SU884179A1 - Устройство дл контрол фотошаблонов - Google Patents

Устройство дл контрол фотошаблонов Download PDF

Info

Publication number
SU884179A1
SU884179A1 SU802896857A SU2896857A SU884179A1 SU 884179 A1 SU884179 A1 SU 884179A1 SU 802896857 A SU802896857 A SU 802896857A SU 2896857 A SU2896857 A SU 2896857A SU 884179 A1 SU884179 A1 SU 884179A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
template
photomask
control
photomasks
controlling
Prior art date
Application number
SU802896857A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Алексеевич Антонов
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5339
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5339 filed Critical Предприятие П/Я М-5339
Priority to SU802896857A priority Critical patent/SU884179A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU884179A1 publication Critical patent/SU884179A1/ru

Links

Landscapes

  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

I
Изобретение относитс  к технологии радиоэлектроники и предназначено дл  контрол  позиционной точности топологии
фотошаблонов двусторонних и МНО1Х СЛОЙных плат.
Известно устройство дл  контрол , в кагором позиционна  точность контролируетс  путем совмещени  по единым технологическим базам топологии контролируемого объекта с контрольной сеткой, представл ющей соёой прозрачный шаблон, на поверхности которого тонкими лини ми нанесено изображение координатной сетки, с прин тым шагом. Позиционна  точносугь топологии в -ЭТОМ случае определ етс  как точность совмещени  перекрести  кон трольной сетки с центром контактной площадки Г1
Однако производительность контрол  по сетке невысока из-за необхоЕЁимюсти производит замеры на измерительных, микроскопах.
Наиболее близким по достигаемому э4ь фекту  вл етс  устройство контрол , в котором дл  контрол  позиционной точности элементов готовых фотошаблонов исполь- зуетс  контрольный шаблон, расположенный в рамке с базовыми штифтами и представл ющий собой пластину с контрольными отверсти ми, центры которых наход тс  в местах расположени  контролируемых элементов, например, монтажных и переходных отверстий. Принцип контрол  позиционной точности по такому шаблону сос10 тоит в совмещении контролируемого фотошаблона с шаблоном устройства по единым технологическим базам (базовым штифтам) и контроле наличи  или отсутстви  просвета между краем контрольного отверсти 
15 и краем контролируемой контактной площадки фотошаблона 2 .
Мала  производительность процесса контрол  в этом устройстве обусловлена тем, что оценка наличи  илн отсутстви 

Claims (2)

  1. М просвета затруднена из-за парадакса, возникающего вследствие того, что шаблон имеет определенную толщину. При испопьзовании талого шаблона требуетс  при 38 контроле каждой контактной плошадки располагать шаблон строго перпендикул рно . лучу зрени . Цепь изобретени  - повышение производительности процесса контрол . Цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  контрол  фотошаблонов, содержа:щем рамку с базовыми штифтами и шаблон из прозрачного материала с контрольными метками, .последние выполнены в виде нанесенных на поверхности шаблона площадок , расположение и конфигураци  которых соответствуют расположению и конфигурации контролируемых площадок фотошаблона причем размеры площадок шаблона вь1Прл- иены с отклонением от номинальных размеров контролируемых площадок фотошаблона на величину допуска смещени . На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, с шаблоном дл  контрол  негативных фотошаблонов, вид сверху; на фиг. 3 - шаблон дл  контрол  позитивных фотошаблонов; на фиг. 4 пример определени  годного фотошаблона; на (Ьиг. 5 - пример определени  бракованного фотошаблона. Устройство дл  контрол  фотошаблонов состоит из рамки 1, в которой, в случае контрол  фотошаблонов негативного изображени , закреплен прозрачный контрольный шаблон 2, на одной из сторондкоторого имеютс  непрозрачные контрольные площадки Э-, расположение которых соответствует расположению площадок контролируемого фотошаблона и размеры которых уменьшены относительно размеров площадок контролируемого фотошаблона на величину допуска смещени  от номинального расположени . Относительно контрольных площадок 3 шаблона установлены штифты 4 дл  базировани  контролируемого фотошаблона . В случае контрол  фотошаблонов позитивного изображени  используетс  контрольный шаблон (фиг. 3), на одной из сто рон которого имеютс  прозрачные контрол ные площадки 5, расположение которых 79 аналогично расположению плошадок контролируемого фотошаблона, и размеры которых увеличены относительно размеров площадок контролируемого фотошаблона на величину допуска смешени  от номинального расположени . Фотошаблон устанавливают на контрольный шаблон-2 так, чтобы его фотоэмульсионный слой соприкасалс  с той поверхностью контрольного шаблона 2, на которой нанесены контрольные площадки 3. Годность контролируемых фотошаблонов определ етс  по наличию световой щели между контрольными площадками 3 контрольного шаблона 2 и площадками контролируемого фотошаблона (фиг. 4). Брак контролируемых фотошаблонов определ етс  по отсутствию на любом участке световой щели между контрольными площадками 3 контрольного шаблона 2 и площадками контролируемого фотошаблона (фиг. 5). Формула изобретени  Устройство дл  контрол  фотошаблонов, содержащее рамку с базовыми штифтами и шаблон из прозрачного материала с контрольными метками, отличающее- с   тем, что, с целью повышени  производительности процесса контрол , контрольные метки шаблона выполнены в виде нанесенных на поверхности шаблона площадок , .расположение и конфигураци  которых соответствует расположению и конфигурации контролируемых площадок фотошаблона , причем размеры площадок шаблона выполнены с отклонением от номинальных размеров контролируемых площадок фотошаблона на величину допуска смещени . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Медведев А. М., Контроль и испытани  плат печатного монтажа. М., 1975, с. 64.
  2. 2.Там же, с. 65. /1-А
    .Поёерхноетб HOf/777noMf f f п
    J ffUffffff.ff
    Л
    1
    I
    оооооооо оооооооо о о о о о о о оооооооо оооооооо
    fPui. 3
    (Pus.2
    Фиг.
SU802896857A 1980-03-18 1980-03-18 Устройство дл контрол фотошаблонов SU884179A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802896857A SU884179A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство дл контрол фотошаблонов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802896857A SU884179A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство дл контрол фотошаблонов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU884179A1 true SU884179A1 (ru) 1981-11-23

