JPS5913889B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は洗浄装置に係り特に排液（放出される洗浄液）
の酸化剤もしくは還元剤を所要の濃度に維持する洗浄装
置に関する。

近年、有害成分を含む被処理ガスの処理において洗浄装
置の洗浄液として次亜塩素酸ソーダ、次亜臭素酸ソーダ
、過酸化水素水、等の酸化剤もしくはチオ硫酸ソーダー
、亜硫酸ソーダ等の還元剤を含む洗浄液を用いることが
多くなってきている。

例えば下水又は深床処理場等から発生する悪臭ガスの処
理に次亜塩素酸ソーダ洗浄が有効であることは周知の事
である。

悪臭ガスを次亜塩素ソーダで洗浄すると悪臭の主成分で
ある硫化水素、メチルメルカプタン、アンモニアが最終
的にはイオウ、硫酸イオン、スルフォン酸、窒素の様な
無害又は無臭の物質に変換される。

この様な酸化剤による洗浄は、酸・アルカリ洗浄の様に
悪臭物質を単に吸収するのではなく、他の無′害無臭の
物質に変換するため、無臭の除去には有効な方法である
。

また、オゾンなどのオキシダントや塩素ガスをチオ備酸
ソーダで洗浄する方法、一酸化窒素や二酸化イオウを過
マンガン酸カリあるいは亜塩素酸ソーダで洗浄する方法
、などもまた有効な洗浄方法である。

この様に有害成分を含む被処理ガスを酸化剤（又は還元
剤）を含む洗浄液で洗浄する方法は、きわめて有効な方
法であるが、大きな問題点がある。

すなわち、多くの場合、被処理ガス中の有害成分の濃度
は大きく変動するが、これに対してどの様に酸化剤（還
元剤）の濃度を制御するかという点である。

従来、行なわれている洗浄液中の酸化剤（又は還元剤）
の濃度の制御方法には次の１〜３の方法が取られていた
。

１ 有害成分の濃度の変動に関係なく一定濃度の酸化剤
（又は還元剤）を一定量、連続的又は間欠的に洗浄装置
内に注入する方法。

２ 有害成分の濃度の変動に関係なく、洗浄液中の酸化
剤（又は還元剤）の濃度が一定濃度になる様に洗浄液濃
度を検知し、それに応じて酸化剤（又は還元剤）を注入
する方法。

３ 有害成分の濃度を直接に分析機器で測淀し、有害成
分濃度に対応した洗浄液濃度となるように洗浄装置内の
洗浄装置内の洗浄液濃度を検知して、それに応じて酸化
剤（又は還元剤）を注入する方法。

以上の１〜３の方法は必ずしも充分満足できる方法とは
言えない。

すなわち、■の方法は最も簡単な方法であるが、有害成
分の濃度が高い時は、洗浄液中の酸化剤（又は還元剤）
の濃度は減少してしまい、極端な場合には洗浄塔内の気
液接触部分の何割かの部分では酸化剤（又は還元剤）の
濃度がゼロ又は、反応に充分な濃度以下になってしまい
、その結果有害成分の除去が充分に行なわれない。

また、被処理ガス中の有害成分の濃度が低い時は、洗浄
液中の酸化剤（又は還元剤）の濃度が必要以上に高くな
ってしまい、その結果、洗浄装置からの排液中に多量の
酸化剤（又は還元剤）が含まれて、二次公害の発生を起
したり、また酸化剤（又は還元剤）が高価な場合（例え
ば、次亜塩素酸ソーダ、過酸化水素などはかなり高価で
ある。

）はランニングコストが増大し、経済的でない。

また、次亜塩素酸ソーダの様に分解しやすい物質の場合
、必要以上に高濃度になれば排出される被処理ガス中に
有害な塩素の量が増加し、二次公害の原因となる。

２の方法は普通最もよく行なわれている方法である。

洗浄液の濃度をどの様な値に設定するかにもよるが、例
えば、予想される有害成分濃度が最大値の時にも、充分
に処理効果が発揮される様に洗浄液中の酸化剤（もしく
は還元剤）濃度の設定値を高く設定すれば、有害成分濃
度が低くなった時には、酸化剤（又は還元剤）は有害成
分と反応する量よりも洗浄液の排液中に含有される量の
方が多くなり、経済的でないとともに、排液中の酸化剤
（又は還元剤）の濃度が高いため二次公害の原因となる
。

