SU884179A1 - Устройство дл контрол фотошаблонов - Google Patents
Устройство дл контрол фотошаблонов Download PDFInfo
- Publication number
- SU884179A1 SU884179A1 SU802896857A SU2896857A SU884179A1 SU 884179 A1 SU884179 A1 SU 884179A1 SU 802896857 A SU802896857 A SU 802896857A SU 2896857 A SU2896857 A SU 2896857A SU 884179 A1 SU884179 A1 SU 884179A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- template
- photomask
- control
- photomasks
- controlling
- Prior art date
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
I
Изобретение относитс к технологии радиоэлектроники и предназначено дл контрол позиционной точности топологии
фотошаблонов двусторонних и МНО1Х СЛОЙных плат.
Известно устройство дл контрол , в кагором позиционна точность контролируетс путем совмещени по единым технологическим базам топологии контролируемого объекта с контрольной сеткой, представл ющей соёой прозрачный шаблон, на поверхности которого тонкими лини ми нанесено изображение координатной сетки, с прин тым шагом. Позиционна точносугь топологии в -ЭТОМ случае определ етс как точность совмещени перекрести кон трольной сетки с центром контактной площадки Г1
Однако производительность контрол по сетке невысока из-за необхоЕЁимюсти производит замеры на измерительных, микроскопах.
Наиболее близким по достигаемому э4ь фекту вл етс устройство контрол , в котором дл контрол позиционной точности элементов готовых фотошаблонов исполь- зуетс контрольный шаблон, расположенный в рамке с базовыми штифтами и представл ющий собой пластину с контрольными отверсти ми, центры которых наход тс в местах расположени контролируемых элементов, например, монтажных и переходных отверстий. Принцип контрол позиционной точности по такому шаблону сос10 тоит в совмещении контролируемого фотошаблона с шаблоном устройства по единым технологическим базам (базовым штифтам) и контроле наличи или отсутстви просвета между краем контрольного отверсти
15 и краем контролируемой контактной площадки фотошаблона 2 .
Мала производительность процесса контрол в этом устройстве обусловлена тем, что оценка наличи илн отсутстви
Claims (2)
- М просвета затруднена из-за парадакса, возникающего вследствие того, что шаблон имеет определенную толщину. При испопьзовании талого шаблона требуетс при 38 контроле каждой контактной плошадки располагать шаблон строго перпендикул рно . лучу зрени . Цепь изобретени - повышение производительности процесса контрол . Цель достигаетс тем, что в устройстве дл контрол фотошаблонов, содержа:щем рамку с базовыми штифтами и шаблон из прозрачного материала с контрольными метками, .последние выполнены в виде нанесенных на поверхности шаблона площадок , расположение и конфигураци которых соответствуют расположению и конфигурации контролируемых площадок фотошаблона причем размеры площадок шаблона вь1Прл- иены с отклонением от номинальных размеров контролируемых площадок фотошаблона на величину допуска смещени . На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, с шаблоном дл контрол негативных фотошаблонов, вид сверху; на фиг. 3 - шаблон дл контрол позитивных фотошаблонов; на фиг. 4 пример определени годного фотошаблона; на (Ьиг. 5 - пример определени бракованного фотошаблона. Устройство дл контрол фотошаблонов состоит из рамки 1, в которой, в случае контрол фотошаблонов негативного изображени , закреплен прозрачный контрольный шаблон 2, на одной из сторондкоторого имеютс непрозрачные контрольные площадки Э-, расположение которых соответствует расположению площадок контролируемого фотошаблона и размеры которых уменьшены относительно размеров площадок контролируемого фотошаблона на величину допуска смещени от номинального расположени . Относительно контрольных площадок 3 шаблона установлены штифты 4 дл базировани контролируемого фотошаблона . В случае контрол фотошаблонов позитивного изображени используетс контрольный шаблон (фиг. 3), на одной из сто рон которого имеютс прозрачные контрол ные площадки 5, расположение которых 79 аналогично расположению плошадок контролируемого фотошаблона, и размеры которых увеличены относительно размеров площадок контролируемого фотошаблона на величину допуска смешени от номинального расположени . Фотошаблон устанавливают на контрольный шаблон-2 так, чтобы его фотоэмульсионный слой соприкасалс с той поверхностью контрольного шаблона 2, на которой нанесены контрольные площадки 3. Годность контролируемых фотошаблонов определ етс по наличию световой щели между контрольными площадками 3 контрольного шаблона 2 и площадками контролируемого фотошаблона (фиг. 4). Брак контролируемых фотошаблонов определ етс по отсутствию на любом участке световой щели между контрольными площадками 3 контрольного шаблона 2 и площадками контролируемого фотошаблона (фиг. 5). Формула изобретени Устройство дл контрол фотошаблонов, содержащее рамку с базовыми штифтами и шаблон из прозрачного материала с контрольными метками, отличающее- с тем, что, с целью повышени производительности процесса контрол , контрольные метки шаблона выполнены в виде нанесенных на поверхности шаблона площадок , .расположение и конфигураци которых соответствует расположению и конфигурации контролируемых площадок фотошаблона , причем размеры площадок шаблона выполнены с отклонением от номинальных размеров контролируемых площадок фотошаблона на величину допуска смещени . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Медведев А. М., Контроль и испытани плат печатного монтажа. М., 1975, с. 64.
