JPS5850611Y2 - 保護用遮蔽体機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、Ｘ線分析を行なうための電子顕微鏡特に試料
加熱装置を装備した電子顕微鏡に適用される半導体Ｘ線
検出器に用いる保護用遮蔽体機構に関するもので、その
目的とするところは、試料を予め一定の高温に加熱させ
てＸ線分析を行なう場合に試料の加熱によりその試料よ
り飛散する高温物質や蒸気からべＩＪ ＩＪウム入射窓
及び半導体Ｘ線検出器を保護するにある。

従来はこのような検出器保護手段がなく、試料を加熱さ
せる場合には検出器を試料からできる限り離すか、ある
いは取りはずして保護しており、非常に不都合であった
。

そこで本考案はそのような不都合を解消し構造が簡単で
安価に製作できる保護用遮蔽体機構を提供するものであ
る。

以下本考案の実施例を図面に従って説明する。

第１図において１は電子顕微鏡内に設置された試料加熱
装置で、この上に載置された試料２に電子線３が照射さ
れ、この電子線３の照射によって試料２からはＸ線４が
放出される。

５は検出器外筒で、鏡筒６を貫通してその内部に移動自
在に挿入されている。

検出器外筒５とこの外筒５が貫通している鏡筒６の間に
は支持枠７の先端部８が挿入され、そしてこの支持枠先
端部８と検出器外筒５の間、及び支持枠先端部８と鏡筒
６の間にはそれぞれ鏡筒６の内側と外側との気密を保持
するためのＯリング９，１０が介装されている。

１１は液体窒素容器で、検出器外筒５の外端に固着され
且つ支持枠７に設けた移動機構１２に連結されている。

従って、移動機構１２を操作することにより検出器外筒
５は液体窒素容器１１と共に図中の矢印ａ又はｂ方向に
移動する。

１３は半導体Ｘ線検出器で、検出器外筒５内において冷
却棒１４の一端に固定されていて、試料２から放出され
たＸ線４がこの検出器１３によって検出された。

冷却棒１４の他端は容器１１に連結しである。

１５は本考案に係る保護用遮蔽体機構で、鏡筒６の内側
面に固着されたブラケット１６と、鏡筒６内に突入して
いる検出器外筒５の内端面を閉塞し得るような位置で前
記ブラケット１６に枢着された遮蔽板１７と、この遮蔽
板１７を外側つまり鏡筒６側に引張せしめると共に略垂
直位置に保持せしめるスプリング１８とで構成されてい
る。

検出器外筒５を移動機構１２により鏡筒６の内方へ移動
させると、遮蔽板１７は外筒５の内端で押動されて上向
きに回動し開の状態となり、逆に外筒５を外方へ移動さ
せるとスプリング１８により下向きに回動し、所定位置
で外筒５の内端面に当接して閉の状態となり、外筒５の
内部と試料加熱装置１との間を遮蔽することができる。

従って、Ｘ線分析を行う際、試料を予め加熱するときは
、検出器外筒５を移動機構１２により鏡筒６の外方へ十
分移動し、試料から離間させる。

これにより、遮蔽板１７が検出器外筒５の内端面に取付
けられたベリリウム窓１９をその外方から覆うようにな
り、試料の加熱初期に試料より発生される高温物質や蒸
気等の不純物が前記ベリリウム窓１９に付着したり誠意
１９に孔をあけたりすることが防止される。

そして、試料が所定温度になり、Ｘ線分析を行う場合は
、前記検出器外筒５を移動機構１２により鏡筒６の内方
へ移動させると、前記検出器外筒５の先端で押動されり
遮蔽板１７は上方に回動され、開の状態となるから、ベ
リリウム窓１９を通過してＸ線４が検出器１３に向って
進み、所定の分析が行なわれる。

第２図は保護用遮蔽体機構の別の実施例を示すものであ
る。

この実施例においては、検出器外筒５が検出器取付フラ
ンジ２０を介して鏡筒６内に斜め方向に移動可能に挿入
されており、そしてブラケット１６に枢着された遮蔽板
１７はスプリング１８により図中の実線の位置に保持さ
れ、このとき開の状態となり、検出器外筒５を図中の実
線の位置から仮想線の位置まで移動させると遮蔽板１７
は外筒５の先端で押動されて開の状態となる。

第１図、第２図に例示した保護用遮蔽体機構はいずれも
遮蔽板を鏡筒側に取付けたものであるが、本考案に係る
遮蔽板は検出器外筒に直接取付けてもよいのであり、そ
の実施例を第３図に示す。

第３図は検出器外筒５の先端に遮蔽板３７を揺動可能に
取付け、この遮蔽板３７の一端と鏡筒６との間にスプリ
ング２３を張設し、検出器外筒５の移動に応じて遮蔽板
２７の開閉を行なわせるようにしたものである。

以上説明したように本考案によれば、検出器外筒の内端
面を遮断するための遮蔽板を開閉自在に設け、且つ検出
器外筒を移動自在に設けて、その検出器外筒が試料から
離間する方向に移動すると前記遮蔽板が閉状態となるよ
うに構成したものであるから、試料を加熱させてＸ線分
析を行なう場合に試料から飛散する高温物質や蒸気等を
遮断し、ベリリウム窓及び半導体Ｘ線検出器を保護する
ことができる。

またこの遮蔽体機構は構造が簡素であるから安価に製作
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は本
考案の他の実施例を示す縦断面図、第３図はさらに他の
実施例を示す縦断面図である。 １・・・・・・試料加熱器、２・・・・・・試料、３・
・・・・・電子線、４・・・・・・Ｘ線、５・・・・・
・検出器外筒、６・・・・・・鏡筒、１３・・・・・・
半導体Ｘ線検出器、１５・・・・・・保護用遮蔽体機構
、１６・・・・・・ブラケット、１７．３７・・・・・
・遮蔽板、１８・・・・・・スプリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料加熱装置を装備した電子顕微鏡に適用される半導体
   Ｘ線検出器に用いる保護用遮蔽体機構であって、検出器
   を収納した検出器外筒の内端面を遮蔽するための遮蔽板
   を検出器外筒側又は鏡筒側に開閉自在に設け、且つ前記
   検出器外筒を移動自在に設けて、この検出器外筒が試料
   から離間する方向に移動すると前記遮蔽板が閉状態とな
   るように構成したことを特徴とする保護用遮蔽体機構。