JPH07105895A - エネルギー分散型ｘ線分析装置 - Google Patents
エネルギー分散型ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH07105895A JPH07105895A JP5249166A JP24916693A JPH07105895A JP H07105895 A JPH07105895 A JP H07105895A JP 5249166 A JP5249166 A JP 5249166A JP 24916693 A JP24916693 A JP 24916693A JP H07105895 A JPH07105895 A JP H07105895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample chamber
- ray
- sample
- bellows
- heat conducting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 title abstract 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 超高真空に排気された試料室の真空度を低下
させることなく試料の分析が行なえるエネルギー分散型
Ｘ線分析装置を提供すること。 【構成】 試料室２が焼き出しされる前に、軸１２が矢
印Ｂ方向に移動される。この結果、軸１２に取り付けら
れた移動体１３は支持台１１上を矢印Ｂ方向に移動す
る。移動体１３は保護パイプ４に固定されているので、
ベローズ５がＢ方向に伸び、ベローズ５より保護容器側
の保護パイプ４はＢ方向に移動する。この結果、熱伝導
棒８はＢ方向に移動し、Ｘ線検出素子９は試料室２から
引き出される。この状態でベイクヒータ３が加熱され、
試料室２と保護パイプの先端Ｐの焼き出しが行なわれ
る。焼き出し時、Ｘ線検出素子９は試料室２から引き出
されているので、Ｘ線検出素子が熱により破損すること
はなく、保護パイプ４の先端Ｐは焼き出しが行なわてい
るので、試料の分析時に試料室２の真空度は低下しな
い。
させることなく試料の分析が行なえるエネルギー分散型
Ｘ線分析装置を提供すること。 【構成】 試料室２が焼き出しされる前に、軸１２が矢
印Ｂ方向に移動される。この結果、軸１２に取り付けら
れた移動体１３は支持台１１上を矢印Ｂ方向に移動す
る。移動体１３は保護パイプ４に固定されているので、
ベローズ５がＢ方向に伸び、ベローズ５より保護容器側
の保護パイプ４はＢ方向に移動する。この結果、熱伝導
棒８はＢ方向に移動し、Ｘ線検出素子９は試料室２から
引き出される。この状態でベイクヒータ３が加熱され、
試料室２と保護パイプの先端Ｐの焼き出しが行なわれ
る。焼き出し時、Ｘ線検出素子９は試料室２から引き出
されているので、Ｘ線検出素子が熱により破損すること
はなく、保護パイプ４の先端Ｐは焼き出しが行なわてい
るので、試料の分析時に試料室２の真空度は低下しな
い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明はエネルギー分散型Ｘ線
分析装置に関し、更に詳しくは、熱伝導棒を覆う保護パ
イプを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置に関する。
分析装置に関し、更に詳しくは、熱伝導棒を覆う保護パ
イプを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料に電子線を照射し、試料から発生す
る特性Ｘ線をエネルギー分散型Ｘ線検出器で検出し、試
料の分析を行なう装置がエネルギー分散型Ｘ線分析装置
（ＥＤＳ）である。前記試料は超高真空に排気された試
料室にセットされて分析が行なわれ、試料室は超高真空
を得るために焼き出しが行なわれる。ＥＤＳのＸ線検出
素子は熱に弱いので、試料室を焼き出しする際には、Ｅ
ＤＳ検出器は試料室から取り外される。
る特性Ｘ線をエネルギー分散型Ｘ線検出器で検出し、試
料の分析を行なう装置がエネルギー分散型Ｘ線分析装置
（ＥＤＳ）である。前記試料は超高真空に排気された試
料室にセットされて分析が行なわれ、試料室は超高真空
を得るために焼き出しが行なわれる。ＥＤＳのＸ線検出
素子は熱に弱いので、試料室を焼き出しする際には、Ｅ
ＤＳ検出器は試料室から取り外される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】試料の分析が行なわれ
る時点で、ＥＤＳ検出器は試料室にセットされる。試料
室にセットされるのは、熱伝導棒を覆う保護パイプの部
分である。この保護パイプは焼き出しが行なわれていな
いので保護パイプからガスが発生し、試料室の真空度は
低下してしまう。
る時点で、ＥＤＳ検出器は試料室にセットされる。試料
室にセットされるのは、熱伝導棒を覆う保護パイプの部
