WO2016009727A1 - 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法 - Google Patents

液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2016009727A1
WO2016009727A1 PCT/JP2015/065522 JP2015065522W WO2016009727A1 WO 2016009727 A1 WO2016009727 A1 WO 2016009727A1 JP 2015065522 W JP2015065522 W JP 2015065522W WO 2016009727 A1 WO2016009727 A1 WO 2016009727A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
main body
liquid cooling
header
face material
cooling jacket
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/065522
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
樋野 治道
拓海 中村
Original Assignee
日本軽金属株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2014145775A external-priority patent/JP6248841B2/ja
Priority claimed from JP2014145776A external-priority patent/JP6248842B2/ja
Application filed by 日本軽金属株式会社 filed Critical 日本軽金属株式会社
Priority to CN201580038149.1A priority Critical patent/CN106537585B/zh
Publication of WO2016009727A1 publication Critical patent/WO2016009727A1/ja

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/19Soldering, e.g. brazing, or unsoldering taking account of the properties of the materials to be soldered
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Definitions

  • the present invention relates to a liquid cooling jacket for cooling a heating element and a method for manufacturing the liquid cooling jacket.
  • Patent Document 1 describes a liquid cooling jacket for cooling a heating element.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view showing a conventional liquid cooling jacket.
  • the conventional liquid cooling jacket 300 includes a base member 310 and a sealing body 320 that covers the concave portion of the base member 310.
  • a screw groove 311 is formed in the base member 310.
  • the sealing body 320 includes a substrate 321 and a plurality of fins 322 formed perpendicular to the substrate 321.
  • the base member 310 and the sealing body 320 are joined by friction stirring.
  • the flange portion H1 of the heating element H is fixed to the screw groove 311 with a screw B.
  • the substrate 321 and the fins 322 of the sealing body 320 are integrally formed.
  • the liquid cooling jacket described in Patent Document 2 discloses a configuration in which a substrate and a plurality of fins are integrated by brazing.
  • Patent Document 3 includes a liquid-cooled main body having a plurality of main body channels through which a heat transport fluid such as water flows, and a header having a hollow portion communicating with the plurality of main body channels.
  • a liquid cooling jacket heat transfer plate
  • the liquid cooling main body and the header are joined by friction stirring.
  • the thermal conductivity can be improved as compared with the liquid cooling jacket according to Patent Document 2.
  • the heat of the heating element H is transmitted to the wall portion 312 of the base member 310 via the screw B and the screw groove 311, and there is a possibility that a heat leak is generated in which the heat stays in the wall portion 312.
  • the liquid cooling jacket 300 tends to increase in size.
  • this invention makes it a subject to provide the manufacturing method of the liquid cooling jacket and liquid cooling jacket which can be manufactured easily.
  • the present invention is a liquid cooling jacket that circulates a heat transport fluid to cool a heating element, and includes a liquid cooling main body having a plurality of main body channels partitioned by a plurality of fins, A fixing pin to which the heating element is fixed, and the liquid cooling main body is formed with a hole communicating with the main body flow path and opening on one surface side. It is inserted in the hole.
  • a fixing pin for fixing the heating element is disposed in the hole communicating with the main body flow path.
  • a heat receiving portion that contacts the heating element is formed on one surface side of the liquid cooling main body, and the fin and the heat receiving portion are integrally formed.
  • the brazing material or the like is interposed in the heat path from the fin to the heat receiving surface as in Patent Document 2, the thermal conductivity is lowered. However, if the heat receiving portion and the fin are integrally formed, the heat conductivity is increased. be able to.
  • an upstream header connected to one end side of the plurality of main body flow paths, a downstream header connected to the other end side of the plurality of main body flow paths, the liquid cooling main body, the upstream header, and the One face material disposed on one side of the downstream header and the other face material disposed on the other side, and an opening for exposing the heat receiving portion is formed in the one face material It is preferable that
  • the liquid cooling jacket can be integrated by sandwiching the liquid cooling main body, the upstream header, and the downstream header between the one face material and the other face material. Moreover, since the opening part which the heat receiving part of a liquid cooling main body exposes is provided in one face material, a heat receiving part and a heat generating body can be made to contact directly. Thereby, thermal conductivity can be improved more.
