JPS59123774A

JPS59123774A - 画像形成用材料の処理方法及び金属系画像の処理方法

Info

Publication number: JPS59123774A
Application number: JP23479582A
Authority: JP
Inventors: Takao Taguchi; 貴雄田口; Koji Kumagai; 熊谷　廣次; Yoshiyasu Ito; 嘉泰井藤; Takeo Kodaira; 小平　武雄
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1982-12-27
Filing date: 1982-12-27
Publication date: 1984-07-17
Also published as: JPS6017030B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、導電パターンあるいは光学画像を形成ずろた
めの両百形成用材料の処理方法及び金属系１屯像の処理
方法に閣ずろものであり、シャープで、高ｌθ７１！像
力を有し、フリンジのない両１象を迅速（（、安Ｔしで
得る処理方法に関するものである。

本発明は装飾、情報伝達；て有効〕、【パター　ンの形
成、および電気部品の作製に利用できる。利用されろ対
象としては、装飾品として有効；１もの（では美術工芸
品、建装伺伺などがある。また′ｌｆ報伝達媒体として
有効なものとしては、標、織、表示板、広告板、投影５
１月原版、光学マスク、印、刷版などがある。特に、１
照像形成後修正を要するＥＦＩ　（＋用製版用フィルム
の処理には有効である。電気部品の分野においては、プ
リンＩ・基板、プリントコイル、電極などの微細加工部
品の作製（て使用て゛ごる。

感光・准樹脂とエツチング技術を用いてパターン形成す
る技術は広く知られておつ、たとえば、被エツチング物
としてクロムを用いた光学マスク、銅を用いたブリメト
基板、ステンレスを用いた／ヤドウマスクのような精密
機械部品などは一般に工業的に作製されている。その他
チタン、鉄、ニッケル、亜鉛、銀、テルル、セレン、ビ
スマス、アルミニウム、ＩＴＯ１酸化インジウムなどを
被エツチング物として使った製品が数多（生産され一〇
いる。この中で、アルミニウムは、遮光性が高く、蒸着
が容易であること、はくの形成が可能であるなど加工性
が良好であり、また無色金属光沢を有し装飾的効果も高
いことがら、特に有効である。

またアルミニウムは毒性がな（、コストが低いという利
点があり工業的にも有用又あろ、支持体上の金属系薄層
上に感光性樹脂を積層した画像形成用材料を用いて画像
を作製する方１宍には、感光性樹脂の現像と金属系薄層
のエツチングを同一系の液で行うものと、異った系で行
うものて大別される。後者では特開昭５Ｏ−Ｉ５９７２
０−＠に報告されているように、ポリビニルシンナメー
トのような感光性樹脂を用い、パターン露光後まずキシ
レンのような溶剤で感光性樹脂を現像し、露出した金属
系薄層をアルカリなどで溶出する方法が報告されている
。しかし溶剤を使用することにより作業環境が悪化し廃
液処理が困難になり、また現像後の残液の除去を充分に
行わないと、画Ｉ象むらになる、などの欠点を有する。

したがって同一系の液すなわち水系で処理するものが好
ましい。すなわち感光性樹脂としてアルカリ現像あるい
は酸現像タイプのものを用い、アルカリある℃ｚ　１４
　Ｊ肢て゛アルミニウム系全厚をエツチングする方法が
好ましい３、しかし、アルミニウムのアルカリあるいは
酢の単数でのエツチング速度はあまり速くなく、また充
分なエツチング速度を得るため（・て液・惰度を高くす
ると、水系現像タイプの・へ光閤慎ｆ指は強アノーカリ
や強酸にしま一般（τ劇１生がないために、膨・閏、剥
離などがおこるという欠点かあった。またアルミニウム
表面にはｔ”Ｊ化物による不動態１−が形成されており
、酸単数で（ま溶解せず、ピンホールか広がるようにエ
ツチングが行なわれ、上述した構成の画像形成材料用の
処叩液として・、ま好ましくない。一般的なアルミニウ
ムエツチング剤は大別すると、りん酸系、アルカリ系、
フッ素系の三系からなる。