また洗浄液中の酸化剤（もしくは還元剤）濃度の設定値
を有害成分濃度の平均値に対応できる様にやや低く設定
すれば、有害成分濃度が高くなった時には、充分な処理
効果が得られない。

３の方法は、有害成分の濃度変動があっても洗浄液中の
酸化剤（又は還元剤）濃度が変動するため合理的な設計
がなされていれば、充分な処理性能を維持することは可
能である。

しかし、実際の場合、有害成分の濃度を測定する分析機
器は高価であり、また有害成分は多成分にわたっている
ことが多く、それぞれの成分をオンラインで測定するこ
とは実用上は不可能であると言える。

また、この場合においても、洗浄液中の酸化剤（又は還
元剤）濃度が高くなっている時は、洗浄液の排液による
二次公害の問題がある。

以上に述べたように、従来方法及び装置には数数の欠点
があり、優れた方法及びその装置の開発が望まれている
。

そこで本発明者らは鋭意検討した結果、本発明に至った
ものである。

本発明は従来の欠点を排除し、被処理ガス中の有害成分
の濃度が大きく変動しても充分な処理性能を発揮し、し
かも排液中の酸化剤（又は還元剤）濃度を所定範囲とす
る事ができるため二次公害の発生もなく、ランニングコ
ストも著しく低減できる洗浄装置を提供する事を目的と
するものである。

本発明における洗浄装置とは、有害成分を含む被処理ガ
スを酸化剤もしくは還元剤を含む洗浄液に気液接触せし
める洗浄塔と、前記被処理ガスを前記洗浄塔に導く配管
から、被処理ガスの一部を抜き出す第１の配管と、前記
洗浄塔の液だめから洗浄液の一部を抜き出す第２の配管
と、前記第１の配管により導かれた被処理ガスを前記第
２の配管により導かれた洗浄液に気液接触せしめる気液
接触反応部と、前記気液接触反応部から放出される排液
中の酸化剤もしくは還元剤の濃度測定手段と、前記濃度
測定手段からの出力と設定値との比較に基き、前記洗浄
液中の酸化剤もしくは還元剤の濃度を調整する濃度調整
手段を設けたものであり、また前記濃度調整手段が、濃
度測定手段からの出力と設定値の下限値との第１の比較
部及び前記出力が設定値の下限値未満の場合に動作する
洗浄液への酸化剤もしくは還元剤の供給手段を具備して
いる事により、排液中の酸化剤もしくは還元剤の濃度を
所定に保つ事ができ、さらに使用条件等により必要であ
れば前記濃度調整手段に、濃度測定手段からの出力と設
定値の上限値との第２の比較部および前記出力が設定値
の上限値を越えた場合に前記排液を洗浄液に供給する循
環手段を設けた洗浄装置である。

次に本発明の原理を具体的装置例を示す第１図を用いて
説明する。

有害成分を含む被処理ガスはブロワ−１を介して配管２
０により洗浄塔２に送入され、例えば酸化剤としての次
亜塩素酸ソーダを含んだ洗浄液が液だめ３からポンプ４
によって、洗浄塔２の上部より散布されて、有害成分が
除去される。

この時、前記配管２０から第１の配管２１によりコンプ
レッサー５を介して有害成分を含む被処理ガスの一部を
一定置引き抜きまた、第２の配管２２によりポンプ６を
介して洗浄液の一部を一定置引き抜へその両者を気液接
触反応部７に導き反応させる。

そして、気液接触反応部７から放出される排液中の次亜
塩素酸ソーダ（酸化剤）の濃度を次亜塩素酸ソーダ濃度
計１０によって検知し、その濃度が設定値となる様に構
成されている。

つまり次亜塩素酸ソーダ濃度計１０等の濃度測定手段か
らの出力と設定値とを比較器１１に導き、第１の比較部
において前記出力が設定値の下限値以下となった場合に
はポンプ８を動作させ、酸化剤（又は還元剤）の供給手
段９から、洗浄水中に酸化剤（又は還元剤）を供給し、
濃度を高くする。