  • a brazing material layer is formed in advance on the one face material and the other face material, and the liquid cooling main body, the upstream header, and the downstream header are brazed with the one face material. It is preferable that the other face material is brazed.
  • the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header, and the one face material and the other face material can be easily integrated.
  • the brazing material does not intervene in the heat path from the fin to the heat receiving part, the thermal conductivity does not decrease by the brazing.
  • a current plate for adjusting the flow of the heat transport fluid is provided between the liquid cooling main body and the upstream header.
  • the heat conductivity can be further improved by changing the flow of the heat transport fluid in the liquid cooling jacket.
  • the present invention is a liquid cooling jacket for cooling a heating element, a liquid cooling main body having a main body channel through which a heat transport fluid flows, an upstream header connected to one end side of the main body channel, A downstream header connected to the other end of the main body flow path, and one surface material disposed on one side of these members while covering the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header;
  • the header and the one face material are brazed, and the liquid cooling main body, the upstream header, the downstream header, and the other face material are brazed.
  • the members constituting the liquid cooling jacket can be easily integrated by brazing.
  • an opening for exposing the liquid cooling main body is formed in at least one of the one face material and the other face material.
  • the liquid cooling main body and the heating element can be brought into direct contact by providing the opening. Thereby, thermal conductivity can be improved.
  • a current plate for adjusting the flow of the heat transport fluid is formed between the liquid cooling main body and the upstream header.
  • the heat conductivity can be further improved by changing the flow of the heat transport fluid in the liquid cooling jacket.
  • the present invention is a method for manufacturing a liquid cooling jacket for cooling a heating element, wherein a shape member having a plurality of main body flow paths serving as heat transfer fluid flow paths is prepared, and holes communicating with the main body flow paths are prepared.
  • each member can be easily joined by melting the brazing material layer formed on the one face material and the other face material.
  • the fixing pin for fixing the heating element is disposed inside the liquid cooling main body, the liquid cooling jacket can be downsized.
  • a fixing pin for fixing the heating element is disposed in the hole communicating with the main body flow path.
  • an opening is formed in the one face material, and in the arranging step, the one face material is arranged so that a heat receiving portion of the liquid cooling main body is exposed through the opening.
  • the heat receiving portion and the heating element can be brought into direct contact with each other by providing the opening on the one face material. Thereby, thermal conductivity can be improved more.
  • the present invention provides a liquid cooling jacket manufacturing method for cooling a heating element, comprising a step of preparing a liquid cooling main body having a main body flow path serving as a heat transport fluid flow path, A step of arranging an upstream header on one end side of the main body flow path, a step of arranging a downstream header on the other end side of the main body flow path, and one of the liquid cooling main body, the upstream header, and the downstream header.
  • a step of disposing one face material covering these members on the side a step of disposing another face material covering these members on the other side of the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header, And melting and brazing a brazing material layer preliminarily laminated on the facing material and the other facing material.
  • the present invention also relates to a method for manufacturing a liquid cooling jacket for cooling a heating element, the step of preparing a liquid cooling main body having a main body flow path serving as a heat transport fluid flow path, and one end side of the main body flow path These steps are arranged on one side of the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header, the step of arranging the upstream header on the other side, the step of arranging the downstream header on the other end side of the main body flow path, A step of disposing one covering material, a step of disposing the other covering material covering these members on the other side of the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header, and the liquid cooling main body, the upstream side. Melting the brazing material layer provided between the header and the downstream header and the one face material, and between the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header and the other face material; Brazing, and And wherein the Mukoto.
  • the melted brazing material is a superposed portion of one face material (the other face material) and the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream header, or the liquid cooling main body, the upstream header and the downstream side. It enters the butt portion between the headers and hardens.