りん酸系は、処理益度が高く、エツチング速度か遅い。

アルカリ系はエツチング速度は速（しうるが、感光性樹
脂の剥膜効果が高（、好ましくない。

フッ素系（′！エツチング速度が太き（剥１・雛効果も
アルカリ系よりも小さいが、従来の組成では、気？包の
発生が激しく、気泡付着によるエツチングの不均一ある
いは気泡による感光性樹脂の剥離を呈づ−ろようになる
。特開昭５２−９９ｉ０１号ではアルカリ溶液に、ハロ
ゲン系酸化剤を添加し、気泡の発生を防止し、エツチン
グ速度を向上させているが、エツチング速度が不充分で
あった。また特開昭５Ｏ−ｉ３９７２０号ではアルミニ
ウムにアルミニウムよりイオン化傾向の小さい金属を混
入させ、エツチング速度を向上させているか、その効果
ばあ用フィルムに応用する場合には、形成された金属系
何重をサイドエツチングによる修正すなわち減力を行う
ことができなければならない。減力では特に感光性樹脂
の剥離なしに速いエツチング速度を要するため・、特開
昭５３−１４００２号、特開昭５３　４９５０８号では
リン酸あるいはｊｌＩ　ＩＪン酸にビスマスやアンチモ
ンを添加１−ることにより、速いエツチング速度が得ら
れるようにすることが報告されているが、添加効果は大
きくないだけてなく、ピンホールから横方向に進む夕〈
プのエツチングのため画像形状が悪く、１而像むらが生
じていた。

本発明者等はこれらの欠点に鑑み、迅速で均一に、しか
も感光団樹脂を脆化しないエツチングを行う処理方法・
；てついて検討を行い、上言己の目的（・て対応できる
処理法を見出し、本発明を完成した。

すなわち本発明ｌま、支持体上（で、アルミニウム系金
属薄層を設げ、ざらに感蓋性：ｖ１１旨、層を設け、次
に、ｌ感光性樹脂；※ｊ［ｌｌよつ画′象露光を施し、
感光性樹脂層の可溶部分を現慣液によｒ）溶）（ｊイ除
去し、しかる後に露出したアルミニウム系’ａ＞　属傅
層をエノチンク処即１−ろ際、（３）フン化水素酸、フ
ッ化アンモニウム、７ノ化水素アンモニウムの少すくト
も一撞の化合物を、あわせて０５〜３０・、・Ｉｔ％（
／ｌ）酸比第二鋼０２〜５ｉｒｔ％（つ）硝酸０．０１
〜ろＯ〜・、・ｔ％の三成分を少なくとも含有するアル
ミニウム系＠属用エツチング液によりエツチングするこ
とを特徴とする画像形成用材料の処理方法、および支持
体上に画像状のアルミニウムを金７が薄層が存在し、さ
らにその上に同−両像状の樹脂層が存在′１−ろアルミ
ニウム系金寓ハターンに上記（３）、（イ）、（つ）、
の三成分を少なくとも含有するアルミニウム系金属相エ
ノチンダ液を接触させ、アルミニウム系金属薄層を横方
向にエツチングし、金属画像のサイズを減少させること
を特徴とする金属系画像の処理方法である。以下本発明
の詳細な説明する。

本発明の適用されうる画像形成用材料は（１）支持体、
ニー（２）アルミニウム系金属薄層（３）感光性樹脂層
の少なくとも三層から反る。それぞれ１（ついて述べろ
。

支持体としてはカラス、ポリエチレンテレフタレート、
ポリプロピレン、ポリエチＶン、ポリ塩化ビニル、ポリ
塩化ビニリチン、ポリカーボネート、酢酸セルロース、
ポリメチルメタクリレートなどのフィルムまたは板が目
的にあわせて使用できる。

アルミニウム系金属薄層としては、アルミニウムを主体
とし、Ｉ■鉛、鉛、すす、テルル、ビスマス、鉄、ニッ
ケル、チタン、銅、クロムなどを合金として含有したも
の、あるいは窒化物、ホウ化物、炭化物、硫化物二およ
び塩類などが例示される。、このようなアルミニウム系
金属からなる薄＋−の支持体上への設置には、真空蒸着
、スパッタリング、イオンブレーティ７ダ、無電解メッ
キ、ラミネートなどが適用され５ろ。層厚は薄すぎると
、光学ａ度が低下し、金Ｔ光沢がなくなり、電気伝導度
か低下しパターンの質が劣下する。ま１こ厚〕−ぎると
、エツチングＩで時間がががっ処叩時［■ｊが長くなる
。適１−１４され５る膜厚は５Ｃ〜３０００久て好まし
くは６Ｏロ〜２ｏｏｏＸである。また支持体との接着性
を向上させるため、アルミニウム系金、属薄層を設けろ
削に、支持体に対し、プラズマ処理、火炎処Ｊ、甲を施
したつ、接着１−を設しすることもできろ。

