JPS5850478A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPS5850478A JPS5850478A JP56147899A JP14789981A JPS5850478A JP S5850478 A JPS5850478 A JP S5850478A JP 56147899 A JP56147899 A JP 56147899A JP 14789981 A JP14789981 A JP 14789981A JP S5850478 A JPS5850478 A JP S5850478A
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- JP
- Japan
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- inspected
- article
- controller
- data
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、検査装置に関する。
従来、各種半導体装置の信頼性評価方法は、温度、湿度
、振動、逆バイアス電圧、サージ電圧等の各種ストレス
を単独で与えて、必１１に応じてそれぞれのストレスに
対する性能評価を行なうものである。
、振動、逆バイアス電圧、サージ電圧等の各種ストレス
を単独で与えて、必１１に応じてそれぞれのストレスに
対する性能評価を行なうものである。
ところが、自動車用の各種半導体装置、例えばトランジ
スタ、ダイオード、サーミスタ、混成集積回路装置、モ
ノリシック半導体集積回路装置のように、その実使用状
態での環境条件、電気的条件が複雑に複合しながらそれ
ぞれが変化するものに対して、上記の信頼性評価方法で
は次のような欠点があることが判明した。
スタ、ダイオード、サーミスタ、混成集積回路装置、モ
ノリシック半導体集積回路装置のように、その実使用状
態での環境条件、電気的条件が複雑に複合しながらそれ
ぞれが変化するものに対して、上記の信頼性評価方法で
は次のような欠点があることが判明した。
例えば、実使用時における高温度で振動時のみ半断線と
なる不良、低温度でのみリーク電流が増大する水分リー
ク不良等が検出されない。
なる不良、低温度でのみリーク電流が増大する水分リー
ク不良等が検出されない。
また、実使用状態に近似した条件を単独で作り出して評
価を行なうものであるため、多くの試験項目が必要とな
り、長時間を費いやしてしまう。
価を行なうものであるため、多くの試験項目が必要とな
り、長時間を費いやしてしまう。
さらに、被検査装置の総合的な良、不良の判断は、上記
多数の試験項目のデータを収集してから行なわれるもの
である。したがって、被検査品再チェックの必要がある
場合には、上記ストレスを再び作り出さなければならな
く、めんどうであるとともに、準備作業等の無駄時間が
多くなる。
多数の試験項目のデータを収集してから行なわれるもの
である。したがって、被検査品再チェックの必要がある
場合には、上記ストレスを再び作り出さなければならな
く、めんどうであるとともに、準備作業等の無駄時間が
多くなる。
この発明の目的は、信頼性の高い性能評価を実現した検
査装置を提供することにある。
査装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、試験時間の短縮化を図った検査
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、総合的な良否判定を速やかに行
なうことができる検査装置を提供することにある。
なうことができる検査装置を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、以下の説明及び図面から
明らかになるであろう。
明らかになるであろう。
以下、この発明を実施例とともに詳細に説明する。
図面は、この発明の一実施例を示すブロック図である。
１は、チェンバー、加振器であり、被検査品（図示せず
）に対して、任意の温度、湿度及び振動の環境条件を作
り出すものである。２は、上記被検査品に対して各種動
作試験のための電気信号の授受を行なうテスタである。
）に対して、任意の温度、湿度及び振動の環境条件を作
り出すものである。２は、上記被検査品に対して各種動
作試験のための電気信号の授受を行なうテスタである。
このテスタ２は特に制限されないが、上記動作試験のた
めの信号が内蔵するプログラムに従って作り出すもので
ある。
めの信号が内蔵するプログラムに従って作り出すもので
ある。
３は、上記被検査品に与える逆バイアス電圧を形成する
逆バイアス電圧発生装置である。４は、上記被検査品に
与えるサージ電圧を形成するサージ電圧発生装置である
。これらの２ないし４の各装置によって、被検査品に対
する任意の電気的条件が作り出される。
逆バイアス電圧発生装置である。４は、上記被検査品に
与えるサージ電圧を形成するサージ電圧発生装置である
。これらの２ないし４の各装置によって、被検査品に対
する任意の電気的条件が作り出される。
５は、スキャナであり、一方においてケーブル及びソケ
ット等により上記チェンバー、加振器１内の複数の被検
査装置と接続されている。また他方においては、上記電
気的条件を作り出す各製雪２ないし４と、ケーブルによ
って接続されている。
ット等により上記チェンバー、加振器１内の複数の被検
査装置と接続されている。また他方においては、上記電
気的条件を作り出す各製雪２ないし４と、ケーブルによ
って接続されている。
そして、上記スキャナ５は複数の被検査品の任意の１つ
を選び、上記電気的条件を作り出す各装置２ないし４に
接続するものである。
を選び、上記電気的条件を作り出す各装置２ないし４に
接続するものである。
コントローラ６は、特に制限されないが、マイクロコン
ピュータシステムによって構成されており、所定のプロ
グラムに従って、チェンバー、加振器１を制御して、被
検査品の温度、湿度及び振動条件を複合的に作り出す。
ピュータシステムによって構成されており、所定のプロ
グラムに従って、チェンバー、加振器１を制御して、被
検査品の温度、湿度及び振動条件を複合的に作り出す。
また、コントローラ６は、所定のプログラムに従って、
スキャナ５を制御して、被検査品へ動作試験信号、逆バ
イアス電圧及びサージ電圧を与える。これらの環境条件
及び電気的条件は、上記プログラムに従って被検査品の
実使用状態に近似した、又は考えられるすべての組み合
せが時系列的に作り出されるものである。
スキャナ５を制御して、被検査品へ動作試験信号、逆バ
イアス電圧及びサージ電圧を与える。これらの環境条件
及び電気的条件は、上記プログラムに従って被検査品の
実使用状態に近似した、又は考えられるすべての組み合
せが時系列的に作り出されるものである。
上記条件下での被検査品からの測定データは、テスタ２
が受けて、コントローラ６に送出するものである。した
がって、コントローラ６は、これらのデータを収録する
とともに、必要に応じて演算等のデータ処理を行ない、
良、不良判定とともに評価条件と測定データ及び時間デ
ータ等を関連させた密度の高い評価結果をプリンタ７を
通して出力させるものである。
が受けて、コントローラ６に送出するものである。した
がって、コントローラ６は、これらのデータを収録する
とともに、必要に応じて演算等のデータ処理を行ない、
良、不良判定とともに評価条件と測定データ及び時間デ
ータ等を関連させた密度の高い評価結果をプリンタ７を
通して出力させるものである。
この実施例に係る検査装置では、被検査品を実使用状態
に近似した複合的な条件下で、その性能評価が行なわれ
るものであるため、精度の高い信頼性評価を行なうこと
ができる。また、考えられる最も厳しい複合的な条件も
容易に作り出すことができるので、信頼性の高い良否判
定結果を得ることができる。さらに、実使用状態で不良
となった製品の不良原因を比較的簡単に見い出すことも
できる。
に近似した複合的な条件下で、その性能評価が行なわれ
るものであるため、精度の高い信頼性評価を行なうこと
ができる。また、考えられる最も厳しい複合的な条件も
容易に作り出すことができるので、信頼性の高い良否判
定結果を得ることができる。さらに、実使用状態で不良
となった製品の不良原因を比較的簡単に見い出すことも
できる。
また、一連の測定項目が自動化でき、その準備作業も不
用となるので、大幅な時間短縮が実現できる。
用となるので、大幅な時間短縮が実現できる。
さらに、チェンバー、加振器への被検査品へのセットも
自動化すれば、すべての作業が無人化できるものとなる
。
自動化すれば、すべての作業が無人化できるものとなる
。
また、データ収集、解析が被検査品が検査装置に接続さ
れた状態で行なわれるから、再チェック等が極めて簡単
に行なわれ、そのための準備作業が不用となる。
れた状態で行なわれるから、再チェック等が極めて簡単
に行なわれ、そのための準備作業が不用となる。
この発明は、前記実施例に限定されない。
テスタ２から被検査品へ送出される電気信号はコントロ
ーラ６のプログラムに従って形成されるものであっても
よい。
ーラ６のプログラムに従って形成されるものであっても
よい。
また、環境条件は、上記温度、湿度及び振動の他に、例
えば紫外線、Ｘ線等を加えるものであってもよい。すな
わち、被検査品の実使用状態として考えられるすべての
条件を人工的に作り出せばよいのである。
えば紫外線、Ｘ線等を加えるものであってもよい。すな
わち、被検査品の実使用状態として考えられるすべての
条件を人工的に作り出せばよいのである。
コントローラ６は、マニアル操作によって任意の試験条
件を作り出すようにしてもよい。またデータ収集、解析
は、他のコンピュータ等を使用するものであってもよい
。
件を作り出すようにしてもよい。またデータ収集、解析
は、他のコンピュータ等を使用するものであってもよい
。
さらに、スキャナ５は、省略するものであってもよい。
ただ、被検査品としての半導体装置は小型であり、多数
の半導体装置を上記チェンバー。
の半導体装置を上記チェンバー。
加振器内に入れることができるので、上記の測定効率を
高めるため、上記スキャナを用いることが合理的である
。
高めるため、上記スキャナを用いることが合理的である
。
図面は、この発明の一実施例を示すプロンク図である。
１・・・チヱンバー、加振器、２・・・テスタ、３・・
・逆バイアス発生装置、４・・・サージ電圧発生装置、
５・・・スキャナ、６・・コントローラ、７・・・プリ
ンタ。
・逆バイアス発生装置、４・・・サージ電圧発生装置、
５・・・スキャナ、６・・コントローラ、７・・・プリ
ンタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検査品に対して、任意の環境条件を作り出す装置
と、上記被検査品に対して任意の電気的条件を作り出す
装置と、上記環境条件及び電気的条件を作り出す装置を
複合的に制御して、被検査品の実使用状態に近似させた
条件の下で、その性能評価を行なうコントローラとを含
むことを特徴とする検査装置。 ２、コントローラは、コンビエータプロクラムに従って
、上記被検査品の実使用状態に近似させた複合的な性能
評価のための条件を作り出すものであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の検査装置。 ３、コントローラは、上記複合的な性能評価のデータを
処理する機能を含むものであることを特徴とする特許請
求の範囲第１項又は第２項記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147899A JPS5850478A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147899A JPS5850478A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850478A true JPS5850478A (ja) | 1983-03-24 |
Family
ID=15440655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56147899A Pending JPS5850478A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850478A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003207542A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-07-25 | Agilent Technol Inc | 電子テストシステム |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP56147899A patent/JPS5850478A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003207542A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-07-25 | Agilent Technol Inc | 電子テストシステム |
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