JPS5882660A - ガラス加工装置 - Google Patents
ガラス加工装置Info
- Publication number
- JPS5882660A JPS5882660A JP16144681A JP16144681A JPS5882660A JP S5882660 A JPS5882660 A JP S5882660A JP 16144681 A JP16144681 A JP 16144681A JP 16144681 A JP16144681 A JP 16144681A JP S5882660 A JPS5882660 A JP S5882660A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- glass plate
- conical
- cam
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/08—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass
- B24B9/14—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of optical work, e.g. lenses, prisms
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
しくは、一台の装置で芯取り加工と面取り加工を行なう
装置に関する。
装置に関する。
ガラスを基板とし、その片面もしくは両面に微細加工し
てパターンや着色層を形成することばよくある。これら
の微細加工品の一例としてテレビジョン用カラーカメラ
の撮ｒ象管や固体撮像装置に用いられる色分解フィルタ
ーがあげられる。色分解フィルターは、多くの場合、ガ
ラス板の片面にストライプ状、マトリクス状などの任意
のパターンに色分解のための着色層例えば赤、緑、青や
シアン、イエローなどの着色層がミクロンオーダーの精
度で形成されているもＱ）である。着色層は、多くの場
合、一枚の大きなガラス板に多数個形成され、しかるの
ちフィルター単品ごとに切り離し、各フィルターのガラ
ス基板を真円形に丸める芯取り工程および側面と表裏面
の境界の角部な鈍角になるよう研磨する面取り工程が後
加工としてありうる。１１ 本発明は、特に色分解フィルターのみをその適用範囲と
するガラス加工装置ではないが、一般に精度の高い従っ
て取扱いに注意を要する精密ガラス製品の加工に適する
もいである。
てパターンや着色層を形成することばよくある。これら
の微細加工品の一例としてテレビジョン用カラーカメラ
の撮ｒ象管や固体撮像装置に用いられる色分解フィルタ
ーがあげられる。色分解フィルターは、多くの場合、ガ
ラス板の片面にストライプ状、マトリクス状などの任意
のパターンに色分解のための着色層例えば赤、緑、青や
シアン、イエローなどの着色層がミクロンオーダーの精
度で形成されているもＱ）である。着色層は、多くの場
合、一枚の大きなガラス板に多数個形成され、しかるの
ちフィルター単品ごとに切り離し、各フィルターのガラ
ス基板を真円形に丸める芯取り工程および側面と表裏面
の境界の角部な鈍角になるよう研磨する面取り工程が後
加工としてありうる。１１ 本発明は、特に色分解フィルターのみをその適用範囲と
するガラス加工装置ではないが、一般に精度の高い従っ
て取扱いに注意を要する精密ガラス製品の加工に適する
もいである。
拡がった二つの円錐砥石からなる糸巻き状の回転砥石を
高速回転させる機構と、被加ニガラスをその両面から挾
持して低速回転させるガラス板保持機構を基本とし、芯
取り工程においては、被加ニガラス板の側面を円筒砥石
と当接させるべく前記研磨機構を前進させる機構と、続
く面取り工程においては、該研磨機構をわずかに後退さ
せて円筒砥石との当接状態を解除するとともに被加ニガ
ラス板の表裏角部な円錐砥石と当接させるべ（前記ガラ
ス板保持機構を左右に移動させる機構を備えた自動ガラ
ス加工装置である。
高速回転させる機構と、被加ニガラスをその両面から挾
持して低速回転させるガラス板保持機構を基本とし、芯