次に、感光性樹脂層を横取する感光性樹脂について述べ
る。感光性樹脂は溶剤現ｆ隊のものも水系現世のものも
使用できる。溶剤現像には１ことえばＴＰＰ、　（東京
応化社製）のようなポリケイヒ酸ビニル系、ＫＴＦＰ、
（コダソク社製）のようなアジドゴム系が例示されろ。

しかし現像排液の・処理の問題、作業環境の悪化、現像
後の現像液の除去が不充分であると画１象むらの原因に
なるなどの問題のため、水系現像の感光性樹脂が好まし
い。水系現像の感光性樹脂のうちアルカリ現像タイプの
ものとしてはジアゾ系、ジアジド系、シンナモイル系、
アクリロイル系の感光性樹脂層が用いらｉする。ジアゾ
系としてはキノン−／アジド類とノボラック樹脂を組み
合わせた系が、ジアジド系としては、部分けん化ポリ酢
−斤ビニルを無水アジドフタル酸て・エステル化させた
ポリマーや、ポリビニルアルコールヲなどが例示される
。またシンナモイル系としては、ポリビニルアルコール
のケ１皮峨二塩基轍混合エステルや、スチレン−無水マ
レイン酸共重合体のケづ皮酸エステルなどが例示される
。またアクリロイル系としては、＋１）ペンタエリスリ
トールトリアクリレートのようなフリーラジカルで連鎖
重合するエチレン系不飽和化合物と１２１スチレン−マ
レイン酸共重合体のような、アルカリ可溶の高分子結合
剤と＋３１ペンゾフエノンーミヒラーズケトンや、ジメ
チルアミノアセトフェノンのよ５なフリーラジカル発生
★ｌｊを混合した系が例示さ２ｔろ。酸現像タイプのも
のとしては７クリロイル系であろ１１）酸可俗の高分子
結合剤たとえば２−メチル−２−（Ｎ−Ｎ−ジメチルア
ミン）メチル−１，６−ブロパンジオ〜ル・テレフタル
渭共重合体のよ５な４級ｆヒてきろ塩基性窒素を自治す
る高分子物質と、（２）ペンタエリスリトールトリアク
リレートのようなフリーラジカルで連鎖重合するエチレ
ン系不飽和化合物と、（，３１ベンゾフェノン−ミヒラ
ースケトンや、ジメチルアミノアセトフェノンのよ５な
フリーラジアル発生蒼１］を混合した系が例示される。

またアルカリ現イ＆クイフ゛、酸現）象タイプともアク
リロイル系は！廠素阻害があるため酸素遮断住のある水
溶性樹脂、たとえばポリビニルアルコール、ポリビニル
ピロリドンなど、あるいは剥離可能のフィルムたとえば
ポリエチレン、ポリエステルなどを感光性樹脂上に積層
することが好ましい。積層の方法としては、通常の塗布
方法でよい。たとエバロール−コート、バーコード、ク
ラヒアコート、カーテンコート、回転コートラミネーシ
ョンなどが適用されろ。感光性樹脂層の膜厚は０１〜２
０μが好ましい。

次に上記構成の画像形成用材料の処理方法についてのべ
る。処理方法は（１）画１象露光（２１感光性樹脂の現
像（３）エツチング（４）修正エツチングからなる。

以下それぞれについて述べる。

画像露光には密着、投影、スキャンニング、光ファ１バ
ー、フライングスポット、ＣＰ、Ｔへノ密着などが利用
で微る。しかし光により不溶化あるい；ま、可溶化する
感光性樹脂は一般には１　ｍＪ／ｍ以上の高工坏ルギー
密度の露光を要丁φため、密着およびスキャンニングが
最も好ましい。露光電源は、低圧水銀灯、高圧水銀灯、
超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ
、タングステンランフ、ハロゲンランフ、アルゴンレー
ザー、ヘリウム−ネオンレーザ−など各種レーザー、Ｃ
ＲＴ、フライングスポット管などが、感光性樹１活の分
光感度、感度と用途を考慮して使用できろ。