  • each member which comprises a liquid cooling jacket can be integrated easily.
  • the liquid cooling main body and the heating element can be brought into direct contact by providing the opening. Thereby, thermal conductivity can be improved.
  • a rectifying plate for adjusting the flow of the heat transport fluid between the liquid cooling main body and the upstream header.
  • the heat conductivity can be further improved by changing the flow of the heat transport fluid in the liquid cooling jacket.
  • the thermal conductivity can be improved and the size can be reduced.
  • the liquid cooling jacket can be easily manufactured.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the liquid cooling jacket which concerns on 1st embodiment of this invention. It is a disassembled perspective view of the liquid cooling jacket which concerns on 1st embodiment.
  • (A) is a perspective view which shows the liquid cooling main body and fixing pin of 1st embodiment
  • (b) is II sectional drawing of (a).
  • (A) is a perspective view which shows a front wall and a rear wall
  • (b) is a perspective view which shows the shaping
  • (A) is the perspective view which looked at the right wall from the left side
  • (b) is the perspective view which looked at the right wall from the right side.
  • (A) is a perspective view which shows the lower surface material of 1st embodiment, (b) is sectional drawing of a lower surface material.
  • (A) is a perspective view which shows the upper surface material of 1st embodiment, (b) is sectional drawing of an upper surface material.
  • FIG. 1 It is sectional drawing which shows the surface cutting process of the manufacturing method of the liquid cooling jacket which concerns on 1st embodiment.
  • A) is II-II sectional drawing of FIG. 1
  • (b) is III-III sectional drawing of FIG.
  • the II-II cross section is a cross section parallel to the left-right direction and passing through the center in the front-rear direction.
  • (A) is a schematic plane sectional view which shows the flow of the water of the liquid cooling jacket which concerns on 1st embodiment
  • (b) is an expanded plane sectional view which shows the flow of the water around the pin for fixation.
  • A) is a plane sectional view which shows the liquid cooling jacket which concerns on 2nd embodiment
  • (b) is a perspective view which shows a baffle plate.
  • the liquid cooling jacket 1 is a member that cools a heating element H fixed to the upper surface thereof.
  • a heat transport fluid is circulated inside the liquid cooling jacket 1.
  • the heat transport fluid is not limited as long as it is a liquid, but water is used in this embodiment.
  • the heating element H is fixed only to the upper surface of the liquid cooling jacket 1 is illustrated, but the heating element H may be fixed to the lower surface.
  • the liquid cooling jacket 1 is disposed on the front side of the liquid cooling main body 10, a plurality of fixing pins 20 inserted into the liquid cooling main body 10, and the liquid cooling main body 10.
  • the upper surface material 80 is arranged mainly on the upper side.
  • the liquid cooling body 10 is a portion where the heat transport fluid flows and the heating element H contacts, and has a substantially rectangular parallelepiped shape. As shown in FIGS. 3A and 3B, the liquid cooling main body 10 includes a base portion 11, an upper heat receiving portion 12, and a lower heat receiving portion 13. The liquid cooling main body 10 is integrally formed of a metal having high thermal conductivity. The base 11 has a rectangular parallelepiped shape. The base portion 11 is formed with a plurality of fins 14 formed from one side surface 11c to the other side surface 11d and six hole portions 15 extending from the upper surface 11a to the lower surface 11b.
  • the fin 14 has a plate shape. A plurality of fins 14 are juxtaposed in the width direction with a certain interval. The space between the adjacent fins 14 and 14 functions as a main body channel 16 through which the heat transport fluid flows.
  • the main body channel 16 is a hollow portion having a rectangular cross section.
  • the hole 15 is a hollow part cut out in a columnar shape.
  • the hole 15 communicates with the plurality of main body flow paths 16.
  • the hole 15 is formed by cutting out a part of the upper surface 11 a, the lower surface 11 b, and the plurality of fins 14. In the present embodiment, a total of six hole portions 15 are formed, three at the right end and three at the left end.
