JPS5911667B2 - カ−ボンるつぼ - Google Patents
カ−ボンるつぼInfo
- Publication number
- JPS5911667B2 JPS5911667B2 JP15796981A JP15796981A JPS5911667B2 JP S5911667 B2 JPS5911667 B2 JP S5911667B2 JP 15796981 A JP15796981 A JP 15796981A JP 15796981 A JP15796981 A JP 15796981A JP S5911667 B2 JPS5911667 B2 JP S5911667B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- crucible
- molded body
- expanded graphite
- carbon crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属溶融に用いられるカーボンるつほの改良に
関する。
関する。
アルミニウムなどの金属を蒸着する際金属原料を通常人
造黒鉛質のカーボンるつぼに入れこれを抵抗加熱又は誘
導加熱により真空中で加熱溶解する。
造黒鉛質のカーボンるつぼに入れこれを抵抗加熱又は誘
導加熱により真空中で加熱溶解する。
以下これをアルミニウムの場合につき説明すると、真空
蒸着は1400〜1500℃の温度で行なわれるが、こ
の際溶融したアルミニウムとるつぼのカーボンとが反応
して炭化アルミニウムが生成されこれがるつほの内面に
固着して蒸発面積を減少させたり、るつぼを破損する不
工合がある。また真空中ではアルミニウムはカーボンに
濡れやすいためるつぼから溢れ出たり溢れ出た部分で炭
化アルミニウムが生成したりする。又炭化アルミニウム
は空気中に放置されると湿気を吸つてメタンガスを発生
しながら分解しるつぼ表面を破損する。上記のような理
由によつて一般にカーボンるつほの寿命は蒸発回数にし
て20同程度であり大変不経済であつた。本発明は上記
の欠点を解消し、寿命を大幅に向上する金属溶融用のカ
ーボンるつほを提供することを目的とする。
蒸着は1400〜1500℃の温度で行なわれるが、こ
の際溶融したアルミニウムとるつぼのカーボンとが反応
して炭化アルミニウムが生成されこれがるつほの内面に
固着して蒸発面積を減少させたり、るつぼを破損する不
工合がある。また真空中ではアルミニウムはカーボンに
濡れやすいためるつぼから溢れ出たり溢れ出た部分で炭
化アルミニウムが生成したりする。又炭化アルミニウム
は空気中に放置されると湿気を吸つてメタンガスを発生
しながら分解しるつぼ表面を破損する。上記のような理
由によつて一般にカーボンるつほの寿命は蒸発回数にし
て20同程度であり大変不経済であつた。本発明は上記
の欠点を解消し、寿命を大幅に向上する金属溶融用のカ
ーボンるつほを提供することを目的とする。
本発明は、内部に膨張黒鉛成形体を嵌入した金属溶融用
のカーボンるつぼに関する。
のカーボンるつぼに関する。
上記の膨張黒鉛成形体は、公知のように黒鉛粉10末を
強酸で処理した後800〜1000℃に加熱し粒子構造
のC軸方向に膨張した膨張黒鉛粒子を製造し、該粒子を
用いロールによりシートを成形し該シートを所定寸法の
金型にセットし200に9/一程度に加圧して製造され
る。
強酸で処理した後800〜1000℃に加熱し粒子構造
のC軸方向に膨張した膨張黒鉛粒子を製造し、該粒子を
用いロールによりシートを成形し該シートを所定寸法の
金型にセットし200に9/一程度に加圧して製造され
る。
15かくして得た膨張黒鉛成形体は板状の膨張黒鉛粒子
が層状に配向して加圧方向に気孔を有しないから、カー
ボンるつぼに嵌入して第1図に示すようにカーボンるつ
ぼ1の内壁を膨張黒鉛成形体3で覆うと溶融金属が浸透
拡散してカーボンるつぼと接触するのを防止する。
が層状に配向して加圧方向に気孔を有しないから、カー
ボンるつぼに嵌入して第1図に示すようにカーボンるつ
ぼ1の内壁を膨張黒鉛成形体3で覆うと溶融金属が浸透
拡散してカーボンるつぼと接触するのを防止する。
なお該成形体は、交換使用されるものでその形状は、カ
ーボンるつぼ内に嵌入した際るつぼの内面に大体一致す
る形状であればよく、さらにその厚さは基本的には熱伝
導性、金属との反応度合、蒸着時間などにより決つてく
るが、蒸着時間が30〜60分の場合には0.5〜2w
tm位が好ましい。
ーボンるつぼ内に嵌入した際るつぼの内面に大体一致す
る形状であればよく、さらにその厚さは基本的には熱伝
導性、金属との反応度合、蒸着時間などにより決つてく
るが、蒸着時間が30〜60分の場合には0.5〜2w
tm位が好ましい。
さらに成形体の高さをカーボンるつぼの内部の深さより
も10〜30mwt位高くすると溶融金属がカーボンる
つぼから溢れ出ることがない。 次に本発明を実施例に
より具体的に説明する。
も10〜30mwt位高くすると溶融金属がカーボンる
つぼから溢れ出ることがない。 次に本発明を実施例に
より具体的に説明する。
実施例第1図に示すように外径120mmφ、内径10
0mmφ、高さ9Omm、内部深さ80mm、内部底部
のRがIOR寸法のカーボンるつぼ1の内部に厚さゞ5
1.5mmで高さ95mmの膨張黒鉛成形体3を嵌入し
、常法にしたがいアルミニウム2を溶解し真空蒸着を行
なつた(真空蒸着装置の図面は省略)。
0mmφ、高さ9Omm、内部深さ80mm、内部底部