一般の感光性樹脂を用いる場合、高圧水銀灯、超高圧水
ｆ＋Ｉｉ’灯、メタルハライドランプ、アルゴンレーザ
ー、ヘリウムネオンレーザ−が適する。上記各光源を使
用して感光性樹脂層イｉｌｌよつ両像露光を施したら感
光性樹脂層の可溶部分を現１家液により溶、＠除去（現
像処理）する。感光性樹脂上は、各感光性樹脂上に適し
た現像液を使ｔ、１３−３−ろ。アルカリ現像夕４ブの
現１象液：ま、カリウム、ア１リウム、セシウム、ルビ
ジウムの水酸′工物あるいは。

ホウ酸塩、リン酸塩、炭酸塩などの７ｊ（溶液が適し、
酸性現１象タイプは、塩酸、硝酸、硫酸、１）ン峨、有
機酸などの水浴・夜が適し、また価数と弱塩基の塩も好
ましい。また現像液中には界面活性爺１ｊケ添加−１″
ることか好ましい。溶剤現像タイプの現港、トルエン、
キ７レンのような芳香族炭化水素、２−ブタノンのよ５
なケトン類、メトキンエタノ−ｋ　ノＪ：　５７，４エ
チレングリコールのモノアルキルエーテル、インプロピ
ルアルコールのよウナアルコール類が適用され、感光性
樹脂の種類により選びつる。このような現像液を使用し
た感光性樹脂層の現像処理は、例えばパターン露光後の
パターン形成材料を現像液に浸漬し、必要があればこす
り、可溶部の感光性樹脂を除去して行なう。現像液が水
系の場合は水洗し、溶剤系の場合は新しい溶剤で残留現
像液を除去する。特に溶剤現像の場合リンスか不充分で
あると次の工、チングが阻害されるので注意しなければ
ならない。

次ニ（支）フッ（Ｕ水素酸、７ノイヒアンモニウム、フ
ッ化水素アンモニウムの少１よくとも一種の化合物を合
計０５〜３０ｗｔ％（イ）酸化第二銅を０２へ５ｗｔ％
（つ）硝酸をｏ、ｏｉ〜３　Ｄ　ｖｔ％の三成分を、少
な（とも含有するエツチング液に感光性樹脂現像後の画
像形成用材料を浸漬あるいは何らかの方法で接触させ、
露出部のアルミニウム系金属薄層をエツチングする。フ
ッ化水素酸、フッ化アンモニウム、７）化水素アンモニ
ウムは、アルミニウム系金属薄層表面に形成されている
酸化物の不動態層を浴解する作用を有し、しかもアルミ
ニウム系金属をも溶解し５ろ。そのため該化合物の添加
により酸系エツチングでしばしばおこる不均一なエツチ
ングがおこらず、エツチングが著しく速くなる。添υ口
量は０．５−ｙｙｔ％以下では効果がなく、３０　ｗ’
、％以上ではさらに添、０口しても効果がなく、０５〜
ろ口ｗｔ％が適し、好ましくは１〜ｉ　５１Ｖ’、％で
ある。酸化第二銅）よ、消？包とエツチング促進と曲の
中性化の効果を有する。（支）液のみのエツチングでお
こる水素ガスなどの発泡は、気泡付着：（よるエツチン
グの不均一あるいは感光性樹脂層の剥離の原因になる。

酸化第二銅；ま：淑化効果を有するため水素ガス発生を
抑えろ、７また銅・はアルミニウムよりイオン化傾向が
小さいため、金属銅の付着ととも・てアルミニウムが、
各解し、エツチングを促進スる。

