JPS5836165A - リニアパルスモ−タ - Google Patents
リニアパルスモ−タInfo
- Publication number
- JPS5836165A JPS5836165A JP13440481A JP13440481A JPS5836165A JP S5836165 A JPS5836165 A JP S5836165A JP 13440481 A JP13440481 A JP 13440481A JP 13440481 A JP13440481 A JP 13440481A JP S5836165 A JPS5836165 A JP S5836165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- roller
- pulse motor
- mover
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
- H02K41/033—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type with armature and magnets on one member, the other member being a flux distributor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はリニアパルスモータに係り、特に固定子と可動
子との間の間隔保持手段の改良を行った今リニアパルス
モータに関する。リニアパルスモータは一例として励磁
パルスに正負パルスを用いた第１図に示す走行原理なも
ったものがある。この他、励磁パルスに一方向（例えば
正のみ）パルスを用いるタイプもある。ここではリニア
パルスモータの移動方向Ａに向って延びた固定子１０と
、固定子１０の上方に所定の間隔をおいて移動可能に配
設した可動チェとから構成されている。固定子１０の上
面中央には一定ピッチのステータ歯１１が設けられ１可
動子加の下面には、固定子１０のステータ歯１１と対向
する複数のムーバ歯２１が設けられ、励磁フィルｎ及び
ｎ′によって電磁石ＫＡ 、 ＩＢを形成している。
子との間の間隔保持手段の改良を行った今リニアパルス
モータに関する。リニアパルスモータは一例として励磁
パルスに正負パルスを用いた第１図に示す走行原理なも
ったものがある。この他、励磁パルスに一方向（例えば
正のみ）パルスを用いるタイプもある。ここではリニア
パルスモータの移動方向Ａに向って延びた固定子１０と
、固定子１０の上方に所定の間隔をおいて移動可能に配
設した可動チェとから構成されている。固定子１０の上
面中央には一定ピッチのステータ歯１１が設けられ１可
動子加の下面には、固定子１０のステータ歯１１と対向
する複数のムーバ歯２１が設けられ、励磁フィルｎ及び
ｎ′によって電磁石ＫＡ 、 ＩＢを形成している。
また可動チェには永久磁石るがあって、ムーバ歯２１は
６極に磁化されている。（励磁電流が流れていない時Ｋ
Ａ側はＮ極に、ＥＢ６１はＳ極になっている。）まず第
１図（、）において、まず正のパルス電流を電磁石罵３
に巻装された励磁コイルａ′に流すと、電磁石ＩＣＢに
付設した永久磁石の磁極Ｓに対し、ムーバ歯りは逆方向
の磁束を発生するため、ムーバ歯りでの磁束が弱められ
、逆に、ムーバ＊ Ｏ＋を同方向の磁束を発生するため
、ムーバ歯Ｃでの磁束が強められることになる。
６極に磁化されている。（励磁電流が流れていない時Ｋ
Ａ側はＮ極に、ＥＢ６１はＳ極になっている。）まず第
１図（、）において、まず正のパルス電流を電磁石罵３
に巻装された励磁コイルａ′に流すと、電磁石ＩＣＢに
付設した永久磁石の磁極Ｓに対し、ムーバ歯りは逆方向
の磁束を発生するため、ムーバ歯りでの磁束が弱められ
、逆に、ムーバ＊ Ｏ＋を同方向の磁束を発生するため
、ムーバ歯Ｃでの磁束が強められることになる。
この結果、ムーバ歯Ｃにおいて、醸ムーバ歯Ｏがステー
タ歯と対向するような力が働き、ムーバ歯Ｃがステータ
歯と対向するまで１ステツプＵだけ移動し、電磁石ＥＥ
は安定状態となる。（第１図（ａ〕）この時ムーバ歯Ａ
及びＢは不安定状態にある。
タ歯と対向するような力が働き、ムーバ歯Ｃがステータ
歯と対向するまで１ステツプＵだけ移動し、電磁石ＥＥ
は安定状態となる。（第１図（ａ〕）この時ムーバ歯Ａ
及びＢは不安定状態にある。
次に電磁石Ｉム傭の励磁コイルｎに正の励磁パルスを流