分である。この保護パイプは焼き出しが行なわれていな
いので保護パイプからガスが発生し、試料室の真空度は
低下してしまう。
【０００４】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、超高真空に排気された試料室の真空
度を低下させることなく試料の分析が行なえるエネルギ
ー分散型Ｘ線分析装置を提供することにある。
ので、その目的は、超高真空に排気された試料室の真空
度を低下させることなく試料の分析が行なえるエネルギ
ー分散型Ｘ線分析装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する第
１の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分析装置は、試料室
と、一端が冷却槽に接続された熱伝導棒と、該熱伝導棒
の他端に接続されたＸ線検出素子と、前記熱伝導棒との
間に間隙を有して該熱伝導棒を覆う保護パイプとを備え
たエネルギー分散型Ｘ線分析装置において、前記保護パ
イプは一端が前記試料室に挿入されて該試料室に固定さ
れ、且つ一部あるいは全体がベローズで形成されてお
り、前記保護パイプを伸縮させる手段を備えたことを特
徴としている。第２の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分
析装置は、試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝導
棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたＸ線検出素子と、
前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆う保
護パイプとを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置にお
いて、前記保護パイプは一部あるいは全体が第１のベロ
ーズで形成されており、一端が前記保護パイプの側面に
接続され他端が前記試料室に接続された第２のベローズ
と、前記保護パイプを伸縮させる手段と、前記第２のベ
ローズを伸縮させる手段とを備えたことを特徴としてい
る。
１の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分析装置は、試料室
と、一端が冷却槽に接続された熱伝導棒と、該熱伝導棒
の他端に接続されたＸ線検出素子と、前記熱伝導棒との
間に間隙を有して該熱伝導棒を覆う保護パイプとを備え
たエネルギー分散型Ｘ線分析装置において、前記保護パ
イプは一端が前記試料室に挿入されて該試料室に固定さ
れ、且つ一部あるいは全体がベローズで形成されてお
り、前記保護パイプを伸縮させる手段を備えたことを特
徴としている。第２の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分
析装置は、試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝導
棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたＸ線検出素子と、
前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆う保
護パイプとを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置にお
いて、前記保護パイプは一部あるいは全体が第１のベロ
ーズで形成されており、一端が前記保護パイプの側面に
接続され他端が前記試料室に接続された第２のベローズ
と、前記保護パイプを伸縮させる手段と、前記第２のベ
ローズを伸縮させる手段とを備えたことを特徴としてい
る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図面を参照して詳しく説明す
る。
る。
【０００７】図１，２は本発明の実施例として示したエ
ネルギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。図１は試
料室の焼き出しを行なっている時の図で、図２は試料を
ＥＤＳ検出器を用いて分析している時の図である。１は
電子光学系を備えた鏡筒、２は試料室である。３は焼き
出しヒータで、試料室を焼き出しする際に加熱される。
４は保護パイプで、保護パイプ４は先端Ｐが試料室２に
挿入された状態で試料室２の側壁に固定されている。５
は弾性体であるベローズである。６は冷却槽７の中に入
れられた液体窒素である。８は熱伝導棒で、熱伝導棒の
一端は冷却槽７に接続され、他端にはＸ線検出素子９が
取り付けられている。１０は保護容器である。１１は一
端が試料室２に固定された支持台である。Ｏは支持台１
１に開けられた孔で、軸１２は孔Ｏを貫通して保護パイ
プに固定された移動体１３に取り付けられている。軸１