Family

ID=20883915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802896857A SU884179A1 (ru) 1980-03-18 1980-03-18 Устройство дл контрол фотошаблонов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU884179A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4765743A (en) * 1987-03-10 1988-08-23 Rca Licensing Corporation Method of inspecting a master member
WO2013134605A1 (en) * 2012-03-08 2013-09-12 Kla-Tencor Corporation Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4765743A (en) * 1987-03-10 1988-08-23 Rca Licensing Corporation Method of inspecting a master member
WO2013134605A1 (en) * 2012-03-08 2013-09-12 Kla-Tencor Corporation Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images
US8855400B2 (en) 2012-03-08 2014-10-07 Kla-Tencor Corporation Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images
US9092847B2 (en) 2012-03-08 2015-07-28 Kla-Tencor Corporation Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4377028A (en) Method for registering a mask pattern in a photo-etching apparatus for semiconductor devices
US3771872A (en) Mask and apparatus used for alignment purposes in photolithography
KR19980019218A (ko) 마스크와 그 검사 방법 및 노광 방법(Mask pattern for alignment)
US6124922A (en) Exposure device and method for producing a mask for use in the device
SU884179A1 (ru) Устройство дл контрол фотошаблонов
US6745484B2 (en) Reticle, and pattern positional accuracy measurement device and method
US4521114A (en) Single lens repeater
TW401587B (en) Method for monitoring the dosage/focus/leveling
CN111487849A (zh) 曝光机的对位系统及其对位方法
US6156220A (en) System and method for optically aligning films and substrates used in printed circuit boards
US3619056A (en) Pattern registering jig
US5616438A (en) Reticle and a method for measuring blind setting accuracy using the same
JP3050431B2 (ja) 面板異物検査装置
KR100359788B1 (ko) 반도체 노광 장비의 레티클 장착 레벨링 측정 방법
JPH06324475A (ja) レチクル
CN217360551U (zh) 一种双面光刻的光刻系统
JP2926581B1 (ja) 縮小投影露光装置
JPS6238853B2 (ru)
JPS5839361Y2 (ja) マスクパタ−ンの位置測定治具
KR100191349B1 (ko) 노광 공정의 초점면 측정 장치 및 그 방법
US3657983A (en) Graphic aid and methods related thereto
KR100255087B1 (ko) 더미셀이 형성된 스테퍼용 레티클
KR20050066889A (ko) 마스크 정렬 및 오버레이 정렬을 위한 마크 시스템
JPH04102851A (ja) レチクル
KR20230161589A (ko) 검사용 기판, 검사용 기판을 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 검사 방법