すと、ムーバ歯Ａは電磁石１人に付設した永久磁石の磁
極Ｎに対し逆方向に磁束を発生し、そのため前記磁極Ｍ
の磁束を弱めるように作用し・ムーバ歯１は前記磁極Ｎ
の磁束を強め合う。この結果ムーバ歯１においてステー
タ歯と対向するよう引き会い、ムーバ歯１とステータ歯
が対向するまで１ステツプ驕だけ可動子が移動し、安定
状態となる。他方電磁石１１ＢＩＩは励磁パルスを得て
おらず、ムーバ歯ａ及びＤには励磁による磁束は形成さ
れず、ムーバ歯ム及び１を有す電磁石ＫＡが安定状態に
移動するのに対し、不安定状態となる。
すと、ムーバ歯Ａは電磁石１人に付設した永久磁石の磁
極Ｎに対し逆方向に磁束を発生し、そのため前記磁極Ｍ
の磁束を弱めるように作用し・ムーバ歯１は前記磁極Ｎ
の磁束を強め合う。この結果ムーバ歯１においてステー
タ歯と対向するよう引き会い、ムーバ歯１とステータ歯
が対向するまで１ステツプ驕だけ可動子が移動し、安定
状態となる。他方電磁石１１ＢＩＩは励磁パルスを得て
おらず、ムーバ歯ａ及びＤには励磁による磁束は形成さ
れず、ムーバ歯ム及び１を有す電磁石ＫＡが安定状態に
移動するのに対し、不安定状態となる。
（第１図体））
さらに次のタイ之ングで、電磁石ＩＢ傭の励磁コイル乙
に負方向励磁パルスを流すと図示しないが、可動チェは
真方向に１ステツプＵだけ進んで、ムーバ歯りはステー
タ歯と対向して安定状態になる。ざらに電磁石冨ム側の
励磁コイル四にのみ負方向パルスを流すことにより、ム
ーバ歯ムがステータ歯と対向して安定状態となるよう可
動チクが１ステツプ電だけＡ方向に移動する。
に負方向励磁パルスを流すと図示しないが、可動チェは
真方向に１ステツプＵだけ進んで、ムーバ歯りはステー
タ歯と対向して安定状態になる。ざらに電磁石冨ム側の
励磁コイル四にのみ負方向パルスを流すことにより、ム
ーバ歯ムがステータ歯と対向して安定状態となるよう可
動チクが１ステツプ電だけＡ方向に移動する。
このように第１図に示した正負パルスを用いて励磁する
タイプのリニアパルスモータにおいては、前記４種類の
状態を次々に繰返すことによって可動チェをＡ方向に進
行せしめることができる。ここで第１図の破線は磁束の
主な経路を示したものである。
タイプのリニアパルスモータにおいては、前記４種類の
状態を次々に繰返すことによって可動チェをＡ方向に進
行せしめることができる。ここで第１図の破線は磁束の
主な経路を示したものである。
また第２図に示したように、固定子１ｏのステータ歯１
１と可動子■のムーバ歯碍が相対向し、ムーバ歯２１が
励磁コイ／Ｉ／２２とこれに流れる励磁電流（正パルス
のみ）によって磁化する構造とした場合は、イ相→ロ相
−→ハ相→二相と順次励磁電流の切換を行うことによっ
て１ステツプ宛Ａ方向に移動する。
１と可動子■のムーバ歯碍が相対向し、ムーバ歯２１が
励磁コイ／Ｉ／２２とこれに流れる励磁電流（正パルス
のみ）によって磁化する構造とした場合は、イ相→ロ相
−→ハ相→二相と順次励磁電流の切換を行うことによっ
て１ステツプ宛Ａ方向に移動する。
以上の走行原理をもったリニアパルスモータは従来第３
ＷＪに示すような構造をしていた。＠３図（１）は平面
図で、＃！３ｖ！Ｊ価）はその進行方向からみた正面図
な示しているが、可動チェの両側面がらは腹数本の支持
軸３１と＊＊本のアーム環がそれぞれ突設されており、
支持軸３１には間隙保持ローラおが、アーム環の先端に
は横揺れ防止田−ラＵがそれぞれ添着されている。間隙
保持ローラあは可動チェと固定子１０との間績を一定に
保持して、可動チェを固定子１０に対して相対的に移動
せしめるもので、固定子１０の上面に転接する。横揺れ
防止ローラＵは可動子ｍの移動中における横揺れを防止
Ｔるものでｘｌｉｌ定子１０の両側面に転接する。
ＷＪに示すような構造をしていた。＠３図（１）は平面
図で、＃！３ｖ！Ｊ価）はその進行方向からみた正面図
な示しているが、可動チェの両側面がらは腹数本の支持
軸３１と＊＊本のアーム環がそれぞれ突設されており、
支持軸３１には間隙保持ローラおが、アーム環の先端に
は横揺れ防止田−ラＵがそれぞれ添着されている。間隙
保持ローラあは可動チェと固定子１０との間績を一定に
保持して、可動チェを固定子１０に対して相対的に移動
せしめるもので、固定子１０の上面に転接する。横揺れ
防止ローラＵは可動子ｍの移動中における横揺れを防止
Ｔるものでｘｌｉｌ定子１０の両側面に転接する。
そして、固定子１ｏのステータ歯１１と可動チェのムー
バ歯４の対向状態に応じて、各ムーバ歯４にそｎぞれ巻
