JPS5910046Y2 - 石英ガラス製大型容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は半導体工業等で物の洗浄、薬品処理、熱処理等
を行うために使われる石英ガラス製大型容器、特に内容
積１ｌ以上の大型容器に関するものである。

従来、長辺１００ｍｍ未満、短辺５Ｑｍｍ未満の角槽は
、実公昭４７−２７７１号公報などに示されているよう
に、石英ガラス管の一端を加熱溶融し、封じた後、角型
の黒鉛製型に入れ、吹くことによって、そこをふくらま
せて製作していた。

しかしながら、このような従来のやり方であると、長辺
１００ｍｍ以上、短辺５Ｑｍｍ以上、深さ１０ｍｍ以上
で、内容積が１０００ｃｍ３以上の大型角槽は、石英ガ
ラスの戊型作業温度が高いために、全体を均一に加熱す
るには莫大なエネルギーを要し、又肉厚が不均一になっ
たり、デコボコのな面ができる等の理由により実際上良
品のものが製作しにくい欠点があった。

大型角槽の需要は近年ますます多くなってきたにもかか
わらず、前述のような従来の吹いて作る方法では大型に
なればなる程莫大なエネルギーが必要となり、又歩留も
低下するので、実際の生産には非常な困難があった。

そこで、第５図に示すような大型角槽が開発され公然と
実施されるようになった。

５枚の石英ガラス板６〜１０を組み合せ、互いに接合し
たガラス板の稜１１〜１８を溶接するものである。

しかし、このような大型角槽は、確かに寸法を大きくす
ることはできるのであるが、次に述べるような欠点が生
じる。

石英ガラスは周知のように純度が極めて重大であり、か
つ融解温度が１８００℃以上と高温であり、酸水素炎を
要するなどの非常に高価な製品である。

それゆえ、石英ガラス板の溶接は一般の金属の溶接とは
基本的にちがった技術的困難がある。

例えば、溶接温度が非常に高いため、溶接による歪みが
特に３つの溶接部分の集中する底部四隅１９に残りやす
い。

しかも全体の純度が高いため、そのような四隅１９の歪
みが重大な問題となる。

耐熱性や機械的強度の著しい劣化を招くことにもなる。

その結果、底の抜ける事故が発生しやすくなる。

持ち運びの際に四隅の角が他の物体に当った場合、そこ
が破損されやすい。

また、溶接個所が多いと、製造がむつかしく、歩留りも
悪い欠点があります。

さらに溶接に莫大なエネルギーを必要とします。

この考案の目的は、このような従来技術の欠点を解消し
て、溶接部分が集中しないようにして耐熱性や機械的強
度を向上させた石英ガラス製大型容器を提供することに
ある。

かかる目的を達戊するための本考案の要旨とするところ
は、内容積１ｌ以上の石英ガラス製大型容器において、
１枚の石英ガラス板を加熱により軟化させて底部の両側
に丸みをもたせてチャンネル状に折り曲げたものの両端
面にそれぞれ石英ガラス板を溶接したことを特徴とする
石英ガラス製大型容器にある。

このように、本考案においては、チャンネル状の１枚の
ガラス板の両端にそれぞれガラス板を組み合わせ、それ
ぞれ各端について連続的に溶接して大型角槽をつくるの
で、端面のところしか溶接個所がなく、シかも溶接部分
の集中がない。

しかも両端面と底面とが一枚のガラス板で形或されてい
て、溶接の必要がなく、かつ丸みがあるので、側面と底
面との境界に歪みが発生しない。

底面と２側面が一体であるので機械的強度が大で、耐熱
性がすぐれており、底抜け事故の心配がなくなる。

以下、添付図面に基づき、本考案の実施例を説明する。

第１図に示す如く矩形の平坦な透明石英ガラス板１の一
方の部分２を角槽の深さＬに相当する長さについて例え
ば酸水素バーナーで加熱軟化させ、適度な丸みを有する
黒鉛製型におしつけながら丸みのあるＬ形に曲げる。

しかる後、他方の部分３も同様の方法で曲げ、１枚の透
明な石英ガラス板１をチャンネル状にする。

但し、矩形の透明石英ガラス板１の巾Ｗは角槽の長辺の
長さとする。

次に第２図に示すように、前述のようにして出来た底部
の両側に適当な丸みを有するチャンネル状の透明石英ガ
ラス１′にそれの端部と同一形状を有する透明石英ガラ
ス板４，５をそれぞれ用意し、チャンネル状の透明石英
ガラス板１′の端面に合わせ、公知の方法で溶接する。

かくて、第３図に示す大型角槽が得られる。

第４図は本考案による大型容器の変形例を示す。

本考案は、以上のように、内容積１ｌ以上の石英ガラス
製大型容器において、ｌ枚の石英ガラス板を加熱により
軟化させて底部の両側に丸みをもたせてチャンネル状に
折り曲げたものの両端面にそれぞれ石英ガラス板を溶接
したことを特徴とする石英ガラス製大型容器であるので
、次のような効果かえられる。

従来は第５図に示すように５枚の平坦なガラス板６〜１
０を組み合わせて８つの稜１１〜１８を溶接して大型角
槽に構威していたため、溶接部分が多いばかりでなく、
４隅１９に３つの稜に沿った溶接個所が集中して歪みが
発生しやすかった。

それをさけるには溶接を正確かつ慎重に行なわなければ
ならず、溶接に多大の時間を要した。

これに対し、本考案によれば、溶接部分の集中がないた
め、短時間にごく簡単に溶接できる。

溶接に要するエネルギーも少なくてすむ。

また、溶接部分が集中していないので巣が発生しに＜＜
、さらに大型角槽であってもその底面の両側に容易に任
意の丸みを設けることができるので、槽の洗浄が迅速か
つ完全にできる。

これは不純物の存在を好まない半導体用の大型容器にと
って極めて重要な効果である。

さらに底部の両側に丸みを任意につけることができるた
め、角がすくなくなり、外形が美しくなるばかりでなく
、機械的衝撃性にも優れる等の実用上顕著な効果かえら
れる。

なお、本考案は不透明なものや、角槽以外のものも含む
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による大型角槽を作るための透明石英ガ
ラス板の一方の部分を曲げた状態を示す斜面図、第２図
は本考案による大型角槽の構戒部材の溶接前の状態を示
す分解図、第３図は本考案による大型角槽の一例を示す
斜面図、第４図は本考案による大型角槽の変形例を示す
斜面図、第５図は従来の大型角槽を示す斜面図である。 １・・・・・・透明ガラス板、２，３・・・・・・透明
石英ガラス板１を曲げた部分、４，５・・・・・・透明
石英ガラス板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内容積１ｌ以上の石英ガラス製大型容器において、１枚
   の石英ガラス板を加熱により軟化させて底部の両側に丸
   みをもたせてチャンネル状に折り曲げたものの両端面に
   それぞれ石英ガラス板を溶接したことを特徴とする石英
   ガラス製大型容器。