取り工程においては、被加ニガラス板の側面を円筒砥石
と当接させるべく前記研磨機構を前進させる機構と、続
く面取り工程においては、該研磨機構をわずかに後退さ
せて円筒砥石との当接状態を解除するとともに被加ニガ
ラス板の表裏角部な円錐砥石と当接させるべ（前記ガラ
ス板保持機構を左右に移動させる機構を備えた自動ガラ
ス加工装置である。
本発明の実施例を示す図面の第１図に基いて、以下に説
明すると、回転砥石（１）は円筒砥石（２）とその上底
および下底から円錐状に拡がった円錐砥石（３）からな
るもので、その回転軸（４）はスライドテーブル（６）
に付設した軸受（５）により支持され、回転軸（４）の
端部に取り付けられたブーＩＪ−（７）Ｋベルト（８）
を通じてモーター（９）の動力を伝えて回転される。
明すると、回転砥石（１）は円筒砥石（２）とその上底
および下底から円錐状に拡がった円錐砥石（３）からな
るもので、その回転軸（４）はスライドテーブル（６）
に付設した軸受（５）により支持され、回転軸（４）の
端部に取り付けられたブーＩＪ−（７）Ｋベルト（８）
を通じてモーター（９）の動力を伝えて回転される。
スライドレールａ■の向きからもわかるように、研磨機
構は被加ニガラス板ＱＬＩに向って前進および後退する
ようになっている。
構は被加ニガラス板ＱＬＩに向って前進および後退する
ようになっている。
一方、ガラス板保持機構についていうと、液加ニガラス
根羽）はその両側からホルダー＋１２１（１３１により
挾持されるものであり、ホルダーｆ１２１（１３１Ｋ設
けられた吸引孔（１４１（１５１により真空吸引するも
のであるから、ホルダー０２１＋１３１が回転すれば被
加ニガラス板□υも回転する。ホルダー１＋２１ （１
３１Ｋは、それぞれ係止用大形ナノＨ１６＋（１ηおよ
び内軸ｆ１８１０９１が連結しているものであり、内軸
（＋８１（１９１の端部に駆動ギア（２０１（２１Ｊを
連結してイル。コ（７’）駆動ギア（２０１＋２１１に
回転数を同じ（する動力を伝えることにより、ホルダー
（１２１Ｑ３＋は同期回転する。第１図の向って左側の
内軸（１８）は、スライドテーブル（２４） Ｋ固定さ
れた外軸（２りによって支えられ、他方の内軸ａ９も外
輪郭）に軸支されている点は同様である。ただし外軸（
２３；は、左右にスライド可能に設定されていて、その
調節は外軸（２３）に刻まれたラックギア１２５）にか
み合う扇形ギア（２６）をレバー（２７）を回動させる
ことにより為しうる。ストッパー（２湿す、ホルダー（
１岨１３１が液加ニガラス根羽）を挾持している際に扇
形ギア（２６）が回動しないように固定するためのもの
である。なお図中（２９１α）は吸引孔ｆ１４１（＋５
１と連らなる吸引管であり、真空ポンプ（図示せず）Ｋ
その先が接続しているものである。
根羽）はその両側からホルダー＋１２１（１３１により
挾持されるものであり、ホルダーｆ１２１（１３１Ｋ設
けられた吸引孔（１４１（１５１により真空吸引するも
のであるから、ホルダー０２１＋１３１が回転すれば被
加ニガラス板□υも回転する。ホルダー１＋２１ （１
３１Ｋは、それぞれ係止用大形ナノＨ１６＋（１ηおよ
び内軸ｆ１８１０９１が連結しているものであり、内軸
（＋８１（１９１の端部に駆動ギア（２０１（２１Ｊを
連結してイル。コ（７’）駆動ギア（２０１＋２１１に
回転数を同じ（する動力を伝えることにより、ホルダー
（１２１Ｑ３＋は同期回転する。第１図の向って左側の
内軸（１８）は、スライドテーブル（２４） Ｋ固定さ
れた外軸（２りによって支えられ、他方の内軸ａ９も外
輪郭）に軸支されている点は同様である。ただし外軸（
２３；は、左右にスライド可能に設定されていて、その
調節は外軸（２３）に刻まれたラックギア１２５）にか
み合う扇形ギア（２６）をレバー（２７）を回動させる
ことにより為しうる。ストッパー（２湿す、ホルダー（
１岨１３１が液加ニガラス根羽）を挾持している際に扇
形ギア（２６）が回動しないように固定するためのもの
である。なお図中（２９１α）は吸引孔ｆ１４１（＋５
１と連らなる吸引管であり、真空ポンプ（図示せず）Ｋ
その先が接続しているものである。
すでに予想されることながら、上述したガラス板保持機
構もそれを載せているスライドテーブル（２４１がレー
ルＣ３１）に乗っかり、回転砥石＋１１に対して左右に
往復できるようになっている。この点を、第２図により
概略的に説明すると、研磨機構およびガラス板保持機構
に要求される微妙な往復動は、例えばカム機構によって
制御するのが適切であると言える。第２図はこのような
カム機構の一形態を示すものであり、図によれば、研磨
機構を載せたスライドテーブル（６）から下方に降りた
連結腕（：葡に結合した軸（至）の先端にコロ（３４１
を付設し、こσ）コロ（３４） Ｋ ａ接させながら、
芯取り用カム田を定速回転させるものである。バネ（３
６）は軸的の先端のコロ（３４）を常に芯取り用カム（
３！９に接触させるためのものであることは言うまでも
ない。なお、図の例によれば、モーター（９）は、研磨
機構とともにスライドすることなく、装置本体のフレー
ム（３ηに取り付けられているが、モーター（９）と回
転砥石（１）のプリー（力とは、ベルト（８）で動力を
伝えているものであり、研磨機構は横に数喘乃至数α往
復する程度のものであるから、動力伝達には支障はない
。
構もそれを載せているスライドテーブル（２４１がレー
ルＣ３１）に乗っかり、回転砥石＋１１に対して左右に
往復できるようになっている。この点を、第２図により
概略的に説明すると、研磨機構およびガラス板保持機構
に要求される微妙な往復動は、例えばカム機構によって
制御するのが適切であると言える。第２図はこのような
カム機構の一形態を示すものであり、図によれば、研磨
機構を載せたスライドテーブル（６）から下方に降りた
連結腕（：葡に結合した軸（至）の先端にコロ（３４１
を付設し、こσ）コロ（３４） Ｋ ａ接させながら、
芯取り用カム田を定速回転させるものである。バネ（３
６）は軸的の先端のコロ（３４）を常に芯取り用カム（
３！９に接触させるためのものであることは言うまでも
ない。なお、図の例によれば、モーター（９）は、研磨
機構とともにスライドすることなく、装置本体のフレー
ム（３ηに取り付けられているが、モーター（９）と回
転砥石（１）のプリー（力とは、ベルト（８）で動力を
伝えているものであり、研磨機構は横に数喘乃至数α往
復する程度のものであるから、動力伝達には支障はない
。
上述したカム機構は、被加ニガラス板保持機構をスライ
ドさせる場合にも用いることができ、第２図ではさだが
ではないので第３図に示す。すなわち、面取り用カム１
７３）１１、コＯｔ３！＃とそれに連なる軸（４０、バ
ネ（４１）等は全（同等にして、軸（４０） Ｋ連結し
ている腕（４２１Ｋよりスライドステージ（２旬を往復
動させるものである。
ドさせる場合にも用いることができ、第２図ではさだが
ではないので第３図に示す。すなわち、面取り用カム１
７３）１１、コＯｔ３！＃とそれに連なる軸（４０、バ
ネ（４１）等は全（同等にして、軸（４０） Ｋ連結し
ている腕（４２１Ｋよりスライドステージ（２旬を往復
動させるものである。
芯取り用カムＣ３！５１および面取り用カム（至）によ
り、被加ニガラス板の芯取りと面取り研磨が順序だてて
行なわれる。この工程の順序を第４図（イ）〜に）に示
す。すなわち、まず第４図（イ）Ｋ示すように、回転砥
石（１）を被加ニガラス板ｕｌｌに向って前進せしめ、
被加ニガラス板０１１の側面を回転砥石（１）の円筒砥
石（２）の部分に当接させる。言うまでもなく、回転砥
石（１）は高速回転し、被加ニガラス板圓も低速ではあ
るが、回転させられている。故に被加ニガラス板０υは
この状態で側面を円形π研磨される。すなわち芯取り加
工がなされる。続いて第４図（口ＩＫ示すよ５１Ｃ１回
転砥石（１）はわずかに後退させて被加ニガラス板０Ｄ
の側面と円筒砥石（２）の当接状態を解除する。ここま
での動きは、いわば芯取り用カム（３！５１による１、
次に、面取り用カム（３８）Ｋよる動きで）】るが、被
加ニガラス板０１１は右方へ移動する。こθ）時、その
側面が円筒砥石（１）に当接していないので、側面が傷
つくことがなく、円滑に行なわれる。
り、被加ニガラス板の芯取りと面取り研磨が順序だてて
行なわれる。この工程の順序を第４図（イ）〜に）に示
