JPS586132A - 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 - Google Patents
電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法Info
- Publication number
- JPS586132A JPS586132A JP56104024A JP10402481A JPS586132A JP S586132 A JPS586132 A JP S586132A JP 56104024 A JP56104024 A JP 56104024A JP 10402481 A JP10402481 A JP 10402481A JP S586132 A JPS586132 A JP S586132A
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- JP
- Japan
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- deflection
- correction
- circuit
- electron beam
- scanning
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビーム露光装置における電子ビーム偏肉補
正方法とその装置に関する。
正方法とその装置に関する。
電子ビーム露光装置には電子ビームを偏向するためＯ偏
向器が用ｉもれて一為、鎗記働崗ＩＩＯ偏向感１′＃１
ｌＲＩＩＩｉ数に対′して一電ではなく、高−周緻数に
一均１しては儒肉感ｊ１１が低下して（Ｔｏ畳倫を有し
”ｔｈゐ＠１１目的には馬−陶皺黴管で７ラツト電もＯ
が良％／％０″ｔＩあるが、夷−には高−馬毅黴になる
と角電＃ｌ勢の影響によ）儒崗感ＩＩ！が低下してくる
。
向器が用ｉもれて一為、鎗記働崗ＩＩＯ偏向感１′＃１
ｌＲＩＩＩｉ数に対′して一電ではなく、高−周緻数に
一均１しては儒肉感ｊ１１が低下して（Ｔｏ畳倫を有し
”ｔｈゐ＠１１目的には馬−陶皺黴管で７ラツト電もＯ
が良％／％０″ｔＩあるが、夷−には高−馬毅黴になる
と角電＃ｌ勢の影響によ）儒崗感ＩＩ！が低下してくる
。
（１）式は、従来性なわれてｖｈた偏向量の鴫！管機わ
す式である。
す式である。
（１）弐Ｋか−て、ム〜Ｄ紘Ｘ軸◇補正係歇鳶−Ｈ、＃
ｉｙ軸の補正係数で６カ、ム、Ｉはジアジｌ１ｌＥ量、
１１、Ｆはアイー身ｒｔイＩ補正係数、ｃ、ｏは間転補
正係数、Ｆ、ｉｉは台形歪補正係数である・崗ｔＸ ｅ
Ｙは補正鍾個肉量、Ｘ’、７１は補正偏向量である・ 〈υ弐Ｉｔｃｈ−て、高−周波微１ｃ対する偏向感旋〇
低下は７４−ル、Ｐ貨イＩ＠正係歇の低下をｉｌ昧する
。
ｉｙ軸の補正係数で６カ、ム、Ｉはジアジｌ１ｌＥ量、
１１、Ｆはアイー身ｒｔイＩ補正係数、ｃ、ｏは間転補
正係数、Ｆ、ｉｉは台形歪補正係数である・崗ｔＸ ｅ
Ｙは補正鍾個肉量、Ｘ’、７１は補正偏向量である・ 〈υ弐Ｉｔｃｈ−て、高−周波微１ｃ対する偏向感旋〇
低下は７４−ル、Ｐ貨イＩ＠正係歇の低下をｉｌ昧する
。
謝１ｇは傭向感ｆＯ低下による−一□ＩＩａ−化ｔ示す
図である。装置が要求している線幅Ｆｉ（ｉ）に示す線
１を要求していたとする。しかしながら繰シ返し周期が
短い走査で行なった場合には偏向感度が低下してしまい
、（ｂ）に示す線幅しか得る・ことがで亀ない。
図である。装置が要求している線幅Ｆｉ（ｉ）に示す線
１を要求していたとする。しかしながら繰シ返し周期が
短い走査で行なった場合には偏向感度が低下してしまい
、（ｂ）に示す線幅しか得る・ことがで亀ない。
近年に至り、電子レジスト等や露光感度が向上し、露光
時間を短縮するため、走査線の速度は高速化してきた。
時間を短縮するため、走査線の速度は高速化してきた。
しかしながら前記偏向感度の高域での低下によって高速
化には限度があった。
化には限度があった。
本発明の目的に電子ビーム露光装置における高速走査を
行なっても偏向感度が一定となる電子ビーム偏向補正方
式を提供することにある。
行なっても偏向感度が一定となる電子ビーム偏向補正方
式を提供することにある。
本発明の％黴とするとζろは電子ビーム露光装置におい
て、走査速度によって決定される偏向信号の繰〕返し周
期に対応した予め求めたメモリに格納されている偏向感
度補正データを用いて描画矩形の走査幅の補正を行なう
電子ビーム偏向補正方式を提供すると七にある。
て、走査速度によって決定される偏向信号の繰〕返し周
期に対応した予め求めたメモリに格納されている偏向感
度補正データを用いて描画矩形の走査幅の補正を行なう
電子ビーム偏向補正方式を提供すると七にある。
以下、本発明の実施例を用いて本発明の詳細な説１ｌＩ
Ｉを行なう。
Ｉを行なう。
１１１図は本穐＠Ｏ與論例である。走査信号軸生回路３
０偏向ｌ出力４は偏向補正回路ｚの偏向量入力６に、走
査幅デーＩ出カフは繰）返し１１１ｇ算出回絡８の走査
幅データ入カ参にそれヤれ蒙続畜れる。繰〉返し周期算
出ａｍ魯ｔ）Ｉｎ、夕入力１０にはクロック趨路１１が
