JPH024123Y2 - - Google Patents
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- JPH024123Y2 JPH024123Y2 JP9235986U JP9235986U JPH024123Y2 JP H024123 Y2 JPH024123 Y2 JP H024123Y2 JP 9235986 U JP9235986 U JP 9235986U JP 9235986 U JP9235986 U JP 9235986U JP H024123 Y2 JPH024123 Y2 JP H024123Y2
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- vapor deposition
- sic
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本考案は、アルミニウム或いは銀などの熔融金
属を高温、高真空下で蒸発させ、フイルムもしく
はシート状物などの材料表面にこれらの金属を沈
着させるところのいわゆる金属蒸着の際に用いら
れるルツボ（以下蒸着用ルツボという）の改良に
関するものである。 ［従来の技術］ このような目的を果し得る蒸着用ルツボとして
は、例えばアルミニウム蒸着の場合、1200℃〜
1500℃の高温で且つ10〜10mmHgの高真空下での
使用に耐える材料でなければならないので、通常
は種々の処理をした黒鉛質の材料が用いられる。 この黒鉛質の蒸着用ルツボを繰り返し使用して
いくとその内部、特に底側部が侵蝕され、遂には
穴があいてその使用が不可能となることがある。 ［考案が解決しようとする問題点］ それゆえ、多くの場合は熔融アルミニウムが、
その使用中に上端部へ這い上り或いは上端面に沈
積し、これらが蒸着用ルツボの外側面部へ垂れ下
り、ここで熔融アルミニウムと黒鉛との化学反応
が起つて、この部分が侵蝕され、側面部の肉厚が
減少もしくは割れを生じて、遂にはその使用が不
可能となる。 したがつて、アルミニウムの蒸着用ルツボ側面
部への垂れ下がりは、前述のように蒸着用ルツボ
や、カーボンフアイバー等からなる断熱材の寿命
（使用回数）を短かくし、そのコスト高をきたす
のみならず、蒸着用ルツボに割れを生じた場合に
は、高温の熔融アルミニウムが流出して高価な真
空蒸着装置を汚したり、さらにこれが著しい場合
には、かかる装置を損傷することもあり、安全上
でも好ましくない。このような蒸着用ルツボの破
損に伴つて製品としてのフイルムやシートも蒸着
が完全に行なわれないために、その商品価値を失
い多大の損失をきたすことになる。 ［問題点を解決するための手段及び作用］ 本考案者らは、上記の問題点について改良を試
み、従来のものに較べ耐久性にすぐれた蒸着用ル
ツボを工夫するに至り本考案を完成した。 すなわち、本考案は蒸着用ルツボの上端面の一
部又は全部に、熔融金属の進行を妨げるに最適の
耐火材料を装着し、這い上つてきた熔融金属が外
側部へ進行することを阻止することにより、外側
部の侵蝕を防止して、その使用回数を向上させよ
うとするものである。 本考案者らの研究結果によれば、上記耐火材料
として基材をルツボ本体と同じカーボン−黒鉛材
料とし、その表層をSiCからなる構造にすると、
アルミニウムの蒸着に際しては、熔融アルミニウ
ムが外側面へ進行することを阻止し、ルツボ本体
にも悪影響をおよぼさないことから、蒸着用ルツ
ボの耐久性向上（使用回数向上）に顕著な効果が
あることが判明した。 すなわち、蒸着用ルツボの内壁を這に上り、そ
して上端面にまで達した熔融アルミニウムは、そ
の上端面の一部又は全部に装着されたSiCを主体
とする耐火材料とのなじみが極めて少ないため
に、これを乗り越えて外側部へ進行することがで
きず、もとのルツボ内へ戻されて外側面に垂れ下
ることは全くなくなる。 このようなSiCを主体とする耐火材料は、あら
かじめカーボン材を任意の形状に加工しておき、
その表面をSiC化して得られる。カーボンの表面
をSiC化する方法としては、(1)コンバージヨン
法、(2)SiC−CVDコーテイング法がある。 コンバージヨン法はSi又は、一酸化硅素
（SiO）ガス約2000℃に加熱されたカーボン材と
反応させて表層部をSiCに転化する方法であり、
SiC−CVDコーテイング法はたとえばCH3SiCl3
を約1400℃に加熱されたカーボン材表面において
熱分解し、SiCを蒸着させる方法である。 次に、アルミニウム蒸着の場合に、本考案を実
施する具体的な態様を図面に基づいて説明する。 最も簡単な実施例としては、第１図に示すよう
な蒸着用ルツボがあり、これはその上端面１の全
部にこれとほぼ同様な形状および大きさのリング
上の耐火材料２を載置するものである。 また第２図に示すように、蒸着用ルツボの上端
面１に耐火材料２を嵌着あるいはねじを切つて嵌
め込むことによつて装着することができる。 以下、本考案の一実施例である蒸着用ルツボを
使用したときの効果（使用回数）を第１表に示
す。
属を高温、高真空下で蒸発させ、フイルムもしく
はシート状物などの材料表面にこれらの金属を沈
着させるところのいわゆる金属蒸着の際に用いら
れるルツボ（以下蒸着用ルツボという）の改良に
関するものである。 ［従来の技術］ このような目的を果し得る蒸着用ルツボとして
は、例えばアルミニウム蒸着の場合、1200℃〜
1500℃の高温で且つ10〜10mmHgの高真空下での
使用に耐える材料でなければならないので、通常
は種々の処理をした黒鉛質の材料が用いられる。 この黒鉛質の蒸着用ルツボを繰り返し使用して
いくとその内部、特に底側部が侵蝕され、遂には
穴があいてその使用が不可能となることがある。 ［考案が解決しようとする問題点］ それゆえ、多くの場合は熔融アルミニウムが、
その使用中に上端部へ這い上り或いは上端面に沈
積し、これらが蒸着用ルツボの外側面部へ垂れ下
り、ここで熔融アルミニウムと黒鉛との化学反応
が起つて、この部分が侵蝕され、側面部の肉厚が
減少もしくは割れを生じて、遂にはその使用が不
可能となる。 したがつて、アルミニウムの蒸着用ルツボ側面