  • the number of the holes 15 is appropriately formed according to the number of fixing points of the heating element H.
  • the hole 15 is a through-hole in this embodiment, when fixing the heat generating body H only to an upper surface, the hole opened only to the upper surface 11a and the fin 14, for example may be sufficient.
  • the upper heat receiving part 12 protrudes from the center of the upper surface 11a of the base part 11 and has a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the upper surface of the upper heat receiving portion 12 is a portion that becomes the heat receiving surface 12 a that contacts the heating element H.
  • the heat receiving surface 12a is formed at a position (upper) that is one step higher than the upper surface 11a.
  • the lower heat receiving portion 13 protrudes from the center of the lower surface 11b of the base portion 11 and has a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the lower surface of the lower heat receiving portion 13 is a portion that becomes the heat receiving surface 13 a that contacts the heating element.
  • the heat receiving surface 13a is formed at a position (lower) that is one step lower than the lower surface 11b.
  • the height dimensions of the upper heat receiving part 12 and the lower heat receiving part 13 are equal to the thickness dimensions of the lower surface material 70 and the upper surface material 80.
  • the four corners of the upper heat receiving portion 12 and the lower heat receiving portion 13 are chamfered.
  • an extrusion molding process In the manufacturing method of the liquid cooling main body 10, an extrusion molding process, a hole drilling process, and a heat receiving part cutting process are performed. Although not specifically illustrated, in the extrusion process, an extruded shape (shape material) in which a plurality of fins 14 are formed by extrusion is formed.
  • the hole drilling step a hole 15 penetrating from the upper surface to the lower surface of the extruded profile is drilled.
  • the upper heat receiving portion 12 and the lower heat receiving portion 13 are formed by cutting the peripheral edges of the upper and lower surfaces of the extruded shape member with a predetermined thickness.
  • the liquid cooling main body 10 is formed.
  • the fixing pin 20 is a part to which a fastener for fixing the heating element H is fixed. As shown to (a) of FIG. 3, the fixing pin 20 is a member inserted in the hole 15, Comprising: It exhibits columnar shape. Six fixing pins 20 are provided in accordance with the holes 15.
  • the fixing pin 20 is made of a metal having high thermal conductivity.
  • the fixing pin 20 includes a body portion 21 having a cylindrical shape, and flange portions 22 and 23 even formed on the upper and lower ends of the body portion 21.
  • a female screw 24 penetrating in the vertical direction is formed in the center of the fixing pin 20.
  • the height dimension of the fixing pin 20 is equal to the height dimension of the base 11.
  • the outer diameter of the main body portion 21 is smaller than the outer diameters of the flange portions 22 and 23 and larger than the inner diameter of the female screw 24.
  • the outer diameters of the flange portions 22 and 23 are substantially equal to the inner diameter of the hole portion 15.
  • the fixing pin 20 is provided with the female screw 24.
  • other configurations may be used as long as the fastener for fixing the heating element H can be fixed. Good.
  • body flow paths 16 and 16 through which the heat transport fluid flows are also formed between the body portion 21 of the fixing pin 20 and the fins 14 and 14 on both sides of the body portion 21.
  • the fins 14 are also formed outside the fixing pins 20. That is, the main body channels 16 and 16 through which the heat transport fluid flows are formed on the outside of the fixing pin 20 by the fins 14 and the side walls 11e or the fins 14 and the side walls 11f.
  • the main-body part 21 of the pin 20 for fixation was made into the column shape in this embodiment, it is not limited to this.
  • the main body portion 21 may be provided with a large-diameter portion and a small-diameter portion, or may be formed so that the central portion in the height direction is the thinnest (constricted).
  • the front wall 30 is a member that is disposed on the front side of the liquid cooling main body 10 and constitutes a part of the upstream header through which the heat transport fluid flows. As shown to (a) of FIG. 4, the front wall 30 is integrally formed with the metal with high heat conductivity.
  • the height dimension of the front wall 30 is equivalent to the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the horizontal dimension of the front wall 30 is equal to the horizontal dimension of the liquid cooling main body 10.
