JPS59115608A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JPS59115608A JPS59115608A JP23073082A JP23073082A JPS59115608A JP S59115608 A JPS59115608 A JP S59115608A JP 23073082 A JP23073082 A JP 23073082A JP 23073082 A JP23073082 A JP 23073082A JP S59115608 A JPS59115608 A JP S59115608A
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- piezoelectric
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 17
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 5
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 241000219094 Vitaceae Species 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/542—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material including passive elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
この発明は圧電共振子に関し、特に１つの圧電素子で厚
みすべり振動モードと厚みすべりねじれ振動モードとに
よって２つの周波数で共振するような圧電共振子に関す
る。
みすべり振動モードと厚みすべりねじれ振動モードとに
よって２つの周波数で共振するような圧電共振子に関す
る。
先行技１ｆｉの説明
最近では、ビデオテープレコーダやビデオディスクなど
の電子機器における信号処理の複雑化に伴い、不必要な
周波数帯域の信号を除去するために、複数のトラップを
設けることが多くなってきている。
の電子機器における信号処理の複雑化に伴い、不必要な
周波数帯域の信号を除去するために、複数のトラップを
設けることが多くなってきている。
１１図ないし第３図は従来の圧電共振子を用い”（２つ
の周波数をトラップするトラップ回路の回路図であり、
第４図は従来の１素子型圧電共振子の平面図であり、第
５図は２素子型圧電共振子の平面図である。
の周波数をトラップするトラップ回路の回路図であり、
第４図は従来の１素子型圧電共振子の平面図であり、第
５図は２素子型圧電共振子の平面図である。
圧電共振子を用いて異なる周波数をトラップする場合に
は、第１図に示すようにそれぞれが異なる周波数で共振
する１素子型の圧電共振子１．１をそれぞれ直列的に接
続するが、または第２図に示すように２素子型の圧電共
振子２，２を並列接続するか、あるいは第３図に示すよ
うに２素子型の圧電共振子２．２を直列接続する必要が
ある。
は、第１図に示すようにそれぞれが異なる周波数で共振
する１素子型の圧電共振子１．１をそれぞれ直列的に接
続するが、または第２図に示すように２素子型の圧電共
振子２，２を並列接続するか、あるいは第３図に示すよ
うに２素子型の圧電共振子２．２を直列接続する必要が
ある。
第１図に示す１素子型の圧電共振子１は第４図に示すよ
うに、圧電基板１１の両側主表面に円板状の１対の対向
電極１２．１３を形成し、これらの電極１２．１３に引
出電極１４．１５を接続したものである。引出電極１４
．１５の間に電圧を印加すると、圧電基板１１の対向電
極１２．１３で挾まれた部分が厚みすべり振動を生じ、
成る周波数で共振する。
うに、圧電基板１１の両側主表面に円板状の１対の対向
電極１２．１３を形成し、これらの電極１２．１３に引
出電極１４．１５を接続したものである。引出電極１４
．１５の間に電圧を印加すると、圧電基板１１の対向電
極１２．１３で挾まれた部分が厚みすべり振動を生じ、
成る周波数で共振する。
第２図、第３図に示した２素子型圧電共娠子２は、第５
図に示すように１．圧電基板２１の両生表面に２組の対
向電極２２と２３．２４と２５を設け、表側の電ｔｉｉ
Ｉ！２２には引出電極２６を接続し、電極２４には引出
電ｔｉ２Ｂを接続し、真向の電所２３と２５は共通電極
２７に接続しｒｌ成される。
図に示すように１．圧電基板２１の両生表面に２組の対