さらに伺着銅とアルミニウムの間て゛局部電池を形成シ
さらに工、チングを促進する効果を有する。

またｉ級化第二銅；まｐ）−を上げろ効果を有し・１ノ
チング速度を上げしかもｐｉ−ｉを１〜ろ上げろ。添加
量１１ま０．２　ｗｊ％未満では効果がほとんどなく、
多すぎると完全には溶解しない。飽矛口濃度まで添加し
ても効果を減じることはないので、０２〜５ｗｔ％が適
する。（つ）硝酸は（７）、（イ）のみのエツチングで
おこるアルミニウム等の再付着物、鋼滓の付着物及び付
着反応生成物の溶解効果が著しく、エツチングに必要な
ｐＨの′Ａ整剤としても必要である。

添加量は００１〜３０ＶＪｔ％が適する。以上の三成分
の組合せによってはじめて、エツチング速度か大きく、
気泡がなく、中性に近いという目的の性能を徂ろことか
できる。また被エツチング物であるアルミニウム系金層
の・処理液に対するぬれを向上させるために界面活性剤
を添ｖ目することができろ１、非イオン系あるいはアニ
オン系のものが好ましく、特に非イオン系のポリオキシ
エチレンエーテルタイプ、エステルのポリオキシエチレ
ンエーテルタイプ、グリコールのエステルタイプ、また
アニオン系では脂肪崇石けんようなカルボン酸タイプ、
アルキルベンセンスルホン酸塩のよウナスルホン酸塩タ
イプなどである。さらに感光性樹脂の軟化剤ゝとして、
メタノールのようなアルコール類、メトキシエタノール
のようなセロソルブ類、２−ブクノンのようなケトン類
等の溶剤を添加することができる。

以上のような組成の処叩法を、露出したアルミニウム系
金玉薄層へ作用させ、エツチングして、目的と′１−る
画１“〃が形成される。さらに目的（（あわぜて−ヒト
７ｉの感光性メが脂層を剥離してもよい。

さら・定感光訃樹脂を剥：ｌ１ｌｎする前の状態、すな
わち支持体上に画像状のアルミニウム系金属薄層が存在
し、さら（てその上に同−画像状の樹脂；韓が存在する
アルミニウム系金属画像に、上ｇｉ２（力（づ）（つ）
の三成分を少なくとも含有するアルミニウム系金属用エ
ツチング液を接触させることにより、橙１脂層には影響
を与えず、アルミニウム系金属薄層のみを横方向にエツ
チングし、アルミニウム系金属画像のサイズを減少する
ことができる。エツチング液組成は感光性樹脂層の現像
後の工゛ノチング液とＡｉｌに、感光性樹脂層をエツチ
ング液が浸透しやす（なるように溶剤を接触させてもよ
い。この溶剤としては、水に可溶であることが好ましく
、アルコール類、グリコール頌、ケトン類、セロソルブ
類、アミド類が適する。接触の方法は、浸漬、はけ・ふ
でによる塗布、スプレー、スポイトによるシャープでフ
リンジがなく高解像力高階調のパターンが従来の処理方
法に比較して、極めて短い時間で作製することができ低
温で処理できろ。また処理液のｐＨが中性に近いことか
ら、感光性樹脂の選択性が′）ｌｊめて大きくなり、ま
た処理中の感光性樹脂の脆化がないために処理安定性か
向上する。

またアルミニウム系金属画像の修正液として使用すれば
、感光性樹脂層の膨潤・剥離なしに、アルミニウム系金
属薄層がエツチングされろため、サイドエツチングのみ
による修正がおこるため、パターン部の層厚を下げろこ
となく面、演のみが縮少する理想的な修正処理が行われ
る。しかもエツチング速度が極めて速いために、処理時
間も短縮できる。

この発明を以下に実施例を用いてさらに詳細（て説明１
−ろ。

実施例１ポリエチレンテレツクレートから成るフィルム（＋ｏＯ
〕ｚ）ｆてアルミニウム（純度９９９９％）を真空蒸着
により設けた。蒸着アルミニウム層は８ろＤＡであった
。さムにジノンブレー了土製のへ光ヰ樹ｌ旨ＡＺ　　１
３５０　の原液をキシレンて１／２　Ｋ看取して５ｙ、
る感光性樹脂を回１眩塗布機て１００　ｒｐｌ＋＋て塗
布し、感九性位ｆ脂１７を蒸着アルミニウム・＝上に形
成した。