装された励磁コイル嚇に順次パルス電流を流し・垂七千
七磁気誘導によって間隙保持ローラ（及び横揺れ防止田
−ツ誦を回転させながら可動子（９）の固定子ｌＯに沿
って移動させる機構になっていた。
バ歯４の対向状態に応じて、各ムーバ歯４にそｎぞれ巻
装された励磁コイル嚇に順次パルス電流を流し・垂七千
七磁気誘導によって間隙保持ローラ（及び横揺れ防止田
−ツ誦を回転させながら可動子（９）の固定子ｌＯに沿
って移動させる機構になっていた。
以上説明した従来のりエアパルスモータテハ、間隙保持
ローラ（及び横揺れ防止ローラＵはそれぞれ支持軸３１
及びアーム環によって別個に取り付けられているので、
可動チェの部品点数は多く、質量は必然的に大きくなっ
た。そのため可動子Ｉの高速化が■しく、立上り特性や
立下り特性などの応答性は十分でなかった。また間隔保
持ローラお及び横揺れ防止ｐ−テ３４はそれぞれ別個に
取付けるため、作業工数が増え能率が悪いという欠点が
あった。
ローラ（及び横揺れ防止ローラＵはそれぞれ支持軸３１
及びアーム環によって別個に取り付けられているので、
可動チェの部品点数は多く、質量は必然的に大きくなっ
た。そのため可動子Ｉの高速化が■しく、立上り特性や
立下り特性などの応答性は十分でなかった。また間隔保
持ローラお及び横揺れ防止ｐ−テ３４はそれぞれ別個に
取付けるため、作業工数が増え能率が悪いという欠点が
あった。
このため従来技術の欠点を解消するための提案グなされ
ている。例えば特開昭５５−７７３６６号公報記載の提
案は従来技術の欠点を解消しようとするもので１．第４
図の如き構造のものである。第４図（＆）は提案による
リニアパルスモータの平面図で第４１Ａ（ｂ）はその正
面図１第４図（Ｑ）はその要部拡大断面図である。可動
チェの両側面からはｌｌｌｖｋ本の支持軸４１が横設さ
れ、支持軸４１の先端には間隙保持ローラ４２と、該間
隙保持ローラ４２に外嵌された横揺れ防止ローラ０とが
−っのユニットとして組合わされた組合せローラ切が装
填されている。間隙保持ローラ社及び横揺れ防止ローラ
４３は第４１！！！Ｉ（ａ）に示すようにボール材、４
５を介在させたボールベアリングからなっていて、横揺
れ防止ローラ４３のボール４５は固定子１０偏に一部突
出しており、このボール仙の先端部が固定子１ｏの両側
面ｎに転接している。
ている。例えば特開昭５５−７７３６６号公報記載の提
案は従来技術の欠点を解消しようとするもので１．第４
図の如き構造のものである。第４図（＆）は提案による
リニアパルスモータの平面図で第４１Ａ（ｂ）はその正
面図１第４図（Ｑ）はその要部拡大断面図である。可動
チェの両側面からはｌｌｌｖｋ本の支持軸４１が横設さ
れ、支持軸４１の先端には間隙保持ローラ４２と、該間
隙保持ローラ４２に外嵌された横揺れ防止ローラ０とが
−っのユニットとして組合わされた組合せローラ切が装
填されている。間隙保持ローラ社及び横揺れ防止ローラ
４３は第４１！！！Ｉ（ａ）に示すようにボール材、４
５を介在させたボールベアリングからなっていて、横揺
れ防止ローラ４３のボール４５は固定子１０偏に一部突
出しており、このボール仙の先端部が固定子１ｏの両側
面ｎに転接している。
上記構造の提案は、−見優れた提案であるが新たな欠点
を有するものである。即ち、可動予震のｓ動にｓって横
揺れ防止冒−ラ荀のボール４５は支持軸社を中心として
回転りながら固定子ｌＯの両側ｗ１２に転接するが、組
合せローラ菊には複数個のボール藝があるので、常に１
個以上のボール４５が何面１２に転接している。然しあ
る特定のボール砺に注目すると、特定のボール藝は固定
子１０の側面４に接触転接したり、非接触となりたりの
繰返しがなされる。傭面琢へのボール砺の接触、非接触
の連続的な繰返しは騒音衝撃となって、可動チェの移動
な不円滑なものとする◎ 本発明の目的は、前記の従来技術及び上記提案の欠点を
解消し、可動子の移動の高速化が可能で応答性が良く、
組立作業が能率良く行えるリニアパルスモータを提供す
ることにあり、上記目的は固定子の水平面に転接する複
数のボールを、該固定子の側面に転接するローラの下側
に設けた間隔保持手段をもって前記固定子と一定間隔な
保って移動可能に構成された可動子を有するリニアパル
スモータにより達成される。
を有するものである。即ち、可動予震のｓ動にｓって横
揺れ防止冒−ラ荀のボール４５は支持軸社を中心として
回転りながら固定子ｌＯの両側ｗ１２に転接するが、組
合せローラ菊には複数個のボール藝があるので、常に１
個以上のボール４５が何面１２に転接している。然しあ