また第２の比較部において前記出力が設定値の上限値を
越えた場合には、バルブ１２により排液の放出を中止し
、排液を洗浄液に供給する循環手段を形成する。

次に第１図に示す装置例を用いて本発明方法の原理を説
明する。

まずプロワ１から流入する被処理ガス量をＧ１洗浄液量
をＬ１人口有有害分の濃度を各成分ごとにＸｌ、Ｘ２．
Ｘ３・・・・・・Ｘｉ１洗浄液と各有害成分との反応比
をａｌ、ａ２．ａ３・・・・・・ａｉｓ洗浄塔２の塔底
及び塔頂における酸化剤（又は還元剤）の濃度をＹ１＋
Ｙ２、被処理ガスの一部と洗浄液の一部との気液接触反
応部から放出される排液中の酸化剤（又は還元剤）の濃
度をＹ３、その気液接触反応部へ導ひく第１の配管によ
る被処理ガス量をＧ′また同様に第２の配管による洗浄
液量をＬ′ とする。

−この場合被処理ガスの一部と洗浄液の一部との気液接
触反応における物質収支式は、悪臭成分が１００係除去
されるとすれば次式で与えられる。

Ｇ′Σａｉ−Ｘｉ−Ｌ′（Ｙｉ Ｙａ’、 （
１）０式におけるΣａｉ’Ｘｉは被処理ガス中の有害成
分の総括的な濃度と見なし得るので、これを総括の有害
成分濃度Ｘ１として表わすと次式を得る。

Ｇ’Ｘ□＝Ｌ’ （ＹＩ Ｙ３ ）
（２）変形するとネ式を得る。

ここで、本発明によれば、（３）式中のＹ３の値を所望
の値になる様に制御するので、悪臭成分濃度Ｘ１と洗浄
液中の酸化剤（又は還元剤）濃度ＹＩノ とは第２図の
ごとく直線関係となる。

すなわち、悪臭成分濃度に対応して洗浄液中の酸化剤（
又は還元剤）濃度が変動することになる。

また、この時、洗浄装置における物質収支式は次式とな
る。

ＧＸ１＝Ｌ（Ｙ２−Ｙ□） （４）ツ
したがって、この時の洗浄塔の塔頂での濃度Ｙ２は（
３）、（４）式より得られ、次式で示される様に有害成
分濃度Ｘ１に対応して変動する。

次に、塔頂の洗浄液を一部引き抜いて被処理ガスの一部
と気液接触反応させた後の排液中の酸化剤（又は還元剤
）の濃度を検知して、その濃度が所望の値になる様に洗
浄装置内に酸化剤（又は還元剤を注入して洗浄装置の洗
浄液中の酸化剤（又は還元剤）の濃度を制御する場合に
ついて説明する。

被処理ガスの一部と洗浄塔の塔頂部より引き抜いた洗浄
液の一部とを気液接触反応部へ導いた場合の物質収支式
は次式で与えられる。

Ｇ’ Ｘ□−Ｌ′（Ｙ２−Ｙ３） （６
）変形すると次式を得る。

（７拭より明らかなごとく、Ｙ３を所望の値になる様に
制御するので、塔頂での洗浄液中の酸化剤（又は還元剤
）濃度Ｙ２は有害成分の濃度Ｘ□の変動に対応して変化
する。

以上述べたごとく、洗浄液中の酸化剤（又は還元剤）濃
度Ｙ１又はＹ２はＹ３を所望の値になる様に制御するこ
とにより、有害成分の濃度Ｘ１の変動に伴なって変動し
、かつ、パラメーターＧ′／Ｌ’、Ｇ／Ｌを任意に設定
することにより、有害成分濃度Ｘ１に対して最適な値に
することが可能である。

また、排液中の酸化剤（又は還元剤）の濃度Ｙ３を可能
な限り低く設定すれば、排液による二次公害の心配もな
い。

なお洗浄液量りと被処理ガス量Ｇとの比である液−ガス
比Ｌ／Ｇは塔頂から供給される洗浄液量が被処理ガス中
の有害成分と反応するに充分な量になる様に決定される
。

多くの場合、有害ガス組成濃度及び洗浄液濃度にもよる
がＬ／Ｇは０．５〜２０ （Ｋ９／Ｋｇ）程度の事が多
い。

またＬ’／Ｇ’も同様の関点より決定される。

気液接触部へ導く洗浄液の量Ｌ′は、被処理ガス中の有
害成分と洗浄液との反応生成物が塔内に蓄積しない様に
一定量を引き抜き、塔内の液の減少しただけ、新しい水
を補給する。