  • the front wall 30 includes a lower wall 31, an upper wall 32, a side wall 33, and an intermediate wall 34.
  • the lower wall 31, the upper wall 32, the side wall 33, and the intermediate wall 34 are all plate-shaped.
  • the lower wall 31 and the upper wall 32 are spaced apart in the vertical direction and are arranged in parallel.
  • the side wall 33 and the intermediate wall 34 are spaced apart in the front-rear direction and are arranged in parallel.
  • a hollow portion 35 that communicates in the left-right direction is formed inside the front wall 30. Further, the rear side of the front wall 30 is opened rearward.
  • a notch hole 36 penetrating in the vertical direction is formed in the center of the front wall 30, a notch hole 36 penetrating in the vertical direction is formed.
  • the cutout hole 36 has a circular shape in plan view.
  • the inner diameter of the notch 36 is equal to the outer diameter of a pipe 92 (see FIG. 9) described later.
  • a cutout hole 37 penetrating in the vertical direction is formed at the left end of the front wall 30.
  • the cutout hole 37 has a semicircular shape in plan view.
  • the notches 36 and 37 have the same radius of curvature.
  • a space surrounded by the lower wall 31, the upper wall 32, and the intermediate wall 34 of the front wall 30 is a portion through which the heat transport fluid flows.
  • a space surrounded by the lower wall 31, the upper wall 32, and the intermediate wall 34 of the front wall 30 is referred to as a front wall communication portion 38.
  • the rear wall 40 is a member that is disposed on the rear side of the liquid cooling main body 10 and constitutes a part of the downstream header through which the heat transport fluid flows. As shown to (a) of FIG. 4, the rear wall 40 is integrally formed with the metal with high heat conductivity.
  • the height dimension of the rear wall 40 is equal to the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the lateral dimension of the rear wall 40 is equivalent to the lateral dimension of the liquid cooling main body 10.
  • the rear wall 40 has the same shape as the front wall 30 in this embodiment.
  • the rear wall 40 includes a lower wall 41, an upper wall 42, a side wall 43, and an intermediate wall 44.
  • the lower wall 41, the upper wall 42, the side wall 43, and the intermediate wall 44 are all plate-shaped.
  • the lower wall 41 and the upper wall 42 are spaced apart in the vertical direction and are arranged in parallel.
  • the side wall 43 and the intermediate wall 44 are spaced apart in the front-rear direction and arranged in parallel.
  • a hollow portion 45 communicating in the left-right direction is formed inside the rear wall 40. Further, the front side of the rear wall 40 is opened forward.
  • a notch hole 46 penetrating in the vertical direction is formed in the center of the rear wall 40.
  • the cutout hole 46 has a circular shape in plan view.
  • the inner diameter of the cutout hole 46 is equal to the outer diameter of a pipe 92 (see FIG. 9) described later.
  • a cutout hole 47 penetrating in the vertical direction is formed at the left end of the rear wall 40.
  • the cutout hole 47 has a semicircular shape in plan view.
  • the notches 46 and 47 have the same radius of curvature.
  • a space surrounded by the lower wall 41, the upper wall 42, and the intermediate wall 44 of the rear wall 40 is a portion through which the heat transport fluid flows.
  • a space surrounded by the lower wall 41, the upper wall 42, and the intermediate wall 44 of the rear wall 40 is referred to as a rear wall communication portion 48.
  • the extrusion molding process is a process of obtaining an extruded profile P by performing extrusion molding on a cylindrical metal member called a billet.
  • the extruded shape member P has a hollow portion P1 formed in the center, hollow portions P2 and P2 formed on both sides of the hollow portion P1, and hollow portions P3 and P3 formed on the outside of the hollow portion P2, respectively. .
  • the hollow portions P2 and P2 have the same size.
  • the hollow portions P3 and P3 are also the same size.
  • the hollow portions P3 and P3 are portions that become the hollow portions 35 and 45 shown in FIG.
  • the extruded shape member P is cut to obtain the front wall 30 and the rear wall 40.
  • the extruded shape member P is cut along virtual lines L1 and L2 set in parallel with the left-right direction.
  • the virtual lines L1 and L2 are set so as to divide the hollow portions P2 and P2 in parallel with the left-right direction.
  • notches 36, 37, 46, 47 are formed in the cut member.
  • the front wall 30 and the rear wall 40 are formed.
  • the front wall 30 and the rear wall 40 have the same shape, but the front wall 30 and the rear wall 40 may have different shapes.
  • the right wall 50 is a member that is disposed on the right side of the liquid cooling main body 10 and has an inlet and an outlet for the heat transport fluid.
  • the right wall 50 is a member constituting part of the upstream header and the downstream header through which the heat transport fluid flows. As shown in FIGS. 5A and 5B, the right wall 50 is made of a metal having high thermal conductivity.
  • the height dimension of the right wall 50 is equal to the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the front-rear direction dimension of the right wall 50 is equal to the sum of the front-rear direction dimensions of the liquid cooling main body 10, the front wall 30, and the rear wall 40.
  • the right wall 50 is formed symmetrically with respect to an intermediate line parallel to the left-right direction.
  • the right wall 50 includes an inlet hole 52, an inlet communication part 53, an outlet hole 54, and an outlet communication part 55 formed in the base part 51 that has a rectangular parallelepiped shape.
  • the inlet hole 52 is a cylindrical hollow part, and is open to the right side.
  • the inlet communication part 53 is continuous with the inlet hole 52 and is open on the left side.
  • the inlet communication portion 53 is a rectangular parallelepiped hollow portion and has a hollow portion larger than the inlet hole 52.
  • the inlet hole 52 and the inlet communication portion 53 are portions into which the heat transport fluid flows.
  • the exit hole 54 is a cylindrical hollow part and is open on the right side.
  • the outlet communication portion 55 is continuous with the outlet hole 54 and is open on the left side.
  • the outlet communication portion 55 is a rectangular parallelepiped hollow portion and has a hollow portion larger than the outlet hole 54.
  • the outlet hole 54 and the outlet communication portion 55 are portions through which the heat transport fluid flows out.
  • the left wall 60 is a member disposed on the left side of the liquid cooling main body 10. As shown in FIG. 2, the left wall 60 has cutout holes 62 and 63 formed in the base portion 61.
  • the left wall 60 is formed of a metal having high thermal conductivity.
  • the height dimension of the left wall 60 is equal to the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the front-rear direction dimension of the left wall 60 is equivalent to the sum of the front-rear direction dimensions of the liquid cooling main body 10, the front wall 30, and the rear wall 40.
  • the left wall 60 may be formed to have a hollow portion, but is solid in the present embodiment.
  • the cutout holes 62 and 63 penetrate in the vertical direction and have a semicircular shape in plan view.
  • the curvature radii of the cutout holes 62 and 63 are equal to the curvature radii of the cutout holes 37 and 47 facing each other.
  • the inner diameters of the notch hole formed so that the notch holes 37 and 62 face each other and the notch hole formed so that the notch holes 47 and 63 face each other are the outer diameter of the pipe 92 (see FIG. 9) described later. It is equivalent.
  • the lower surface material 70 is a plate-like member disposed on the lower side of the liquid cooling main body 10.
  • the lower surface material 70 corresponds to the “other surface material” in the claims.
  • the lower surface material 70 is formed with a constant thickness.
  • An opening 71, through holes 72, 72, 73, 73 and six female screws 74 are formed in the lower surface material 70.
  • the opening 71 penetrates in the vertical direction and has a substantially rectangular shape in plan view.
  • the opening 71 is a portion into which the lower heat receiving portion 13 (see FIG. 3B) is inserted.
  • the opening 71 has a shape in which the lower heat receiving portion 13 is fitted with no gap.
  • the through-holes 72 penetrate in the vertical direction, and are formed in a pair with the opening 71 interposed in the center of the bottom surface material 70 in the left-right direction.
