JPS5893320A - 分子線結晶成長装置の温度測定方法 - Google Patents

分子線結晶成長装置の温度測定方法

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JPS5893320A
JPS5893320A JP19259981A JP19259981A JPS5893320A JP S5893320 A JPS5893320 A JP S5893320A JP 19259981 A JP19259981 A JP 19259981A JP 19259981 A JP19259981 A JP 19259981A JP S5893320 A JPS5893320 A JP S5893320A
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JP
Japan
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substrate
temperature
molecular beam
metal
growth
Prior art date
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Pending
Application number
JP19259981A
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English (en)
Inventor
Toshio Fujii
俊夫 藤井
Junji Saito
淳二 斉藤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5893320A publication Critical patent/JPS5893320A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104Forming layers
    • H01L21/02365Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02612Formation types
    • H01L21/02617Deposition types
    • H01L21/02631Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation

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  • Power Engineering (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明の分子線結晶成長装置の温度測定方法に係り、特
に金属の融点を用いて分子線結晶成長装置の成長温度を
測定する方法に関する。
(2)技術の背景 半導体薄膜のエピタキシャル成長法としては気相成長法
あるいは液相成長法が知られている。しかし、これら気
相エピタキシャル成長方法(VPE法)または液相エピ
タキシャル成長方法(LPE法)では結晶成長中の制御
は主に温度だけで定まるのに比べて、多くのパラメータ
で結晶成長中の制御ができる分子線結晶成長法[モレキ
エラ・ビーム・エピタキシ(MBE)]が期待されてい
る。
上記MBE方法は各種のパラメータを精密に制御できる
高級な真空蒸着方法であり、その構成は、1個または複
数個のセル形のルツボから蒸発させた成分元素をビーム
状にして基板に放出し、該基板の表面をエピタキシャル
成長させるようにしたもので基板に捕えられない分子は
真空系で運び去、られ、常にルツボから蒸発した新鮮な
分子ビームを基板表面に照射している。基板に到達する
各元素の分子数は蒸着系の幾何学的形状と蒸着源温度に
よつて一義的に決定される。したがって、結晶の成長速
度、不純物ドープの割合、結晶の組成比等を正確にコン
トロールすることが可能であり、通常結晶の成長速度は
数十人〜数μ/hrである。
上述の如きMBHにおいては基板の成長温度はエピタキ
シャル膜の品質を左右する最も重要な成長条件のパラメ
ータである。
このような、基板のエピタキシャル成長温度の測定方法
としては、従来、熱電対や赤外線放射温度針等が用いら
れていた。しかし、これら赤外線放射温度針や熱電対で
は基板の真のエピタキシャル成長時の温度を正確に測定
することが極めて困難であり、基板エピタキシャル時の
真の温度測定が要望されていた。
(3)従来技術と問題点 第1図は従来の分子線結晶成長装置の温度測定方法を示
す路線的側断面図であり、分子線結晶成長装置1内には
モリブデン(Mo)の如き融点の高い材料よりなる基板
ホルダー4上にMBHすべきたとえばガリウムヒ素(G
 a A s )の如き基板6を配し、該基板ホルダー
4の後部(裏側)に配したヒータ5により基板ホルダー
を加熱すると共に図示しないが、分子線源オープンから
の分子ビーム9を基板6に当ててエピタキシャル成長を
行っている。このようなMBHにおいて、基板の成長温
度をモニタするには熱電対7を基板ホルダー4に接触さ
せて分子線結晶成長装Wl外に引き出された表示装置で
温度の監視を行っていた。
この場合の問題点は熱電対を基板6または基板ホルダー
4の表面に配置すると分子ビーム9の影響を受けるため
に、分子ビームの蒸着されにくい基板ホルダー4の裏面
に熱電対を接触させなくてはならないので基板ホルダー
の表面または基板の表面の真の温度を計測し得ないこと
と、基板や基板ホルダーに熱接触のよい状態で取り付け
ることが難しく、そのために熱電対の指示温度と真の成
長温度(基板6の温度)が異なってくる点である。
さらに分子線結晶成長装置1に設けた観察窓2を通して
赤外線放射温度針3を用いて、基板6の表面の放射率(
ε)をあらかじめ実測し校正されたものを用いるがMB
Eの段僧で分子ビーム9の一部は観察窓2のガラス面2
aに付着8してしまい、赤外線放射温度針は観察窓2を
通して温度測定が行われるためにガラース面に付着して
