JP2004122221A

JP2004122221A - 冷却路を有する部品の製造方法

Info

Publication number: JP2004122221A
Application number: JP2002293643A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Fuse; 布施　俊明; Masayuki Ishikawa; 石川　昌幸; Sumiichi Shibuya; 澁谷　純市
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2002-10-07
Filing date: 2002-10-07
Publication date: 2004-04-22

Abstract

【課題】工作精度が高く、使用環境の汚染を生じない高品質な冷却路を有する部品を、高い製造歩留りおよび低い製造コストで製造することが可能な冷却路を有する部品の製造方法を提供する。
【解決手段】冷却媒体を流通するための空間部を備えた素形材と中実材とを組合せて冷却路を有する部品を構成し、前記素形材と前記中実材とを摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする冷却路を有する部品の製造方法。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷却路を有する部品の製造方法に係り、特にビーム加速器に使用される加速器電極板や半導体用ヒートシンク板等の冷却路を有する部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ビーム加速器に用いられる加速器電極板は、例えば、銅製の板にビーム孔部が穿設されて形成され、この加速器電極板に電位を付与することにより、ビーム孔部を通過する荷電粒子を加速するように構成される。
【０００３】
この加速器電極板を使用する際、熱の発生により加速器電極板の温度が上昇する。そのため、加速器電極板には、種々の冷却手段が設けられて温度を一定に保持するように構成される。こうした冷却手段の種類としては、例えば、加速器電極板に冷却媒体を流通する冷却パイプを一体に接合するもの、あるいは、加速器電極板の内部に溝状の冷却路を設けて冷却媒体を流通させるもの等がある。
【０００４】
一方、半導体用ヒートシンク板の場合も、加速器電極板と同様に冷却手段を必要とするため、冷却路を有する部品が採用される。また、加速器電極板、半導体用ヒートシンク以外にも、例えば、ジュール熱の発生により過熱される機械部品等は、部品本体に冷却手段を一体に設ける構成としたものが多い。
【０００５】
一方、金属材料の接合手段として、近年、摩擦撹拌接合方法が一般的に採用されつつある。摩擦撹拌接合方法とは、金属部材と金属部材との接合線上に、回転させた摩擦撹拌工具を圧入して摩擦撹拌工具の先端部を陥入させ、金属部材同士を一体に接合する接合方法である。この摩擦撹拌接合方法は、溶接による金属部材の接合のように金属部材を溶解させないので、入熱による金属部材の変形等の不都合が生じない。また、ろう付けによる金属部材の接合のようにろう材を必要としないため、低コストで確実な金属部材の接合方法として応用が期待されている。
【０００６】
例えば、特開２００１−３２１９６９号公報（特許文献１参照）には、銅製のコの字状断面を有する部材同士を、開口部を互いに向き合わせて固定し、開口部の縦方向長さと略同一長さの保持材を挿入し、接合線を摩擦撹拌工具を備えた接合機により接合して、接合後、保持材を取り除いて矩形状の部材を得る銅チューブの製造方法が開示されている。
【０００７】
また、特開２０００−２６３２５１号公報（特許文献２参照）および特開２０００−２０２６５４号公報（特許文献３参照）には、金属部材同士の突合せ部分を摩擦回転工具により接合し、金属構造物を製造する技術が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−３２１９６９号公報
【０００９】
【特許文献２】
特開２０００−２６３２５１号公報
【００１０】
【特許文献３】
特開２０００−２０２６５４号公報
【００１１】
【特許文献４】
特開２００１−３１３３５７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
図６に従来の冷却路を有する部品６０の模式的な断面図を示す。冷却路を有する部品６０は、ビーム孔部６１を穿設した板材６２に、冷却路６３をろう材６４によりろう付けして一体に接合した加速器電極板である。
【００１３】
しかしながら、この冷却路を有する部品６０において、冷却路６３をろう付けする際に、冷却路６３の接合部の周囲にもろう材が濡れ広がるため、ビーム孔部６１内にろう材６４が付着することがある。このビーム孔部６１内に付着したろう材６４が、加速器電極板を使用する際に真空中で蒸発し、使用環境を汚染することがあった。
【００１４】
また、冷却路を有する部品の製造方法として、電子ビーム溶接による接合方法も従来から採用されている。しかしながら、電子ビーム溶接方法は、金属部材を接合する際に電子ビームにより金属部材が溶融する部分の幅（接合幅）が狭く、そのため、溶接作業中に電子ビーム溶接工具が接合線から逸脱する（目外れ）ことがあった。この場合、目外れした部分については、金属部材同士が未接合となるため、接合不良の原因となることがあった。さらに、電子ビーム溶接方法は、真空中で施工するので、部品および溶接装置を封入するための気密容器が必要である。そのため設備コストが高く、また設備の設置スペースの制約が大きいため、大型の部品の製造に適さないという欠点があった。
【００１５】
上述のような不具合を解消するため、例えば、特開２００１−３１３３５７号公報（特許文献４参照）には、ヒートシンク板の製作方法が開示されている。すなわちこの製作方法は、予め溝部を設けた板材に金属板を被覆するように設置し、回転工具により摩擦撹拌接合して冷却路を作製するものである。
【００１６】
しかしながら、同公報に記載の冷却路を有する部品の製造方法によれば、板状部材に溝部を設ける工程が必要であり、また、板状部材と被覆材との接合部の構造が単純でなく、接合面積が広いため、接合不良部を生じ易い等の不都合があった。
【００１７】
本発明は、上述した事情を考慮してなされたものであり、工作精度が高く、使用環境の汚染を生じない高品質な冷却路を有する部品を、高い製造歩留りおよび低い製造コストで製造することが可能な冷却路を有する部品の製造方法を提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法は、請求項１に記載したように、冷却媒体を流通するための空間部を備えた素形材と中実材とを組合せて冷却路を有する部品を構成し、前記素形材と前記中実材とを摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする製造方法である。
【００１９】
また、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法は、請求項３に記載したように、冷却媒体を流通するための空間部を備えた素形材と、天板および底板のうち少なくとも一方とを組合せて冷却路を有する部品を構成し、前記素形材と前記天板または前記底板とを摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする製造方法である。
【００２０】
さらに、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法は、請求項５に記載したように、対向する一対の側壁材で形成される側壁部と天板および底板とから冷却媒体を流通する空間部を形成し、前記側壁部と前記天板との接触面および前記側壁部と前記底板との接触面を摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする製造方法である。
【００２１】
さらに、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法は、請求項７に記載したように、金属部材を摩擦撹拌接合方法により接合する冷却路を有する部品の製造方法において、摩擦撹拌工具による金属部材の接合開始端および接合終了端に残存する凹部に開口部を穿設することを特徴とする製造方法である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法の実施の形態について、添付図を参照して以下に詳細に説明する。
【００２３】
図１は、第１の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品１０の作製方法を示す説明図である。この冷却路を有する部品１０は、中実材としての矩形材１と素形材としての矩形パイプ２とを交互に組み合わせて、摩擦撹拌接合方法により接合したものである。
【００２４】
矩形材１は、無垢の金属材料で構成された部材である。一方、矩形パイプ２は、押出成形方法等の成形方法により成形された金属製のパイプであり、この矩形パイプの空間部３が、冷却媒体の流路（冷却路）として使用される。矩形材１および矩形パイプ２の材料としては、熱伝導性に優れた純銅製のものが好適に用いられる。
【００２５】
一方、被接合部材（矩形材１および矩形パイプ２）の天面側に配置される第１の摩擦撹拌工具（摩擦撹拌工具４）は、矩形材１および矩形パイプ２より高い硬度を有する金属材料で構成された略円柱状の部材であり、回転機器に取付けられて円柱の中心軸回りに回転される。摩擦撹拌工具４の先端部には、矩形材１と矩形パイプ２との接合線に陥入させて撹拌し、両者を一体に接合するための先端凸部４Ａが設けられる。なお図１において被接合部材の表面に表示された矢印は、摩擦撹拌工具４による接合経路を示している。
【００２６】
また、被接合部材の底面側には、第２の摩擦撹拌工具（摩擦撹拌工具５）が配置される。摩擦撹拌工具５は摩擦撹拌工具４と同一の構成を有する部材であり、摩擦撹拌工具５の先端には先端凸部５Ａが設けられる。
【００２７】
この冷却路を有する部品の製造方法は、まず矩形材１と矩形パイプ２とを交互に配置し、図示しない固定具を用いて矩形材１と矩形パイプ２の側面同士を密着させて固定する。この際、矩形材１と矩形パイプ２とは、特に大きなプレス力で密着させる必要はなく、矩形材１と矩形パイプ２とが位置決めされて、接合作業中にずれを生じない程度に固定されれば良い。
【００２８】
次に、被接合部材（矩形材１および矩形パイプ２）を図示しない接合台に設置し、矩形材１と矩形パイプ２との接合線上の接合開始端に、回転させた摩擦撹拌工具４を適当な加圧力により圧入し、接合線に沿って、図１の被接合部材表面に矢印で示すように移動させる。あるいは、製造する部品の大きさにより、摩擦撹拌工具４を固定して被接合部材を移動させて接合する方法としても良い。
【００２９】
この冷却路を有する部品の製造方法においては、被接合部材の天面側および底面側の両面から２本の摩擦撹拌工具４および摩擦撹拌工具５を同時に圧入して矩形材１と矩形パイプ２とを接合する。すなわち、矩形材１と矩形パイプ２との接合線の天面側を第１の摩擦撹拌工具４で接合する一方、接合線の底面側を第２の摩擦撹拌工具５で接合する。
【００３０】
摩擦回転工具４の先端凸部４Ａおよび摩擦撹拌工具５の先端凸部５Ａの長さは、被接合部材である矩形材１および矩形パイプ２の厚さの略半分に設けられており、摩擦回転工具４および摩擦回転工具５を表裏から同時に圧入することにより、被接合部材（矩形材１、矩形パイプ２）の全厚に渡って接合することが可能である。あるいは、摩擦撹拌工具４のみを使用して、被接合部材の天面側を接合した後、被接合部材を裏返して底面側を接合する接合方法としてもよいし、摩擦撹拌工具４の先端凸部４Ａの長さを被接合部材の厚さと略同一として天面側もしくは底面側から摩擦撹拌工具４を圧入して接合しても良い。
【００３１】
冷却路を有する部品１０を加速器電極板として使用する場合は、図１のように矩形材１を表裏に貫通するビーム孔部６を穿設する。このビーム孔部６は、矩形材１と矩形パイプ２とを接合する前に予め矩形材１に設けても良いし、あるいは、矩形材１と矩形パイプ２とを接合した後に行うことも可能である。また、矩形材１と矩形パイプ２との接合後にビーム孔部６を設ける場合は、ビーム孔部６が矩形パイプ２の空間部３と連通することがなく、さらに部品に強度上の問題を生じないならば、接合線上にビーム孔部６を穿設してもよい。
【００３２】
なお、図１に示す冷却路を有する部品１０は、矩形材１と矩形パイプ２とを交互に接合する構成としたが、矩形材１と矩形パイプ２とは任意に組合せて良く、冷却路を有する部品に必要とされる冷却性能により構成を変化させることも可能である。例えば、冷却性能を向上するために、１本の矩形材１に対して矩形パイプ２を２本並列に接合する構成としても良い。また半導体用ヒートシンク等の部品を製造する場合は、矩形パイプ２のみを連続的に接合して冷却路を有する部品１０を構成することも可能である。
【００３３】
上記に説明したように、第１の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法によれば、矩形材１と矩形パイプ２とを一体に接合して冷却路を有する部品１０を構成するので、従来の冷却路を有する部品を製造する際に必要であった溝加工の必要がない。そのため製造工程が簡略化されるので、製造コストが低減される。また、溶接方法により金属部材を接合して冷却路を有する部品を製造する場合と比較して、入熱による金属部材の変形が防止されるため、より工作精度が高い冷却路を有する部品の製造が可能である。
【００３４】
また、この冷却路を有する部品の製造方法は、矩形材１と矩形パイプ２とを構成材料とするので、従来の冷却路を有する部品のように板状部材に溝部を設け、被覆材により被覆する方法に比較して設計の自由度が高く、接合部の構造が単純である。従って、未接合部等の施工不良の発生率が極めて低く、冷却路を有する部品の製造歩留りが向上する。
【００３５】
さらに、この冷却路を有する部品の製造方法は、摩擦撹拌接合方法により金属部材を接合するので、摩擦撹拌工具により矩形材１と矩形パイプ２とを撹拌して一体に接合する部分の幅（接合幅）を、電子ビーム溶接方法において溶接工具により金属部材を溶融して接合する接合幅に比較して広く施工することが可能である。そのため、電子ビーム溶接による金属部材の接合と比較して、接合線からの目外れが起きにくく、接合不良が効果的に防止されるため、冷却路を有する部品の製造歩留りが大幅に向上する。
【００３６】
また、摩擦撹拌接合方法は、大気雰囲気下で施工することが可能であるため、電子ビーム溶接方法に比較して、設備コストおよび製造コストが少なく済み、従来の冷却路を有する部品の製造方法に比較して製造コストを大幅に削減することが可能である。また、製造設備を設置する上での制約が少なく、大型の部品の製造にも適している。
【００３７】
また、接合材料としてろう材を使用しないので、冷却路を有する部品の構成材料に蒸発成分が含まれない。そのため、加速器電極板のように真空中で使用しても、蒸発成分の飛散による使用環境を汚染することがない。従って、より信頼性の高い冷却路を有する部品を提供することが可能である。
【００３８】
次に、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法の第２の実施形態について図２を参照して説明する。
【００３９】
図２は、第２の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品２０を製造する方法を示す説明図である。この冷却路を有する部品２０は、矩形パイプ２１の対向する天面および底面に天板２２と底板２３をそれぞれ配置して、摩擦撹拌接合方法により一体に接合したものである。
【００４０】
この冷却路を有する部品の製造方法は、まず、矩形パイプ２１を天板２２および底板２３で挟まれる空間内に任意に配置して固定具で固定する。次に天板２２の表面側から摩擦撹拌工具４を圧入し、摩擦回転工具４の先端凸部４Ａが天板２２の全厚を貫通して天板２２と矩形パイプ２１との接触面に到達し、さらに矩形パイプ２１の一部に達するまで挿入し、矩形パイプ２１の長手方向に沿って（図２の天板２２上に矢印で示す接合経路で）摩擦撹拌接合を行う。なお、摩擦撹拌工具４を固定して被接合部材（矩形パイプ２１、天板２２および底板２３の集合体）を移動させてもよい。
【００４１】
一方、底板２３の表面側からは、摩擦撹拌工具５を圧入して、摩擦回転工具５の先端凸部５Ａが底板２３の全厚を貫通して底板２３と矩形パイプ２１との接触面に到達し、さらに矩形パイプ２１の一部に達するまで挿入し、矩形パイプ２１の長手方向に沿って摩擦撹拌接合を行う。
【００４２】
冷却路を有する部品２０を加速器電極板として使用する場合には、天板２２と底板２３とで形成される空間内の矩形パイプ２１との接合部分以外のスペース２４に連通するように、天板２２および底板２３にビーム穴部をそれぞれ穿設することが可能である。
【００４３】
この冷却路を有する部品の製造方法は、図２に示すように天板２２および底板２３を同時に摩擦撹拌工具４および摩擦撹拌工具５で接合する。このように天面側と底面側を同時に接合することにより、製造時間を短縮することが可能である。なお、図２は、矩形パイプ２１の天面側および底面側の両面に天板２２および底板２３を接合したが、いずれか一方の板材のみを接合して冷却路を有する部品２０を構成してもよい。
【００４４】
また、この冷却路を有する部品の製造方法は、矩形パイプ２１の配置や間隔を任意に設定することが可能であり、矩形パイプ２１の流路を自在に設定することが可能である。さらに、図２に図示したような直線状の矩形パイプだけでなく、曲線状の矩形パイプを用いてもよい。従って、より複雑な冷却媒体流路を備えた冷却路を有する部品を製作することができ、冷却路を有する部品の冷却性能を向上することが可能である。
【００４５】
次に、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法の第３の実施形態について、図３を参照して説明する。
【００４６】
第３の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により製造された冷却路を有する部品３０は、対向する一対の側壁材により構成された側壁部３１と、この側壁部３１の上端面および下端面に配置される天板３２と底板３３とで構成される。側壁部３１と天板３２と底板３３とで構成された空間部３４に冷却媒体を流通して冷却路とする。
【００４７】
この冷却路を有する部品の製造方法は、まず天板３２と底板３３に挟まれた空間内に側壁部３１を任意に配置して冷却路を設置し、図示しない固定具を用いて固定する。次に、天板３２の表面側から摩擦撹拌工具４を圧入しつつ、底板３３の表面側から摩擦撹拌工具５を圧入して、矢印で示す接合経路に沿って側壁部３１と天板３２および底板３３とを一体に接合する。摩擦撹拌工具４の先端凸部４Ａおよび摩擦撹拌工具５の先端凸部５Ａは、天板３２および底板３３の厚さより長く構成され、先端凸部４Ａおよび先端凸部５Ａが天板３２および底板３３をそれぞれ貫通して側壁部３１と天板３２との接触面および側壁部３１と底板３３との接触面に到達し、側壁部３１と天板３２および側壁部３１と底板３３とが一体に接合される。
【００４８】
この冷却路を有する部品の製造方法によれば、冷却路を形成する側壁部３１を設計自由度の高い板材で構成するので、側壁部３１を任意の形状に設定することにより冷却路をさらに自由に設計することが可能である。例えば、図３に示すように直線状の側壁部３１により冷却路を形成するほか、任意の曲率の側壁材を用いて曲線形状の冷却路を構成しても良い。あるいは、渦巻き状の側壁材を用いて冷却路を構成することも可能である。
【００４９】
また、この冷却路を有する部品の製造方法は、側壁材を矩形パイプより安価な板材により構成するので、製造コストが低減される。また、板材は矩形パイプより設計の自由度が高く、曲げ性に優れるので、より複雑な形状の冷却路を有する部品が製作できるため、冷却路を有する部品の冷却性能を向上するだけでなく、冷却路を有する部品を様々な形状に成形することが可能である。
【００５０】
次に、本発明に係る冷却路を有する部品の製造方法の第４の実施形態について、図４および図５を参照して説明する。
【００５１】
第４の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法は、摩擦撹拌接合方法において、摩擦撹拌工具による金属部材の接合開始端および接合終了端に残される凹部に開口部を穿設して利用することにより、製造コストを低減するものである。
【００５２】
従来の冷却路を有する部品の製造方法は、摩擦撹拌工具による接合開始端および接合終了端に、製品に不必要な凹部が残存してしまう問題があった。この凹部の生成を防止するため、従来、冷却路を有する部品を製造する際には、タブ板を設置して接合線を延長し、タブ板を接合開始端および接合終了端とする等の手段が講じられていた。そのため、タブ板の材料コストおよび設置・除去コストが増大していた。
【００５３】
図４に示す冷却路を有する部品の製造方法においては、矩形材４１と矩形パイプ４２とを矢印で示す接合経路に沿って接合する際に接合開始端および接合終了端に発生する凹部４３に開口部を設け、冷却路を有する部品４０を使用する際の固定手段（ねじ等）を設置する孔部として使用する。すなわち、この凹部４３部分を加工して貫通孔を設け、固定手段を設置する孔部とする。従って、従来の冷却路を有する部品の製造方法において使用されていたタブ板の設置の必要がなく、製造コストの低減が可能となる。
【００５４】
一方、図５に示す冷却路を有する部品の製造方法は、矩形材５１と矩形パイプ５２とを摩擦撹拌工具４により矢印で示す接合経路に沿って接合して冷却路を有する部品５０を製造する際に、矩形材５１と矩形パイプ５２との接合後にビーム孔部５３を穿設する箇所を摩擦撹拌工具の接合開始端とし、同様に接合後にビーム孔部５３を穿設する箇所を摩擦撹拌工具の接合終了端とする製造方法である。この製造方法により冷却路を有する部品５０を製造する場合、一部に非接合線部分の母材を通過する通過部５４が存在するが、摩擦攪拌接合は、非接合線部分に対して行っても、強度の低下や欠陥発生の問題を生じないため、冷却路を有する部品の品質および性能に影響を及ぼすことがない。
【００５５】
この冷却路を有する部品の製造方法によれば、部品最終形状で開口部とする部分を接合開始端と接合終了端としたので、摩擦攪拌接合の際に発生する孔が部品に残存しない。従って、部品にタブ板を延設させて接合開始端および接合終了端とする方法と比較して、タブ板の設置および除去工程が必要なく、製造コストが大幅に低減される。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明のように、本発明の冷却路を有する部品の製造方法によれば、高品質で工作精度が高い冷却路を有する部品を、低い製造コストおよび高い製造歩留りで製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品を作製する説明図。
【図２】第２の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品を作製する説明図。
【図３】第３の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品を作製する説明図。
【図４】第４の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品を作製する説明図。
【図５】第４の実施形態の冷却路を有する部品の製造方法により冷却路を有する部品を作製する説明図。
【図６】従来の冷却路を有する部品を示す構成図。
【符号の説明】
１…矩形材、２…矩形パイプ、３…空間部、４，５…摩擦撹拌工具、４Ａ，５Ａ…先端凸部、６…ビーム孔部、１０…冷却路を有する部品、２０…冷却路を有する部品、２１…矩形パイプ、２２…天板、２３…底板、２４…スペース、３０…冷却路を有する部品、３１…側壁材、３２…天板、３３…底板、４０…冷却路を有する部品、４１…矩形パイプ、４２…矩形材、５０…冷却路を有する部品、５１…矩形パイプ、５２…矩形材、５３…ビーム孔部。

Claims

冷却媒体を流通するための空間部を備えた素形材と中実材とを組合せて冷却路を有する部品を構成し、前記素形材と前記中実材とを摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする冷却路を有する部品の製造方法。
前記素形材と前記中実材との接合線の天面側に第１の摩擦撹拌工具を圧入し、第１の摩擦撹拌工具の先端凸部を陥入させて前記素形材と前記中実材とを一体に接合する一方、前記接合線の底面側に第２の摩擦撹拌工具を圧入し、第２の摩擦撹拌工具の先端凸部を陥入させて前記素形材と前記中実材とを一体に接合することを特徴とする請求項１記載の冷却路を有する部品の製造方法。
冷却媒体を流通するための空間部を備えた素形材と、天板および底板のうち少なくとも一方とを組合せて冷却路を有する部品を構成し、前記素形材と前記天板または前記底板とを摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする冷却路を有する部品の製造方法。
前記天板と前記素形材との接触面に第１の摩擦回転工具の先端凸部が陥入するように、前記天板の表面側から第１の摩擦撹拌工具を圧入して前記天板と前記素形材とを接合する一方、前記底板と前記素形材との接触面に第２の摩擦回転工具の先端凸部が陥入するように、前記底板の表面側から第２の摩擦撹拌工具を圧入して前記底板と前記素形材とを接合することを特徴とする請求項３記載の冷却路を有する部品の製造方法。
対向する一対の側壁材で形成される側壁部と天板および底板とから冷却媒体を流通する空間部を形成し、前記側壁部と前記天板との接触面および前記側壁部と前記底板との接触面を摩擦撹拌接合方法により一体に接合することを特徴とする冷却路を有する部品の製造方法。
前記天板と前記側壁部との接触面に第１の摩擦回転工具の先端凸部が陥入するように、前記天板の表面側から第１の摩擦撹拌工具を圧入して前記天板と前記側壁部とを接合すると同時に、前記底板と前記側壁部との接触面に第２の摩擦回転工具の先端凸部が陥入するように、前記底板の表面側から第２の摩擦撹拌工具を圧入して前記底板と前記側壁部とを接合することを特徴とする請求項５記載の冷却路を有する部品の製造方法。
金属部材を摩擦撹拌接合方法により接合する冷却路を有する部品の製造方法において、摩擦撹拌工具による金属部材の接合開始端および接合終了端に残存する凹部に開口部を穿設することを特徴とする冷却路を有する部品の製造方法。
前記開口部は、ビーム孔部または固定手段設置用の孔部であることを特徴とする請求項７記載の冷却路を有する部品の製造方法。