接続されて−る。繰）返し絢期算出回路８０周期算出出
力ｌ雪はアドレスセレクタ１３【介して偏肉感度補正メ
峰９１４のアドレス１１に入る。偏向感度補正メモリ１
４４Ｄ補正出力１６は偏向感度補正量Ｗ１４！１１１路
１７０補正入力１１１に入る。フィーｋｆｔイＩ補正係
歇１は偏向感度補正量−瞥鵡路１７０補正係数入力ｌ−
に入る。偏向感度補正量ｇｐ＊＊ａ路１７の出力２゜は
偏向補正回路５の補正入力２１に入る。偏肉補正回路５
の出力２２は偏向アンｆ２ａを介して偏向コイル２４に
接続される。
０偏向ｌ出力４は偏向補正回路ｚの偏向量入力６に、走
査幅デーＩ出カフは繰）返し１１１ｇ算出回絡８の走査
幅データ入カ参にそれヤれ蒙続畜れる。繰〉返し周期算
出ａｍ魯ｔ）Ｉｎ、夕入力１０にはクロック趨路１１が
接続されて−る。繰）返し絢期算出回路８０周期算出出
力ｌ雪はアドレスセレクタ１３【介して偏肉感度補正メ
峰９１４のアドレス１１に入る。偏向感度補正メモリ１
４４Ｄ補正出力１６は偏向感度補正量Ｗ１４！１１１路
１７０補正入力１１１に入る。フィーｋｆｔイＩ補正係
歇１は偏向感度補正量−瞥鵡路１７０補正係数入力ｌ−
に入る。偏向感度補正量ｇｐ＊＊ａ路１７の出力２゜は
偏向補正回路５の補正入力２１に入る。偏肉補正回路５
の出力２２は偏向アンｆ２ａを介して偏向コイル２４に
接続される。
走査信号置去回路３によってｌｌ生された偏向量ＸＦｉ
偏向補正回路６に入る。鵞た走査幅データは繰ル返し周
期算゛出回路８において繰）返し周期が求められる。繰
ｐ返し周期算出−路８にて求めら九た＃虻繰夛返し周期
はアドレスセレクタ１３によって周期に対応したアドレ
スに変換される。アドレスセレクタ１３の出力は偏向感
度補正メモリ１４のアドレスに入）、前記繰シ返し周期
に対応し大偏向感度補正値４Ｂを選択する。前記−向感
度補正メモ１７１４の出力すなわち偏向感度補正値ｉＢ
は偏向感度補正量調整回路１７に入シ、他の入力すなわ
ち、フィールドサイズ補正係数Ｂと前記偏向感度補正量
調整回路１７で加算される。偏向感度補正量調整回路１
７の出力信号すなわち（Ｂ＋ΔＢ）は偏向補正回路５に
入る。偏向補正回路５では先に入力された偏向量Ｘと前
記（Ｂｘ４Ｂ）とさらに予め前記偏向補正回路内に格納
されているシフト補正量ム、回転補正係数Ｃ１台形歪補
正係数Ｆｔ用いて補正後偏向量Ｘ′ヲ求める。偏向補正
回路５においては（２）式のような計算が行なわれる。
偏向補正回路６に入る。鵞た走査幅データは繰ル返し周
期算゛出回路８において繰）返し周期が求められる。繰
ｐ返し周期算出−路８にて求めら九た＃虻繰夛返し周期
はアドレスセレクタ１３によって周期に対応したアドレ
スに変換される。アドレスセレクタ１３の出力は偏向感
度補正メモリ１４のアドレスに入）、前記繰シ返し周期
に対応し大偏向感度補正値４Ｂを選択する。前記−向感
度補正メモ１７１４の出力すなわち偏向感度補正値ｉＢ
は偏向感度補正量調整回路１７に入シ、他の入力すなわ
ち、フィールドサイズ補正係数Ｂと前記偏向感度補正量
調整回路１７で加算される。偏向感度補正量調整回路１
７の出力信号すなわち（Ｂ＋ΔＢ）は偏向補正回路５に
入る。偏向補正回路５では先に入力された偏向量Ｘと前
記（Ｂｘ４Ｂ）とさらに予め前記偏向補正回路内に格納
されているシフト補正量ム、回転補正係数Ｃ１台形歪補
正係数Ｆｔ用いて補正後偏向量Ｘ′ヲ求める。偏向補正
回路５においては（２）式のような計算が行なわれる。
Ｘ−ム＋（１千Ｂ＋ΔＩＩ）Ｘ＋ＣＹ＋ＤＸＹ （
２）（２）式Ｆｉ（１）式の右辺＃！２項のＸの係数に
ｉＢが加わったものである。すなわち、ノＢが従来、走
査幅によって偏向感度が異なりてしまう一１ｉｔを補正
するも（５） のである。
２）（２）式Ｆｉ（１）式の右辺＃！２項のＸの係数に
ｉＢが加わったものである。すなわち、ノＢが従来、走
査幅によって偏向感度が異なりてしまう一１ｉｔを補正
するも（５） のである。
偏向補正回路５の出力すなわち補正後偏向量Ｘ′は偏向
アンプに入夛、偏向アンｌではＸ’０ ＠を増幅して偏
向コイル２４に出力すゐ。
アンプに入夛、偏向アンｌではＸ’０ ＠を増幅して偏
向コイル２４に出力すゐ。
実施例で＃ｉＸ軸のみＫついて説明したが、Ｙ軸も同様
にして行なうことがで龜る。そＯ場合には（３）式に示
す計算が偏向補正回路器で行なわれる。
にして行なうことがで龜る。そＯ場合には（３）式に示
す計算が偏向補正回路器で行なわれる。
Ｙ’−Ｅ＋（ＨＦ＋）Ｆ）Ｙ＋ＧＸ＋ ＨＸＹ
（３）第２図の本発明の実施例において、偏向
補正回路５の各係数Ａ、Ｃ，Ｄが予め格゛納されている
場合について説明したが、これは外部から入力すること
も可能である。さらにり■、り回路１１は繰シ返し周期
算出回路８０周期＃１９！におけるクロ。
（３）第２図の本発明の実施例において、偏向
補正回路５の各係数Ａ、Ｃ，Ｄが予め格゛納されている
場合について説明したが、これは外部から入力すること
も可能である。さらにり■、り回路１１は繰シ返し周期
算出回路８０周期＃１９！におけるクロ。
りを与えているものであ）、繰シ返し周期算出回路８内
に有することもできる。
に有することもできる。