向電極２２と２３．２４と２５を設け、表側の電ｔｉｉ
Ｉ！２２には引出電極２６を接続し、電極２４には引出
電ｔｉ２Ｂを接続し、真向の電所２３と２５は共通電極
２７に接続しｒｌ成される。
そして、引出電４ｉ２６と２７および２７と２８との間
に電圧を加えると、圧電基板２１の各電極で挾まれた部
分で厚み−すべり振動を生じ、成る周波数で共振する。
に電圧を加えると、圧電基板２１の各電極で挾まれた部
分で厚み−すべり振動を生じ、成る周波数で共振する。
上述のごとく、従来の圧電共振子を用いて少なくとも２
つの周波数を１〜ラツプする１ζめには、少なくとも２
つの圧電共振器とその周辺回路とし−（抵抗やコイルな
どを必要とし、部品点数が多くなるとともに回路を簡略
化できないという欠点があった。
つの周波数を１〜ラツプする１ζめには、少なくとも２
つの圧電共振器とその周辺回路とし−（抵抗やコイルな
どを必要とし、部品点数が多くなるとともに回路を簡略
化できないという欠点があった。
発明の目的
それゆえに、この発明の主たるｕ的ｔｃｔ１１つの圧電
素子で少なくとも２つの周波数を共振し得る圧電共振子
を提供することである。
素子で少なくとも２つの周波数を共振し得る圧電共振子
を提供することである。
発明の要約
この発明を要約すれば、分ＶＵ＠がその主表面に対しζ
゛平行なるＪ、うな圧電基板の両生表面に、分極軸に対
して平１ｊな方向の寸法に対して分極軸に直交する方向
の寸法が大きくなるような１対の対向電画を形成し、厚
みすベリ掻動モードで成る周波数の共振を生じさせ、厚
みすべりねじれ振動モードで異なる周波数の共振を生じ
させるように慴成したものである。
゛平行なるＪ、うな圧電基板の両生表面に、分極軸に対
して平１ｊな方向の寸法に対して分極軸に直交する方向
の寸法が大きくなるような１対の対向電画を形成し、厚
みすベリ掻動モードで成る周波数の共振を生じさせ、厚
みすべりねじれ振動モードで異なる周波数の共振を生じ
させるように慴成したものである。
実施例の説明
第６図はこの発明の一実施例の平面図である。
第６図において、圧電基板１６には前述の第４図に示し
た電ｆ１ｍ１２．１３とほぼ同一の面積を有しかつ分極
軸Ａに平行な方向の寸法ａに対して分極軸Ａに直交する
方向の寸法すが太き（選ばれた１対の対向型＆１７．１
８が形成される。そして、一方のｆｆ１ＦｉＩ１７は引
出電極１９に接続され、他方の電極１８は引出電極２０
に接続される。このように電ｍ１７．１８の寸法ａ、ｂ
を異ならせることにより、圧電基板１６の電極１７と１
８とで挾まれた部分で分極軸に対して水平な厚みすべり
振動モードと分極軸に対して直交する厚みすべりねじれ
振動モードとを生じさせることができる。そして、厚み
すべり振動モードと厚みすべりねじれ振動モードとでそ
れぞれ伝播速度が異なることにより、それぞれの振動に
伴う共振周波数ｆ １． ｆ２に差を生じる。この場合
の厚みすべり振動モードによる共振抵抗値Ｒｅ ＋ と
厚みすべりねじれ振動モードによる共振抵抗値ＲＯ２は
ｂ／ａの比を適当に選ぶことによって調整できる。、す
なわち、ｂ／ａが小さいほどＲｏｔ＜Ｒｏ２．ｂ／ａが
大きいほどＲｏ ＋ ＞Ｒｏ ２となる。そして、この
ような１つの圧電共振器１０によって２つの周波数をト
ラップできる。
た電ｆ１ｍ１２．１３とほぼ同一の面積を有しかつ分極
軸Ａに平行な方向の寸法ａに対して分極軸Ａに直交する
方向の寸法すが太き（選ばれた１対の対向型＆１７．１
８が形成される。そして、一方のｆｆ１ＦｉＩ１７は引
出電極１９に接続され、他方の電極１８は引出電極２０
に接続される。このように電ｍ１７．１８の寸法ａ、ｂ
を異ならせることにより、圧電基板１６の電極１７と１
８とで挾まれた部分で分極軸に対して水平な厚みすべり
振動モードと分極軸に対して直交する厚みすべりねじれ
振動モードとを生じさせることができる。そして、厚み
すべり振動モードと厚みすべりねじれ振動モードとでそ
れぞれ伝播速度が異なることにより、それぞれの振動に
伴う共振周波数ｆ １． ｆ２に差を生じる。この場合
の厚みすべり振動モードによる共振抵抗値Ｒｅ ＋ と
厚みすべりねじれ振動モードによる共振抵抗値ＲＯ２は
ｂ／ａの比を適当に選ぶことによって調整できる。、す
なわち、ｂ／ａが小さいほどＲｏｔ＜Ｒｏ２．ｂ／ａが
大きいほどＲｏ ＋ ＞Ｒｏ ２となる。そして、この
ような１つの圧電共振器１０によって２つの周波数をト
ラップできる。
すなわち、従来の１つの厚みすべり撮動モードしか生じ
ない圧電基板１６を用い、圧電基板１６の分極軸Ａに平
行な方向の寸法ａに対して分極軸Ａに直交する方向の寸
