JPS59104813A - 縦振動型圧電振動子の電極形成方法 - Google Patents
縦振動型圧電振動子の電極形成方法Info
- Publication number
- JPS59104813A JPS59104813A JP21526482A JP21526482A JPS59104813A JP S59104813 A JPS59104813 A JP S59104813A JP 21526482 A JP21526482 A JP 21526482A JP 21526482 A JP21526482 A JP 21526482A JP S59104813 A JPS59104813 A JP S59104813A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- main
- exposure
- shape
- piezoelectric vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は縦振動をする主撮動部と、核主保動部を支持す
る音叉型状の支持体部とをフォトエツチング加工によシ
一体で形成する縦振動型圧電振動子に関する。
る音叉型状の支持体部とをフォトエツチング加工によシ
一体で形成する縦振動型圧電振動子に関する。
本発明の目的は、電極形成が容易で、安価な縦振動型圧
電振動子を提供することにある。
電振動子を提供することにある。
本発明の縦微動型圧電振動子の先行例として。
本出願人の先頭である縦振動型圧電振動子の実施例を第
１図に示す。第１図（Ａ）は斜視図であり、同図におい
て本例の縦振動型圧電振動子は、縦振動をする主振動部
１と、該主撮動部１の撮動変位の最も小さくなる位置に
核生糸動部１０幅方向に設けられた連結部２．２′と、
核連結部２．２′の両端から前記主撮動部１の一方と平
行に支持３．３′を延長し、前記主振動部１を除く支持
体部が音叉形状を構成するように基部４を設けた構成を
特徴としたものである。本例の縦微動型圧電振動子は、
主撮動部１を支持しでいる連結部２．２′と支持部６．
３′と基部４とからなる支持本部が音叉形状となってい
るため、振動エネルギーの漏洩を効果的に抑制できると
いう特性上の利点と、小型、低価格化に適するという構
造上の利点とを有している。
１図に示す。第１図（Ａ）は斜視図であり、同図におい
て本例の縦振動型圧電振動子は、縦振動をする主振動部
１と、該主撮動部１の撮動変位の最も小さくなる位置に
核生糸動部１０幅方向に設けられた連結部２．２′と、
核連結部２．２′の両端から前記主撮動部１の一方と平
行に支持３．３′を延長し、前記主振動部１を除く支持
体部が音叉形状を構成するように基部４を設けた構成を
特徴としたものである。本例の縦微動型圧電振動子は、
主撮動部１を支持しでいる連結部２．２′と支持部６．
３′と基部４とからなる支持本部が音叉形状となってい
るため、振動エネルギーの漏洩を効果的に抑制できると
いう特性上の利点と、小型、低価格化に適するという構
造上の利点とを有している。
掬１図（Ｂ）は第１図（〜のＱ、 −Ｑ’における断面
図をボし、同図において核縦振動子は、水晶板の２板を
Ｘ軸間りに一５°−＋５° の範囲で回転させた水晶ウ
ェハーから主振動部１の幅方向をＸ軸、長さ方向をＹ軸
、１！ｖさ方向を２軸となるようフォトエツチング加工
により形成する。主振動部は、Ｘ方向、即ち１幅方向の
ｍ５’ｉＬＫよってＹ方向、即ち。
図をボし、同図において核縦振動子は、水晶板の２板を
Ｘ軸間りに一５°−＋５° の範囲で回転させた水晶ウ
ェハーから主振動部１の幅方向をＸ軸、長さ方向をＹ軸
、１！ｖさ方向を２軸となるようフォトエツチング加工
により形成する。主振動部は、Ｘ方向、即ち１幅方向の
ｍ５’ｉＬＫよってＹ方向、即ち。
長さ方向の縦振動が励起されるように、主電極５゜６が
核主振動部１の側面に形成されている。
核主振動部１の側面に形成されている。
次に、このような電極を形成するための工程例を主振動
部の断面図を用いて第２図に示す１．第２図（Ａ）は圧
電１ウエハー７の表裏に該圧電ウエノ・−１の材料のエ
ツチング液に対して耐食性のある導電性薄膜８．８′を
形成する工程、第２図（Ｂ）は圧電振動子外形形状のフ
ォトレジスト９．グを形成する工程、第２図（Ｃ）は該
フォトレジスト９．９’を耐食膜として該導電性薄膜８
．８′を圧電振動子外形形状にエツチング加工する工程
、第２図（Ｄ） Ｆｉ核導電性薄＠８１８’を耐食膜と
して該圧電ウニ・・７を圧ｖ＋ｂ動子外形形状にエツチ
ング加工する工程、第２図（Ｅ）は該フォトレジスト９
．グを剥離した後。
部の断面図を用いて第２図に示す１．第２図（Ａ）は圧
