JPS5833884A - 封止型ガスレ−ザ管の製造方法 - Google Patents
封止型ガスレ−ザ管の製造方法Info
- Publication number
- JPS5833884A JPS5833884A JP13133081A JP13133081A JPS5833884A JP S5833884 A JPS5833884 A JP S5833884A JP 13133081 A JP13133081 A JP 13133081A JP 13133081 A JP13133081 A JP 13133081A JP S5833884 A JPS5833884 A JP S5833884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- enclosure
- tube
- laser tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は細管材料として黒鉛等を用いた高出力封止型ガ
スレーザ管の製造方法に関するものである。
スレーザ管の製造方法に関するものである。
一般にガス・レーザ管は放電路を形成する放電細管（以
下細管と呼ぶ）両端のミラー又は面板、及び一対の電極
を構成要素とする円筒状の外囲器からなっており、ガス
・レーザ材料としてＨｅ −Ｎｅ 。
下細管と呼ぶ）両端のミラー又は面板、及び一対の電極
を構成要素とする円筒状の外囲器からなっており、ガス
・レーザ材料としてＨｅ −Ｎｅ 。
ｋｒ、Ｋｒ、ＣＯ２等を使用してイル。
これらの円Ａｒ、ＣＯｚ ｔ−ガス・レーザ材料として
用い九λｒイオンレーザ、Ｃ０ｗレーザは高出力が得ら
れるレーザとしてよく知られている。とりｆ）ケＡｒイ
オンレーザにおいては、放電電流密度金高くすることに
よってレーザー高出力化がなされているため、細管の温
度は著しく上昇する。このため使用する細管材料には特
別な配慮が必要である。かくの如き細管材料としては、
耐熱性及び熱拡散性が優れている黒鉛がよく用いられる
。しかし、黒鉛は周知の通り吸蔵ガス量が多く、細管と
して使用した場合には、多量の吸蔵ガスを放出するため
レーザ発蛋効率の低下、放電開始電圧の変動などの不具
合金主ぜしめることがある。
用い九λｒイオンレーザ、Ｃ０ｗレーザは高出力が得ら
れるレーザとしてよく知られている。とりｆ）ケＡｒイ
オンレーザにおいては、放電電流密度金高くすることに
よってレーザー高出力化がなされているため、細管の温
度は著しく上昇する。このため使用する細管材料には特
別な配慮が必要である。かくの如き細管材料としては、
耐熱性及び熱拡散性が優れている黒鉛がよく用いられる
。しかし、黒鉛は周知の通り吸蔵ガス量が多く、細管と
して使用した場合には、多量の吸蔵ガスを放出するため
レーザ発蛋効率の低下、放電開始電圧の変動などの不具
合金主ぜしめることがある。
上記理由により、黒鉛細管を用いるレーザ管の製造段階
においては、ガス放電によるレーザ管の脱ガス処理が必
要不可欠であることはよく知られている。
においては、ガス放電によるレーザ管の脱ガス処理が必
要不可欠であることはよく知られている。
従来、封止型ガスレーザ管の製造工程にお−ては外囲器
には一端にガス封入用兼ガス排気用の配管ヲ設け、ガス
放電による脱ガス処理工程の際にも同配管からガス導入
し、一定時間脱ガス処理し次後ガス排気に利用している
。しかし、ガス封止型レーザ管の脱ガス処理工程では、
細管等よりの放出ガスレーザ管内急速に蓄積されるため
、ガス放電は短時間しか継続し得なかった。このため十
分な脱ガス効果を挙げる友めには、ガス導入−ガス放電
−排気の操作全何度もくり返す必要があり、非常に非能
率であった。
には一端にガス封入用兼ガス排気用の配管ヲ設け、ガス
放電による脱ガス処理工程の際にも同配管からガス導入
し、一定時間脱ガス処理し次後ガス排気に利用している
。しかし、ガス封止型レーザ管の脱ガス処理工程では、
細管等よりの放出ガスレーザ管内急速に蓄積されるため
、ガス放電は短時間しか継続し得なかった。このため十
分な脱ガス効果を挙げる友めには、ガス導入−ガス放電
−排気の操作全何度もくり返す必要があり、非常に非能
率であった。
このため従来の封止ガスレーザー管においても、外囲器
の両端部にガス・フロー型レーザ管の如き配管を設け、
一端の配管よりガスを導入し、他端の配管よりガスを排
気するガス・フロー状態でガス放電による脱ガス処理を
行なってい次。この場合細管等よりの放出ガスは常に排
気される友め、ガス放電が長時間に亘り可能になり、多
大な脱ガス効果が得られ、かつ、導入−放電−排気操作
が必要になるため、脱ガス処理を能率的に行ない得た。
の両端部にガス・フロー型レーザ管の如き配管を設け、
一端の配管よりガスを導入し、他端の配管よりガスを排
気するガス・フロー状態でガス放電による脱ガス処理を
行なってい次。この場合細管等よりの放出ガスは常に排
気される友め、ガス放電が長時間に亘り可能になり、多
大な脱ガス効果が得られ、かつ、導入−放電−排気操作
が必要になるため、脱ガス処理を能率的に行ない得た。
しかし、ガス・フロー型レーザ管においても、次の様な
問題が生じた。それはガス放電時にガスが細管に衝突す
るため、黒鉛細管等の場合、放電初期には細管表面部が
破壊され微小粉となって放電空間に浮遊する。前記の如
き、ガス・フロー状態における放電においては、微小粉
はガスにより運搬されフローの方向に対向した面板又は
ミラーに付着し、面板又はミラーの特性に悪影響を及は
し、ひいてはレーザ出力の低下を招くという不具合を発
生した。
問題が生じた。それはガス放電時にガスが細管に衝突す
るため、黒鉛細管等の場合、放電初期には細管表面部が
破壊され微小粉となって放電空間に浮遊する。前記の如
き、ガス・フロー状態における放電においては、微小粉
はガスにより運搬されフローの方向に対向した面板又は
ミラーに付着し、面板又はミラーの特性に悪影響を及は
し、ひいてはレーザ出力の低下を招くという不具合を発
生した。
本発明の目的は、前記不具合の発生を解決した封止型ガ
ス・レーザ管の製造方法を提供することである。
ス・レーザ管の製造方法を提供することである。
本発明は、レーザ管外囲器の両端部にあるガス導入部か
ら、ガスをレーザ管に継続して導入し、両端部のガス導
入部の中間位置にある排気孔を通してガスを継続して排
気するガス・フロー状態において、レーザ管内にガス放
電を維持し、細管等を赤熱することにより脱ガスを計り
、かつ、両端部に備わるミラー又は面板の汚染を防止す
るものである。
ら、ガスをレーザ管に継続して導入し、両端部のガス導
入部の中間位置にある排気孔を通してガスを継続して排
気するガス・フロー状態において、レーザ管内にガス放
電を維持し、細管等を赤熱することにより脱ガスを計り
、かつ、両端部に備わるミラー又は面板の汚染を防止す
るものである。
以下一本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する
。
。
図は、本発明により製造される封止型Ａｒイオンレーザ
管の断面図である。外囲器６は両端に窓面板１．９ｔＡ
備しており、かつ、窓面板１．９に近接した位置に、ガ
ス導入管２，１０とこれらのガス導入管の中間にガス排
気管８を具備している。本発明において、ガスはガス導
入管２及び１０より導入ガス圧が両導入管において等圧
になるよう調整し、外囲器６内部へ導入する。導入され
たガスはガス排気管８より、外囲器６内部の圧力が一定
圧力（α１〜２０ｔＯｒｒ）を維持するように排気量を
調整し排気する。
管の断面図である。外囲器６は両端に窓面板１．９ｔＡ
備しており、かつ、窓面板１．９に近接した位置に、ガ
ス導入管２，１０とこれらのガス導入管の中間にガス排
気管８を具備している。本発明において、ガスはガス導
入管２及び１０より導入ガス圧が両導入管において等圧
になるよう調整し、外囲器６内部へ導入する。導入され
たガスはガス排気管８より、外囲器６内部の圧力が一定
圧力（α１〜２０ｔＯｒｒ）を維持するように排気量を
調整し排気する。
この状態において陰極７．陽極４の間にガス放電を形成
すると黒鉛細管５は赤熱され、吸蔵ガスを放出する。又
、放電初期にお込ては細管表面が破壊され、黒鉛微粉が
発生し、放電空間に浮遊する。
すると黒鉛細管５は赤熱され、吸蔵ガスを放出する。又
、放電初期にお込ては細管表面が破壊され、黒鉛微粉が
発生し、放電空間に浮遊する。
本発明においては両端部より導入されたガスが矢印１２
の如く外囲器６両端部より、外囲器６の中間部に位置す
る排気管８に向かって流れている次め、黒鉛からの放出
ガス及び黒鉛微粉は導入ガスの流れにより運搬され排気
される。従って外囲器６両端の窓面板１．９には、黒鉛
微粉は付着せず、かつ、常に清浄な導入ガスが補給され
るため長期に亘り、ガス放電が維持可能であり、多大な
脱ガス効果が得られる。
の如く外囲器６両端部より、外囲器６の中間部に位置す
る排気管８に向かって流れている次め、黒鉛からの放出
ガス及び黒鉛微粉は導入ガスの流れにより運搬され排気
される。従って外囲器６両端の窓面板１．９には、黒鉛
微粉は付着せず、かつ、常に清浄な導入ガスが補給され
るため長期に亘り、ガス放電が維持可能であり、多大な
脱ガス効果が得られる。
以上の方法により、脱ガス処理したガス・レーザ管は、
以後、通常の工程を経て製造され、長寿命かつ、高出力
の封止型Ａｒイオンレーザ管を得ることができた。なお
、ガス導入管２．１０及びガス排気管８は、以後の工程
において封止されることはいうまでもない。
以後、通常の工程を経て製造され、長寿命かつ、高出力
の封止型Ａｒイオンレーザ管を得ることができた。なお
、ガス導入管２．１０及びガス排気管８は、以後の工程
において封止されることはいうまでもない。
前記の如く、本発明は封止型ガスレーザ管の−製造工程
であるガス放電による脱ガス処理工程の際にガスを外囲
器両端部より、外囲器中間部に対向させて流すことによ
り、外囲器両端のミラー又は、面板への異物付着を防ぎ
、かつ、多大な脱ガス効果を得るものである。
であるガス放電による脱ガス処理工程の際にガスを外囲
器両端部より、外囲器中間部に対向させて流すことによ
り、外囲器両端のミラー又は、面板への異物付着を防ぎ
、かつ、多大な脱ガス効果を得るものである。
図は、本発明により製造されるガスレーザ管の断面図で
ある。 １・・・・・・窓面板、２・・・・・・ガス導入管、３
・・・・・−陽極支持棒、４−・・・・・陽極、５・・
・・・細管、６・・・・・・外囲器、７・・・・・・排
気管、８・・・・・ガス排気管、９・・・・・・窓面板
、１０・・−・−・ガス導入管、１１・・・・・・細管
支持棒、１２・・・・・・ガスの流れる方向。
ある。 １・・・・・・窓面板、２・・・・・・ガス導入管、３
・・・・・−陽極支持棒、４−・・・・・陽極、５・・
・・・細管、６・・・・・・外囲器、７・・・・・・排
気管、８・・・・・ガス排気管、９・・・・・・窓面板
、１０・・−・−・ガス導入管、１１・・・・・・細管
支持棒、１２・・・・・・ガスの流れる方向。
Claims (1)
- 陰極と陽極の間に放電細管を内蔵し、気体を密閉した外
囲器の両端にミラー又は窓面板透もつ封止型ガスレーザ
管の製造方法において、前記外囲器の両端のミラー又、
窓面板に近接した外囲器の両端ＷＡＫ設けられたガス導
入管よりガスを継続して導入し、前記ガス導入管の中間
位置に設けられたガス排気管より、導入したガスを継続
して排気することにより外囲器両端部より外囲器中間部
へのガス・フロー状態管現出する工程と、前記ガス・フ
ロー状態においてガス放電を形成し、維持する工程とを
含むことｔ−特徴とする封止型ガスレーザ管の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133081A JPS5833884A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 封止型ガスレ−ザ管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13133081A JPS5833884A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 封止型ガスレ−ザ管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5833884A true JPS5833884A (ja) | 1983-02-28 |
Family
ID=15055419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13133081A Pending JPS5833884A (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | 封止型ガスレ−ザ管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5833884A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622269U (ja) * | 1985-06-20 | 1987-01-08 | ||
| US5177171A (en) * | 1989-09-14 | 1993-01-05 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Sulfonic acid group-containing polyurethane and a photosensitive resin composition containing the same |
| WO2010070918A1 (ja) | 2008-12-18 | 2010-06-24 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | アブレーション層、感光性樹脂構成体、当該感光性樹脂構成体を用いた凸版印刷版の製造方法 |
| US8445180B2 (en) | 2003-12-26 | 2013-05-21 | Asahi Kasei Chemicals Corporation | Water-developable photopolymer plate for letterpress printing |
-
1981
- 1981-08-21 JP JP13133081A patent/JPS5833884A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622269U (ja) * | 1985-06-20 | 1987-01-08 | ||
| JPH0445267Y2 (ja) * | 1985-06-20 | 1992-10-23 | ||