- 2.Там же, с. 65. /1-А.Поёерхноетб HOf/777noMf f f пJ ffUffffff.ff.ГЛ1Iоооооооо оооооооо о о о о о о о оооооооо ооооооооfPui. 3(Pus.2Фиг.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802896857A SU884179A1 (ru) | 1980-03-18 | 1980-03-18 | Устройство дл контрол фотошаблонов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802896857A SU884179A1 (ru) | 1980-03-18 | 1980-03-18 | Устройство дл контрол фотошаблонов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU884179A1 true SU884179A1 (ru) | 1981-11-23 |
Family
ID=20883915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802896857A SU884179A1 (ru) | 1980-03-18 | 1980-03-18 | Устройство дл контрол фотошаблонов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU884179A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4765743A (en) * | 1987-03-10 | 1988-08-23 | Rca Licensing Corporation | Method of inspecting a master member |
WO2013134605A1 (en) * | 2012-03-08 | 2013-09-12 | Kla-Tencor Corporation | Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images |
-
1980
- 1980-03-18 SU SU802896857A patent/SU884179A1/ru active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4765743A (en) * | 1987-03-10 | 1988-08-23 | Rca Licensing Corporation | Method of inspecting a master member |
WO2013134605A1 (en) * | 2012-03-08 | 2013-09-12 | Kla-Tencor Corporation | Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images |
US8855400B2 (en) | 2012-03-08 | 2014-10-07 | Kla-Tencor Corporation | Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images |
US9092847B2 (en) | 2012-03-08 | 2015-07-28 | Kla-Tencor Corporation | Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4377028A (en) | Method for registering a mask pattern in a photo-etching apparatus for semiconductor devices | |
US3771872A (en) | Mask and apparatus used for alignment purposes in photolithography | |
KR19980019218A (ko) | 마스크와 그 검사 방법 및 노광 방법(Mask pattern for alignment) | |
US6124922A (en) | Exposure device and method for producing a mask for use in the device | |
SU884179A1 (ru) | Устройство дл контрол фотошаблонов | |
US6745484B2 (en) | Reticle, and pattern positional accuracy measurement device and method | |
US4521114A (en) | Single lens repeater | |
TW401587B (en) | Method for monitoring the dosage/focus/leveling | |
CN111487849A (zh) | 曝光机的对位系统及其对位方法 | |
US6156220A (en) | System and method for optically aligning films and substrates used in printed circuit boards | |
US3619056A (en) | Pattern registering jig | |
US5616438A (en) | Reticle and a method for measuring blind setting accuracy using the same | |
JP3050431B2 (ja) | 面板異物検査装置 | |
KR100359788B1 (ko) | 반도체 노광 장비의 레티클 장착 레벨링 측정 방법 | |
JPH06324475A (ja) | レチクル | |
CN217360551U (zh) | 一种双面光刻的光刻系统 | |
JP2926581B1 (ja) | 縮小投影露光装置 | |
JPS6238853B2 (ru) | ||
JPS5839361Y2 (ja) | マスクパタ−ンの位置測定治具 | |
KR100191349B1 (ko) | 노광 공정의 초점면 측정 장치 및 그 방법 | |
US3657983A (en) | Graphic aid and methods related thereto | |
KR100255087B1 (ko) | 더미셀이 형성된 스테퍼용 레티클 | |
KR20050066889A (ko) | 마스크 정렬 및 오버레이 정렬을 위한 마크 시스템 | |
JPH04102851A (ja) | レチクル | |
KR20230161589A (ko) | 검사용 기판, 검사용 기판을 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 검사 방법 |