のRがIOR寸法のカーボンるつぼ1の内部に厚さゞ5
1.5mmで高さ95mmの膨張黒鉛成形体3を嵌入し
、常法にしたがいアルミニウム2を溶解し真空蒸着を行
なつた(真空蒸着装置の図面は省略)。
【7−その結果膨張黒鉛成形体3とアルミニウム2とは
反応したがカーボンるつぼ1とアルミニウム2との反応
はなく又アルミニウム2がカーボンるつぼ1の上縁から
溢れ出ることもなく良好に蒸着することができた。
反応したがカーボンるつぼ1とアルミニウム2との反応
はなく又アルミニウム2がカーボンるつぼ1の上縁から
溢れ出ることもなく良好に蒸着することができた。
なお膨張黒鉛成形体3を蒸着処理3回ごとに新品と交換
することによりカーボンるつぼを60回の蒸着に供する
ことすなわち寿命を3倍程度伸ばすことができた。本発
明によればカーボンるつぼ内に膨張黒鉛成形体を嵌入し
たので、カーボンるつぼが溶融金属と接触しないからカ
ーボンるつぼの寿命が大幅に向上する。
することによりカーボンるつぼを60回の蒸着に供する
ことすなわち寿命を3倍程度伸ばすことができた。本発
明によればカーボンるつぼ内に膨張黒鉛成形体を嵌入し
たので、カーボンるつぼが溶融金属と接触しないからカ
ーボンるつぼの寿命が大幅に向上する。
第1図は本発明における膨張黒鉛成形体を嵌入したカー
ボンるつぼの断面図である。 符号の説明、1・・・・・・カーボンるつぼ、2・・・
・・・アルミニウム、3・・・・・・膨張黒鉛成形体。
ボンるつぼの断面図である。 符号の説明、1・・・・・・カーボンるつぼ、2・・・
・・・アルミニウム、3・・・・・・膨張黒鉛成形体。
Claims (1)
- 1 内部に膨張黒鉛成形体を嵌入した金属溶融用のカー
ボンるつぼ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15796981A JPS5911667B2 (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | カ−ボンるつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15796981A JPS5911667B2 (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | カ−ボンるつぼ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5858278A JPS5858278A (ja) | 1983-04-06 |
JPS5911667B2 true JPS5911667B2 (ja) | 1984-03-16 |
Family
ID=15661393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15796981A Expired JPS5911667B2 (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | カ−ボンるつぼ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5911667B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61249333A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | 中川 良成 | 家畜の害虫防除方法及び装置 |
JPH02102954U (ja) * | 1989-02-02 | 1990-08-16 | ||
JPH0545171Y2 (ja) * | 1989-02-02 | 1993-11-17 | ||
JP2018059660A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 明智セラミックス株式会社 | 黒鉛質坩堝 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63190895U (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-08 |
-
1981
- 1981-10-02 JP JP15796981A patent/JPS5911667B2/ja not_active Expired
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61249333A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | 中川 良成 | 家畜の害虫防除方法及び装置 |
JPH02102954U (ja) * | 1989-02-02 | 1990-08-16 | ||
JPH0545171Y2 (ja) * | 1989-02-02 | 1993-11-17 | ||
JP2018059660A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 明智セラミックス株式会社 | 黒鉛質坩堝 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5858278A (ja) | 1983-04-06 |
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