す。すなわち、まず第４図（イ）Ｋ示すように、回転砥
石（１）を被加ニガラス板ｕｌｌに向って前進せしめ、
被加ニガラス板０１１の側面を回転砥石（１）の円筒砥
石（２）の部分に当接させる。言うまでもなく、回転砥
石（１）は高速回転し、被加ニガラス板圓も低速ではあ
るが、回転させられている。故に被加ニガラス板０υは
この状態で側面を円形π研磨される。すなわち芯取り加
工がなされる。続いて第４図（口ＩＫ示すよ５１Ｃ１回
転砥石（１）はわずかに後退させて被加ニガラス板０Ｄ
の側面と円筒砥石（２）の当接状態を解除する。ここま
での動きは、いわば芯取り用カム（３！５１による１、
次に、面取り用カム（３８）Ｋよる動きで）】るが、被
加ニガラス板０１１は右方へ移動する。こθ）時、その
側面が円筒砥石（１）に当接していないので、側面が傷
つくことがなく、円滑に行なわれる。
第４図（ハ）に示すように被加ニガラス板０１）は、右
側の円錐砥石（３）にその角部を当接させるまで右方向
の移動を続け、図に示すように、側面と片表面の境目と
も言うべき角部な鈍角になるよう研磨する。すなわち片
側の面取りがなされろ。あとは、第４図に）に示すよう
に被加ニガラス板（１１）を左方向へ移動させて残った
もう一方の角部の面取りを行なうものである。このよう
な研磨工程の動きは、先に説明した芯取り用カム（３鴇
と面取り用カム（層の形状を適当に設定することで容易
に為しうる。
側の円錐砥石（３）にその角部を当接させるまで右方向
の移動を続け、図に示すように、側面と片表面の境目と
も言うべき角部な鈍角になるよう研磨する。すなわち片
側の面取りがなされろ。あとは、第４図に）に示すよう
に被加ニガラス板（１１）を左方向へ移動させて残った
もう一方の角部の面取りを行なうものである。このよう
な研磨工程の動きは、先に説明した芯取り用カム（３鴇
と面取り用カム（層の形状を適当に設定することで容易
に為しうる。
本発明に用いる回転砥石（１１についてなお補足説明す
ると、円筒砥石（２）と円錐砥石（３）を同じ材質にる
ものである時は、あまり望ましくない。すなわち、面取
りを行なうための円錐砥石（３）は芯取り用の円筒砥石
（１１よりその硬度が軟かくかつ仕上げ研磨用の粒子の
細かい研磨粒子を用いるのが艮℃ミ。 ・□例えば、円
筒砥石（２ｉ Ｋはメツシュ３００〜５００のダイヤ粉
を用いた電着砥石を用い、円錐砥石（３）にはメツジュ
ロ００〜１２００のダイヤ粉を用い、結合剤に黄銅など
の金属を用いたメタルポンド砥石や合成樹脂を用いたレ
ジンボンド砥石を用いる。
ると、円筒砥石（２）と円錐砥石（３）を同じ材質にる
ものである時は、あまり望ましくない。すなわち、面取
りを行なうための円錐砥石（３）は芯取り用の円筒砥石
（１１よりその硬度が軟かくかつ仕上げ研磨用の粒子の
細かい研磨粒子を用いるのが艮℃ミ。 ・□例えば、円
筒砥石（２ｉ Ｋはメツシュ３００〜５００のダイヤ粉
を用いた電着砥石を用い、円錐砥石（３）にはメツジュ
ロ００〜１２００のダイヤ粉を用い、結合剤に黄銅など
の金属を用いたメタルポンド砥石や合成樹脂を用いたレ
ジンボンド砥石を用いる。
芯取りには硬質で目の粗い砥石を用いるのは、被加ニガ
ラス板の側面を円形にするためには、多（の場合、大量
の研削が必要だからである。実際に、研磨前の被加ニガ
ラス板ＯＩｌは、四角形にて切り出されたものであった
り、円形でも所望半径よりずっと大きいものであったり
することが多い。それに対して、面取り用の砥石は、軟
質で目の細かいものを選ぶのが良い。面取りは、研磨量
も少なく、仕上げ研磨の意味あいが強いからである。円
錐砥石（３）に対して円筒砥石（２）と同材質の硬質で
目の粗い砥石を用いると、研磨ののち相当時間経過後に
研磨面からガラスの小片が欠は落ちて、これが精密パタ
ーンを施されたガラス板面を汚染するなどの問題が生じ
る。
ラス板の側面を円形にするためには、多（の場合、大量
の研削が必要だからである。実際に、研磨前の被加ニガ
ラス板ＯＩｌは、四角形にて切り出されたものであった
り、円形でも所望半径よりずっと大きいものであったり
することが多い。それに対して、面取り用の砥石は、軟