２を図中矢印方向に移動させると、移動体１３は支持台
１１上をその矢印方向に移動する。
ネルギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。図１は試
料室の焼き出しを行なっている時の図で、図２は試料を
ＥＤＳ検出器を用いて分析している時の図である。１は
電子光学系を備えた鏡筒、２は試料室である。３は焼き
出しヒータで、試料室を焼き出しする際に加熱される。
４は保護パイプで、保護パイプ４は先端Ｐが試料室２に
挿入された状態で試料室２の側壁に固定されている。５
は弾性体であるベローズである。６は冷却槽７の中に入
れられた液体窒素である。８は熱伝導棒で、熱伝導棒の
一端は冷却槽７に接続され、他端にはＸ線検出素子９が
取り付けられている。１０は保護容器である。１１は一
端が試料室２に固定された支持台である。Ｏは支持台１
１に開けられた孔で、軸１２は孔Ｏを貫通して保護パイ
プに固定された移動体１３に取り付けられている。軸１
２を図中矢印方向に移動させると、移動体１３は支持台
１１上をその矢印方向に移動する。
【０００８】このような構成の動作は以下の通りであ
る。
る。
【０００９】まず、試料室２が焼き出しされる場合の動
作を図１を参照して説明する。試料室２が焼き出しされ
る前に、軸１２が矢印Ｂ方向に移動される。この結果、
軸１２に取り付けられた移動体１３は支持台１１上を矢
印Ｂ方向に移動する。前述したように、移動体１３は保
護パイプ４に固定されているので、ベローズ５がＢ方向
に伸び、ベローズ５より保護容器側の保護パイプ４はＢ
方向に移動する。この結果、熱伝導棒８はＢ方向に移動
し、Ｘ線検出素子９は試料室２から引き出される。この
状態で焼き出しヒータ３が加熱され、試料室２と保護パ
イプの先端Ｐの焼き出しが行なわれる。焼き出し時、Ｘ
線検出素子９は試料室２から引き出されているので、Ｘ
線検出素子が熱により破損することはない。
作を図１を参照して説明する。試料室２が焼き出しされ
る前に、軸１２が矢印Ｂ方向に移動される。この結果、
軸１２に取り付けられた移動体１３は支持台１１上を矢
印Ｂ方向に移動する。前述したように、移動体１３は保
護パイプ４に固定されているので、ベローズ５がＢ方向
に伸び、ベローズ５より保護容器側の保護パイプ４はＢ
方向に移動する。この結果、熱伝導棒８はＢ方向に移動
し、Ｘ線検出素子９は試料室２から引き出される。この
状態で焼き出しヒータ３が加熱され、試料室２と保護パ
イプの先端Ｐの焼き出しが行なわれる。焼き出し時、Ｘ
線検出素子９は試料室２から引き出されているので、Ｘ
線検出素子が熱により破損することはない。
【００１０】次に、試料が分析される場合の動作を図２
を参照して説明する。図２において１４は試料である。
まず、軸１２が矢印Ａ方向に移動される。この移動に伴
ない、ベローズ５がＡ方向に縮み、ベローズ５より保護
容器側の保護パイプ４がＡ方向に移動する。この結果、
熱伝導棒８に取り付けられているＸ線検出素子９は、保
護パイプ４の先端ＰのＸ線分析位置まで挿入される。そ
して、試料室２が超高真空に排気され、試料１４に電子
線が照射されて試料のＸ線分析が行なわれる。Ｘ線検出
素子９で検出された信号は分析回路（図示せず）に送ら
れ、試料１４の分析が行なわれる。保護パイプ４の先端
Ｐは焼き出しが行なわれているので、試料室２の真空度
は低下しない。
を参照して説明する。図２において１４は試料である。
まず、軸１２が矢印Ａ方向に移動される。この移動に伴
ない、ベローズ５がＡ方向に縮み、ベローズ５より保護
容器側の保護パイプ４がＡ方向に移動する。この結果、
熱伝導棒８に取り付けられているＸ線検出素子９は、保
護パイプ４の先端ＰのＸ線分析位置まで挿入される。そ
して、試料室２が超高真空に排気され、試料１４に電子
線が照射されて試料のＸ線分析が行なわれる。Ｘ線検出
素子９で検出された信号は分析回路（図示せず）に送ら
れ、試料１４の分析が行なわれる。保護パイプ４の先端
Ｐは焼き出しが行なわれているので、試料室２の真空度
は低下しない。
【００１１】以上本発明の一実施例を説明したが、他に
も種々の実施例が考えられる。図３，４はその他の実施
例を説明するために示したものである。試料室２の焼き
出しが行なわれる際、Ｘ線検出素子９は試料室２から引
き出されるが、その引き出す距離を長くすればするほど
Ｘ線検出素子を熱から遮断することができる。図３，４
に示した構成においては、この距離を長くとらずにＸ線
検出素子を熱から遮断することができる。図３におい
て、１５は断熱用シャッターで、試料室２の焼き出しが
行なわれる際にシャッターが閉じられる。図４におい
て、１６はゲートバルブで、試料室２の焼き出しが行な
われる際にバルブが閉じられる。１７は真空ポンプで、
試料室２の焼き出しが行なわれる際に発生するガスは、
真空ポンプ１７により排気される。このように、シャッ
ターやバルブを設けると、Ｘ線検出素子９が試料室内で
発生するガスに汚染されないという効果を達成すること
