JPS5834309A - 非接触式面性状測定法 - Google Patents
非接触式面性状測定法Info
- Publication number
- JPS5834309A JPS5834309A JP13300981A JP13300981A JPS5834309A JP S5834309 A JPS5834309 A JP S5834309A JP 13300981 A JP13300981 A JP 13300981A JP 13300981 A JP13300981 A JP 13300981A JP S5834309 A JPS5834309 A JP S5834309A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- light
- lens
- measuring
- measure
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被測定物表面の加工条痕等の方向を計測する測
定方法を提供するものである。
定方法を提供するものである。
従来、被測定物表面の加工条痕等の方向測定法としては
特開昭５３−１１０５５４号が知られている。
特開昭５３−１１０５５４号が知られている。
第１図及び第２図は特開昭５３−１１０５５４号公報に
開示された従来技術による軸表面の加工条・際等の方向
測定方法を示すもので、被測定軸１が、中心軸線を水平
になして、軸受３に回転可能に支承されている主軸２に
同心的に取り付けられ、回転伝達手段４を介して、可変
速、可逆モーター５によって任意方向、任意速度に回転
させられる。
開示された従来技術による軸表面の加工条・際等の方向
測定方法を示すもので、被測定軸１が、中心軸線を水平
になして、軸受３に回転可能に支承されている主軸２に
同心的に取り付けられ、回転伝達手段４を介して、可変
速、可逆モーター５によって任意方向、任意速度に回転
させられる。
被測定軸１の上方かつ後方の位置において一端を保持さ
れている測定用線＋／ＩＵ’ｌｌが、被測定軸１の測定
表面に接触して被測定軸１の下方へ垂れ、下端部に取り
付けられている重錘１２によって緊張させられている。
れている測定用線＋／ＩＵ’ｌｌが、被測定軸１の測定
表面に接触して被測定軸１の下方へ垂れ、下端部に取り
付けられている重錘１２によって緊張させられている。
測定用線材１１の上端固定位置は、支持台１３を操作
して上下、前後及び左右に移動させることが可能であり
、左右移動によって測定用線材１１の位置が被測定位置
に適合させられ、上下方向及び前後方向の移動によって
測定用線材１１と被測定面の圧接力が加減される。
して上下、前後及び左右に移動させることが可能であり
、左右移動によって測定用線材１１の位置が被測定位置
に適合させられ、上下方向及び前後方向の移動によって
測定用線材１１と被測定面の圧接力が加減される。
被測定軸１の下方かつ測定用線材１１の後方に位置Ｉ−
て、破ｄ１（］定１１１１と略平行にスケール１４が設
けられ、主軸２１Ｃ対しその回転の量を測定する回転計
１５が連結されてし・る。
て、破ｄ１（］定１１１１と略平行にスケール１４が設
けられ、主軸２１Ｃ対しその回転の量を測定する回転計
１５が連結されてし・る。
」二記の従来技術による１１＠１表面の加工茶２服等の
方向の測定は下記の如くに行なわれている。
方向の測定は下記の如くに行なわれている。
被測定ｔＩＱｌ＋ １の径寸法及び測定部の位置に応じ
て前述の如く測定用線材１１の支持及びスケール１４の
（６置をセットし、主軸２を正逆両方向にゆるやかに回
転させて、測定用線材１１と被測定軸１の接触位置が左
右方向に移動するか否かを見る。
て前述の如く測定用線材１１の支持及びスケール１４の
（６置をセットし、主軸２を正逆両方向にゆるやかに回
転させて、測定用線材１１と被測定軸１の接触位置が左
右方向に移動するか否かを見る。
何れの回転方向に対しても移動が認められない場合は回
転軸が方向性を有しないものである。
転軸が方向性を有しないものである。
移動が認められる被測定軸に対しては、回転方向及び測
定用線材の移動方向の関係を確認し、回転計１５により
回転量を、スケール１４により移動損なそれぞれ計測し
て、回転方向と移動方向の関連によって加工目の方向（
傾斜方向）を回転量と移動量の関連によって傾斜量（ね
じれ角）を得るものであった。 この押従来の測定法は
、軸類の外周表面における加工条痕等の方向のみが測定
可能であり、平板状の被測定物表面における加工条痕等
の方向は測定不可能であった。 又、従来の被測定物表
面の加工条痕等の方向測定法は、接触式であるため被測
定物表面に変形や傷が付いたり、加工中の材料における
加工条痕等の方向測定の為に加工機械から測定機械への
段取替えに多くの時間を要する等の問題があった。
定用線材の移動方向の関係を確認し、回転計１５により
回転量を、スケール１４により移動損なそれぞれ計測し
て、回転方向と移動方向の関連によって加工目の方向（
傾斜方向）を回転量と移動量の関連によって傾斜量（ね
じれ角）を得るものであった。 この押従来の測定法は
、軸類の外周表面における加工条痕等の方向のみが測定
可能であり、平板状の被測定物表面における加工条痕等
の方向は測定不可能であった。 又、従来の被測定物表
面の加工条痕等の方向測定法は、接触式であるため被測
定物表面に変形や傷が付いたり、加工中の材料における
加工条痕等の方向測定の為に加工機械から測定機械への
段取替えに多くの時間を要する等の問題があった。
本発明は以上の問題点を改良するため、非接触式（光学
式）測定法により、被測定物表面に変１ヒや傷を付ける
ことなく、又、加工中の倒斜における加工条痕等の方向
測定の為に加工１幾械から測定機械への段取替えをする
ことな（測定でき、さらに照射面積を変えることにより
容易に軸表面及び平板状の被測定物表面における加工糸
２厄等の方向が測定できる様な測定方法を提供するもの
である。
式）測定法により、被測定物表面に変１ヒや傷を付ける
ことなく、又、加工中の倒斜における加工条痕等の方向
測定の為に加工１幾械から測定機械への段取替えをする
ことな（測定でき、さらに照射面積を変えることにより
容易に軸表面及び平板状の被測定物表面における加工糸
２厄等の方向が測定できる様な測定方法を提供するもの
である。
本発明は上記目的を達成するために以下の構成を有する
。
。
光源より光を被測定物表面に照射し、被測定物表面から
戸Ｖｉ冒ｖｋ冒臀鴨ごとくに配置Ｈされた光学系であり
、該光学系の光源の照射方向、受光素子のｌｌｌＩｈ線
方向及び被測定物のいずれか１つを他の２つに対し相対
可変となるごとく構成されている。 被測定物表面によ
る反射光量の変化は受光素子により感知し、被測定物表
面の加工条痕等の方向を検出する。
戸Ｖｉ冒ｖｋ冒臀鴨ごとくに配置Ｈされた光学系であり
、該光学系の光源の照射方向、受光素子のｌｌｌＩｈ線
方向及び被測定物のいずれか１つを他の２つに対し相対
可変となるごとく構成されている。 被測定物表面によ
る反射光量の変化は受光素子により感知し、被測定物表
面の加工条痕等の方向を検出する。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明の被測定物表面における加工条痕等の方
向測定方法の一実施例を示すものである。
向測定方法の一実施例を示すものである。
光源２１より発せられた光はレンズ２２、スリット２３
、レンズ２４を通り、被測定物表面２５に照射される。
、レンズ２４を通り、被測定物表面２５に照射される。
被測定物表面からの反射光線は被測定物表面の法線軸
方向に対し、入射光線と被測Ｉ 宝物表面の法線軸とのなす角〉等しい角θよで設置され
た受光系のレンズ２７、スリット２白、レンズ２９を通
り受光素子３０により受光される。
方向に対し、入射光線と被測Ｉ 宝物表面の法線軸とのなす角〉等しい角θよで設置され
た受光系のレンズ２７、スリット２白、レンズ２９を通
り受光素子３０により受光される。
矢印３１は光源からの光の入射角ｒ７と反射角ρ、が等
しい正反射方向を表わす。 実際の被測定物表面におけ
る加工条痕等の方向測定は、上記の光学系を用い、被測
定物表面の法線軸の回りに光学系或いは被測定物表面を
９０′以上回転させて回転角度に対する反射光量の変化
を測定することにより被測定物表面の加工粂梗等の方向
を知ることができる。 又、反射角θ４或いは入斜角θ
、を変化させ、さらに被測定物表面の法線軸の回りに光
学系或いは被測定物表面を９０°以上回転させて回転角
度に対する反射光の分布形状の違いを測定することで、
より正確な被測定物表面の加工条痕等の方向を知ること
ができる。
しい正反射方向を表わす。 実際の被測定物表面におけ
る加工条痕等の方向測定は、上記の光学系を用い、被測
定物表面の法線軸の回りに光学系或いは被測定物表面を
９０′以上回転させて回転角度に対する反射光量の変化
を測定することにより被測定物表面の加工粂梗等の方向
を知ることができる。 又、反射角θ４或いは入斜角θ
、を変化させ、さらに被測定物表面の法線軸の回りに光
学系或いは被測定物表面を９０°以上回転させて回転角
度に対する反射光の分布形状の違いを測定することで、
より正確な被測定物表面の加工条痕等の方向を知ること
ができる。
横軸に正反射方向からの受光素子のずれ角θ′を表わし
１加工条穣に平行な方向と加工条痕に直角な方向との反
射光分布形状を測定したもので、加工条痕に平行な方向
は正反射光量が太き（、狭い角度に反射光が集中してい
ることがわかる。
１加工条穣に平行な方向と加工条痕に直角な方向との反
射光分布形状を測定したもので、加工条痕に平行な方向
は正反射光量が太き（、狭い角度に反射光が集中してい
ることがわかる。
本発明は、この様な反射光分布形状或いは５反射光量の
違いが、被測定物表面の加工茶、東等の方向と対応して
いることを利用しているため、容易に被測定物表面の加
工条痕等の方向を測定することが可能である。
違いが、被測定物表面の加工茶、東等の方向と対応して
いることを利用しているため、容易に被測定物表面の加
工条痕等の方向を測定することが可能である。
本発明は」二連した構成を有する結果以下の効果を奏す
る。
る。
■ 非接触式の測定方法であるため被測定物表面に変形
や傷を付けることがない。
や傷を付けることがない。
■ 加工中の拐料における加工条痕等の方向測定の為に
加工機械から測定機械への段取替えをすることなく測定
ができる。
加工機械から測定機械への段取替えをすることなく測定
ができる。
■ 軸表面のような被測定物表面が曲面形状のものは照
射面積を絞り込むことにより方向性の測定が可能である
。 又、当然平板状の被測定物表面の方向性測定は可能
であることは以上の説明により明らかである。
射面積を絞り込むことにより方向性の測定が可能である
。 又、当然平板状の被測定物表面の方向性測定は可能
であることは以上の説明により明らかである。
第１図は、従来の方向性測定機の正面図を示し、第２図
は、従来の方向性測定機の測面図を示す。 第３図は、本発明の実施例を示し、第４図は、本発明の
実施例により測定した反射光分布形状を示したものであ
る。 １・・・被測定軸、 ２・・・主軸、 ３・・・軸受、
４・・・回転伝達手段、 ５・・・モーター、 】
１・・・測定用線材、 １２・Ｑ・重錘、 １３・・
争支持台、 １４・畢・スケール、 １５・・・回転
計、 ２１・・・光源、２２．２４，２７，２９・・
・レンズ、 ２３゜２８・・・スリット、 ２６φ・
・被測定物、３０・・・受光素子。 特許出願人 日本オイルシール工業株式会社 第１ 図 第２ 図
は、従来の方向性測定機の測面図を示す。 第３図は、本発明の実施例を示し、第４図は、本発明の
実施例により測定した反射光分布形状を示したものであ
る。 １・・・被測定軸、 ２・・・主軸、 ３・・・軸受、
４・・・回転伝達手段、 ５・・・モーター、 】
１・・・測定用線材、 １２・Ｑ・重錘、 １３・・
争支持台、 １４・畢・スケール、 １５・・・回転
計、 ２１・・・光源、２２．２４，２７，２９・・
・レンズ、 ２３゜２８・・・スリット、 ２６φ・
・被測定物、３０・・・受光素子。 特許出願人 日本オイルシール工業株式会社 第１ 図 第２ 図
Claims (1)
- １゜光源（１）より光を被測定物（６）の表面（５）に
照射し、反射光を受光素子（１０）により受光するごと
くに配置し、前記光源（１）の照射方向、前記受光素子
０ωの軸線方向及び前記被測定物（６）の方向のいずれ
か１つを他の２つに対し相対可変になし、前記被測定物
（６）による反射光量の変化を前記受光素子ＧＯ）によ
り感知して、前記被測定物表面（５）の加工条痕等の方
向を検出することを特徴とする非接触式面性状測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13300981A JPS5834309A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 非接触式面性状測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13300981A JPS5834309A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 非接触式面性状測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834309A true JPS5834309A (ja) | 1983-02-28 |
Family
ID=15094649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13300981A Pending JPS5834309A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 非接触式面性状測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834309A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017305A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 形状センサヘツド |
| JPS6119750U (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-05 | 三菱重工業株式会社 | プレスマ−ク検出装置 |
| JPH031532U (ja) * | 1989-05-25 | 1991-01-09 | ||
| US5075560A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5075562A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5352038A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-04 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
| US5741070A (en) * | 1993-11-30 | 1998-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52129545A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-31 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for measurement of uniformity in surface roughnes s |
| JPS6138801A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-24 | Citizen Watch Co Ltd | 棒材供給装置 |
-
1981
- 1981-08-25 JP JP13300981A patent/JPS5834309A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52129545A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-31 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for measurement of uniformity in surface roughnes s |
| JPS6138801A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-24 | Citizen Watch Co Ltd | 棒材供給装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017305A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 形状センサヘツド |
| JPH0510601B2 (ja) * | 1983-07-08 | 1993-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPS6119750U (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-05 | 三菱重工業株式会社 | プレスマ−ク検出装置 |
| JPH048326Y2 (ja) * | 1984-07-10 | 1992-03-03 | ||
| JPH031532U (ja) * | 1989-05-25 | 1991-01-09 | ||
| US5075560A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5075562A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5352038A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-04 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
| US5741070A (en) * | 1993-11-30 | 1998-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
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