塗布量１は乾燥膜厚て１８μてあった。次（てこの積５
鳴物をオーブン（３０分間乾文（６０Ｃ）した。

このよ５１（シて得られた画ｉ家形成用飼料を６ｋｌｌ
超高圧水銀灯（オーク社製ジェノトライトノを用い、銀
塩リスフィルムて作製した網点画像とステノブタブレノ
トり４ブ１１（コタノク社製〕を原稿Ｋして、光源から
９０ｃがの距離で、密着露光を行った。そのと式の露光
４＃は２　ｏ　ＩｎＪ／ｃｒｄ　　てめった。

次に下記のｆＡｌ戊の２６Ｃの液て１５秒浸漬しっつ軽
くこすり感光性樹脂層の現像を行った。

次いで下記の組成の２６ｉＣのメイｌに浸漬した。

約５秒で感光性樹脂の溶解した部分のアルミニウム層（
前記現像処理によって露出したアルミニウム層）が完全
にエツチングされ、さらに１０秒間浸漬したのち水洗乾
燥した。

以上の結果、７１１ンジがなく、写真特性が硬調の原稿
に対してポジポジの画像が得られに。

実施例２ポリエチレンテレツクレートから成るフィルム（１００
μ）上に純度９９９９％のアルミニウムを膜厚が１００
０Ｘとなるように蒸着し、さらに次のような感光性樹脂
を調製し、回転塗布機にて１０　Ｏｒｐｍでアルミニウ
ム蒸着層上に塗布し、６０Ｃオーブンで１０分間乾燥し
た。

しメチルセロノルブ　　　　　　　　　　　　　　　　
９０１乾燥膜厚は２２μであった。塗布した感光性樹脂
層上（（、更：てけん化８８％、重合度５００のボリヒ
ニルアルコールの５−；ｙ−、％水〕容１夜を回転塗布
銀：てよつ乾燥膜厚で約２μ（（なるよう、（塗布形７
吸し、オーフ゛ンて３０分Φ乞・功した（６ＯＣ）。こ
のよう（（し−こイーｌ？１−１れだ、咄で象、）［４
成用オ料６てオーク社製ろにゝ、１□ジェットプリンタ
ーにてｉ　５　ｉｌ、：／ＣＴｄで銀塩リスフィルムの
網侭）画像を原稿；・Ｃして密着面ｉ象露光を行なった
。次に画像・１落光後の１ｔｉｉ像形成用材料を４く洗
してポリビニルアルコール層を除去してから、４ｗｔ％
ノ炭酸ナトリ１７ムＫ　ｌ漬しなが冒スボンン壬゛こ丁
って感光性樹脂の現像を行なった。その後次の組成の２
５Ｃのエツチング液に浸漬した。

約５秒で非画像部のアルミニウムが完全（、てエツチン
グされ、さらに１０秒間浸（責した後水洗乾燥した。そ
の結果実施例１と同様フリンジがなく、写真峙・在が硬
調な画像か得ら〕ｔた。画像は原喝に対してネガ−ポジ
であった。

実施例６感光性樹脂に東京応化社製の（感光性樹脂ＴＰＲを用い
、感光性位１脂の膜厚が２２μとなるよう調製し、実施
例１と同様の実験を行った。露光量を２０ｒｎＪ　／ｉ
とし、キシレンで現像した後、モソレンで充分ゆすいだ
後６０Ｃのオーブンで乾燥した。その後実施例１と同様
にエツチングすると、高階調でシャープなネガ画像が得
られた。

実施例４２胴厚のガラス基板て純度９９．９９９％のアルミニウ
ムをターゲノトニしてＲＦスパッタリンクを行った。積
層さ寸ｔたアルミニウムは４５００′；Ａで゛あった。

アルミニウム層上：て実施例１と同じ方？去で７ノプレ
一社製感光［牛樹脂を塗４Ｉ５　Ｌ／、プリント基板用
′電極パターンを原塙として密着露光巳、実施例１と回
し方法で、現像し、しかろ後″てエツチングしシャープ
なパターンを得た。その後テトラヒドロフラン；てよつ
、・窓′＃：、訃樹巾１諧を剥ｊｉ＝　Ｌ、転成したも
のを、電Ｉ飯として用いた。その結果！？虱あるいは、
制約：もなく良好：て作動した。