ができる。
も種々の実施例が考えられる。図３，４はその他の実施
例を説明するために示したものである。試料室２の焼き
出しが行なわれる際、Ｘ線検出素子９は試料室２から引
き出されるが、その引き出す距離を長くすればするほど
Ｘ線検出素子を熱から遮断することができる。図３，４
に示した構成においては、この距離を長くとらずにＸ線
検出素子を熱から遮断することができる。図３におい
て、１５は断熱用シャッターで、試料室２の焼き出しが
行なわれる際にシャッターが閉じられる。図４におい
て、１６はゲートバルブで、試料室２の焼き出しが行な
われる際にバルブが閉じられる。１７は真空ポンプで、
試料室２の焼き出しが行なわれる際に発生するガスは、
真空ポンプ１７により排気される。このように、シャッ
ターやバルブを設けると、Ｘ線検出素子９が試料室内で
発生するガスに汚染されないという効果を達成すること
ができる。
【００１２】以上説明した実施例においては、保護パイ
プの先端Ｐは試料室に挿入された状態で試料室に固定さ
れている。このため、他の検出器を試料室内に設置する
場合、そのスペースを確保することができない場合があ
る。図５はこの問題点を解決する実施例を示しており、
前記符号と同一の符号を付したものは同一構成要素であ
る。図５は試料室の焼き出しを行なっている時の図、図
６は試料をＥＤＳ検出器を用いて分析している時の図、
図７はＥＤＳ検出器を試料室から完全に後退させている
時の図である。２１はベローズで、ベローズ２１の一端
は保護パイプ４に接続され、他端は試料室２に接続され
ている。２２は保護パイプ４に固定された移動体で、軸
２３が移動体２２に接続されている。２４は軸で、軸２
４は支持台の孔Ｏ と移動体２２の孔Ｏ を貫通して
移動体２５に接続されている。
プの先端Ｐは試料室に挿入された状態で試料室に固定さ
れている。このため、他の検出器を試料室内に設置する
場合、そのスペースを確保することができない場合があ
る。図５はこの問題点を解決する実施例を示しており、
前記符号と同一の符号を付したものは同一構成要素であ
る。図５は試料室の焼き出しを行なっている時の図、図
６は試料をＥＤＳ検出器を用いて分析している時の図、
図７はＥＤＳ検出器を試料室から完全に後退させている
時の図である。２１はベローズで、ベローズ２１の一端
は保護パイプ４に接続され、他端は試料室２に接続され
ている。２２は保護パイプ４に固定された移動体で、軸
２３が移動体２２に接続されている。２４は軸で、軸２
４は支持台の孔Ｏ と移動体２２の孔Ｏ を貫通して
移動体２５に接続されている。
【００１３】このような構成において、試料室の焼き出
しが行なわれる際、軸２３がＢ方向に移動してベローズ
５が伸び、Ｘ線検出素子９が試料室から引き出される。
また、試料の分析が行なわれる際、軸２３がＡ方向に移
動してベローズ５が縮み、Ｘ線検出素子９が試料室の分
析位置に移動する。また、軸２３，２４がＢ方向に移動
すると、ベローズ５，２１が共に伸び、ＥＤＳ検出器は
試料室２から完全に後退する。 なお、前記実施例にお
いて、保護パイプの一部を弾性体としたが、保護パイプ
全体を弾性体としてもよい。
しが行なわれる際、軸２３がＢ方向に移動してベローズ
５が伸び、Ｘ線検出素子９が試料室から引き出される。
また、試料の分析が行なわれる際、軸２３がＡ方向に移
動してベローズ５が縮み、Ｘ線検出素子９が試料室の分
析位置に移動する。また、軸２３，２４がＢ方向に移動
すると、ベローズ５，２１が共に伸び、ＥＤＳ検出器は
試料室２から完全に後退する。 なお、前記実施例にお
いて、保護パイプの一部を弾性体としたが、保護パイプ
全体を弾性体としてもよい。
【００１４】
【発明の効果】第１の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分
析装置は、保護パイプの先端が試料室に挿入されて試料
室に固定され、その保護パイプの一部あるいは全体がベ
ローズで形成されており、試料室を焼き出しする際には
ベローズが伸びてＸ線検出素子が試料室から引き出さ
れ、試料を分析する際にはベローズが縮んでＸ線検出素
子が試料室に挿入されるので、試料室を焼きだしする際
に保護パイプの先端も焼きだしが行われ、試料を分析す
る際に試料室の真空度が低下することはなく、また、焼
き出しの際の熱によりＸ線検出素子が破損することはな
い。第２の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分析装置にお
いては、保護パイプと第２のベローズの伸縮量が制御さ
れて試料室に対するＸ線検出素子の位置、および保護パ
イプの先端の位置が変化するので、保護パイプを試料室
から後退させることができ、他の検出器を試料室に設置
するスペースを確保することができる。
析装置は、保護パイプの先端が試料室に挿入されて試料
室に固定され、その保護パイプの一部あるいは全体がベ
ローズで形成されており、試料室を焼き出しする際には
ベローズが伸びてＸ線検出素子が試料室から引き出さ
れ、試料を分析する際にはベローズが縮んでＸ線検出素
子が試料室に挿入されるので、試料室を焼きだしする際
に保護パイプの先端も焼きだしが行われ、試料を分析す
る際に試料室の真空度が低下することはなく、また、焼
き出しの際の熱によりＸ線検出素子が破損することはな
い。第２の本発明のエネルギー分散型Ｘ線分析装置にお
いては、保護パイプと第２のベローズの伸縮量が制御さ
れて試料室に対するＸ線検出素子の位置、および保護パ
イプの先端の位置が変化するので、保護パイプを試料室
から後退させることができ、他の検出器を試料室に設置
するスペースを確保することができる。
【図１】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図２】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図３】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図４】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図５】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図６】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
【図７】本発明の実施例を説明するために示したエネル
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
ギー分散型Ｘ線分析装置の概略図である。
１ 鏡筒 ２ 試料室 ３ 焼き出しヒータ ４ 保護パイプ ５，２１ ベローズ ６ 液体窒素 ７ 冷却槽 ８ 熱伝導棒 ９ Ｘ線検出素子 １０ 保護容器 １１ 支持台 １２，２３，２４ 軸 １３，２２，２５ 移動体 １４ 試料 １５ 断熱用シャッター １６ ゲートバルブ １７ 真空ポンプ
Claims (2)
- 【請求項１】試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝
導棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたＸ線検出素子
と、前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆
う保護パイプとを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置
において、前記保護パイプは一端が前記試料室に挿入さ
れて該試料室に固定され、且つ一部あるいは全体がベロ
ーズで形成されており、前記保護パイプを伸縮させる手
段を備えたことを特徴とするエネルギー分散型Ｘ線分析
装置。 - 【請求項２】試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝
導棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたＸ線検出素子
と、前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆
う保護パイプとを備えたエネルギー分散型Ｘ線分析装置
において、前記保護パイプは一部あるいは全体が第１の
ベローズで形成されており、一端が前記保護パイプの側
面に接続され他端が前記試料室に接続された第２のベロ
ーズと、前記保護パイプを伸縮させる手段と、前記第２
のベローズを伸縮させる手段とを備えたことを特徴とす
るエネルギー分散型Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24916693A JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24916693A JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07105895A true JPH07105895A (ja) | 1995-04-21 |
| JP3160131B2 JP3160131B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17188895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24916693A Expired - Fee Related JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3160131B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013513215A (ja) * | 2009-12-07 | 2013-04-18 | オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド | Ｘ線分析器 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3907121B2 (ja) * | 2004-02-26 | 2007-04-18 | 株式会社リガク | Ｘ線分析装置およびｘ線分析装置用通路装置 |
| KR102315973B1 (ko) * | 2019-11-01 | 2021-10-21 | 대한민국 | 무인 비행체 운반용 고정 장치 및 이를 포함하는 무인 비행체 운반 시스템 |
-
1993
- 1993-10-05 JP JP24916693A patent/JP3160131B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013513215A (ja) * | 2009-12-07 | 2013-04-18 | オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド | Ｘ線分析器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3160131B2 (ja) | 2001-04-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5376791A (en) | Secondary ion mass spectometry system | |
| CN106970173B (zh) | 产生气体分析方法以及产生气体分析装置 | |
| JP5276921B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH07105895A (ja) | エネルギー分散型ｘ線分析装置 | |
| KR102043895B1 (ko) | 전계 방사 장치 및 재생 처리 방법 | |
| JPS62218846A (ja) | 線形配列検出器を位置ぎめする方法 | |
| Brunner et al. | Linear servomotor probe drive system with real-time self-adaptive position control for the Alcator C-Mod tokamak | |
| KR102051178B1 (ko) | 발생 가스 분석 장치 및 발생 가스 분석 방법 | |
| EP0715767B1 (en) | Mechanical shutter for protecting an x-ray detector against high-energy electron or x-ray damage | |
| US5569837A (en) | Detector apparatus of desorption gas and method therefore | |
| EP3113208A1 (en) | Electron microscope | |
| JP4079503B2 (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| CN219694963U (zh) | 车载检测设备及车辆 | |
| JP4245178B2 (ja) | Ｘ線ｃｔ装置 | |
| JP3832965B2 (ja) | 荷電粒子ビーム露光装置 | |
| JPH05258707A (ja) | エネルギー分散型ｘ線分析装置 | |
| JPS6297246A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JP2011149743A (ja) | 昇降装置および狭隘部検査システム、並びに原子炉圧力容器のボトムドレン配管のベンド部検査方法 | |
| CN208420862U (zh) | 一种快速元素成分分析仪 | |
| JPH0548357Y2 (ja) | ||
| JPH0511099U (ja) | 電子線照射装置 | |
| JP2000260378A (ja) | 電子線装置 | |
| JP2677649B2 (ja) | Ｘ線透視検査装置 | |
| JPH0642945A (ja) | Ｘ線を用いた電力ケーブルの内部検査方法 | |
| JP3604924B2 (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010123 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090216 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130216 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |