JPH0545066U - アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 るつぼ上部の割れがなく、寿命の長いアルミ
ニウム蒸着用黒鉛るつぼを提供する。 【構成】 るつぼ１の上端面に、上端面の円周に沿って
断面が円弧状の溝２を設けてなるアルミニウム蒸着用黒
鉛るつぼ。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼに関する。

【０００２】

【従来の技術】

アルミニウムの蒸着は、アルミニウムのインゴットを黒鉛製のるつぼに入れ、 更にこれを真空蒸着装置に収納し、１０^-2〜１０^-5torrに減圧すると共に、誘導 加熱等によりるつぼを加熱してアルミニウムを溶融し、１４００〜１５００℃に 保持して、発生するアルミニウムの蒸気を装置の上部を走行するポリエステル等 のフィルムに蒸着させる方法が多用されている。このためのるつぼは、人造黒鉛 材を一般のるつぼの形状に機械加工したものが使用されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら上記の方法において、従来の黒鉛るつぼは溶融アルミニウム及び アルミニウムの蒸気と反応して炭化アルミニウムを生成し、その際の体積膨張に よってるつぼが破損し、黒鉛るつぼの寿命が短いものが発生するという問題があ る。特にるつぼ上部が破損し易い傾向がある。 本考案は、上記した問題を解決し、寿命の長いアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案者等は、るつぼの側壁及び底部の外側は断熱材で保温されているが、る つぼの上部は保温されていないので温度が比較的低いことに着目し、るつぼの上 部が破損し易いのは、一度蒸発したアルミニウム蒸気が下降してるつぼの上端部 付近に沈積し、黒鉛と反応するためであると考え、本考案に到達した。 本考案は、るつぼの上端面に、上端面の円周に沿って断面が円弧状の溝を設け てなるアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼに関する。

【０００５】 本考案は、るつぼ上端面の上方に円弧の焦点を結んでその部分の温度を上げ、 アルミニウム蒸気の沈積及びそれによる黒鉛との反応を防止しようとするもので ある。円弧の焦点は、るつぼ上端面の直上１〜７cmの位置が好ましい。また、溝 部の放射面積を増すために、るつぼ上端部の肉厚をるつぼの肉厚の１．５〜２倍 にするのが好ましい。

【０００６】

【実施例】

次に本考案の実施例を説明する。 実施例１ 人造黒鉛材を機械加工して肉厚１０mm、外径１３０mm、高さ１２０mmのるつぼ を得た。これを比較例のるつぼとする。図１に示すように、このるつぼを更に機 械加工して、上端面に焦点距離３０mmの円弧の溝２を設けた実施例１のるつぼ１ を得た。円弧の焦点３は上端面の直上２９．５mmの位置とした。

【０００７】 実施例２ 人造黒鉛材を機械加工して肉厚１０mm、外径１３０mm、高さ１２０mmで、図２ に示すように上端部に厚さ５mm、高さ１０mmのつば５を設けて上端面を広くし、 その上端面に焦点距離３０mmの円弧の溝６を形成したるつぼ４を得た。円弧の焦 点７は上端面の直上２９mmの位置とした。

【０００８】 上記実施例及び比較例で得たるつぼにアルミニウムのインゴットを入れて真空 蒸着装置に収納し、１０^-2torrに減圧し、高周波誘導で１４５０℃で２時間加熱 してアルミニウムを蒸発させる実験を繰返し行い、その都度外観を観察した。そ の結果、比較例のるつぼは１７回の使用でその上部が割れたのに対し、実施例１ のるつぼは２５回及び実施例２のるつぼは２８回の使用によっても、上部の破損 は無く良好であった。

【０００９】

【考案の効果】

本考案によれば、寿命の長いアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼが提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例におけるアルミニウム蒸着用黒
鉛るつぼを示す概略図である。

【図２】本考案の実施例におけるアルミニウム蒸着用黒
鉛るつぼを示す概略図である。

【符号の説明】

１…るつぼ ２…溝 ３…焦点 ４…るつぼ ５…つば ６…溝 ７…焦点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 高橋 健吉 茨城県日立市鮎川町三丁目３番１号 日立 化成工業株式会社桜川工場内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 るつぼの上端面に、上端面の円周に沿っ
   て断面が円弧状の溝を設けてなるアルミニウム蒸着用黒
   鉛るつぼ。