実施例５実施例２て祷、′−）れだ網点画暑゛を下記の二種の２
２Ｃのエツチング液（・て浸漬し、感光性ケ脂層の状態
と、網点画惜ｆの面、ｒｉＩＴ率の減少（城カー貴）￥
ヒＪ−−・・ツク（東洋インキ製造社製の網点面積率（
Ｄ１］定器）で４１１１定した。

七の結果、エツチングｅ、２て゛は５０％の網へ面積率
の部分が１分間７５％しか減力（−なかったが、エツチ
ング液１ては乙０秒て１１０％の減力かなされた。また
エツチング液１ては５分闇七のまま浸、貴しても感光性
樹脂層の剥離はおこらなかったが、エツチング液２では
１分４５秒で感光性樹脂層が膨潤しはじめ２分３０秒で
完全に剥離した。

実施例６次表のエツチング液７作成（−だ。各、夜を２６Ｃにし
た。

各１液；・こ実施４Ｊｌｊ　２て得Ｌ′）れだパターン
を１分′ト（ＩＦ・責した。その結果、エツチング液１
て１ま網薇面債率５０％のところで１８０％減少してぃ
１こが、エツチング液２て・、ま７５％しが減少しなか
った。またエツチング液ろては１３５％減少しているも
のの、画像・：ま虫が食ったようなびびりｒＩある形状
を呈していた。また合液のが９（まそれぞれ５１．１３
２．０５であった。以上がらエツチング液１は弱酸性で
ありながら均一（てエツチングさｎ、しかもエラキング
速度（まアルカリ系エツチング液より極めて速かった。

Ｕ上実施例で明らかなように、かかる画像形成用イシ料
と処理液を用いた該処］里方法知よると、従来の方去て
比較してエツチングが極めて速く、均一に、しかも中性
Ｃ・て近い状態で行えるため、処理時間が大幅（（短Ｖ
￥され、高階像力でびびつのない画像が得ｌ−Ｉれ、感
光性樹脂の脆化が少いため、す特許出願人凸版印刷株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）支持体上に、アルミニウム系金属薄層及び感光性
樹脂層を順設して成る画像形成用材料に対して感光性樹
脂層側より画像露光を施し、感光性樹脂層の可溶部分を
現像液（でより溶解：途去し、しかル後に露出したアル
ミニウム系金属薄層をエツチング処理する際、（刀〕、
化水素酸、フッｒヒアンモニウム、フッ化水素アンモニ
ウムの少なくとモ一種の化合物を、合計０５〜５０　’
、ｚ’ｔ％（−１戸ｊ受化第゛二銅０２〜５　ｚｔｙｊ
％（つ）硝酸００１〜３０−、ｖｔ％の三成分を少なく
とも含有するアルミニウム系金属用エツチング液により
エツチングすることを特徴とする画像形成用材料の処Ｐ
ト方法、。
（２）支持体上に画像状のアルミニウム系金１５＠薄層
が存在し、さらにその−ヒに同−画像状の樹脂層が存在
するアルミニウム系金属ｔｉｉｉｉ　＠に、（刀フッ化
水ｓｉｔ、フッ化アンモニウム、フッ化水素アンモニウ
ムのうち少なくとも一種の化合物を、合計０５〜６０ｗ
ｔ％（イ）酸化第二銅を０．２〜５　ｖｌｔ％　（つ）
硝酸を００１〜３０　ｗｔ％の三成分を少なくとも含有
するアルミニウム系金属用エツチング液を接触させ、ア
ルミニウム系金属薄層を横方向にエツチングし、金属系
画像のサインを減少させることを特徴とする金属系画像
の処理方法３、
（３）アルミニウム系金属用エツチング液に非イオン系
あるいはアニオン系界面活性剤を含有することを特徴と
する特許請求範囲第１項記載の画像形成用材料の処理方
法。
（４）アルミニウム系金属用エツチング液に非イオン系
あるいはアニオン系界面活性剤を含有することを特徴と
する特許請氷の範囲第２項記載の金属系面像の処理方法
３、
（５）アルミニウム系金属用エツチング液に水溶性有機
溶剤を含有することを特徴とする特許５青求の範囲第２
項記載の金属系画像の処理方法。