JPS5877609A - 形状検出装置 - Google Patents
形状検出装置Info
- Publication number
- JPS5877609A JPS5877609A JP17456181A JP17456181A JPS5877609A JP S5877609 A JPS5877609 A JP S5877609A JP 17456181 A JP17456181 A JP 17456181A JP 17456181 A JP17456181 A JP 17456181A JP S5877609 A JPS5877609 A JP S5877609A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- spot
- laser
- shape
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリント板はんだ付部などの立体形状を検出す
る装置に関するものである・プリント板はんだ付部など
、小皺電子部品の形状を検出するものとし【第１図に例
示する光切断法がある。これは、ランプ１とスリット２
と投光レンズ５で構成されるスリット投光器により、対
象１１４の上にスリット輝線５を投光、これを斜め横か
らＴＶカメラなどの撮像器６と結像レンズ７で構成され
る像検出器で検出するものである。とのよ５にスリット
状の光の帯を投光すると第２図の線分ａ、ｂ、ｃ、ｄ、
ｅのようにスリット輝線を生じ、対象物の形状を検出す
ることができる。
る装置に関するものである・プリント板はんだ付部など
、小皺電子部品の形状を検出するものとし【第１図に例
示する光切断法がある。これは、ランプ１とスリット２
と投光レンズ５で構成されるスリット投光器により、対
象１１４の上にスリット輝線５を投光、これを斜め横か
らＴＶカメラなどの撮像器６と結像レンズ７で構成され
る像検出器で検出するものである。とのよ５にスリット
状の光の帯を投光すると第２図の線分ａ、ｂ、ｃ、ｄ、
ｅのようにスリット輝線を生じ、対象物の形状を検出す
ることができる。
しかし対象物の面ＡあるいはＢが金属鏡面の場合・スリ
ット輝線ａ、ｅがＡ、ｉで正反射し、’＋１のように輝
線が観察される。ｆ、！の輝線は、ａ、ｅの正反射像で
あるため、しばしばす、ｄより明るく観察される。この
ため、検出画像は第３図（ロ）のように観察される。第
５図（ａ）は正常な形状検出例である。第３図中）のよ
うに、スリット状の光の帝を投光し、検出する光切断法
では、対象物に金属虞面部が存在するプリント板はんだ
付部のような物体の形状を正しく検出できない久点があ
る。
ット輝線ａ、ｅがＡ、ｉで正反射し、’＋１のように輝
線が観察される。ｆ、！の輝線は、ａ、ｅの正反射像で
あるため、しばしばす、ｄより明るく観察される。この
ため、検出画像は第３図（ロ）のように観察される。第
５図（ａ）は正常な形状検出例である。第３図中）のよ
うに、スリット状の光の帝を投光し、検出する光切断法
では、対象物に金属虞面部が存在するプリント板はんだ
付部のような物体の形状を正しく検出できない久点があ
る。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、プ
リント板はんだ封部など金属鏡面を有する物体の形状を
正しく検出する形状検出装置を提供するにある。
リント板はんだ封部など金属鏡面を有する物体の形状を
正しく検出する形状検出装置を提供するにある。
即ち本発明は、スリット投光に代って、スポット光を照
射し、これをＡＯＯ向器、ガルバノ・ミラーなどの走査
器により対象物上を走査させる。これをイメージ・ディ
セクタなどの非蓄積型撮像器により検出する。レーザ・
スポットの走査と撮像器の走査は同期させ、各瞬間にお
いてスポット位置（水平方向の一点）において。
射し、これをＡＯＯ向器、ガルバノ・ミラーなどの走査
器により対象物上を走査させる。これをイメージ・ディ
セクタなどの非蓄積型撮像器により検出する。レーザ・
スポットの走査と撮像器の走査は同期させ、各瞬間にお
いてスポット位置（水平方向の一点）において。
その位置での撮像器の垂直方向の映像信号を出力する。
これによりスポット照射位置以外から反射してくる光に
よる異常検出を防ぐことができる。
よる異常検出を防ぐことができる。
以下本発明の実施例を図面を用いて具体的に説明する。
第４図に本発明の形状検出装置の一実施例の構成を示す
・ この実施例は、レーザ光源８．ガルバノ・ミラー９＃投
光レンズ１０からなる走査スポット発生器と、結像レン
ズ１１とイメージ串ディセクタ１２からなる検出器と、
ガルバノ・ミラー制御回路１５ と、イメージ−ディ
セクタ制御回路１４と同期走査制御回路１５から構成さ
れる。レーザ光源８からは細いレーザビームが出方され
る・これをガルバノ・ミラー９で折曲は投光レンズ１０
へ入れる。投光レンズ１ｏは対象物４上にレーザビーム
（１）スポット１６を結ぶ。このスポットはガルバノ０
ミラー９の２ング状走査により対象物上を破線で示す方
向忙移動する。この移動に同期してイメージ、ディセク
タ１２は走査される。第５図（荀は偉面上におけるイメ
ージ串ディセクタの走査方向を示している。同図（旬の
ｙ軸は高さ方向、ｘ軸は水平方向に相当する。第５図（
ロ）、（Ｃ）はＸｔＹ軸座標の時間に伴ん５変化を示し
ている。
・ この実施例は、レーザ光源８．ガルバノ・ミラー９＃投
光レンズ１０からなる走査スポット発生器と、結像レン
ズ１１とイメージ串ディセクタ１２からなる検出器と、
ガルバノ・ミラー制御回路１５ と、イメージ−ディ
セクタ制御回路１４と同期走査制御回路１５から構成さ
れる。レーザ光源８からは細いレーザビームが出方され
る・これをガルバノ・ミラー９で折曲は投光レンズ１０
へ入れる。投光レンズ１ｏは対象物４上にレーザビーム
（１）スポット１６を結ぶ。このスポットはガルバノ０
ミラー９の２ング状走査により対象物上を破線で示す方
向忙移動する。この移動に同期してイメージ、ディセク
タ１２は走査される。第５図（荀は偉面上におけるイメ
ージ串ディセクタの走査方向を示している。同図（旬の
ｙ軸は高さ方向、ｘ軸は水平方向に相当する。第５図（
ロ）、（Ｃ）はＸｔＹ軸座標の時間に伴ん５変化を示し
ている。
ここで・Ｘ軸の走査位置とガルバノ・ミラー９による対
象物上のスポットのＸ軸（第４図）の走査位置とは一致
させてお（。このように１５は９と１２を同期制御する
。すなわち、各瞬間において実像面上のスボツ）［が必
ずその瞬間におけるｙ軸方向のラスク走査と交わるよう
に同期させる。このため例えば第６図に例示するように
レーザスポット１６が同図に図示する位置にある時、実
像面上ではこの点を通る１８で例示するラスク走査がな
され、その位置におゆるｙ方向の信号のみが出力される
。この時第２図においてｆで示す輝線は第２図において
（萄で示す位置にスポットが照射されていないため生じ
ない。
象物上のスポットのＸ軸（第４図）の走査位置とは一致
させてお（。このように１５は９と１２を同期制御する
。すなわち、各瞬間において実像面上のスボツ）［が必
ずその瞬間におけるｙ軸方向のラスク走査と交わるよう
に同期させる。このため例えば第６図に例示するように
レーザスポット１６が同図に図示する位置にある時、実
像面上ではこの点を通る１８で例示するラスク走査がな
され、その位置におゆるｙ方向の信号のみが出力される
。この時第２図においてｆで示す輝線は第２図において
（萄で示す位置にスポットが照射されていないため生じ
ない。
第７図は第２図のＡ、Ｂ面が金属鏡面であった場合、従
来技術ではＭ３図（ロ）のよ５に検出されていたものを
、本発明の方式で検出した例であり、図のように第２図
す、ｄＫ相幽する部分は他の部分に較べ暗らいものの、
正しい光切断像として検出される。
来技術ではＭ３図（ロ）のよ５に検出されていたものを
、本発明の方式で検出した例であり、図のように第２図
す、ｄＫ相幽する部分は他の部分に較べ暗らいものの、
正しい光切断像として検出される。
なお、本実施例ではレーザビームの定量をガルバノ・き
ラーで行う場合を示したが、これはＡＯ偏偏向６囲 器としてはイメージ・ディセクタを使用したが、特にラ
ンダム拳アクセス機能がなくとも、非蓄積型撮像器であ
れば良い。
ラーで行う場合を示したが、これはＡＯ偏偏向６囲 器としてはイメージ・ディセクタを使用したが、特にラ
ンダム拳アクセス機能がなくとも、非蓄積型撮像器であ
れば良い。
また、光切断法の構成として上方からレーザ・スポット
を照射しこれを斜め横から検出する倒について示したが
、これを横から検出したり、斜め横から照射し、上方か
ら検出したり、斜め横から照射し、反対側斜の横から検
出したり、照射と検出の組合せはいろいろあるが、それ
らのいずれであっても良い。
を照射しこれを斜め横から検出する倒について示したが
、これを横から検出したり、斜め横から照射し、上方か
ら検出したり、斜め横から照射し、反対側斜の横から検
出したり、照射と検出の組合せはいろいろあるが、それ
らのいずれであっても良い。
以上説明したように本発明によれば、金属鏡面を有する
物体の形状を２次反射による誤検出なく、正しく検出す
ることができる効果な萎する。
物体の形状を２次反射による誤検出なく、正しく検出す
ることができる効果な萎する。
第１図は従来技術の構成を説明する図、第２図は２次反
射による異常検出の現象を説明する図、第３図は従来８
技術による形状検出例、第４図は本発明の一実施例の構
成を説明する図、第５図は本発明の一実施例におけるイ
メージ・ディセクタの走査を説明する図、第６図は検出
像面上におけるある瞬間でのレーザ・スポット位８・・
・レーザ光源 ９・・・ガルバノミラ− １０・・・投光レンズ １１・・・結像レンズ １２・・・イメージディセクタ １５・・・ガルバノミラ−制御回路 １４−０．イメージディセクタ制御回路１５・・・同期
走査制御囲路 １φ・・・区ザスポット 才 １ 図 才２ｒＪ！：Ｊ 第３図 （ａ） （ｂ） ｆ’４− 図 せ５図 （ｄ）
射による異常検出の現象を説明する図、第３図は従来８
技術による形状検出例、第４図は本発明の一実施例の構
成を説明する図、第５図は本発明の一実施例におけるイ
メージ・ディセクタの走査を説明する図、第６図は検出
像面上におけるある瞬間でのレーザ・スポット位８・・
・レーザ光源 ９・・・ガルバノミラ− １０・・・投光レンズ １１・・・結像レンズ １２・・・イメージディセクタ １５・・・ガルバノミラ−制御回路 １４−０．イメージディセクタ制御回路１５・・・同期
走査制御囲路 １φ・・・区ザスポット 才 １ 図 才２ｒＪ！：Ｊ 第３図 （ａ） （ｂ） ｆ’４− 図 せ５図 （ｄ）
Claims (1)
- １）レーザ・ビームを発するレーザ光源と、該レーザ光
源より発せられたレープビームを少くとも走査手段と、
対象物上に照射されるレーザ・スポットを光学像として
検出する結像レンズと、該結像レンズの実像面上に光電
面を置いたイメージ・ディセクタなどの非蓄積履撮像器
と、走査手段によるレーザ・スポット走査と撮像器のラ
スク走査を同期させるための同期制御回路とを有し、レ
ーザースポットの走査位置と一致した限定視野から映像
信号を検出することにより、対象物表面における２次反
射による形状の娯検出を防ぐことを特徴とする形状検出
装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17456181A JPS5877609A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17456181A JPS5877609A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 形状検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5877609A true JPS5877609A (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=15980704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17456181A Pending JPS5877609A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 形状検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5877609A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60218016A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Kajima Corp | 掘削面形状の計測装置 |
| JPH03163305A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け形状検出方法 |
| US5166753A (en) * | 1989-07-17 | 1992-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for inspecting electronic devices mounted on a circuit board |
-
1981
- 1981-11-02 JP JP17456181A patent/JPS5877609A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60218016A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Kajima Corp | 掘削面形状の計測装置 |
| JPH047806B2 (ja) * | 1984-04-13 | 1992-02-13 | Kajima Corp | |
| US5166753A (en) * | 1989-07-17 | 1992-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for inspecting electronic devices mounted on a circuit board |
| JPH03163305A (ja) * | 1989-11-22 | 1991-07-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け形状検出方法 |
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