法すを大きく選び、しがもその比ｂ／ａを１．２以上に
選んだ段階から、厚みずベリねじれ振動モートによる減
衰量が実用的なレベルで生じ始める。したがって、従来
の圧電基板材ｒ１をイのまま使い、電極１７．１８を前
述の形状に形成すれＬ＋、２つのモードを生じさゼるこ
とができる。
ない圧電基板１６を用い、圧電基板１６の分極軸Ａに平
行な方向の寸法ａに対して分極軸Ａに直交する方向の寸
法すを大きく選び、しがもその比ｂ／ａを１．２以上に
選んだ段階から、厚みずベリねじれ振動モートによる減
衰量が実用的なレベルで生じ始める。したがって、従来
の圧電基板材ｒ１をイのまま使い、電極１７．１８を前
述の形状に形成すれＬ＋、２つのモードを生じさゼるこ
とができる。
なお、各モードにおける共振周波数は主として圧電基板
１６の厚みによって決定されるが、電極１７．１８の面
積を変えてもその間の静電容量ならびにダンピングも変
わるので周波数を変化させることができる。さらに、ａ
／ｂを変化さけたりあるいは電極１７と１８とによって
どの程度分極さけるかを変えても周波数を変えることが
できる。
１６の厚みによって決定されるが、電極１７．１８の面
積を変えてもその間の静電容量ならびにダンピングも変
わるので周波数を変化させることができる。さらに、ａ
／ｂを変化さけたりあるいは電極１７と１８とによって
どの程度分極さけるかを変えても周波数を変えることが
できる。
第７図は第４図に示した従来の圧電共振器の減衰特性を
示す図であり、第８図および第９図は第６図に示した圧
電共振器１０の減衰特性を示す図である。
示す図であり、第８図および第９図は第６図に示した圧
電共振器１０の減衰特性を示す図である。
次に、第７図を参照して、前述の第４図に示した圧電共
振器１の電極１２．１３として、直径１゜１！１ｌ１１
φ、電極ｆｆｉｍｏ、 ９４９８１Ｉ１ｍ’ （７）９
１７）ヲ用イた場゛合には、周波数５．５ＭＨｚで共振
している。
振器１の電極１２．１３として、直径１゜１！１ｌ１１
φ、電極ｆｆｉｍｏ、 ９４９８１Ｉ１ｍ’ （７）９
１７）ヲ用イた場゛合には、周波数５．５ＭＨｚで共振
している。
これに対して、第８図に示すように、第６図に示した圧
電共振器゛１０の電極１７．１８としてａ＝０．６９１
！１ｍ、ｂ ＝１．３７ （ｔなわちｂ 、−”ａ ＝
２ 。
電共振器゛１０の電極１７．１８としてａ＝０．６９１
！１ｍ、ｂ ＝１．３７ （ｔなわちｂ 、−”ａ ＝
２ 。
０）、雷洟面ｆｉｏ、９４５３酊１２の電極を用いると
、厚みすべり振動モードで５．５Ｎ−ＩＨｚで共振し、
厚みすべりねじれ振動モートで５．７３Ｍ１ｌｌ付近で
共振する。但し、この場合にＣＪ、厚みすべり振動モ・
−トの方が厚みすべりねじれ振動モートより減衰度が大
きくなる。
、厚みすべり振動モードで５．５Ｎ−ＩＨｚで共振し、
厚みすべりねじれ振動モートで５．７３Ｍ１ｌｌ付近で
共振する。但し、この場合にＣＪ、厚みすべり振動モ・
−トの方が厚みすべりねじれ振動モートより減衰度が大
きくなる。
また、第９図に示すように、第６図の電極１７゜１８と
し’Ｃａ ＝０．５６ｍｍ、 ｂ ＝ ｉ 、 ５８ｍ
ｍ（ｉなわちＩ＋、／ａ ＝３）、面Ｖ’＋０．９４０
８ｗｍ２にＪぶど、厚み゛丈ベリ振動モードで５．５Ｍ
ｌ−１２で共振し、厚みすべりぬじれ振動モードで５．
７゛３ＭＨ７付近で共振するか、この場合には厚みすべ
りねじれ振動モー１：の力が厚み−づｌ＼り振動モート
より減衰量が人ぎくなる。
し’Ｃａ ＝０．５６ｍｍ、 ｂ ＝ ｉ 、 ５８ｍ
ｍ（ｉなわちＩ＋、／ａ ＝３）、面Ｖ’＋０．９４０
８ｗｍ２にＪぶど、厚み゛丈ベリ振動モードで５．５Ｍ
ｌ−１２で共振し、厚みすべりぬじれ振動モードで５．
７゛３ＭＨ７付近で共振するか、この場合には厚みすべ
りねじれ振動モー１：の力が厚み−づｌ＼り振動モート
より減衰量が人ぎくなる。
第’Ｉ ０図はとの発明の伯の実施例の平面図である。
この第１０図に示゛Ｊ実施例は、ｌ土電基檄３１の両生
表面にａよりｂの寸法が長い電極３２と３３．３４と３
５をそれぞれ対向して形成して２素子型の圧電共振器３
ｏ−４梢成したものである。そして、このような２素子
型の圧電共振器３ｏによっても圧？￥ｆ基板３１の各電
極３２と３３および３４と３５との間で厚みすべり振動
モードと翠みすべりねじれ振動モードとを生じさせて、
２つの周波数で共振させることができる。
表面にａよりｂの寸法が長い電極３２と３３．３４と３
５をそれぞれ対向して形成して２素子型の圧電共振器３
ｏ−４梢成したものである。そして、このような２素子
型の圧電共振器３ｏによっても圧？￥ｆ基板３１の各電
極３２と３３および３４と３５との間で厚みすべり振動
モードと翠みすべりねじれ振動モードとを生じさせて、
２つの周波数で共振させることができる。
第１１図はこの発明のその他の実施例を示す平面図であ
る。この実施例は前述の第１０図に示した電極３２．３
３に代えて、分極軸に平行な寸法ｉ）と分極軸に直交す
る寸法すをほぼ等しく選んで形成した電極３９と４１と
をそれぞれ対向させたものである。
る。この実施例は前述の第１０図に示した電極３２．３
３に代えて、分極軸に平行な寸法ｉ）と分極軸に直交す
る寸法すをほぼ等しく選んで形成した電極３９と４１と
をそれぞれ対向させたものである。
第１２図は第１１図の減衰特性を示す図である。
第１１図に示したように、それぞれがほぼ開立面積であ
りかつ形状の異なる電極３９と４１および３４と３５と
を組合わせて形成することにより、共振周波数ならびに
減衰量の微調整を行なうことかでき、しかもこの第１１
図に示すように広帯域化を図ることができる。
りかつ形状の異なる電極３９と４１および３４と３５と
を組合わせて形成することにより、共振周波数ならびに
減衰量の微調整を行なうことかでき、しかもこの第１１
図に示すように広帯域化を図ることができる。
発明の効果
以上のように、この発明によれば、分極軸が（゛の１表
面に対して平行どなるような圧電基板の両生表面に、分
極軸に平行な方向の寸法に対して分極軸に直交する方向
の寸法を大きく選んだ少なくとも１対の対向電極を形成
したことによって、厚みすべり振ｖＪＶ−−ドと厚みず
べりねじれ振動モードを生じさせ、それぞれ異なる周波
数の共振を生じさせることができる。したがって、１゛
っの素子−で２つの周波数を共振させることができるの
で、２つの周波数をトラップすることができる。しがち
、電極の形状を変えるだけでよいので、ほかに抵抗やコ
イルなどの周辺素子を設ける必要がなく、部品点数を減
少できるとともに回路の簡略化ならびに装置の小型化を
図ることができる。
面に対して平行どなるような圧電基板の両生表面に、分
極軸に平行な方向の寸法に対して分極軸に直交する方向
の寸法を大きく選んだ少なくとも１対の対向電極を形成
したことによって、厚みすべり振ｖＪＶ−−ドと厚みず
べりねじれ振動モードを生じさせ、それぞれ異なる周波
数の共振を生じさせることができる。したがって、１゛
っの素子−で２つの周波数を共振させることができるの
で、２つの周波数をトラップすることができる。しがち
、電極の形状を変えるだけでよいので、ほかに抵抗やコ
イルなどの周辺素子を設ける必要がなく、部品点数を減
少できるとともに回路の簡略化ならびに装置の小型化を
図ることができる。
第１図、第２図および第３図は従来の圧電共振子を用い
て２つの周波数をトラップタるトラップ回路の回路図で
ある。第４図は従来の１素子型圧電共振子の平面図であ
る。第５図は従来の２素子型圧電共振子の平面図である
。第６図はこの発明の一実施例の平面図である。第７図
は第４図に示した従来の圧電共振子の減衰特性を示ず図
である。 第８図および第９図は第６図に示した圧電共振子の減衰
特性を示す図である。、第一１０図はこの発明の他の実
施例の平面図である。第１１図はこの発明のその他の実
施例の平面図である。第１２図は第１１図に示す圧電共
振子の減衰特性を示す図である。 図において、１６．３’ｌは圧電基板、１７，１８．３
２，３３．３４，３５，３９．４１は対向電極、１９．
２０，３６，３７．３８は引出電極を示す。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 深 見 久 部（
ほか２名） 孫１図 猟２貼 葆４閏 実５旧 昂７図 り 系 徽 Ｊし 謀 →ｎ最貴［ＭＨｚ］
て２つの周波数をトラップタるトラップ回路の回路図で
ある。第４図は従来の１素子型圧電共振子の平面図であ
る。第５図は従来の２素子型圧電共振子の平面図である
。第６図はこの発明の一実施例の平面図である。第７図
は第４図に示した従来の圧電共振子の減衰特性を示ず図
である。 第８図および第９図は第６図に示した圧電共振子の減衰
特性を示す図である。、第一１０図はこの発明の他の実
施例の平面図である。第１１図はこの発明のその他の実
施例の平面図である。第１２図は第１１図に示す圧電共
振子の減衰特性を示す図である。 図において、１６．３’ｌは圧電基板、１７，１８．３
２，３３．３４，３５，３９．４１は対向電極、１９．
２０，３６，３７．３８は引出電極を示す。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 深 見 久 部（
ほか２名） 孫１図 猟２貼 葆４閏 実５旧 昂７図 り 系 徽 Ｊし 謀 →ｎ最貴［ＭＨｚ］
Claims (4)
- （１） 厚み振動を利用した圧電共振子であって、 分極軸がその主表面に対して平行となるように形成され
た圧電基板と、 前記圧電基板の両生表面に形成される少なくとも１対の
対向電極とを含み、 前記対向電極はそれぞれ前記分極軸に平行な方向の１法
に対して、前記分極軸に直交する方向の寸法が大きくな
るように選ばれ、それによって厚みすべり振動モードと
厚みずベリねじれ振動モードの共振を生じさせるように
した、圧電共振子。 - （２） 前記対向電極は、それぞれが所定の周波数の差
を有して前記厚みすべり振動モードと前記厚みすべりね
じれ振動モードとによって共振を生じさせるようにした
、特許請求の範囲第１項記載の圧電共振子。 - （３） 前記対向電極は、それぞれの周波数を接近させ
て前記厚みすべり振動モードと前記厚みすべりねじれ振
動モードによって共振を生じさゼ、広帯域化した、特許
請求の範囲第１項記載の圧電共振子。 - （４） 前記電極は、前記分極軸に平行な方向の寸法と
前記分極軸に直交する方向の寸法との比を１：１．２よ
り大きくなるように選んだ、特許請求の範囲第１項記載
の圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23073082A JPS59115608A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23073082A JPS59115608A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 圧電共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59115608A true JPS59115608A (ja) | 1984-07-04 |
| JPH0149049B2 JPH0149049B2 (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=16912397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23073082A Granted JPS59115608A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59115608A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261210A (ja) * | 1986-05-07 | 1987-11-13 | Tdk Corp | 移相素子 |
| JPH0355911A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 厚みすべり振動モードを利用した圧電トラップおよびその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS482441U (ja) * | 1971-05-19 | 1973-01-12 | ||
| JPS55176628U (ja) * | 1979-06-05 | 1980-12-18 |
-
1982
- 1982-12-22 JP JP23073082A patent/JPS59115608A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS482441U (ja) * | 1971-05-19 | 1973-01-12 | ||
| JPS55176628U (ja) * | 1979-06-05 | 1980-12-18 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261210A (ja) * | 1986-05-07 | 1987-11-13 | Tdk Corp | 移相素子 |
| JPH0355911A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 厚みすべり振動モードを利用した圧電トラップおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0149049B2 (ja) | 1989-10-23 |
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