＯ
０、すなわち４３°乃至６３°とすればよい。さらに長
辺をＹ軸から時計方向へ５０°回転した幅１．５ｍ厚み
が略０７喘のＸ板において長辺の長さｌとＣ％、値との
関係は第５図に示すようになった。なお上記振動子の共
振周波数は３．５ ＭＨｚのものである。この結果から
明らかなように長辺ｌの長さを幅の２倍よシも長くする
ことによりＣ６値は低い一定の値になる。
ｄＢで回転角θ＝５３°で得られた。また上記レベル差
りを１９ ｄＢで許容するならば回転角θ−５３°±４
°、すなわち４９°乃至５７°とすれはよい。さらにレ
ベル差Ｄｋ１７ｄＢでよけれは回転角θ＝５３°±ｌＯ
０、すなわち４３°乃至６３°とすればよい。さらに長
辺をＹ軸から時計方向へ５０°回転した幅１．５ｍ厚み
が略０７喘のＸ板において長辺の長さｌとＣ％、値との
関係は第５図に示すようになった。なお上記振動子の共
振周波数は３．５ ＭＨｚのものである。この結果から
明らかなように長辺ｌの長さを幅の２倍よシも長くする
ことによりＣ６値は低い一定の値になる。
しかしてこのような角度で切断した振動子はスプリアス
の少ない良好な振動特性を得ることができるとともに、
表裏根細の全面に電極を形成し、かつ長手方向の端部を
リード端子で直接、保持しても笑用土、光分な特性を得
られることが明らかになった。
の少ない良好な振動特性を得ることができるとともに、
表裏根細の全面に電極を形成し、かつ長手方向の端部を
リード端子で直接、保持しても笑用土、光分な特性を得
られることが明らかになった。
したがって、たとえば第６図に示すようにタンタル酸リ
チウムのＸ板の主面の長辺をＹ軸から時計方向に４３°
、乃至６３°回転して切り出したウェハ１２の主面の全
面に蒸着等により電極を形成し、この後該板を切断して
矩形の振動子１１を得るようにしてもよい。そして第７
図に示す斜視図のようにベース１３に植設した一対のリ
ード端子１４に上記振動子１１の投手方向端部でその表
拠板面の電極に直接、ノ・ンダ、４電性接着剤等により
取着する。このようにすれば上記電極とリード端子１４
との間の１Ｅ気的接続を図るとともに上記振動子１ノを
ベース１３で保持することができ著るしく生汁性を向上
しかつ良好な向］振、耐衝単性を得ることができる。
チウムのＸ板の主面の長辺をＹ軸から時計方向に４３°
、乃至６３°回転して切り出したウェハ１２の主面の全
面に蒸着等により電極を形成し、この後該板を切断して
矩形の振動子１１を得るようにしてもよい。そして第７
図に示す斜視図のようにベース１３に植設した一対のリ
ード端子１４に上記振動子１１の投手方向端部でその表
拠板面の電極に直接、ノ・ンダ、４電性接着剤等により
取着する。このようにすれば上記電極とリード端子１４
との間の１Ｅ気的接続を図るとともに上記振動子１ノを
ベース１３で保持することができ著るしく生汁性を向上
しかつ良好な向］振、耐衝単性を得ることができる。
また上記振動子１ノはその主面の全面に１１〕；極を形
成しているので、方向性１表裏の区別がなく、任意の投
手方向の端部を保持することができる。したがって、リ
ード端子１４に対する取付作業が容易で量産性にも冨ん
でいる。そして、上記振動子１１はＸ板の長辺をＹ軸か
ら時計方向に４３°乃至６３°回転して切り出している
ので主面の全面に電極を形成しても副振動によるスプリ
アスの影響は少ない利点がある。
成しているので、方向性１表裏の区別がなく、任意の投
手方向の端部を保持することができる。したがって、リ
ード端子１４に対する取付作業が容易で量産性にも冨ん
でいる。そして、上記振動子１１はＸ板の長辺をＹ軸か
ら時計方向に４３°乃至６３°回転して切り出している
ので主面の全面に電極を形成しても副振動によるスプリ
アスの影響は少ない利点がある。
以上詳述したように本発明は、タンタル酸リチウムのＸ
＆の主面の長辺をＹ軸から時計方向に４３°乃至６３°
回転したものにおいて、主面の全面に電極を形成し、か
つ投手方向の端部を保持するようにしたので副振動によ
るスプリアス成分を大幅に抑圧することができ構造も簡
単で生産性も優れコストも安価で耐振、耐衝撃性も良好
なタンタル酸リチウム振動子を提供することができる。
＆の主面の長辺をＹ軸から時計方向に４３°乃至６３°
回転したものにおいて、主面の全面に電極を形成し、か
つ投手方向の端部を保持するようにしたので副振動によ
るスプリアス成分を大幅に抑圧することができ構造も簡
単で生産性も優れコストも安価で耐振、耐衝撃性も良好
なタンタル酸リチウム振動子を提供することができる。
第１図は従来のタンタル酸リチウム撮動子の一例を示す
図、第２図は本発明の振動子を示す図、第３図は第２図
に示す振動子の周波数応答特性を示す図、第４図は振動
子の長辺のＹ軸からの回転角とスプリアスの減衰量との
関係を示す図、第５図は振動子の長辺と短辺の比に対す
Ｃ％、値の関係を示す図、第６１叫振動子の製造を説明