部への垂れ下がりは、前述のように蒸着用ルツボ
や、カーボンフアイバー等からなる断熱材の寿命
（使用回数）を短かくし、そのコスト高をきたす
のみならず、蒸着用ルツボに割れを生じた場合に
は、高温の熔融アルミニウムが流出して高価な真
空蒸着装置を汚したり、さらにこれが著しい場合
には、かかる装置を損傷することもあり、安全上
でも好ましくない。このような蒸着用ルツボの破
損に伴つて製品としてのフイルムやシートも蒸着
が完全に行なわれないために、その商品価値を失
い多大の損失をきたすことになる。 ［問題点を解決するための手段及び作用］ 本考案者らは、上記の問題点について改良を試
み、従来のものに較べ耐久性にすぐれた蒸着用ル
ツボを工夫するに至り本考案を完成した。 すなわち、本考案は蒸着用ルツボの上端面の一
部又は全部に、熔融金属の進行を妨げるに最適の
耐火材料を装着し、這い上つてきた熔融金属が外
側部へ進行することを阻止することにより、外側
部の侵蝕を防止して、その使用回数を向上させよ
うとするものである。 本考案者らの研究結果によれば、上記耐火材料
として基材をルツボ本体と同じカーボン−黒鉛材
料とし、その表層をSiCからなる構造にすると、
アルミニウムの蒸着に際しては、熔融アルミニウ
ムが外側面へ進行することを阻止し、ルツボ本体
にも悪影響をおよぼさないことから、蒸着用ルツ
ボの耐久性向上（使用回数向上）に顕著な効果が
あることが判明した。 すなわち、蒸着用ルツボの内壁を這に上り、そ
して上端面にまで達した熔融アルミニウムは、そ
の上端面の一部又は全部に装着されたSiCを主体
とする耐火材料とのなじみが極めて少ないため
に、これを乗り越えて外側部へ進行することがで
きず、もとのルツボ内へ戻されて外側面に垂れ下
ることは全くなくなる。 このようなSiCを主体とする耐火材料は、あら
かじめカーボン材を任意の形状に加工しておき、
その表面をSiC化して得られる。カーボンの表面
をSiC化する方法としては、(1)コンバージヨン
法、(2)SiC−CVDコーテイング法がある。 コンバージヨン法はSi又は、一酸化硅素
（SiO）ガス約2000℃に加熱されたカーボン材と
反応させて表層部をSiCに転化する方法であり、
SiC−CVDコーテイング法はたとえばCH3SiCl3
を約1400℃に加熱されたカーボン材表面において
熱分解し、SiCを蒸着させる方法である。 次に、アルミニウム蒸着の場合に、本考案を実
施する具体的な態様を図面に基づいて説明する。 最も簡単な実施例としては、第１図に示すよう
な蒸着用ルツボがあり、これはその上端面１の全
部にこれとほぼ同様な形状および大きさのリング
上の耐火材料２を載置するものである。 また第２図に示すように、蒸着用ルツボの上端
面１に耐火材料２を嵌着あるいはねじを切つて嵌
め込むことによつて装着することができる。 以下、本考案の一実施例である蒸着用ルツボを
使用したときの効果（使用回数）を第１表に示
す。
【表】
［考案の効果］
このように本考案による蒸着用ルツボはその上
端面１の一部又は全部にSiCを主成文とする耐火
材料２を各種の態様で装着することにより、その
使用回数を大幅に向上させることができ、熔融金
属の進行を完全に防止できるなどの効果をあげる
ことができ、この業界において極めて有用なもの
である。
端面１の一部又は全部にSiCを主成文とする耐火
材料２を各種の態様で装着することにより、その
使用回数を大幅に向上させることができ、熔融金
属の進行を完全に防止できるなどの効果をあげる
ことができ、この業界において極めて有用なもの
である。
第１図及び第２図は本考案の蒸着用ルツボの縦
断面である。 符号の説明、１……蒸着用ルツボの上端面、２
……SiCを主体とする耐火材料。
断面である。 符号の説明、１……蒸着用ルツボの上端面、２
……SiCを主体とする耐火材料。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蒸着用ルツボの上端面１の一部又は全部に
SiCを主成分とする耐火材料２を装着して成る
ことを特徴とする蒸着用ルツボ。 (2) 前記耐火材料は、その装着面の少なくとも表
層部がSiCに転化させたカーボン材であること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載の蒸着用ルツボ。 (3) 前記耐火材料は、その装着面がCVDにより
コーテイングされたカーボン材であることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
蒸着用ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235986U JPH024123Y2 (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235986U JPH024123Y2 (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62203262U JPS62203262U (ja) | 1987-12-25 |
| JPH024123Y2 true JPH024123Y2 (ja) | 1990-01-31 |
Family
ID=30953996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9235986U Expired JPH024123Y2 (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH024123Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-17 JP JP9235986U patent/JPH024123Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62203262U (ja) | 1987-12-25 |
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