JPS5839361Y2 - マスクパタ−ンの位置測定治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、プリント基板の導体パターン作成に用いるマ
スクのパターン位置を測定する治具装置に関し、測定を
正確に行うことのできる装置を提供するものである。

プリント基板における導体パターンの作成工程は、導体
パターンがネガまたはポジで印刷されたマスクを、フォ
トレジストが塗布されたプリント基板の銅箔に重ねて、
選択露光し、現像、エツチングする作業から成っている
。

このとき、両面プリント基板や多層プリント基板におい
ては、各面のパターン相互の位置関係を高精度に合わせ
ないと、スルーホールのランドがずれたりすることにな
る。

この問題は、特に最近のように、配線密度の高いプリン
ト基板において重要である。

各面のパターン相互の位置合わせを高精度に行うには、
各マスクのパタ；ンが基準位置に対して高精度に出来上
がっていることがまず必要であり、これさえ満たされて
おれば、マスクの基準位置とプリント基板の基準位置を
揃えてマスクを重ねることにより、各面のパターン間の
相対位置関係を高精度に出すことは容易である。

そこで本考案は、マスクパターンがその基準位置から所
定寸法の位置にあるかどうかを正確に測定検査できる装
置を提供し、前記のような要求を実現することを目的と
する。

次に本考案の実施例について詳述する。

第１図はマスクが取付けられたマスク枠の斜祝図、第２
図は同マスク枠を装着する測定治具、第３図は第２図の
ｉｔ−ｍ’断面図、第４図は第２図の測定治具を搭載し
てマスクパターンの位置を測定する座標測定機である。

第１図１ごおいて、１はガラス等でできたフォトマスク
であり、プリント板に形成すべき銅箔パターンと同じパ
ターンがネガまたはポジで印刷されている。

このマスク１は、四角形の金属枠２に、高精度の寸法を
もって位置決めし固着しである。

マスク枠２の隣接する少なくとも２つの辺２ａｓ２ｂの
端面２ ａ’ 、 ２ｂ’は、基準となる位置であり、
この基準位置２ ａ’ ｐ ２ ｂ’を基準にして、マ
スク１上のパターンが所定の位置寸法になるようＩご位
置決めしてから、一体に固着しである。

プリント基板の露光にあたっては、このマスク１を枠２
と共にプリント基板に重ねるが、そのときに基準位置２
ａ’ ＋ ２ ｂ’をプリント基板の対応する基準位
置と正確に揃えることにより、プリント基板とマスクの
位置合わせが行われる。

このため、マスク枠基準位置２ ａ’ ｔ ２ ｂ’か
らマスク１の各パターンまでの寸法が正確になるように
、位置出ししてから相互に固着することが不町決になる
が、本考案は、この寸法が正確であるかどうか、狂って
いるとしたらその誤差はどの程度であるかを測定する装
置を提供するものである。

この測定を行うには、第２図の治具に第１図のマスク枠
２を装着してから、該治具を第４図の座標測定機にセッ
トする。

第２図の治具は、マスク枠２と同様な四角形枠状部３か
ら成り、マスク枠の基準となる辺２ａ、２ｂと対応する
辺３ａｔ３ｂに、筒状の位置決めピン４ａ、４ａ’、４
ｂが設けであるゎ治具枠３の他の２辺３ｃ、３ｄには、
弾圧具５，５′が設けである。

マスク枠２を治具に装着するには、弾圧具５゜５′の操
作ボタン５１を引いた状態で、矢印で示す方向からマス
ク枠２を降ろして治具枠３に載せてから、操作ボタン５
１を放す。

すると、第３図の状態となり、マスク枠の辺２Ｃを、弾
圧具の圧子５２がバネ５３の力で押圧し、基準位置２ａ
′を位置決めピン４ａｔ４ａ’に押しつける。

同時に、もう一方の弾圧具５′の圧子５２が、マスク枠
の辺２ｄを押圧し、基準位置２ｂ／を位置決めピン４ｂ
に押しつける。

各円筒状位置決めピン４ａｙ４ａ’、４ｂは高精度に真
円度が出されていて、夫々の外径・内径は正確に一致し
ている。

したがって、位置決めピン４８ｔ４８’の中心から、マ
スクのパターン上のある測定点Ｐまでの距離を測定すれ
ば、その測定値から位置決めピンの半径Ｒを差し引いた
値Ｘがわかる。

同様にＹ方向についても、位置決めピン４ｂの中心から
測定点Ｐまでの距離を測定し、ピン半径Ｒを差し引けば
、求めたい寸法がｙがわかる。

測定にあたっては、治具を第４図の３のように、座標測
定機のＸ−Ｙテーブル６にセットして、表示画面７のク
ロスマーク８１こ位置決めピン４３′の中心が９′のよ
うに投影されるようにＸ−Ｙテーブルを操作し、そのと
きの位置をカウンタで読む。

次に、クロスマーク位置に測定点Ｐが投影されるように
Ｘ−Ｙテーブル６を移動させて、その位置のカウンタ表
示を読み、位置決めピンのカウンタ表示との差を出すと
、位置決めピンの中心から測定点Ｐまでの距離がわかる
。

この値から位置決めピンの半径Ｒを差し引けば、Ｘが求
められる。

Ｙ方向の距離ｙを求める場合も、同じ操作を行う。

各円筒状位置決めピンの中心をクロスマークに合わせる
ために、位置決めピンの底面１０の中心に小径孔９があ
けてあり、該小径孔９の上端縁を基準面とし、９′のよ
うにクロスマーク位置に投影する。

また、測定にあたっては、このように光学的に投影する
ため、各測定点の間で光学系の距離が変わらないように
、即ちＸ−Ｙ方向に対するＺ方向の光学系の距離が一定
になるように、次のような工夫がなされている。

まず、マスク枠に取付けられたマスク１が、治具枠３に
おいて、同一平面内に装着されるように、治具枠３の各
所に当たり面１１・・・を形成し、各当たり面１１・・
・が同一面内に位置するように、高精度に仕上げである
。

そして第３図のように、装着状態では、マスク１のパタ
ーン印刷側面１′が各当たり面１１・・・に当接し、同
一面内に保持される。

また、位置決めピンの測定基準面となる小径孔９の上端
縁が、マスク１のパターン印刷面１′と同一面に揃うよ
うに、当たり面１１・・・と各位置決めピン４ ａ ｐ
４ ａ’ ｙ ４ｂの孔の底面１０を、同一面内に形
成しである。

以上のように本考案によれば、座標測定機にセットする
枠状の測定治具の少なくとも２辺に、筒状の位置決めピ
ンを設けて、該位置決めピンの外面に、マスクが取付け
られたマスク枠の対応する少なくとも２つの辺を当接さ
せることにより、位置決めピンの中心からマスク上の測
定点までのＸ。

Ｙ方向の位置決めを正確に行うことができる。

また、治具枠の片面に、マスクのパターン側面が当接す
る当たり而を設けると共に、筒状位置決めピンの孔内に
、前記当たり面と同一平面に位置する測定基準面を形成
することにより、筒状位置決めピンの投影位置とマスク
のパターン側面が同一平面内に揃えられるので、座標測
定時の光学的な誤差が発生することも無い。

このように本考案の測定治具を使用すれば、マスク枠の
基準位置からマスクのパターンの所定位置までの寸法が
高精度に測定できるので、マスク１がマスク枠の所定位
置に正確に固定されているかどうかを、容易にかつ正確
に測定検査することができる。

この検査によって、パターン位置が正常であると判断さ
れた表面用マスクおよび裏面用マスクを用いることによ
り、表裏両面間のパターンずれの無い、高密度配線プリ
ント基板を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図はマスク枠
の斜視図、第２図はマスクパターンの位置測定治具の斜
視図、第３図は第２図のｌｌｌ−１’断面図、第４図は
座標測定機の斜視図である。 図において、１はマスク、２はマスク枠、２ａ′。 ２ｂ′は基準位置、３は測定治具枠、４ ａ ｔ ４
ａＺ４ｂは位置決めピン、６はＸ−Ｙテーブル、７は表
示画面、１０は基準面、１１・・・は当たり面、Ｐは測
定点である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 座標測定機に装着される枠状の測定治具の片面に、マス
   ク枠に取付けられたマスクのパターン印刷面が当接する
   当り面を設けると共に、該枠状測定治具の隣接する少な
   くとも２辺に上記マスクの平面に対するＸ（横）および
   Ｙ（縦）方向を位置決めする筒状の位置決め体と、残る
   ２辺に該筒状の位置決め体の外側面に上記マスク枠の対
   応する少なくとも２つの辺を当接させる弾圧具と、上記
   筒状位置決め体の孔内に上記当り面と同一面に位置する
   測定基準面を形成したことを特徴とするマスクパターン
   の位置測定治具。