JPS5864110A - 排気処理方法 - Google Patents
排気処理方法Info
- Publication number
- JPS5864110A JPS5864110A JP56163034A JP16303481A JPS5864110A JP S5864110 A JPS5864110 A JP S5864110A JP 56163034 A JP56163034 A JP 56163034A JP 16303481 A JP16303481 A JP 16303481A JP S5864110 A JPS5864110 A JP S5864110A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- duct pipe
- exhaust
- folded
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体素子製造におけるアビ−シンワックス
及びホトレジスト、塗料等のスプレー塗布工程において
の塗布装置の排気処理方法に関°するものである。
及びホトレジスト、塗料等のスプレー塗布工程において
の塗布装置の排気処理方法に関°するものである。
一般的に、アビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料
等のスプレー塗布装置の排気処理は、代表的な方法とし
て、水洗ブー諌式、フィルタースプレーシャワー併用式
、フィルタ一式、迷路式等が挙げられる。次に、図面に
より従来の排気処理方法について詳細に説明する。水洗
ブース方式は、第１図に示すように、排気ダクトより吸
い込まれたアビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料
等のスプレーミストを垂直なブース１に沿って流れる水
にあてて固体化して、水と一緒に濾過槽２に流れ落とし
、清浄な排気をダクト３にて排出し、固体化したアビ−
シンワックス及びホトレジスト、塗料等を濾過槽２のフ
ィルター４にて回収し、また、水は再びポンプ５により
上方のタンク６へ送す循環させていた。フィルター、ス
プレーシャワー併用方式は第２図に示すように、排気ダ
クトより吸込まれたアビ−シンワックス及びホトレジス
ト、塗料等のスプレーミストをフィルター７の部分でス
プレーノズル８の水により固体化すると同時に回収し、
清浄な排気はダクト？で排出し、タンク１０内に流れ落
ちた水はポンプ１１にてスプレーノズル８から再び噴射
させていた。
等のスプレー塗布装置の排気処理は、代表的な方法とし
て、水洗ブー諌式、フィルタースプレーシャワー併用式
、フィルタ一式、迷路式等が挙げられる。次に、図面に
より従来の排気処理方法について詳細に説明する。水洗
ブース方式は、第１図に示すように、排気ダクトより吸
い込まれたアビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料
等のスプレーミストを垂直なブース１に沿って流れる水
にあてて固体化して、水と一緒に濾過槽２に流れ落とし
、清浄な排気をダクト３にて排出し、固体化したアビ−
シンワックス及びホトレジスト、塗料等を濾過槽２のフ
ィルター４にて回収し、また、水は再びポンプ５により
上方のタンク６へ送す循環させていた。フィルター、ス
プレーシャワー併用方式は第２図に示すように、排気ダ
クトより吸込まれたアビ−シンワックス及びホトレジス
ト、塗料等のスプレーミストをフィルター７の部分でス
プレーノズル８の水により固体化すると同時に回収し、
清浄な排気はダクト？で排出し、タンク１０内に流れ落
ちた水はポンプ１１にてスプレーノズル８から再び噴射
させていた。
フィルタ一式は第６図に示すように、排気ダクトより吸
い込まれたアビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料
等のスプレーミストを排気ダクト管１２の排気力・向に
多段階に配置したフィルター１３を通過させることによ
り、フィルター１３に付着させて除去していた。又、迷
路式は第４図に示すように、邪魔板１４にて流路を蛇行
させ、該流路を排気ダクトから吸込まれたアビ−シンワ
ックス及びホトレジスト、塗料等のスプレーミストを通
過させることＫよシ、邪魔板１４に付着させて除去して
いた。
い込まれたアビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料
等のスプレーミストを排気ダクト管１２の排気力・向に
多段階に配置したフィルター１３を通過させることによ
り、フィルター１３に付着させて除去していた。又、迷
路式は第４図に示すように、邪魔板１４にて流路を蛇行
させ、該流路を排気ダクトから吸込まれたアビ−シンワ
ックス及びホトレジスト、塗料等のスプレーミストを通
過させることＫよシ、邪魔板１４に付着させて除去して
いた。
しかしながら、従来方法による排気処理方法においては
、清掃の作業性及び排気能力の変動等、いくつかの問題
を残していた。すなわち、水洗ブース方法においては、
フィルターの目詰り等による排気能力の変動はないが、
濾過槽２のフィルター４の清掃に手数がかかるのと、排
水処理等に０問題があり、フィルター、スプレーシャワ
ー併用方法においては、水洗ブース同様排水処理の問題
及びフィルター７の目詰りによる排気風量の変動等の問
題があった。フィルタ一方法においては、フィルター１
３０目詰シによる排気風量変動、迷路方法においても流
路中のアビ−シンワックス、ホトレジスト、塗料等の付
着によシ邪魔板１４の流路径が細くなり、風量変動を招
く等の問題があった。
、清掃の作業性及び排気能力の変動等、いくつかの問題
を残していた。すなわち、水洗ブース方法においては、
フィルターの目詰り等による排気能力の変動はないが、
濾過槽２のフィルター４の清掃に手数がかかるのと、排
水処理等に０問題があり、フィルター、スプレーシャワ
ー併用方法においては、水洗ブース同様排水処理の問題
及びフィルター７の目詰りによる排気風量の変動等の問
題があった。フィルタ一方法においては、フィルター１
３０目詰シによる排気風量変動、迷路方法においても流
路中のアビ−シンワックス、ホトレジスト、塗料等の付
着によシ邪魔板１４の流路径が細くなり、風量変動を招
く等の問題があった。
本発明は前記問題点を改善し、安定した排気風量を保た
せ、フィルター清掃作業をなくする方法を提供するもの
であシ、以下本発明の一実施例を第５図に基いて説明す
る。
せ、フィルター清掃作業をなくする方法を提供するもの
であシ、以下本発明の一実施例を第５図に基いて説明す
る。
第５図は本発明に係る方法を実施するための装置である
。すなわち、内部を中空とした本体２０の側部に洗浄水
の注入口２１を、その底部に注出口２２を設け、本体２
０の下半分に洗浄水２３を貯溜させるようにし、本体２
０の上半分の空間内を貫通させて排気ダクト管２４を配
置する。
。すなわち、内部を中空とした本体２０の側部に洗浄水
の注入口２１を、その底部に注出口２２を設け、本体２
０の下半分に洗浄水２３を貯溜させるようにし、本体２
０の上半分の空間内を貫通させて排気ダクト管２４を配
置する。
また、ダクト管２４の上方と洗浄水２３内とに多数の回
転ローラ２５・・・を、交互にダクト管２４の排気方向
に沿って配設し、一方ベルト状の網目状フィルター２６
をダクト管２４の排気方向に間隔を置いて折り返し、さ
らにこれをダクト管２４を直角に横切ってダクト管２４
の内外に亘って配置し、ダクト管２４の外部に位置する
フィルター２６の折り返し部分を回転ローラ２５に懸は
渡す。
転ローラ２５・・・を、交互にダクト管２４の排気方向
に沿って配設し、一方ベルト状の網目状フィルター２６
をダクト管２４の排気方向に間隔を置いて折り返し、さ
らにこれをダクト管２４を直角に横切ってダクト管２４
の内外に亘って配置し、ダクト管２４の外部に位置する
フィルター２６の折り返し部分を回転ローラ２５に懸は
渡す。
本発明は、回転ローラ２５を駆動してフィルター２６に
１点鎖線で示す矢印方向へ送りを与え、フィルター２６
をその折り返し部分で洗浄水２３にて洗浄し、洗浄後の
フィルター２６を排気ダクト管２４内に送り込み、ダク
ト管２４内でスプレーミストを回収したフィルター２６
の目詰りを防止するものである。また、適宜注出口２２
の弁２７を開いて汚れた洗浄水を廃棄し、弁２８を開い
て注入口２１から新しい洗浄水を注入して洗浄水の交換
を行なう。
１点鎖線で示す矢印方向へ送りを与え、フィルター２６
をその折り返し部分で洗浄水２３にて洗浄し、洗浄後の
フィルター２６を排気ダクト管２４内に送り込み、ダク
ト管２４内でスプレーミストを回収したフィルター２６
の目詰りを防止するものである。また、適宜注出口２２
の弁２７を開いて汚れた洗浄水を廃棄し、弁２８を開い
て注入口２１から新しい洗浄水を注入して洗浄水の交換
を行なう。
以上説明したように本発明は、ベルト状フィルターを常
時、洗浄剤の中を通過させることにより排気ダクト管内
に送シ込むの−で、フィルターに°付着したアビ−シン
ワックス及びホトレジスト、塗料等は洗浄され、フィル
ターの目詰りを防止できる。したがって、排気風量の変
動はなくなり、スプレー塗布条件の重要なスブし−ミス
トの乾燥スピードのコントロールも容易になる。又、フ
ィルターの清掃作業もなく、なり、溶剤の交換のみで済
むという効果を有する。
時、洗浄剤の中を通過させることにより排気ダクト管内
に送シ込むの−で、フィルターに°付着したアビ−シン
ワックス及びホトレジスト、塗料等は洗浄され、フィル