質で目の細かいものを選ぶのが良い。面取りは、研磨量
も少なく、仕上げ研磨の意味あいが強いからである。円
錐砥石（３）に対して円筒砥石（２）と同材質の硬質で
目の粗い砥石を用いると、研磨ののち相当時間経過後に
研磨面からガラスの小片が欠は落ちて、これが精密パタ
ーンを施されたガラス板面を汚染するなどの問題が生じ
る。
本発明のガラス加工装置は以上のようなものであり、本
発明によれば、被加工□′ガラス板の芯取りおよび面取
りを連続自動的に行なうことができるのである。その工
程順序は、まず芯取りを行ない外径寸法を決めてから、
芯取りを全く行なわない状態で左右の面取りを行なうも
のであり、このような手順によれば、芯取り、面取りの
各工程が独立しているので寸法精度の高い加工が可能で
あり、特に面取りの際には、芯取りされた側壁は非研磨
状態であるので、芯取り面に傷を生じたり、不要な研磨
により寸法狂いを生じることがなく、面取りを行なうこ
とができる。
発明によれば、被加工□′ガラス板の芯取りおよび面取
りを連続自動的に行なうことができるのである。その工
程順序は、まず芯取りを行ない外径寸法を決めてから、
芯取りを全く行なわない状態で左右の面取りを行なうも
のであり、このような手順によれば、芯取り、面取りの
各工程が独立しているので寸法精度の高い加工が可能で
あり、特に面取りの際には、芯取りされた側壁は非研磨
状態であるので、芯取り面に傷を生じたり、不要な研磨
により寸法狂いを生じることがなく、面取りを行なうこ
とができる。
また、面取り用の円錐砥石には軟質で目の細かいものを
用いることによって、仕上げ研磨と通常の芯取り研磨と
を区別することができ、別工程で改めて仕上げ研磨を施
すというような手間がなくなる。
用いることによって、仕上げ研磨と通常の芯取り研磨と
を区別することができ、別工程で改めて仕上げ研磨を施
すというような手間がなくなる。
総じて、本発明は寸法精度が良好で自動化したものであ
るからテレビジョンカメラの撮像装置に用いる色分解フ
ィルターのような精密なガラス部品のガラス加工に適す
るものである。
るからテレビジョンカメラの撮像装置に用いる色分解フ
ィルターのような精密なガラス部品のガラス加工に適す
るものである。
第１図は本発明のガラス加工装置の実施例を示す平面図
であり、第２図および第６図は本発明のガラス加工装置
におけるカム機構を示す概略説明図であり第４図（イ）
〜に）は本発明のガラス加工装置による加工工程を順に
従って示す説明図である。 （１）・・・回転砥石 （２）・・・円筒砥石（
３）・・・円錐砥石 （４）・・・回転軸（５）
・・・軸受 （６）・・・スライドテーブル
（７）・・・フ−ＩＪ−（８）・・・ベルト（９１・・
・モーター （１α・・・スライドレール（１１
１・・・被加ニガラス板 ＋１２１（１３１・・・ホル
ダー（１４１ａｓ−・・吸引孔 ＋１６１０７
１・・・係止用大形ナツトＱＩ Ｑｌ・・・内軸′（２
０＋（２１１・・・駆動ギアｔｎ （２３１−・・外軸
１２４）・・・スライドテーブル（２５）
・・・ラックギア （イ）・・・扇形ギア罰・・・
レバー ■・・・ストソバ−＠（至）・・・ｉ
用孔Ｃ３１）・・・レールＣ３６（４２・・・腕
Ｃ３３Ｈ４０・・・軸（３４）Ｃ３１・・・コロ
ｃ３ツ・・・芯取り用カム（（２）（４υ
・・・ハネ０？）・・・フレーム（至）・・・面取り用
カム 特許出願人 凸版印刷株式会社 区 ａ） 味 第４図 髪 →
であり、第２図および第６図は本発明のガラス加工装置
におけるカム機構を示す概略説明図であり第４図（イ）
〜に）は本発明のガラス加工装置による加工工程を順に
従って示す説明図である。 （１）・・・回転砥石 （２）・・・円筒砥石（
３）・・・円錐砥石 （４）・・・回転軸（５）
・・・軸受 （６）・・・スライドテーブル
（７）・・・フ−ＩＪ−（８）・・・ベルト（９１・・
・モーター （１α・・・スライドレール（１１
１・・・被加ニガラス板 ＋１２１（１３１・・・ホル
ダー（１４１ａｓ−・・吸引孔 ＋１６１０７
１・・・係止用大形ナツトＱＩ Ｑｌ・・・内軸′（２
０＋（２１１・・・駆動ギアｔｎ （２３１−・・外軸
１２４）・・・スライドテーブル（２５）