る特定のボール砺に注目すると、特定のボール藝は固定
子１０の側面４に接触転接したり、非接触となりたりの
繰返しがなされる。傭面琢へのボール砺の接触、非接触
の連続的な繰返しは騒音衝撃となって、可動チェの移動
な不円滑なものとする◎ 本発明の目的は、前記の従来技術及び上記提案の欠点を
解消し、可動子の移動の高速化が可能で応答性が良く、
組立作業が能率良く行えるリニアパルスモータを提供す
ることにあり、上記目的は固定子の水平面に転接する複
数のボールを、該固定子の側面に転接するローラの下側
に設けた間隔保持手段をもって前記固定子と一定間隔な
保って移動可能に構成された可動子を有するリニアパル
スモータにより達成される。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明を行う。
第５図（−は本発明の実施例を示すリニアパルスモータ
の平面図で、第５回部）はその正面図、第５図（０）は
その要部拡大断面図で、第５図＜６）はその要部拡大底
面図を示したものである。
の平面図で、第５回部）はその正面図、第５図（０）は
その要部拡大断面図で、第５図＜６）はその要部拡大底
面図を示したものである。
リニアパルスモータは、可動千夏の移動方向＾に向って
延びた固定子１０と、該固定子１０の上方に所定の間１
Ｉｒｔおいて移動可能に配設した可動子ｍとから構成さ
れている。固定子１０の上面中央には一定ピッチにステ
ータ歯１１が設けられ、ステータ歯１１と対向して所定
の間隙をおいて可動予震にはムーバ歯ガが設けられてい
る。
延びた固定子１０と、該固定子１０の上方に所定の間１
Ｉｒｔおいて移動可能に配設した可動子ｍとから構成さ
れている。固定子１０の上面中央には一定ピッチにステ
ータ歯１１が設けられ、ステータ歯１１と対向して所定
の間隙をおいて可動予震にはムーバ歯ガが設けられてい
る。
可動予震の両側面からはＬ字型に折曲った４本の支持軸
５１が灼設され、支持軸５１の先端には、固定子１００
儒１１１２に一転接する横揺れ防止ローラ劾のローラ内
＆：ｉＩ定子１０と可動子にとの間隔保持用のＩ！数の
ボール団を下側に組入れた二二ツ）０−り（資）が装着
されている。ユニット璽−ラ５ｏは市販のボールベアリ
ングと近似した形状であるが１ボール団はユニットロー
ラ（資）より突出し、支持軸５１に装着した状態でボー
ルおが固定子１０の上面１３上を転接する。
５１が灼設され、支持軸５１の先端には、固定子１００
儒１１１２に一転接する横揺れ防止ローラ劾のローラ内
＆：ｉＩ定子１０と可動子にとの間隔保持用のＩ！数の
ボール団を下側に組入れた二二ツ）０−り（資）が装着
されている。ユニット璽−ラ５ｏは市販のボールベアリ
ングと近似した形状であるが１ボール団はユニットロー
ラ（資）より突出し、支持軸５１に装着した状態でボー
ルおが固定子１０の上面１３上を転接する。
第１図または第２１１ｆｆに示した励磁コイルｎにパル
ス電流を流すと、第５図（ＩＬ）に示すようにユニット
ルーツ団に設けたボール紹が同定子１０の上面１３上を
転接することによって、可動チェを画定子１０に対し間
ＩＩＩを一定に保持せしめるとともに、ユニットローラ
（資）の外周ローラ圏が固定子１０の側面１２上を転接
することによって、横揺れを防止しつつ可動予震をム方
向に移動せしめることができる。
ス電流を流すと、第５図（ＩＬ）に示すようにユニット
ルーツ団に設けたボール紹が同定子１０の上面１３上を
転接することによって、可動チェを画定子１０に対し間
ＩＩＩを一定に保持せしめるとともに、ユニットローラ
（資）の外周ローラ圏が固定子１０の側面１２上を転接
することによって、横揺れを防止しつつ可動予震をム方
向に移動せしめることができる。
この実施例で説明したように、間隔保持用のボール団と
横揺れ防止用の外周ローラ冨とでベアリング状のユニッ
ト藁−ラ父を構成すると、可動子１０の移動は滑らかに
なされることとなる。なおユニットローラ（資）の材質
はステンレス鋼ヤ、鋼材ノ他にフッ素樹脂やボリア七タ
ール樹脂等耐摩耗性に優れ摩擦係数の小さい材料を用い
ることができる。この場合、横揺れ防止のローラ圏周面
と固定沿った突条を設けて接触面積を小さくすることも
効果がある。
横揺れ防止用の外周ローラ冨とでベアリング状のユニッ
ト藁−ラ父を構成すると、可動子１０の移動は滑らかに
なされることとなる。なおユニットローラ（資）の材質
はステンレス鋼ヤ、鋼材ノ他にフッ素樹脂やボリア七タ
ール樹脂等耐摩耗性に優れ摩擦係数の小さい材料を用い