電１ウエハー７の表裏に該圧電ウエノ・−１の材料のエ
ツチング液に対して耐食性のある導電性薄膜８．８′を
形成する工程、第２図（Ｂ）は圧電振動子外形形状のフ
ォトレジスト９．グを形成する工程、第２図（Ｃ）は該
フォトレジスト９．９’を耐食膜として該導電性薄膜８
．８′を圧電振動子外形形状にエツチング加工する工程
、第２図（Ｄ） Ｆｉ核導電性薄＠８１８’を耐食膜と
して該圧電ウニ・・７を圧ｖ＋ｂ動子外形形状にエツチ
ング加工する工程、第２図（Ｅ）は該フォトレジスト９
．グを剥離した後。
正正振動子のほぼ全表面に導電性薄膜１０を形成する工
程、第２図（Ｆ’）は電極形状のフォトレジスト１１．
１１’を形成する工程、第２図（Ｇ）は該フォトレジス
ト１１．１１’を耐食膜として咳導電性薄膜８．８’、
１０をエツチング加工する工程、第２図（［（）は該フ
ォトレジスト１１．１１’を剥離する工程である。
程、第２図（Ｆ’）は電極形状のフォトレジスト１１．
１１’を形成する工程、第２図（Ｇ）は該フォトレジス
ト１１．１１’を耐食膜として咳導電性薄膜８．８’、
１０をエツチング加工する工程、第２図（［（）は該フ
ォトレジスト１１．１１’を剥離する工程である。
以上に述べた工程によれば、 ｆｉ１１面への導電性薄
膜の形成を容易に行うことができるが、一方、次の点で
欠点を有する。即ち、ｍ２１ｓｐ（ｔＱの電極形状の７
オトレジス）１１．１１’を形成する工程を詳しく述べ
ると、フォトレジストを圧１ｔｆｆｉ動子の＃１ぼ全表
面に塗布する工程と、所定の電極形状のフォトマスクを
用いて該フォトレジスト上に電極形状を露光する工程と
、現像処理により露光された部分のフォトレジストを除
去し電極形状のフォトレジストを除去し電極形状のフォ
トレジストを残す工程よりなる。第１図に示した電極形
状より明らかなように、２個の電極に分割するためには
。
膜の形成を容易に行うことができるが、一方、次の点で
欠点を有する。即ち、ｍ２１ｓｐ（ｔＱの電極形状の７
オトレジス）１１．１１’を形成する工程を詳しく述べ
ると、フォトレジストを圧１ｔｆｆｉ動子の＃１ぼ全表
面に塗布する工程と、所定の電極形状のフォトマスクを
用いて該フォトレジスト上に電極形状を露光する工程と
、現像処理により露光された部分のフォトレジストを除
去し電極形状のフォトレジストを除去し電極形状のフォ
トレジストを残す工程よりなる。第１図に示した電極形
状より明らかなように、２個の電極に分割するためには
。
圧ｔＭ、＆動子の平面部分のみでなく、１ｌ１１１面も
所定の形状に導電性薄膜をエツチング加工しなければな
ら７１い。このため菫、棒形状の露光をする工程におい
て、側面への露光をする必要があり、これがむずかしい
点でめった。従来はウエノ・の斜め方向からの露光によ
り、平圃部と１目１１面部の露光を行っていたが、この
場合下記のような欠点を有する。
所定の形状に導電性薄膜をエツチング加工しなければな
ら７１い。このため菫、棒形状の露光をする工程におい
て、側面への露光をする必要があり、これがむずかしい
点でめった。従来はウエノ・の斜め方向からの露光によ
り、平圃部と１目１１面部の露光を行っていたが、この
場合下記のような欠点を有する。
（わ 微細パターンが得離い
■ ウェハーとフォトマスクを密着させる必要があるた
め、フォトマスクが損傷しやすく、その欠陥により製品
歩留りが低下する。
め、フォトマスクが損傷しやすく、その欠陥により製品
歩留りが低下する。
（■ 斜め露光は片面において２方向から行う必要があ
り１表裏では計４回行うため手間がかかる。
り１表裏では計４回行うため手間がかかる。
不発明は、圧ＷＬ ＩＡｅ動子の外形形状を工夫するこ
とにより、電極形状を芥易ＫＬ、かかる欠点を解決する
ものである。第３図に本発明の実施例を示 ５− す。第５図において、１２は圧電撮動子、１３゜１４は
該圧ＷＬ奈動子１２に形成された２個の電極、１５．１
６は主振動部１９の先端部に形成された四部、１ｙ’ｄ
音叉１状の支持体部の叉部に形成された凹部、１８はウ
ニ・・−のフレーム（図示せず）との接続部の折り取り
部である。本例における凹部１５，１６．１７は、圧ｉ
ａ材の異方性によりエツチング加工の際、第４図に示す
ような形状となる。第４図（Ａ）は主撮動部先端の平面
図を示し、主摂動部１９の先端に設けた四部２０にはい
わゆるエツチングのヒレ２１が現わ九る。第４図（Ｂ）
は第４図（Ａ）のＰ−ｙ断面を示し、エツチングのヒレ
２１Ｆｉ図示のごとく斜面２２．２２’を形成している
。したがって、このような形状においては、圧電ウェハ
に垂直な光によっても凹部を形成した部分の４６１１面
に露光することができるようになる。したがって、第３