ターの目詰りを防止できる。したがって、排気風量の変
動はなくなり、スプレー塗布条件の重要なスブし−ミス
トの乾燥スピードのコントロールも容易になる。又、フ
ィルターの清掃作業もなく、なり、溶剤の交換のみで済
むという効果を有する。
第１図は従来の方法である水洗ブース方法による排気処
理を示す断面図、第２図は従来の方法でアルフィルター
、スプレーシャワー併用方法による排気処理を示す断面
図、第３図は従来の方法であるフィルタ一方法による排
気処理による断面図、第４図は従来の方法である邪魔板
方法による排気処理を示す断面図、第５図は本発明の排
気処理方法を実施する装置の断面図である。 ２３・・・洗浄水 ２４・・・排気ダクト管２
６・・・フィルター 特許出願人 日本電気株式会社 馬１図 馬３図 馬４図
理を示す断面図、第２図は従来の方法でアルフィルター
、スプレーシャワー併用方法による排気処理を示す断面
図、第３図は従来の方法であるフィルタ一方法による排
気処理による断面図、第４図は従来の方法である邪魔板
方法による排気処理を示す断面図、第５図は本発明の排
気処理方法を実施する装置の断面図である。 ２３・・・洗浄水 ２４・・・排気ダクト管２
６・・・フィルター 特許出願人 日本電気株式会社 馬１図 馬３図 馬４図
Claims (1)
- （１１アビ−シンワックス及びホトレジスト、塗料等の
スプレー塗布工程における塗布装置の排気処理方法にお
いて、ベルト状のフィルターを排気ダクト管の排気方向
に間隔を置いて・折り返して排気ダクト管の内外に亘っ
て配置し、該フィルターを駆動して排気ダクト管外の折
り返し部分でフィルターを洗浄液にて洗浄し、洗浄後の
フィルターを排気ダクト管内へ送り込むことを特徴とす
る排気処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163034A JPS5864110A (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 排気処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163034A JPS5864110A (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 排気処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864110A true JPS5864110A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15765922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56163034A Pending JPS5864110A (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | 排気処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864110A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6432701A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Mazda Motor | Antenna system for vehicle |
| JPH02160015A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-20 | Hitachi Zosen Corp | 除塵機 |
| KR101363326B1 (ko) * | 2012-01-05 | 2014-02-17 | 김행숙 | 습식 공기청정기 |
-
1981
- 1981-10-13 JP JP56163034A patent/JPS5864110A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6432701A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Mazda Motor | Antenna system for vehicle |
| JPH02160015A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-20 | Hitachi Zosen Corp | 除塵機 |
| KR101363326B1 (ko) * | 2012-01-05 | 2014-02-17 | 김행숙 | 습식 공기청정기 |
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