JP4124310B2 - ガスレーザ用熱交換器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザのレーザガスを冷却する熱交換器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、エキシマレーザ等のガスレーザにおいて、熱交換器をそのレーザチャンバ内に入れてレーザガスを冷却し、レーザの発振効率を向上させる技術が知られている。
図6は、エキシマレーザの構造図である。図6において、エキシマレーザ1は、レーザガスが所定の圧力比で封入されたレーザチャンバ2を備えている。レーザチャンバ2の内部には、放電を起こしてレーザガスを励起する放電電極5,5と、レーザガスをレーザチャンバ2内部で循環させてこの放電電極5,5間に送り込む貫流ファン14と、放電によって熱を与えられたレーザガスを冷却するための熱交換器3とが、それぞれ所定位置に設置されている。図中矢印27は、レーザガスの流れを示している。
【0003】
図7は、従来技術による熱交換器3の構造図である。図7において、従来の熱交換器3は平板状の放熱フィン17を備えている。放熱フィン17には孔が設けられ、その孔に接触して複数本のチューブ28が挿入されて、チューブ28同士は連結管36を介して互いに連結されている。そして、チューブ28の内側に冷却水や冷媒等の冷却媒体35をレーザチャンバ2の外部から流し、レーザガスを冷却している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来技術には、次に述べるような問題がある。
即ち、このような熱交換器3の製作方法としては、放熱フィン17に設けられた孔29に放熱フィン17と同じ材質のチューブ28を挿入する。そして、チューブ28の内部にチューブ28の内径よりもわずかに外径の大きな球を押し込んでチューブ28を膨らませ、放熱フィン17とチューブ28とを固定する。そして、チューブ28に同じ材質の連結管36をろうづけし、チューブ28同士を互いに連結する。
そのとき、放熱フィン17に設けられた孔29の内周とチューブ28の外周との間には微小な隙間が生じており、このような隙間に、熱交換器3を洗浄した際の洗浄剤やその他の有機溶剤等の不純物が残存することがある。そのため、この熱交換器3をレーザチャンバ2中に入れた際に、上記不純物が蒸発してレーザガスに混入し、放電を妨害したり、内部の光学部品に付着してレーザの発振出力を低下させたりするという問題がある。
【0005】
また、熱交換器3の熱交換能力を高めるために、連結管36及びチューブ28には、銅やアルミニウム等の材料を使用する。そのため、チューブ28同士を溶接することができず、ろうづけすることになる。その結果、ろうづけされた部位に微小な凹凸が生じ、その凹凸の内部に上記の不純物が残存することがある。そして、やはりこの不純物がレーザガスに混入し、同様の問題を引き起こすことがある。また、ろうづけによって生じる生成物がフッ素と反応してさらに、不純物を生成することがある。
【0006】
また、レーザチャンバ2は放電電極5,5のアース電位側と接続されているため、熱交換器3にも電流が流れる。そのため、チューブ28の材質としてアルミニウムを使用すると、内部を流れる冷却媒体35によって電蝕が起きる。
【0007】
さらに、上記のような共通の放熱フィン17にチューブ28を挿入するような形式の熱交換器3を製作するためには、製作のための金型を起こす必要があり、非常に製作が高価なものになる。また、譬え金型を起こしたとしても、小型化等のためにレーザチャンバ2の形状を変更するようなことがあると、その金型は使用できなくなり、熱交換器3の製作がさらに高価なものになってしまう。従って通常の熱交換器3の形状は、何種類かある既存の形状から選択することになる。ところが、レーザチャンバ2の形状は、小型化のために容量の制限があるため、その内部に熱交換器3をレーザガスの流れを妨げないように配置するのが困難である。
【0008】
また、ガスレーザにおいては、貫流ファン14によって起こされるレーザガスのガス流速を高めるほど、良好な放電が得られ、レーザの発振周波数も向上する。そのため、レーザチャンバ2の内壁をレーザガスの流れに対して圧損が少ないような形状に構成したり、流路にレーザガスを導くための案内板を入れたいという欲求がある。ところが、熱交換器3の形状が予め決まっているため、レーザチャンバ2を希望するような形状にしたり、案内板を入れたりすることが困難である。そのため、ガス流速が上がらず、レーザの発振周波数を増加させられないという問題がある。
また、熱交換器3の熱交換能力は、ガス流速が大きい場所に熱交換器3を設置することにより向上する。貫流ファン14を使用する場合、ガス流速は流路の外周ほど大きいので、レーザチャンバ2の内壁に沿って熱交換器3を配置したいという欲求があるが、既存の形状の熱交換器3を使用すると、それも困難である。
【0009】
また、金属である熱交換器3は、放電電極5,5から熱交換器3へと放電が起きてレーザの出力が不安定になることがあるため、放電電極5,5からなるべく遠ざけることが望ましい。しかしながら、熱交換器3の形状がすでに決まっている場合には、熱交換器3を放電電極5,5から遠ざけるためには、レーザチャンバ2を大型化させなければならないことがある。
【0010】
本発明は、上記の問題に着目してなされたものであり、任意の形状に構成可能で、かつ不純物を発生しないガスレーザ用熱交換器を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第1発明は、レーザチャンバの内部に設置したガスレーザ用熱交換器において、放熱フィンを転造によって製作した熱交換チューブを備えている。また第2発明は、第1発明記載のガスレーザ用熱交換器において、前記熱交換チューブがレーザチャンバの内壁に近いほど多く設置されている。
【0012】
これにより、フィンチューブから転造によって放熱フィンを一体に形成しているので、フィンチューブと放熱フィンとの間に隙間ができず、不純物が溜まってレーザガス内に混入するようなことがない。即ち、熱交換器から不純物が発生せず、レーザガスの汚損が少なくなるので、レーザの出力が安定になり、レーザガスの寿命も長くなる。さらに、このような熱交換チューブを複数本連結して熱交換器を形成するならば、熱交換器を任意の形状に形成可能である。従って、レーザチャンバの内部に熱交換器を隙間なく配置することができ、熱交換効率が上昇する。さらに、レーザチャンバの形状を変更したりガス流を導く案内板を付設したりしても、熱交換器の性能が低下せず、熱交換効率の向上を実施できる。
また、ガスの流速の大きいレーザチャンバの内壁に近い箇所に、多くの熱交換チューブを配置するので、熱交換効率が上がってレーザガスの温度上昇が防止され、レーザの放電が良好になる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照しながら、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。尚、前記従来技術の説明に使用した図と同一の要素には同一符号を付し、重複説明は省略する。
【0014】
まず、第1実施形態を説明する。図1は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置の断面図を示している。図1において、エキシマレーザ装置は、例えばフッ素(F2)、クリプトン(Kr)、及びネオン(Ne)を含むレーザガスが所定の圧力比で封入されたレーザチャンバ2を備えている。レーザチャンバ2の内部には、図示しない高圧電源から高電圧を印加して放電を起こし、レーザガスを励起する放電電極5,5と、レーザガスをレーザチャンバ2内部で循環させてこの放電電極5,5間に送り込む貫流ファン14と、放電によって熱を与えられたレーザガスを冷却するための熱交換器3とが、それぞれ所定位置に設置されている。
【0015】
このとき熱交換器3としては、転造加工によって形成された熱交換器3を使用している。
転造加工の概念を図2に示す。図2に示すように、転造加工においては、創成される形状の裏になるような凹凸を有する工具26(この場合にはダイス)を駆動し、摩擦力や接線力を使って素材18を縦道回転させながら素材18と工具26との間で局部的な接触を繰り返し、順次製品形状を作っていく。ここでは、素材として例えば、銅やアルミニウムのような柔らかで熱伝達率が良好な中空の金属からなるフィンチューブ18を使用し、その外周に放熱フィン17を形成する。
このとき、フィンチューブ18の内部にステンレス等のインナーチューブ19を挿入した状態で放熱フィン17の転造加工を行なうと、さらによい。これにより、放熱フィン17を加工する際にステンレスによって柔らかなフィンチューブ18が内側から支持され、加工が容易になる。また、このインナーチューブ19の内部を冷却媒体が流れるので、フィンチューブ18が冷却媒体に触れなくなり、電蝕が起こりにくくなる。
【0016】
転造加工によって製作された熱交換チューブの構造図を、図3に示す。図3において、銅製のフィンチューブ18の周囲にはネジ状の放熱フィン17が転造加工によって一体に形成されている。また、フィンチューブ18の内周に挿入されたステンレスのインナーチューブ19は、転造加工によってフィンチューブ18と隙間なく強固に圧着されている。このような、転造によって互いに圧着された、フィンチューブ18、その周囲に形成された放熱フィン17、及びフィンチューブ18の内部に挿入されたインナーチューブ19を、熱交換チューブ16と呼ぶ。
【0017】
図4に、実施形態に係る、エキシマレーザの熱交換器3を示す。図4において、熱交換器3は図3で説明したような熱交換チューブ16を長手方向に平行に複数本並べ、インナーチューブ19同士を、同材質のステンレス製の連結チューブ37を介して、TIG溶接等によって繋ぎ合わせて製作されている。
そして、インナーチューブ19の内部に冷却媒体35を通し、チューブの外部を流れるレーザガスを冷却する。
このように、熱交換チューブ16を長手方向に弧を描くように製作することも可能であり、さらに配置の自由度が高くなる。
【0018】
図5に、例えば円筒形のレーザチャンバ2を使用した場合に、本実施形態に係る熱交換器3を使用したエキシマレーザの構造断面図の一例を示す。図5に示すように、熱交換チューブ16をその壁面に合わせた形状に組み合わせ、これらを互いに連結することによって、レーザチャンバ2の内部に熱交換器3を隙間なく配置することが可能であり、熱交換効率が上昇する。また、レーザチャンバ2の形状に自由度が生まれ、エキシマレーザの小型化も可能である。
また、熱交換チューブ16を組み合わせて熱交換器3の形状を適宜変更することができるので、レーザチャンバ2の形状を変更したりガス流の案内板を付設したりして流速の上昇及び熱交換効率の向上を実施できる。さらに、図5に示すようにフィン同士を互いに重ね合わせるようにして配置することも可能であり、省スペースが実現できるので、エキシマレーザ1の小型化が図れる。
特に、レーザガスの流速は、流路の外周ほど大きいという性質がある。従って、レーザチャンバ2の内壁に沿って多くの熱交換チューブ16を配置するようにすれば、熱交換効率が上がってレーザガスの温度上昇が防止され、レーザの放電が良好になる。
【0019】
また、熱交換器3の形状の自由度が高いので、限られたレーザチャンバ2の空間内で、金属である熱交換器3を放電電極5,5から遠ざけて配置することも可能であり、レーザチャンバ2の内部で異常な放電が起こるようなこともない。さらに、レーザチャンバ2を小型化することも可能である。
【0020】