図の１５．１６．１７においては側面のＩ￥極外分割容
易に達成できる。一方、第３図の折り取り部１８におい
ても電極分割が必要となるが１図示したようにウエノ・
−のフレームとの ６− ｖ絖部分が形成されており、圧電振動子をウェー・−の
フレームから折り取る際に電極分割されるため、四部を
形成する必要はない。このように本発明りでよれば下記
のような利点が生ずる。
とにより、電極形状を芥易ＫＬ、かかる欠点を解決する
ものである。第３図に本発明の実施例を示 ５− す。第５図において、１２は圧電撮動子、１３゜１４は
該圧ＷＬ奈動子１２に形成された２個の電極、１５．１
６は主振動部１９の先端部に形成された四部、１ｙ’ｄ
音叉１状の支持体部の叉部に形成された凹部、１８はウ
ニ・・−のフレーム（図示せず）との接続部の折り取り
部である。本例における凹部１５，１６．１７は、圧ｉ
ａ材の異方性によりエツチング加工の際、第４図に示す
ような形状となる。第４図（Ａ）は主撮動部先端の平面
図を示し、主摂動部１９の先端に設けた四部２０にはい
わゆるエツチングのヒレ２１が現わ九る。第４図（Ｂ）
は第４図（Ａ）のＰ−ｙ断面を示し、エツチングのヒレ
２１Ｆｉ図示のごとく斜面２２．２２’を形成している
。したがって、このような形状においては、圧電ウェハ
に垂直な光によっても凹部を形成した部分の４６１１面
に露光することができるようになる。したがって、第３
図の１５．１６．１７においては側面のＩ￥極外分割容
易に達成できる。一方、第３図の折り取り部１８におい
ても電極分割が必要となるが１図示したようにウエノ・
−のフレームとの ６− ｖ絖部分が形成されており、圧電振動子をウェー・−の
フレームから折り取る際に電極分割されるため、四部を
形成する必要はない。このように本発明りでよれば下記
のような利点が生ずる。
（ｌｌ ウェハーに垂直方向の光のみで露光できるた
め、形状精度が良くなる。
め、形状精度が良くなる。
■ １０ジ工クシヨン方式の露光ができるため、フォト
マスクの横部がなくなり、製品歩留りが良くなる。
マスクの横部がなくなり、製品歩留りが良くなる。
（］ノ ７０ジ工クシヨン方式の露ｔにより、アライ
メントが楽１くなり、表裏同時に１回だけの露光で済む
ため％製造コヌトが安くなる。
メントが楽１くなり、表裏同時に１回だけの露光で済む
ため％製造コヌトが安くなる。
第５図は、本発明の他の実施例であり、２３は圧電振動
子、２４．２５は該圧電振動子２３に形成された２個の
！ｆｆ極である。本例においては、主振動部の先端の電
極形状が周波数調整を考慮した形状になっている。この
几め、主撮動部の電極分割部２６．２７には機械的強度
の点から凹部を形成できないみぐ、音叉形状の支持体部
の又部２８のみに凹部を形成しである。この場合、ウェ
ハーとフォトマスクを密着させて斜め露光する必要かめ
るが、もし、四部２８が無い場合には、Ｘ方向とＹ方向
の２回缶めＮＬする必要がある。これに対し１本例でＩ
ｄｘ方向の１回のみの露光で良い。
子、２４．２５は該圧電振動子２３に形成された２個の
！ｆｆ極である。本例においては、主振動部の先端の電
極形状が周波数調整を考慮した形状になっている。この
几め、主撮動部の電極分割部２６．２７には機械的強度
の点から凹部を形成できないみぐ、音叉形状の支持体部
の又部２８のみに凹部を形成しである。この場合、ウェ
ハーとフォトマスクを密着させて斜め露光する必要かめ
るが、もし、四部２８が無い場合には、Ｘ方向とＹ方向
の２回缶めＮＬする必要がある。これに対し１本例でＩ
ｄｘ方向の１回のみの露光で良い。
また１本発明における四部の形状については。
上記に述べた円弧の他に、三角形、四角形でも良く、圧
電材のエツチングによってヒレをうまく形成できる形状
の四部であれば良い。また、フォトエツチング加工の利
点として、形状の複雑さは何ら加工性を阻害するもので
はない。
電材のエツチングによってヒレをうまく形成できる形状
の四部であれば良い。また、フォトエツチング加工の利
点として、形状の複雑さは何ら加工性を阻害するもので
はない。
第１図は従来の縦振動型圧電娠動子の一例第２図は製造
工程の一例 第３図は本発明の実施例 第４図は本発明の実施例における主振動部の拡大図 第５図は本発明の他の実施例 １・・・主撮動部 ２．２′・・・連結部３．
３′・・・支持部 ４・・・基部５．６・・・主
電極 ７・・・圧電ウエノ・−８，８・・・導
電性薄膜 ９．グ・・・フォトレジスト１０・・・
導電性情［ｊＬｌｌ・・・フォトレジスト１２・・・圧
電振動子 １３．１４・・・電極１５．１６．１７
・・・凹部 １８・・・折シ取り部１９・・・主振動
部 ２０・・・四部２１・・・ヒレ
２２ ＋ ２２’・・・斜面２５・・・圧電振動子
２４．２５・・・電極２６．２７・・・電極分割部
２８・・・凹部以 上 ９− ；？２因 身Ｓ口 才４０（△） ９ ＋４−囚（＋３） ７２−
工程の一例 第３図は本発明の実施例 第４図は本発明の実施例における主振動部の拡大図 第５図は本発明の他の実施例 １・・・主撮動部 ２．２′・・・連結部３．
３′・・・支持部 ４・・・基部５．６・・・主
電極 ７・・・圧電ウエノ・−８，８・・・導
電性薄膜 ９．グ・・・フォトレジスト１０・・・
導電性情［ｊＬｌｌ・・・フォトレジスト１２・・・圧
電振動子 １３．１４・・・電極１５．１６．１７
・・・凹部 １８・・・折シ取り部１９・・・主振動
部 ２０・・・四部２１・・・ヒレ
２２ ＋ ２２’・・・斜面２５・・・圧電振動子
２４．２５・・・電極２６．２７・・・電極分割部
２８・・・凹部以 上 ９− ；？２因 身Ｓ口 才４０（△） ９ ＋４−囚（＋３） ７２−
Claims (3)
- （１）縦振動をする主振動部と、該主糸動部を支持する
音叉形状の支持体部とをフォトエツチング加工により一
体で形成し、主電極が生保動部の側面にある縦振動型圧
Ｒ＆動子において、側面の電極を分割する部分に凹部を
設けたことを特徴とする縦振動型圧電振動子。 - （２）四部は音叉形状の支持体部の叉部に形成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の縦振動型圧電
振動子。 - （３）凹部は主振動部の画先端部と音叉形状の支持体部
の叉部とに形成したことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の縦振動型圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21526482A JPS59104813A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縦振動型圧電振動子の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21526482A JPS59104813A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縦振動型圧電振動子の電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104813A true JPS59104813A (ja) | 1984-06-16 |
| JPH0345930B2 JPH0345930B2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=16669425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21526482A Granted JPS59104813A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 縦振動型圧電振動子の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104813A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7126262B2 (en) | 2003-06-04 | 2006-10-24 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration gyro element, method for manufacturing the same, and piezoelectric vibration gyro sensor |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP21526482A patent/JPS59104813A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7126262B2 (en) | 2003-06-04 | 2006-10-24 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibration gyro element, method for manufacturing the same, and piezoelectric vibration gyro sensor |
| CN100351609C (zh) * | 2003-06-04 | 2007-11-28 | 精工爱普生株式会社 | 压电振动陀螺元件及其制造方法、压电振动陀螺传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0345930B2 (ja) | 1991-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3811226B2 (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
| US6806797B2 (en) | Tuning-fork piezoelectric resonator element, production method therefor, and piezoelectric device | |
| US7719163B2 (en) | Actuator having fixed and movable comb electrodes | |
| JP5059399B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
| US7643197B2 (en) | Method of manufacturing oscillator device, and optical deflector and optical instrument having oscillator device | |
| JP2008177723A (ja) | 水晶振動体、水晶振動子及び水晶ウェハ | |
| US20060250051A1 (en) | Tuning fork type crystal component for angular velocity sensor and manufacturing method thereof | |
| JP2006060727A (ja) | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 | |
| TW201128941A (en) | Process for manufacturing crystal resonator | |
| US20050006988A1 (en) | Piezoelectric vibration gyro element, method for manufacturing the same, and piezoelectric vibration gyro sensor | |
| JP3952811B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス | |
| JP2003273679A (ja) | 圧電振動片の製造方法、フォトマスク、圧電振動片および圧電デバイス | |
| JPS59104813A (ja) | 縦振動型圧電振動子の電極形成方法 | |
| JP2005020141A (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電デバイスの製造方法 | |
| JP2004226181A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2007173906A (ja) | 圧電振動片および圧電デバイスの製造方法 | |
| JP2003315724A (ja) | 振動ミラーとその製造方法、光走査装置、画像形成装置 | |
| JP2005039780A (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子および振動型ジャイロスコープ、圧電振動子および振動型ジャイロスコープの製造方法 | |
| JPH0241924B2 (ja) | ||
| JP5171489B2 (ja) | 異方性エッチングによる構造体の作製方法、及びエッチングマスク付きシリコン基板 | |
| JPS6070811A (ja) | 縦振動型圧電振動子と製造方法 | |
| JP2004314251A (ja) | 薄膜梁及びその成形方法 | |
| JP2010175547A (ja) | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子および振動型ジャイロスコープ、圧電振動子および振動型ジャイロスコープの製造方法 | |
| US20230097025A1 (en) | Method Of Manufacturing Vibration Element | |
| US20230102578A1 (en) | Method Of Manufacturing Vibration Element |