くもった分子の影響を受けて見掛は上の温度指示は低下
し、真の基板成長温度より低く指示されて真の温度測定
が正確にできない問題があった。
(4)発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、分子線結晶成長装置の
温度測定を正確に行えるようにした温度補正方法を提供
することを目的とするものである。
(5)発明の構成 そして、この目的は本発明によれば基板ホルダー上に基
板を設けてエピタキシャル成長させる分子線結晶成長装
置の温度測定方法において、該基板の成長温度または成
長温度に近い温度領域に融点を持つ金属を選択し、該金
属を上記基板ホルダーまたは基板に取り付け、該金属の
融点状況をみながら基板のエピタキシャル成長温度を定
めることを特徴とする分子線結晶成長装置の温度測定方
法を提供することによって達成される。
(6)発明の実施例 以下、本発明の1実施例を第2図および第3図について
詳述する。
第2図は本発明の分子線結晶成長装置の温度測定方法を
示す分子線結晶成長装置の側断面図、第3図は基板およ
び基板ホルダ一部分の平面図であり、第1図と同一部分
には同一符号を付して重複説明を省略する。
第2図において、本発明では基板6または基板ホルダー
4に金属10を配置する。基板ホルダー4上に載置する
金属10は基板の成長温度によって冥なる。なお本発明
に用いる金属は純粋な金属のみではなく合金等を含めて
金属として説明する。
今、MBEでGaAsまたはアルミニウム・ガリウム・
ヒ素(AIGaAs)を基板6に選択した場合には該G
aAsまたはAlGaAs基板のエピタキシャル成長温
度は600〜700℃である。
この領域内に融点を持つ金属としてはアルミニウム(A
I)がある。llAlの融点は660℃であるので第2
図および第3図に示すようにペレット状にしたA1ペレ
ット10をGaAs基板またはMo基板ホルダー4上に
固定する。上記A1ベレソトをGaAs基板またはMO
基板ホルダーの表面6a、4aに取り付けるには 熱接
触を良くするためにインジュム(In)ソルダー11を
AIペレットlOに比べて極めて少量用いて固定し、こ
れらAlペレットの取り付は位置は第3図の平面図に示
すように赤外線放射温度針3の測定領域12に近い場所
に配する。
上述の如き構成として分子線結晶成長装置l内−6〜1
0 を超真空10Torr程度としGaAs基板6上に分子
ビーム9を照射してエピタキシャル成長させる段階でG
 a、 A s基板の温度を融点近くで棲つくり上昇さ
せてGaAs基板のAlペレットが融けた瞬間を観察窓
2を通して目視し、この時の赤外線放射温度針3の指示
値をAIの融点温度660℃として校正する。この校正
した赤外線放射温度計3を温度モニタとして用いて成長
温度を680℃まで上げてAlGaAsの成長を行うよ
うにする。
上述の温度校正は熱電対について行うこともできる。
さらに、このような温度校正は真のMBEで半導体装置
を得る工程の間で行われるものであり、Mo基板ホルダ
ー4等に付着したAlペレットのA1分子成分は充分に
除去した後に真のMBEで製品を得るように成されるこ
とは勿論である。
(7)発明の効果 以上、詳細に説明したように本発明によれば基板の成長
温度近傍の少なくとも1点において、観察窓に付着した
分子ビーム成分による温度変化の影響をうけることなく
極めて正確な温度を知ることができるので、これに基づ
いて赤外線放射温度針や熱電対等の温度校正を正確に行
うことができる。したがって本発明によれば、MBE法
において正確な成長温度を再現性よく決めることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の分子線結晶成長装置の温度測定方法を示
す分子線結晶成長装置の要部側断面図、1・・11 図、第3図は第2図の基板ホルダーおよび基板の平面図
である。 1・・・分子線結晶成長装置、2・・・観察窓、3・・
・赤外線放射温度針、4・・・基板ホルダー、5・・・
ヒータ、6・・・基板、7・・・熱電対、8・・・ガラ
スに付着した分子ビーム成分、9・・・分子ビーム、1
0・3・・Atペレツ1.11・・・lnソルダー、1
2・・・測定領域。 特許出願人  富士通株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板ホルダー上に基板を設けてエピタキシャル成長させ
    る分子線結晶成長装置の温度測定方法において、該基板
    の成長温度または成長温度に近い温度領域に融点を持つ
    金属を選択し、該金属を上記基板ホルダーまたは基板に
    取り付け、該金属の融点状況をみながら基板のエピタキ
    シャル成長温度を定めることを特徴とする分子線結晶成
    長装置の温7度測定方法。
JP19259981A 1981-11-30 1981-11-30 分子線結晶成長装置の温度測定方法 Pending JPS5893320A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62169028A (ja) * 1986-01-22 1987-07-25 Rohm Co Ltd 温度検知素子
JP2014509391A (ja) * 2011-02-09 2014-04-17 シーメンス エナジー インコーポレイテッド 高温燃焼環境中のタービン部品を温度マッピングする装置と方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62169028A (ja) * 1986-01-22 1987-07-25 Rohm Co Ltd 温度検知素子
JPH0781917B2 (ja) * 1986-01-22 1995-09-06 ロ−ム株式会社 温度検知素子
JP2014509391A (ja) * 2011-02-09 2014-04-17 シーメンス エナジー インコーポレイテッド 高温燃焼環境中のタービン部品を温度マッピングする装置と方法

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