以上、本発明の集施例會用いて本発＠を詳細にわたりて
説明した。本発明の電子ビーム偏向補正方式によれば、
走査密度によって決定される偏向信号の繰〕返し周期に
対応した偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査幅
の補正を行なうこと（６） によシ、高速走査が可能となる。
説明した。本発明の電子ビーム偏向補正方式によれば、
走査密度によって決定される偏向信号の繰〕返し周期に
対応した偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査幅
の補正を行なうこと（６） によシ、高速走査が可能となる。
第１図は走査線を示す図、第２図は零発−の実施例を示
す図である。 ３・・・走査信号発生回路、５・−偏向補正回路、８・
・・繰シ返し周期算出回路、１３−アドレスセレクタ、
１４・・・偏向感度補正メモリ、１７・・・偏向感度補
正量駒整回路。
す図である。 ３・・・走査信号発生回路、５・−偏向補正回路、８・
・・繰シ返し周期算出回路、１３−アドレスセレクタ、
１４・・・偏向感度補正メモリ、１７・・・偏向感度補
正量駒整回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）描−矩形の走査幅を決める走査信号発生手段と前記
走査信号の繰シ返し周期を算出する周期算出手段と前記
周期に対応した偏向感度の補正値ムるζ七を４１黴とす
る電子ビーム露光装置。 ２） 走査適度によりて決定される偏向信号の繰 −ｐ
返し周期に対応した予め求めたメモリに格納されて−る
偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査−の補正を
行なうことを特徴とする電子ビーム偏向補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104024A JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104024A JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS586132A true JPS586132A (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=14369682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56104024A Pending JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586132A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119199A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
| JPH07177599A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-07-14 | Ge Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子の製造方法及び超音波探触子 |
| DE202010018479U1 (de) | 2009-10-02 | 2017-01-10 | Tgw Mechanics Gmbh | Fördereinrichtung mit verbesserter Positionserkennung geförderter Objekte |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP56104024A patent/JPS586132A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60119199A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
| JPH051680B2 (ja) * | 1983-11-30 | 1993-01-08 | Yokokawa Medeikaru Shisutemu Kk | |
| JPH07177599A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-07-14 | Ge Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子の製造方法及び超音波探触子 |
| DE202010018479U1 (de) | 2009-10-02 | 2017-01-10 | Tgw Mechanics Gmbh | Fördereinrichtung mit verbesserter Positionserkennung geförderter Objekte |
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