また、フィンチューブ18から転造によって放熱フィン17を一体に形成しているので、フィンチューブ18と放熱フィン17との間に、隙間ができず、ここに不純物が溜まってレーザガス内に混入するようなことがない。さらに、インナーチューブ19とフィンチューブ18とは、転造加工を行なう際に隙間なく密接に圧着されるので、隙間に不純物が溜まるようなこともない。即ち、熱交換器3から不純物が発生せず、レーザガスの汚損が少なくなるので、レーザの出力が安定になり、レーザガスの寿命も長くなる。
【0021】
また、インナーチューブ19の内部に冷却媒体35を通しているので、フィンチューブ18が冷却媒体35と触れることがない。従って、フィンチューブ18の材質にアルミニウムを使用しても、冷却媒体35に触れないために電蝕が起きない。即ち、フィンチューブ18としてアルミニウムを使用することが可能であり、熱交換器3の軽量化が図れ、組み立てやメンテナンスの際などに取り付け取り外しが容易である。
また、インナーチューブ19同士を連結チューブ37を介して、TIG溶接等の溶接によって連結している。これにより、ろうづけよりも強固で、しかも不純物の生成のない熱交換器3を得ることが可能となる。このとき、例えば真空雰囲気中で電子ビーム溶接するならばさらに溶接の信頼性が高くなり、冷却媒体がレーザガスに触れるようなことがない。
【0022】
尚、本実施形態では、フィンチューブ18の内部にインナーチューブ19を挿入して形成するように説明したが、これに限られるものではない。例えば、フィンチューブ18の素材を銅としてインナーチューブ19を挿入せず、このフィンチューブ18同士を接続してその内部に冷却媒体35を流すようにしてもよい。
【0023】
また、本実施形態では、放電によって発振したレーザ光をそのまま出力するエキシマレーザについて説明したが、これに限られるものではない。即ち、レーザチャンバ2から発振されるレーザ光の波長を制御する、狭帯域化のための光学系を備えてもよい。
また、本実施形態ではエキシマレーザについて説明したが、ハロゲンガスを媒体として使用するようなレーザであれば応用可能であり、例えばF2レーザ等にも応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係るエキシマレーザ装置の構造断面図。
【図2】転造加工の基本概念を示す概念図。
【図3】転造加工によって製作された熱交換チューブの構造図。
【図4】実施形態に係る、エキシマレーザの熱交換器を示す構造図。
【図5】本実施形態に係る熱交換器を使用したエキシマレーザの断面図。
【図6】エキシマレーザの断面構造図。
【図7】従来技術による熱交換器の構造図
【符号の説明】
1:エキシマレーザ、2:レーザチャンバ、3:熱交換器、5:放電電極、14:貫流ファン、16:熱交換チューブ、17:放熱フィン、18:フィンチューブ、19:インナーチューブ、26:工具、27:レーザガスの流れを示す矢印、28:チューブ、29:孔、35:冷却媒体、36:連結管、37:連結チューブ。
Claims (2)
- レーザガスを封止するレーザチャンバ(2)の内部で放電によって加熱されたレーザガスを冷却するためのガスレーザ用熱交換器において、
フィンチューブ(18)の周囲に放熱フィン(17)を転造によって形成した熱交換チューブ(16)を備えたことを特徴とするガスレーザ用熱交換器。 - 請求項1記載のガスレーザ用熱交換器において、
前記熱交換チューブ (16) がレーザチャンバ (2) の内壁に近いほど多く設置されている
ことを特徴とするガスレーザ用熱交換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000096649A JP4124310B2 (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | ガスレーザ用熱交換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000096649A JP4124310B2 (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | ガスレーザ用熱交換器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001284686A JP2001284686A (ja) | 2001-10-12 |
JP4124310B2 true JP4124310B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=18611384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000096649A Expired - Lifetime JP4124310B2 (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | ガスレーザ用熱交換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4124310B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011076871A1 (de) | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Wärmetauscher für einen Gaslaser und Gaslaser damit |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000096649A patent/JP4124310B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001284686A (ja) | 2001-10-12 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |