JPS5841370A - 磁気検出センサ - Google Patents

磁気検出センサ

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JPS5841370A
JPS5841370A JP56139721A JP13972181A JPS5841370A JP S5841370 A JPS5841370 A JP S5841370A JP 56139721 A JP56139721 A JP 56139721A JP 13972181 A JP13972181 A JP 13972181A JP S5841370 A JPS5841370 A JP S5841370A
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JP
Japan
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lead
section
magnetism sensing
magnetic
metal
Prior art date
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JP56139721A
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JPH048754B2 (ja
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Katsuyoshi Tamura
勝義 田村
Hiromi Kanai
紘美 金井
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices

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  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は絶Ｉｌ基板上にパターン形成した磁気検出セン
ナに関す為もＯ″′Ｃある。
ｍ１ｉｉ性体Ｏ碑気抵抗変化属象ｔＩ用し九彊磁性体磁
気抵抗素子からなる一気検出竜ンｔＦ１．知られ１いる
。こＯよう１に素子妹、強磁性体Ｏ比抵抗が小官い丸め
Ｋｌ！鰍基職上に薄鱗として形成して用いられる。過’
１ｏｃｏパターンは、複動Ｏ配列からなる感ａＳとと０
ＪｌｌｌｌＩＯ隣接するｔの同志Ｏ端を交互Ｋｌ！続す
るリード部とからな）、同じ材料で一つのパターンとし
て同時に形成される。この場合、感ｉｕｓは抵抗會大自
くする九めＫＭ＜長く形成され、リード部は抵抗を小δ
くするために太く短かく形成される。
このえめ、従来０１ｌｌ気検出センサにシいては、彊Ｖ
＆性体が一般に集ｌｌＩ効果電有するため、磁場中にお
かれたと亀に磁束はリード部にかなシの量が流れてしま
い、それだけ感磁部に集まる磁束は少なくなってセンナ
の感度が低下するという欠点が６つ九。
不発−はこのような従来の欠点を解消するもので、その
目的とするところは、感度Ｏ良いａ気横出センサを提供
することＫある。
以下、不発８Ａを貢−例によや詳細に説明する。
開拡不発＠に係る発気検出センサの一実施例の斜視図で
あみ６図において、１はガラス、セラミック等からなる
電気的絶縁性を有すｈ１臘、２はこの１１１１１に複隊
本平行に印刷方法あるｉ拡すソグラフィ法によって顔長
い形ＩＩｋに形成され九強＊＊体金属からなる感磁部、
３は感１ｌｉＩ＄２の一端を一つお自に電気的接続する
ために同じ方法で形成された非−性体金属からなるリー
ド部、４は感磁部２０他端でリードｌ１８でＩＩＩ続囁
れていない隣接するもの同志を電気的接続するために同
じく形成された非磁性体金属からなるリード部、５．＠
はＦｌ端Ｏ感磁部２０他端に接続され同じよりに形成さ
れた非磁性体金属からなるリード部ｂ４ｍｓ５ｍ＋６＆
は各リードのボンゲイングパッド部である。
こＣような＃Ｉ成で、矢印のように磁束が過ゐと。
磁束は！ＩＩ′ｆＩｉ性体金属から表体金属部２だけに
集められる。し九がって、磁束は感ａ部ｚ′ｃ苓効に電
気抵抗変化に変換され、例えばポンディングパッドＳｍ
、６ｍから電気＠号として検出される。
こＯように、本発明によると、感磁性部のみに磁束を集
めることができる丸めに、４！に弱磁場（１００Ｇ以下
）に訃ける検出感度を着しく向上できる効果があ為。
【図面の簡単な説明】
図は本発明に係る磁気検出セン１０一実施例の斜視図で
ある。 １・・管・基板、２・−・・ＪＩＩｌｌｉ、３，４゜５
　、　　＠　ｓ　　ｅ　　拳ｓ　リード部、わ（、５Ｂ
　、　＠　ｇ　ｌｊ　　＠　＠　　＠ボンデインダパッ
ド部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 絶Ｉｌ韮職上に感１１１１シよびリード部のパターンを
    形成し九碑気検出センナにおいて、鉤記感一部は彊−性
    体金属で形成し、前記リード部は非碑性体金属て形成し
    九こと１＊像とするｌｌ気検出センす。
JP56139721A 1981-09-07 1981-09-07 磁気検出センサ Granted JPS5841370A (ja)

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JP56139721A JPS5841370A (ja) 1981-09-07 1981-09-07 磁気検出センサ

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JPS5841370A true JPS5841370A (ja) 1983-03-10
JPH048754B2 JPH048754B2 (ja) 1992-02-18

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02231586A (ja) * 1989-03-06 1990-09-13 Japan Servo Co Ltd 磁気センサ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51140769A (en) * 1975-05-30 1976-12-03 Nec Corp Magnetic detector
JPS5780579A (en) * 1980-11-10 1982-05-20 Canon Inc Magneto resistive thin film magnetic sensor with thermal compensation

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51140769A (en) * 1975-05-30 1976-12-03 Nec Corp Magnetic detector
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02231586A (ja) * 1989-03-06 1990-09-13 Japan Servo Co Ltd 磁気センサ

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Publication number Publication date
JPH048754B2 (ja) 1992-02-18

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