ることができる。この場合、横揺れ防止のローラ圏周面
と固定沿った突条を設けて接触面積を小さくすることも
効果がある。
本発明は上述の構成となっているので、部品数は減少し
、可動子の質量が小さくなり、高速化が可能となり応答
性も改善される。またユニットローラ父は一体として組
合されているため、モータ組立時の作業性が改善され、
安価なリニアパルスモータが提供できる。特に支持アー
ムごとにｍ敗のボールを配し、可動子を支持するので可
動子の重量が大きい場合に適している。また先の特用昭
、可動子の質量が小さくなり、高速化が可能となり応答
性も改善される。またユニットローラ父は一体として組
合されているため、モータ組立時の作業性が改善され、
安価なリニアパルスモータが提供できる。特に支持アー
ムごとにｍ敗のボールを配し、可動子を支持するので可
動子の重量が大きい場合に適している。また先の特用昭
第１図及び第２図はリニアパルスモータの走行原理を示
す構成図で、１１１１３図及び第４１１１従来の実施例
を示したもので、第５図は本発明の実施例を示す。第５
図（＆）はその平面図で、第５図（ｂ）はその正面図、
第５図（０）はその要部拡大断面図で、第５図（句はそ
の要部拡大底面図を示す。 １０・・・・・固定子 加・・・・・・可動子間・
・・・・ユニットローラ ５１・・曲支持軸５２・−
・・・横揺れ防止四−ラ 羽・・・・・・ボール代理
人 桑 原 義 美 第１１ ０ 第２胚 第５０ （α） ＋１′”；。 第４ｍ （α） （α） １０ 図 （Ｃ） ０ （Ｉｉ）
す構成図で、１１１１３図及び第４１１１従来の実施例
を示したもので、第５図は本発明の実施例を示す。第５
図（＆）はその平面図で、第５図（ｂ）はその正面図、
第５図（０）はその要部拡大断面図で、第５図（句はそ
の要部拡大底面図を示す。 １０・・・・・固定子 加・・・・・・可動子間・
・・・・ユニットローラ ５１・・曲支持軸５２・−
・・・横揺れ防止四−ラ 羽・・・・・・ボール代理
人 桑 原 義 美 第１１ ０ 第２胚 第５０ （α） ＋１′”；。 第４ｍ （α） （α） １０ 図 （Ｃ） ０ （Ｉｉ）
Claims (1)
- 固定子の水平面に転接する複数のボールを、該固定子の
側面に転接するローラの下側に設けた間隔保持手段をも
って前記固定子と一定間隔な保って移動可能に構成され
た可動子を有するリニアパルスモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13440481A JPS5836165A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | リニアパルスモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13440481A JPS5836165A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | リニアパルスモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5836165A true JPS5836165A (ja) | 1983-03-03 |
Family
ID=15127589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13440481A Pending JPS5836165A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | リニアパルスモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5836165A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6395860A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
-
1981
- 1981-08-26 JP JP13440481A patent/JPS5836165A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6395860A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
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