する図、第７図は本発明の一実施例を示す斜視図である
。 １１・・振動子、１２・・・ウェハー、１３・・・ベー
ス、１４・・・リード端子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 ム２ 回転角０（Ｄｅｑ） 第５図 第６図 第７図
図、第２図は本発明の振動子を示す図、第３図は第２図
に示す振動子の周波数応答特性を示す図、第４図は振動
子の長辺のＹ軸からの回転角とスプリアスの減衰量との
関係を示す図、第５図は振動子の長辺と短辺の比に対す
Ｃ％、値の関係を示す図、第６１叫振動子の製造を説明
する図、第７図は本発明の一実施例を示す斜視図である
。 １１・・振動子、１２・・・ウェハー、１３・・・ベー
ス、１４・・・リード端子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 ム２ 回転角０（Ｄｅｑ） 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） タンタル酸リチウムの結晶１咄のＸ輔に直交
するＹ、Ｚ平面に沿う主面を・角しかつ矩形に成形する
とともに、長辺を上記Ｙ、Ｚ平面内でＹ軸から時計方向
に４３°乃至６３°回転した倣動子において、上記主面
の全面に電極を形成するとともに長手方向の端部を保持
したことを特徴とするタンタル１ｍリチウム振動子。 （２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいてベース
に植設した一対のリード端子を主面に形成した電極に、
直接接続したことを植機とするタンタル酸リチウム振動
子。 （３）特許請求の範囲第１項記載のものにおいてタンタ
ル酸リチウムのウェハーの両側板面に＊Ｉ。 極を形成した後に矩形に切断したことを特徴とするタン
タル酸リチウム振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1698283A JPS59143410A (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | タンタル酸リチウム振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1698283A JPS59143410A (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | タンタル酸リチウム振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59143410A true JPS59143410A (ja) | 1984-08-17 |
Family
ID=11931253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1698283A Pending JPS59143410A (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | タンタル酸リチウム振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59143410A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185688A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-07-27 | Kinsekisha Lab Ltd | Koketsugoatsudenshindoshi |
| JPS5683110A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-07 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator of litium tantalate |
-
1983
- 1983-02-04 JP JP1698283A patent/JPS59143410A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185688A (ja) * | 1975-01-27 | 1976-07-27 | Kinsekisha Lab Ltd | Koketsugoatsudenshindoshi |
| JPS5683110A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-07 | Toshiba Corp | Thickness slip oscillator of litium tantalate |
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