| US5177171A (en) * | 1989-09-14 | 1993-01-05 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Sulfonic acid group-containing polyurethane and a photosensitive resin composition containing the same |
| US8445180B2 (en) | 2003-12-26 | 2013-05-21 | Asahi Kasei Chemicals Corporation | Water-developable photopolymer plate for letterpress printing |
| WO2010070918A1 (ja) | 2008-12-18 | 2010-06-24 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | アブレーション層、感光性樹脂構成体、当該感光性樹脂構成体を用いた凸版印刷版の製造方法 |
| US8883399B2 (en) | 2008-12-18 | 2014-11-11 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Ablation layer, photosensitive resin structure, and method for producing relief printing plate using the photosensitive resin structure |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09246630A (ja) | 放電電極及びその整形方法並びにエキシマレーザー発振装置及びステッパー | |
| US5936349A (en) | Arc tube having a pair of molybdenum foils, and method for its fabrication | |
| JPS5833884A (ja) | 封止型ガスレ−ザ管の製造方法 | |
| JPH0340516B2 (ja) | ||
| EP0345603A1 (en) | Gas laser apparatus | |
| JPS6070786A (ja) | 分子ガスレ−ザ−装置および方法 | |
| JP3237046B2 (ja) | 基板ホルダ | |
| Yarwood | Ultra-high vacua | |
| Goto et al. | 5 kHz high repetition rate and high power XeCl excimer laser | |
| JP2556805B2 (ja) | プレ−ト型オゾン発生装置 | |
| JPH05110162A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH04273488A (ja) | ガスレ−ザ装置用電極 | |
| JPH05145145A (ja) | イオンレーザ管 | |
| JPS61180488A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| Lancashire et al. | The NASA High-Power Carbon Dioxide Laser A Versatile Tool for Laser Applications | |
| JPS59161887A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH0380585A (ja) | 高速軸流形レーザ発振器の排気管 | |
| JPS6211284A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH066524Y2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS5918696Y2 (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH0322577A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH079403Y2 (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH03173485A (ja) | Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置 | |
| JPH05110161A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| FR2514958A1 (fr) | Tube a gaz de laser a vapeurs d'elements chimiques |