JP3160131B2 - エネルギー分散型x線分析装置 - Google Patents
エネルギー分散型x線分析装置Info
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 claims 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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Description
分析装置に関し、更に詳しくは、熱伝導棒を覆う保護パ
イプを備えたエネルギー分散型X線分析装置に関する。
る特性X線をエネルギー分散型X線検出器で検出し、試
料の分析を行なう装置がエネルギー分散型X線分析装置
(EDS)である。前記試料は超高真空に排気された試
料室にセットされて分析が行なわれ、試料室は超高真空
を得るために焼き出しが行なわれる。EDSのX線検出
素子は熱に弱いので、試料室を焼き出しする際には、E
DS検出器は試料室から取り外される。
る時点で、EDS検出器は試料室にセットされる。試料
室にセットされるのは、熱伝導棒を覆う保護パイプの部
分である。この保護パイプは焼き出しが行なわれていな
いので保護パイプからガスが発生し、試料室の真空度は
低下してしまう。
ので、その目的は、超高真空に排気された試料室の真空
度を低下させることなく試料の分析が行なえるエネルギ
ー分散型X線分析装置を提供することにある。
1の本発明のエネルギー分散型X線分析装置は、試料室
と、一端が冷却槽に接続された熱伝導棒と、該熱伝導棒
の他端に接続されたX線検出素子と、前記熱伝導棒との
間に間隙を有して該熱伝導棒を覆う保護パイプとを備え
たエネルギー分散型X線分析装置において、前記保護パ
イプは先端が前記試料室に挿入されて該試料室に固定さ
れ、且つ一部あるいは全体がべローズで形成されてお
り、前記保護パイプを伸縮させて、前記X線検出素子の
前記保護パイプ先端に対する位置を変える手段を備えた
ことを特徴としている。第2の本発明のエネルギー分散
型X線分析装置は、試料室と、一端が冷却槽に接続され
た熱伝導棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたX線検出
素子と、前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒
を覆う保護パイプとを備えたエネルギー分散型X線分析
装置において、前記保護パイプは一部あるいは全体が第
1のベローズで形成されており、一端が前記保護パイプ
の側面に接続され他端が前記試料室に接続された第2の
ベローズと、前記保護パイプを伸縮させて、前記X線検
出素子の保護パイプ先端に対する位置を変える手段と、
前記第2のベローズを伸縮させる手段とを備えたことを
特徴としている。
る。
ネルギー分散型X線分析装置の概略図である。図1は試
料室の焼き出しを行なっている時の図で、図2は試料を
EDS検出器を用いて分析している時の図である。1は
電子光学系を備えた鏡筒、2は試料室である。3は焼き
出しヒータで、試料室を焼き出しする際に加熱される。
4は保護パイプで、保護パイプ4は先端Pが試料室2に
挿入された状態で試料室2の側壁に固定されている。5
は弾性体であるベローズである。6は冷却槽7の中に入
れられた液体窒素である。8は熱伝導棒で、熱伝導棒の
一端は冷却槽7に接続され、他端にはX線検出素子9が
取り付けられている。10は保護容器である。11は一
端が試料室2に固定された支持台である。Oは支持台1
1に開けられた孔で、軸12は孔Oを貫通して保護パイ
プに固定された移動体13に取り付けられている。軸1
2を図中矢印方向に移動させると、移動体13は支持台
11上をその矢印方向に移動する。
る。
作を図1を参照して説明する。試料室2が焼き出しされ
る前に、軸12が矢印B方向に移動される。この結果、
軸12に取り付けられた移動体13は支持台11上を矢
印B方向に移動する。前述したように、移動体13は保
護パイプ4に固定されているので、ベローズ5がB方向
に伸び、ベローズ5より保護容器側の保護パイプ4はB
方向に移動する。この結果、熱伝導棒8はB方向に移動
し、X線検出素子9は試料室2から引き出される。この
状態で焼き出しヒータ3が加熱され、試料室2と保護パ
イプの先端Pの焼き出しが行なわれる。焼き出し時、X
線検出素子9は試料室2から引き出されているので、X
線検出素子が熱により破損することはない。
を参照して説明する。図2において14は試料である。
まず、軸12が矢印A方向に移動される。この移動に伴
ない、ベローズ5がA方向に縮み、ベローズ5より保護
容器側の保護パイプ4がA方向に移動する。この結果、
熱伝導棒8に取り付けられているX線検出素子9は、保
護パイプ4の先端PのX線分析位置まで挿入される。そ
して、試料室2が超高真空に排気され、試料14に電子
線が照射されて試料のX線分析が行なわれる。X線検出
素子9で検出された信号は分析回路(図示せず)に送ら
れ、試料14の分析が行なわれる。保護パイプ4の先端
Pは焼き出しが行なわれているので、試料室2の真空度
は低下しない。
も種々の実施例が考えられる。図3,4はその他の実施
例を説明するために示したものである。試料室2の焼き
出しが行なわれる際、X線検出素子9は試料室2から引
き出されるが、その引き出す距離を長くすればするほど
X線検出素子を熱から遮断することができる。図3,4
に示した構成においては、この距離を長くとらずにX線
検出素子を熱から遮断することができる。図3におい
て、15は断熱用シャッターで、試料室2の焼き出しが
行なわれる際にシャッターが閉じられる。図4におい
て、16はゲートバルブで、試料室2の焼き出しが行な
われる際にバルブが閉じられる。17は真空ポンプで、
試料室2の焼き出しが行なわれる際に発生するガスは、
真空ポンプ17により排気される。このように、シャッ
ターやバルブを設けると、X線検出素子9が試料室内で
発生するガスに汚染されないという効果を達成すること
ができる。
プの先端Pは試料室に挿入された状態で試料室に固定さ
れている。このため、他の検出器を試料室内に設置する
場合、そのスペースを確保することができない場合があ
る。図5はこの問題点を解決する実施例を示しており、
前記符号と同一の符号を付したものは同一構成要素であ
る。図5は試料室の焼き出しを行なっている時の図、図
6は試料をEDS検出器を用いて分析している時の図、
図7はEDS検出器を試料室から完全に後退させている
時の図である。21はベローズで、ベローズ21の一端
は保護パイプ4に接続され、他端は試料室2に接続され
ている。22は保護パイプ4に固定された移動体で、軸
23が移動体22に接続されている。24は軸で、軸2
4は支持台の孔O と移動体22の孔O を貫通して
移動体25に接続されている。
しが行なわれる際、軸23がB方向に移動してベローズ
5が伸び、X線検出素子9が試料室から引き出される。
また、試料の分析が行なわれる際、軸23がA方向に移
動してベローズ5が縮み、X線検出素子9が試料室の分
析位置に移動する。また、軸23,24がB方向に移動
すると、ベローズ5,21が共に伸び、EDS検出器は
試料室2から完全に後退する。 なお、前記実施例にお
いて、保護パイプの一部を弾性体としたが、保護パイプ
全体を弾性体としてもよい。
析装置は、保護パイプの先端が試料室に挿入されて試料
室に固定され、その保護パイプの一部あるいは全体がベ
ローズで形成されており、試料室を焼き出しする際には
ベローズが伸びてX線検出素子が試料室から引き出さ
れ、試料を分析する際にはベローズが縮んでX線検出素
子が試料室に挿入されるので、試料室を焼きだしする際
に保護パイプの先端も焼きだしが行われ、試料を分析す
る際に試料室の真空度が低下することはなく、また、焼
き出しの際の熱によりX線検出素子が破損することはな
い。第2の本発明のエネルギー分散型X線分析装置にお
いては、保護パイプと第2のベローズの伸縮量が制御さ
れて試料室に対するX線検出素子の位置、および保護パ
イプの先端の位置が変化するので、保護パイプを試料室
から後退させることができ、他の検出器を試料室に設置
するスペースを確保することができる。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
ギー分散型X線分析装置の概略図である。
Claims (2)
- 【請求項1】試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝
導棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたX線検出素子
と、前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆
う保護パイプとを備えたエネルギー分散型X線分析装置
において、前記保護パイプは先端が前記試料室に挿入さ
れて該試料室に固定され、且つ一部あるいは全体がべロ
ーズで形成されており、前記保護パイプを伸縮させて、
前記X線検出素子の前記保護パイプ先端に対する位置を
変える手段を備えたことを特徴とするエネルギー分散型
X線分析装置。 - 【請求項2】試料室と、一端が冷却槽に接続された熱伝
導棒と、該熱伝導棒の他端に接続されたX線検出素子
と、前記熱伝導棒との間に間隙を有して該熱伝導棒を覆
う保護パイプとを備えたエネルギー分散型X線分析装置
において、前記保護パイプは一部あるいは全体が第1の
ベローズで形成されており、一端が前記保護パイプの側
面に接続され他端が前記試料室に接続された第2のベロ
ーズと、前記保護パイプを伸縮させて、前記X線検出素
子の保護パイプ先端に対する位置を変える手段と、前記
第2のベローズを伸縮させる手段とを備えたことを特徴
とするエネルギー分散型X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24916693A JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24916693A JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07105895A JPH07105895A (ja) | 1995-04-21 |
JP3160131B2 true JP3160131B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17188895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24916693A Expired - Fee Related JP3160131B2 (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | エネルギー分散型x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3160131B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005241414A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Rigaku Corp | X線分析装置およびx線分析装置用通路装置 |
KR102315973B1 (ko) * | 2019-11-01 | 2021-10-21 | 대한민국 | 무인 비행체 운반용 고정 장치 및 이를 포함하는 무인 비행체 운반 시스템 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5760004B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2015-08-05 | オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド | X線分析器 |
-
1993
- 1993-10-05 JP JP24916693A patent/JP3160131B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH07105895A (ja) | 1995-04-21 |
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