JPS5870139A - 半導体圧力電気変換装置 - Google Patents
半導体圧力電気変換装置Info
- Publication number
- JPS5870139A JPS5870139A JP16938081A JP16938081A JPS5870139A JP S5870139 A JPS5870139 A JP S5870139A JP 16938081 A JP16938081 A JP 16938081A JP 16938081 A JP16938081 A JP 16938081A JP S5870139 A JPS5870139 A JP S5870139A
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- JP
- Japan
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- outside
- cap
- leads
- type pressure
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/003—Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は改良された半導体圧力電気変換装置（以下圧力
センサと称する。）に関するものである。
センサと称する。）に関するものである。
圧力センサは、シリコンなどの半導体単結晶に不純物を
拡散して拡散抵抗を形成し、仁の拡散抵抗が起歪により
ピエゾ抵抗効果に基く抵抗変化を起すことを利用して圧
力を電気信号に変換するものである。
拡散して拡散抵抗を形成し、仁の拡散抵抗が起歪により
ピエゾ抵抗効果に基く抵抗変化を起すことを利用して圧
力を電気信号に変換するものである。
圧力センサは機能的に大別すると絶対圧形と差圧形とに
なる。絶対正形圧カセンサは拡散抵抗が形成された半導
体ダイヤフラムとシリコン台座とヘッダおよび金属キャ
ップにより形成された真空室を有し、この真空を基準に
外圧を検出するもので、絶対圧が測定できる。
なる。絶対正形圧カセンサは拡散抵抗が形成された半導
体ダイヤフラムとシリコン台座とヘッダおよび金属キャ
ップにより形成された真空室を有し、この真空を基準に
外圧を検出するもので、絶対圧が測定できる。
第１図は従来の絶対正形圧カセンサの断面図で（１）は
シリコレダイヤフラム、（２）はこのシリコンダイヤを
載置するシリコン台座、（３）はこのシリコン台座を載
置するヘッダ、（４ａ）はシリコンダイヤフラム（１）
とシリコン台座（２）を結合するろう材、（４ｂ）はシ
リコン台座（２）とヘッダ（３）を結合するろう材、（
５）は流体導入パイプでありヘッダｒ３）に設けられる
。（６）はリードピンでありヘッダ（３） Ｋ 設ｉｔ
ラれる。（７）はシリコン台座（２）の拡散抵抗とリ
ードピン（６）を持続する金線、（８）はシリコンダイ
ヤフラム（１）、シリコン台座（２）、リードビン１６
）の一部を封止する金属キャップであるｔこのような従
来の圧力センサは流体導入パイプ（５）とリードビン（
６）とがヘッダ（３）の下面から同一方向に突出してい
るためにリードビン（６）と流体導入パイプ（５）とが
同一空間領域に位置することになりかつ、これらの間隔
は一般に５〜６■に設定されているので、圧力センサの
小形化が困難であった。
シリコレダイヤフラム、（２）はこのシリコンダイヤを
載置するシリコン台座、（３）はこのシリコン台座を載
置するヘッダ、（４ａ）はシリコンダイヤフラム（１）
とシリコン台座（２）を結合するろう材、（４ｂ）はシ
リコン台座（２）とヘッダ（３）を結合するろう材、（
５）は流体導入パイプでありヘッダｒ３）に設けられる
。（６）はリードピンでありヘッダ（３） Ｋ 設ｉｔ
ラれる。（７）はシリコン台座（２）の拡散抵抗とリ
ードピン（６）を持続する金線、（８）はシリコンダイ
ヤフラム（１）、シリコン台座（２）、リードビン１６
）の一部を封止する金属キャップであるｔこのような従
来の圧力センサは流体導入パイプ（５）とリードビン（
６）とがヘッダ（３）の下面から同一方向に突出してい
るためにリードビン（６）と流体導入パイプ（５）とが
同一空間領域に位置することになりかつ、これらの間隔
は一般に５〜６■に設定されているので、圧力センサの
小形化が困難であった。
さて、前記従来の絶対正形圧カセンサにおいて、シリコ
ンダイヤフラムの電極に金線を介して設けられたリード
ビンは流体導入パイプと同一方向に突出するように設け
られる。このような圧力センサは金線によるワイヤボン
ディングにより電極の外部引出を実施しているため、構
造的にハウジングの外形寸法が大形化するという欠点が
あった。
ンダイヤフラムの電極に金線を介して設けられたリード
ビンは流体導入パイプと同一方向に突出するように設け
られる。このような圧力センサは金線によるワイヤボン
ディングにより電極の外部引出を実施しているため、構
造的にハウジングの外形寸法が大形化するという欠点が
あった。
これは近年の電子機器がすべて小形化という方向に向っ
ているという現状からみると非常に大きな欠点であり、
改良が望まれていた。
ているという現状からみると非常に大きな欠点であり、
改良が望まれていた。
本発明は前記従来の半導体圧力電気変換装置の欠点を取
除くためになされたものであり一端が可撓性を有する導
電部材に接続され他端が流体導入部材と反対側に位置す
るように封止部材の外部へ導出される外部導出導体を設
は小形化された半導体圧力電気装置を提供するものであ
る。
除くためになされたものであり一端が可撓性を有する導
電部材に接続され他端が流体導入部材と反対側に位置す
るように封止部材の外部へ導出される外部導出導体を設
は小形化された半導体圧力電気装置を提供するものであ
る。
以下第２図に示す本発明の一実施例を詳細に説明する。
図中第１図と同一番号は相当部分を示すものであり説明
は省略する。（ｌ］）はリードビンであり金属キャップ
（２）の上部に絶縁的に支持されかつ外部に導出されて
いる。（至）は一端がシリコンダイアフラム（１）の拡
散抵抗層にはんだ付により接続され、他端がリードビン
０υに接続される可撓性を有するリードである。このリ
ードｏ３は金属キャップ（６）に設けられたリードビン
０υに予め接続されており、金属キャップ０１をヘッダ
に旧こがぶせた時にリード０３の先端がシリコンダイア
フラム（１）上の電極パッド部に接続するように位置決
めされている。
は省略する。（ｌ］）はリードビンであり金属キャップ
（２）の上部に絶縁的に支持されかつ外部に導出されて
いる。（至）は一端がシリコンダイアフラム（１）の拡
散抵抗層にはんだ付により接続され、他端がリードビン
０υに接続される可撓性を有するリードである。このリ
ードｏ３は金属キャップ（６）に設けられたリードビン
０υに予め接続されており、金属キャップ０１をヘッダ
に旧こがぶせた時にリード０３の先端がシリコンダイア
フラム（１）上の電極パッド部に接続するように位置決
めされている。
前記電極パッドは公知の技術であるはんだバンプにより
形成されており、外部より加熱することにより、接触し
ているリード（至）の先端とはんだ付される。金属キャ
ップ内の真空室は真空中でキャップ溶接するか或は真空
中でキャップ頭部の真空排気穴を半田シールすることに
より形成される。
形成されており、外部より加熱することにより、接触し
ているリード（至）の先端とはんだ付される。金属キャ
ップ内の真空室は真空中でキャップ溶接するか或は真空
中でキャップ頭部の真空排気穴を半田シールすることに
より形成される。
このようにして作られる絶対正形圧カセンサは流体導入
パイプ（５）とリードビン（ロ）とが互いに反対方向に
突出しているために小形化され電子機器の小形化傾向に
対応できる。
パイプ（５）とリードビン（ロ）とが互いに反対方向に
突出しているために小形化され電子機器の小形化傾向に
対応できる。
以上説明のように本発明は一端が可撓性を有する導電部
材に接続され他端が流体導入部材と反対側に位置するよ
うに封止部材の外部へ導出される外部導出導体を設けた
ので、半導体圧力電気変換装置を小形化することができ
るという優れた効果を有する。
材に接続され他端が流体導入部材と反対側に位置するよ
うに封止部材の外部へ導出される外部導出導体を設けた
ので、半導体圧力電気変換装置を小形化することができ
るという優れた効果を有する。
第１図は従来の絶対正形圧カセンサを示す断面構造図、
第２図は本発明の一実施例の絶対正形圧カセンサの断面
図である。 （１）は半導体ダイヤフラム、（２）はシリコン台座、
（３）はヘツ、ダ、（５）は流体導入パイプ、（ロ）は
リードビン、（２）は金属キャップ、（至）は可撓性を
有するり−ドである。 代理人 葛野信− 第１図 第２図
第２図は本発明の一実施例の絶対正形圧カセンサの断面
図である。 （１）は半導体ダイヤフラム、（２）はシリコン台座、
（３）はヘツ、ダ、（５）は流体導入パイプ、（ロ）は
リードビン、（２）は金属キャップ、（至）は可撓性を
有するり−ドである。 代理人 葛野信− 第１図 第２図
Claims (1)
- 表面に拡散抵抗層が形成された半導体圧力電気変換素子
と、この半導体圧力電気変換素子を載置する支持部材と
、仁の支持部材の前記半導体圧力電気変換素子が支持さ
れる表面と反対の表面に導出された流体導入部材と、前
記支持部材に載置され前記半導体圧力電気変換素子を封
止する封止部材と、前記半導体圧力電気変換素子の拡散
抵抗層に接続された可撓性を有する導体部材と、一端が
前記導電部材に接続され他端が前記流体導入部材と反対
側に位置するように前記封止部材の外部へ導出される外
部導出導体とを備えた半導体圧力電気変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16938081A JPS5870139A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 半導体圧力電気変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16938081A JPS5870139A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 半導体圧力電気変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870139A true JPS5870139A (ja) | 1983-04-26 |
Family
ID=15885520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16938081A Pending JPS5870139A (ja) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | 半導体圧力電気変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870139A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177030A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPH02503831A (ja) * | 1988-04-08 | 1990-11-08 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 電子トランスデューサ及びその組立方法 |
| JP2006349651A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 圧力変換器および圧力変換器の製造方法 |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP16938081A patent/JPS5870139A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177030A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPH02503831A (ja) * | 1988-04-08 | 1990-11-08 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 電子トランスデューサ及びその組立方法 |
| JP2006349651A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 圧力変換器および圧力変換器の製造方法 |
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