多くの場合、Ｌ’／Ｇを０．０１〜０．２ （Ｋｇ／に
グ）にすることにより塔内で反応生成物の蓄積を防止し
ている。

またＬ／Ｇ 、Ｌ’ ／Ｇ’ を設定する場合はまづ、
Ｌ／Ｇを設定し、Ｌを決める。

次にＬ’／Ｇの設定値よりＬ′を決め、次にＬ’／Ｇ’
の値を設定することによりＧ′を決定する。

定常状態から、被処理ガス中の有害ガス濃度が高くなっ
た場合は、気液接触反応部Ｉで消費される酸化剤として
の次亜塩素酸ソーダの量は多くなるので、気液接触反応
部７から放出される排液中の次亜塩素酸ソーダの濃度が
低下する。

この時第１の比較部により前記濃度が設定値の下限未満
であると判定された場合に、酸化剤の供給手段９より洗
浄液中に次亜塩素酸ソーダが注入されて、高濃度の有害
ガスに対応して、洗浄液中の次亜塩素酸ソーダの濃度も
高くなる。

また、悪臭ガス濃度が低くなった場合は、気液接触反応
部７で消費される次亜塩素酸ソーダの量は少なくなるの
で、気液接触反応部７から放出される排液中の次亜塩素
酸ソーダの濃度が高くなる。

この時、第２の比較部により、前記濃度が設定値の上限
値を越えていると、前記排液は放出、される事なく、洗
浄液中に供給され再度洗浄塔へ循環する。

以上のごとく、本発明の洗浄脱臭装置を用いた場合は、
悪臭ガスの濃度の増減に応じて洗浄液中の酸化剤（又は
還元剤）の濃度も増減し、酸化剤（又は還元剤）が有効
に消費され経済的であるとともに、気液接触反応部７か
らの排液中の酸化剤（又は還元剤）の濃度が洗浄液自体
よりも充分低く二次公害の心配もない。

また悪臭ガスの各成分を直接測流して制御するのではな
いので高価な分析機器も必要でなく、単に気液接触反応
部７と次亜塩素酸ソーダ濃度計等の濃度測定手段及びそ
のコントローラ等の濃度調整手段があればよく建設費も
低くおさえることができる。

また有害ガス濃度に応じて洗浄液中の酸化剤（又は還元
剤）濃度が適切な濃度になるため、洗浄塔出口から排出
される有害成分を著しく低減できる。

以上のごとく、本発明は従来の装置の欠点の多くを解決
することが可能である。

なお上記においては洗浄液として次亜塩素酸ソーダを用
いた例を示したが、通常の洗浄に使用できるものであれ
ばよく、例えば次亜臭素酸ソーダ、過酸化水素等の酸化
剤、又はチオ硫酸ソーダ、亜備酸ソーダ等の還元剤を用
いる事ができる。

また洗浄塔２は充填塔式、スプレー基或、段塔式等を用
いる事ができ、又気液接触反応部７としては、気泡塔式
、充填塔式、段塔式、スプレー基或等を適宜選択する事
ができる。

通常の下水やし尿処理場等から発生する悪臭成分を含む
被処理ガスを処理する場合は、濃度調整手段として濃度
測定手段からの出力と設定値の下限値との第１の比較部
、および前記出力が設定値の下限値未満となった場合に
動作する洗浄液への酸化剤もしくは還元剤の供給手段が
あれば実用上充分である。

しかしながら悪臭成分の濃度変化が激しい使用駄作で用
いられる場合は、濃度調整手段に濃度測定手段からの出
力と設定値の上限値との第２の比較部、および前記出力
が設定値の上限値を越えた場合に前記排液を洗浄液に供
給する循環手段を設ける事が好ましい。

以下に本発明を実施例により詳細に説明する。

実施例 １ 第１図と同じ構成の装置を用いて、有害成分として硫化
水素、アンモニア、硫化メチルを含む被処理ガスを５
ｍ３／ｍ ｉ ｎの割合で酸化剤としての次亜塩素酸ソ
ーダを含む洗浄液で処理した。

洗浄塔の大きさは断面が３００ｍｍφ、充填高さが、１
０００ｍとして、洗浄液量を３０ｔ／ｍｉｎとして実験
を行なった。

第１図で示した気液接触反応部Ｉは気泡塔方式を採用し
た。

また気液接触反応部へ導く被処理ガス量及び洗浄液量は
それぞれ３２ｔ／ｍｉｎ及び８３ｃｃ／ｍｉｎとした。

気液接触反応部Ｉからの排液の次亜塩素酸ソーダの濃度
は５０ｐｐｍになる様に、濃度測定装置としてＵＶメー
タを用いて制御した。

第３図に入口被処理ガス中の悪臭成分濃度が時間ととも
に変動した場合に、その時の悪臭ガスの除去率、洗浄液
の次亜塩素酸ソーダ濃度、洗浄装置排液中の次亜塩素酸
ソーダ濃度、洗浄塔出口の塩素濃度の経時変化を示した
。

また同時に本発明を採用しないで、単に次亜塩素酸ソー
ダを一定値（５６０ｐｐｍ）となる様に制御した場合を
併記した。

図中のａは入口ガス濃度の変動であり、ｂｌは本発明を
採用した時の除去率、Ｂ２は本発明を採用しない時の除
去率、ｃｌは本発明を採用した時の洗浄液中の次亜塩素
酸ソーダ濃度、Ｃ２は本発明を採用しない時の洗浄液中
の次亜塩素酸ソーダ濃度、ｄｌは本発明を採用した時の
装置排水の次亜塩素酸ソーダ濃度、ｄ２は本発明を採用
しない時の装置排水の次亜塩素酸ソーダ濃度、ｅｌは本
発明を採用した時の洗浄塔出口から排される塩素濃度、
Ｃ２は本発明を採用しない時の洗浄塔出口から排出され
る塩素濃度の経時変化である。

第３図に示したごとく、本発明を採用すれば脱臭性能、
排液、排ガスの二次公害の面、次亜塩素酸ソーダの有効
利用の面、からも従来の方法に比較して著しく優れた脱
臭装置を得ることがわかる。

実施例 ２ 実施例１の装置をし尿処理場に設置し、実ガスを用いて
連続運転を行なった。

この時の次亜塩素酸ソーダの累積使用量を第４図に示し
た。

また第４図には従来方法（洗浄液中の次亜塩素酸ソーダ
濃度を８００ｐｐｍに制御した。

）で行なった場合についても併記した。

悪臭ガスの入口濃度はアンモニアが０．５〜１００ ｐ
ｐｍ硫化水素が０．１〜５９ｐｐｍ硫化メチルが０．
０７〜９．５ ｐ ｐｍ、二硫化メチルが０〜３ｐｐｍ
の範囲で変動していた。

第４図中のｆｌは本発明を採用した場合の次亜塩素酸ソ
ーダの使用量、ｆ２は従来方法を採用した場合の次亜塩
素酸ソーダの使用量である。

なお、排液の残留塩素が帆５ｐｐｍになる様に設定値を
定め、濃度調整手段としてポーラログラフ式の残留塩素
計を用いて制御を行なった。

第４図から明らかなごとく、本発明を採用した場合は従
来方法に比較して薬品の使用量はΣ以下であり、ランニ
ングコストが低減できる。

実施例 ３ 深床処理場における脱色工程から排出される廃オゾンの
除去のためのチオ硫酸ナトリウム洗浄塔に、本発明の制
御方法を設置して改良を行なった。

従来はチオ硫酸ナトリウムを一定量注入していた。

これに対し、実施例−２と同様の装置を用いた場合、チ
オ硫酸ナトリウムの消費量は従来の２／３になってラン
ニングコストが低下した。

実施例 ４ 実施例−１において採用した次亜塩素酸ソーダを用いた
洗浄装置Ａと従来性なわれている酸洗浄装置Ｂ１アルカ
リ洗浄装置Ｃ１活性炭吸着装置りを第５図のよう２に組
み合せて悪臭を処理した。

処理風量は１０ ｙｒ？／ｍ ｉ ｎ、入口ガス濃度は
硫化水素が１０〜１８０ ｐ ｐｍｓアンモアが２０〜
２３０ｐｐｍｓ メチルメルカプタンが１−１−８ｐｐ
硫化メチルが３〜２５ｐｐｍ、二硫化メチルが１〜３ｐ
ｐｍ、）リメチルアミンが帆５〜７ｐｐｍであった。

洗浄塔はすべて断面を４００個Ω、充填高さを１５０Ｏ
ｒ＋＋ｍ、洗浄液量を４０１７ｍ ｉ ｎとして実験を
行なった。

洗浄脱臭装置Ａにおいては、塔底の液を０．２１７ｍ
ｉ ｎで引き抜き、洗浄塔２の入口ガスを５０ｔ／ｍｉ
ｎで引き抜いて１．気液接触反応部７へ導いて反応させ
た。

気液接触反応部は径が５０ｍｍφで、１／２インチラシ
ヒリングを１０００ｗｍ充填した。

気液接触反応部位からの排水の０．Ｒ，Ｐ（酸化還元電
位）を２００〜５００ｍｖになる様に次亜塩素酸ソーダ
を洗浄塔の塔頂へ供給して洗浄液濃度を制御した。

運転開始後、３０００時間において、活性炭吸着装置り
出口のガスをサンプリングして、官能試験を行なったと
ころ、臭気濃度で１５０程度であり、安定した脱臭性能
を発揮していた。

実施例 ５ 実施例−１で使用した洗浄装置を用いてＮＯｘを過マン
ガン酸カリを含む洗浄液で洗浄した。

洗浄装置の操作条件は実施例−１と同じにして行なった
。

実施例−１において使用した分光光度計の波長を５２５
ｎｍに設定して、過マンガン酸イオンの吸収により、排
液の過マンガン酸カリの濃度が１０−３〜２×１０−β
ｍ ｏ ｌ ／ｌになる様に洗浄塔２に供給する過マン
ガン酸カリの濃度を制御した。

入口ＮＯｘ濃度は１００〜８００ｐｐｍで変動していた
がＮＯｘ除去率は９０チ以上を保っていた。

実施例 ６ 同様に実施例−１で使用した洗浄装置を用いて、オゾン
をチオ硫酸ソーダと亜硫酸ソーダの混合液で洗浄した。

実施例−１で使用した分光光度計の代わりに、ＯＲＰ計
（酸化還元電位計）を使用し排水のＯＲＰを一１００ｍ
ｖになる様に制御した。

入口オゾン濃度は１０〜１１００ｐｐであった。

−出口においてオゾン濃度は０．ｌｐｐｍ以下に保つこ
とができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る洗浄脱臭装置を示す構成図、第２
図乃至第４図は本発明に係る洗浄装置を用いた際の特性
例を示す曲線図、第５図は本発明に係る他の洗浄装置を
示す構成図。 １ニブロワー、２：洗浄塔、３：液だめ、４゜６．８：
ポンプ、５：コンプレッサー、７：気液接触反応部、９
：酸化剤（又は還元剤）供給手段、１０：濃度測定手段
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 有害成分を含む被処理ガスを、酸化剤もしくは還元
   剤を含み循環使用される洗浄液に気液接触せしめる洗浄
   塔と、 前記被処理ガスを前記洗浄塔に導く配管から、被処理ガ
   スの一部を抜き出す第１の配管と、前記洗浄塔の液だめ
   から洗浄液の一部を抜き出す第２の配管と、 前記第１の配管により導かれた被処理ガスを前記第２の
   配管により導かれた洗浄液に気液接触せしめる気液接触
   反応部と、 前記気液接触反応部から放出される排液中の酸化剤もし
   くは還元剤の濃度測定手段と、 前記濃度測定手段からの出力と設定値との比較に基き、
   前記洗浄液中の酸化剤もしくは還元剤の濃度を調整する
   濃度調整手段とを具備した事を特徴とする洗浄装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、 濃度調整手段が濃度測定手段からの出力と設定値の下限
   値との第１の比較部、および前記出力が設定値の下限値
   未満の場合に、動作する洗浄液への酸化剤もしくは還元
   剤の供給手段とを具備しに事を特徴とする洗浄装置。 ３ 特許請求の範囲第１項又は第２項において、濃度調
   整手段が、濃度測定手段からの出力と設定値の上限値と
   の第２の比較部、および前記出力が設定値の上限値を越
   えた場合に、前記排液を洗浄液に供給する循環手段とを
   具備した事を特徴とする洗浄装置。