・・・ラックギア （イ）・・・扇形ギア罰・・・
レバー ■・・・ストソバ−＠（至）・・・ｉ
用孔Ｃ３１）・・・レールＣ３６（４２・・・腕
Ｃ３３Ｈ４０・・・軸（３４）Ｃ３１・・・コロ
ｃ３ツ・・・芯取り用カム（（２）（４υ
・・・ハネ０？）・・・フレーム（至）・・・面取り用
カム 特許出願人 凸版印刷株式会社 区 ａ） 味 第４図 髪 →
Claims (1)
- （１１円筒砥石と二つの円錐砥石からなる糸巻き状の回
転砥石を高速回転させる研磨機構と、被加ニガラス板を
その両面から挾持して低速回転させるガラス板保持機構
からなり、芯取り工程の際、被加ニガラス板の側面を円
筒砥石と当接させる機構と、続く面取り工程の際には、
被加ニガラス板と円筒砥石との当接状態を解除するとと
もに、被加
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16144681A JPS5882660A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ガラス加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16144681A JPS5882660A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ガラス加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5882660A true JPS5882660A (ja) | 1983-05-18 |
Family
ID=15735262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16144681A Pending JPS5882660A (ja) | 1981-10-09 | 1981-10-09 | ガラス加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5882660A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60238265A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-27 | Tokyo Optical Co Ltd | 面取り用砥石及びそれを有する玉摺機 |
| JPS6114849A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-23 | Naoi Seiki Kk | 自動数段研削装置 |
| JP2020031106A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
-
1981
- 1981-10-09 JP JP16144681A patent/JPS5882660A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60238265A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-27 | Tokyo Optical Co Ltd | 面取り用砥石及びそれを有する玉摺機 |
| JPS6114849A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-23 | Naoi Seiki Kk | 自動数段研削装置 |
| JP2020031106A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
| US11735411B2 (en) | 2018-08-21 | 2023-08-22 | Okamoto Machine Tool Works, Ltd. | Method and apparatus for manufacturing semiconductor device |
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