JPS5895382A - 表示パネル用電極基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の技術分野 本発明はガス放電パネル、あるいはｎ２　Ｌ表示パネル
等の如き表示パネルに用いられる電極基板に係り、特に
長時間の表示駆動に対して安定な表示特性の得られる電
極基板構造に関するものである、（２）従来技術と問題
点 一般にプラズマ・ディスプレイ・パネルと呼ばれる従来
技術による平板表示用ガス放電パネルの基本的な紐１造
ば、第１図に示すように、複数のＸ電極１および同じく
複数のＹ電極２を有する］対のガラス基板３および４表
面をそれぞれＡｌ２Ｏ３等からなる誘電体層５および６
、さらにその各上面？ＩＶＩｇＯ保護膜７および８で被
覆してその各電極基板３０と４０とを一定の微小間隙の
放電空間９を隔てて前記双方の電極ｌと２が直交するご
とく対向配置し、該放電空間９に放電用ガスを封入して
前記両電極１，２間に選択的に電圧を印加してその両電
極１．２の対向交点部分に放電スポットを得ることによ
って発光表示を行っている。

ところで上述した従来のガス放電パネルを構成した電極
基板３０．４０は、一般に酸化ナトリウｌ、（Ｎａ２０
）を１０〜２０％程度含有したソーダライムガラスから
なるガラス基板３．４上に直接的に複数のＸ電（″餠１
．Ｙ電極２を被着形成１７た構造がとられているので、
例えば前記複数のＸ電極１に選択的に電圧が印加されて
図示のようにＸ電４１１４）とＩＣ１ｉ！ｉＫ電位差が
生じるとそのＸ−？）イ棒１ｂ及びＩＣの被着された直
下のガラ７−基板３中のＮａ＋イオンがＸ市ｔ’Ｍ１ｂ
のガラス基板３と接するエツジ川（ＡＬｌ／ｌ’１ｉｋ
ＷＩＩ＋ｌ　　を女Ｙ醤広１ｈイｌ１ｌｌ　／７”１４
１７！ヱＬｉＬム１イ該エツジ部分にＮａ金属が析出し
、このＮ　ａ、金属が前記電極ｉｂ及びガラス基板８と
接しているＡＩ！ｚＯ；う等の金属酸化物あるいはホウ
ケイ酸ガラス等の金属酸化物の混合物質からなる誘電体
層５と反応してその界面が図示のように隣接した電極Ｉ
Ｃの方向に順次還元され金属化１０するといった電気化
学反応が起り、その結果前記電極１ｂ幅が増加ｌ〜だと
同様の現象となるので放電特性が変化し動作電圧特性に
悪影脣を及ばず、またさらに誘電体層材料によっては金
属化が起らなくても誘電体層の還元やＮａの誘電体層へ
の溶解によってその組１′ｇ、が変化し、動作特性の変
動や信頼性の低下の原因となる。このような現象は特に
セルフシフト型ガス放電パネルのように固定表示詩の電
極群が特定されてい乙ような場合、この固定表示用の電
極群と、隣接したシフト電極群との電極間において顕著
であるが、放電状態でなくとも同一ガラス基板上の電極
群に選択的にＩ）　Ｃバイアスを単に印加した状態にあ
っても発生する。

（３）＠明の１４的 ガラス基板中のＮａ＋から女る可動イオンが電極に到達
することを１ｔｆ−１止し得るように改良した表示パネ
ル用電極基板を提供することを目的とするものである、 （４）発明の構成 上記目的を達成するために本発明は、基板上に誘電体層
で被覆された複数の電極が配設されて々る表示パネル用
電極基板において、前記基板とにσ数の電極との間にア
／レカリイオン等を含まない可動イオン阻止膜を介在し
たことを特徴としている。

（５）発明の実施例 以下図面を用いて本発明の好ましい実施例について詳細
に詩、明する。

第２図は本発明に係る表示パネル用電極基板の一実施例
を示す断面図であり、第１図と同等部分には同一符号を
付している。

図において３（４）は表示パネル用電極基板の主体をな
すガラス基板であり、従来例と同様のソーダライムガラ
スが用いられている。そしてこのガラス基板３（４）上
の全面に、本発明においてはアルカリ成分を含壕々い所
Ｍ′１′ルカリ可動イオンを含まない例えば５ｊ−０２
，Ａ（？２０３．　Ｔａ２０５あるいはＳｉ、３Ｎ６等
の金属酸化物あるいは窒化物等からなる絶縁性の可動イ
刃ンμｍ１止膜２１を被着形成し、その」−面に従来例
同様の［体層５（６）及び保護膜７（８）で被覆された
複数の電極】（２）を配設した構成とする。

］二配回動イオン阻止膜２１は上述の絶縁材料を、真空
蒸着法、スパッタリング法、あるいはＣＶＤ（Ｃｈｅｍ
ｉｃａ、ｌ　Ｖａ、ｐｏｒ　ＤｐｐＯｓ’Ｌｔｉｏｎ　
）法等の薄膜形成技術、またはアルキルメタルによる酸
化薄膜形成法等によって形成し得ろう 上述１〜だ構成によねば、複数の電極１（２）直下にア
ルカリ成分を含まないイオン電流に対１〜で絶縁性の可
動イオン阻止膜２１が介在されているので、従来例で説
明（〜だ如きガラス基板中のＩ４ａ＋イオンが電極部に
析出するような電気化学反応がβｌｊ　＋ヒできる。な
お、前記可動イオン阻止膜２１は、ガラス基板３（４）
上の複数の電極１（２）直下の領域にのみ介在させるよ
うにしてもよく、同様に本発明の目的を達成し得る。

（６）発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明の表示用電極基
板の構成によれば、ガラス基板中のｆねトイオンからな
る可動イオンが隣接電極間の電位差によって電気化学的
反応を起すことが回避されるので、かかる電極基板を用
いてガス放電バネ／Ｌ／を構成することにより、放電特
性の変化や電極の損傷等が排除され、安定したライフ特
性を持つガス放電パネルを実現することができる。また
一方可動イオン阻止膜を介在することによってガラス基
板表面の微細なキズや突起等が平滑化されると共に、該
基板の電極被着面がガラス基板中身の面よりも清浄面と
なるために電極の密着性が向上する１利点も有する。よ
って本発明による電１極基板の構成を上述１−た実施例
の対向放電型を始め面数電型等の各種ガス放電パネルあ
るいは［０Ｌ、液晶等の表示パネルに適用してすぐれた
効果が発揮される。

また特にセルフシフトタイプのガス放電パネルに１、　
　適用して極めて有利である。

牛、］￥ｌ　ｌｆｌ’ｌの１ｆｆｌ小な６１１１明第１
図は従来の表示パネル用電極基板を説明するためのガス
放電、パネルの要部断面図、第２図は本発明に係る表示
パネル用１１電極基板の一実施例を示す断面図であるう 図において１（２）は約数の電極、３（４）はガラス基
板、５（６）は誘電体層、２１は可動イオン阻止膜を示
す。

第１図 ０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に誘電体層で被覆された複数の市、極が配設され
   て々る表示パネル用電極基板において、前記基板と複数
   の電極との間に可動イオン阻止膜を介在してなることを
   特徴とする表示パネル用電極基板。