  • the through holes 72 and 72 have the same size and have a circular shape in plan view.
  • the central axis of the through-hole 72 and the central axis of the notches 36 and 46 are coaxial.
  • the inner diameter of the through hole 72 is slightly smaller than the inner diameter of the cutout holes 36 and 46 (see FIG. 2).
  • the through-holes 73 penetrate in the vertical direction, and a pair is formed at the left end corner of the lower surface material 70.
  • the through holes 73 and 73 have the same size and have a circular shape in plan view.
  • the center axis of the through hole 73 and the center axis of the notch hole formed so that the notch holes 37 and 62 (see FIG. 2) face each other are coaxial.
  • the center axis of the through hole 73 and the center axis of the notch hole formed so that the notch holes 47 and 63 (see FIG. 2) face each other are coaxial.
  • the inner diameter of the through hole 73 is slightly smaller than the inner diameter of the notch hole formed so that the notch holes 37 and 62 face each other and the notch hole formed so that the notch holes 47 and 63 face each other. .
  • the female screw 74 penetrates in the vertical direction, and is formed in a total of six, three by three with the opening 71 in the left-right direction.
  • the female screw 74 is a part to which the screw B is screwed when the heating element H is fixed to the lower surface member 70.
  • the female screw 74 is formed at a position corresponding to the fixing pin 20. More specifically, the female screw 74 is formed so as to communicate with the female screw 24 of the fixing pin 20.
  • the female screw 74 forms a screw groove in this embodiment, it is sufficient if it is a hole penetrating at least in the vertical direction and communicated with the female screw 24 of the fixing pin 20.
  • the plate thickness dimension of the lower surface material 70 is equivalent to the height dimension of the lower heat receiving portion 13.
  • the front-rear direction dimension of the lower surface material 70 is equivalent to the sum of the front-rear direction dimensions of the liquid cooling main body 10, the front wall 30 and the rear wall 40.
  • the horizontal dimension of the lower surface material 70 is equivalent to the sum of the horizontal dimensions of the liquid cooling main body 10, the right wall 50 and the left wall 60.
  • the lower surface material 70 is formed by laminating a plurality of metal materials as shown in FIG.
  • the lower surface material 70 includes a substrate layer 70A, an intermediate layer 70B, and a brazing material layer 70C in order from the bottom.
  • the substrate layer 70A is made of, for example, an aluminum alloy containing 0.4 to 0.8 wt% of Mg.
  • the intermediate layer 70B is formed of, for example, an aluminum alloy containing 0.45 to 0.55 wt% of Cu.
  • the brazing material layer 70C is made of, for example, an aluminum alloy containing 9.0 to 11.0 wt% of Si.
  • the brazing material layer 70 ⁇ / b> C is a layer that is melted by being heated and bonded to each other in a brazing process described later.
  • the lower surface material 70 has a three-layer structure in the present embodiment, but may have any number of layer structures as long as a brazing material layer is formed on at least the upper surface.
  • the upper surface member 80 is a plate-like member disposed on the upper side of the liquid cooling main body 10.
  • the upper surface material 80 corresponds to “one surface material” in the claims. As shown in FIG. 7A, the upper surface member 80 is formed with a constant thickness.
  • An opening 81, through holes 82, 82, 83, 83, and six female screws 84 are formed in the upper surface member 80.
  • the upper surface material 80 is made of the same shape and material as the lower surface material 70.
  • the opening 81 penetrates in the vertical direction and has a substantially rectangular shape in plan view.
  • the opening 81 is a part into which the upper heat receiving unit 12 (see FIG. 2) is inserted.
  • the opening 81 is shaped to be fitted to the upper heat receiving portion 12 without a gap.
  • the through-holes 82 penetrate in the vertical direction, and are formed as a pair with the opening 81 sandwiched in the center in the left-right direction of the top surface member 80.
  • Each of the through holes 82 and 82 has the same size and has a circular shape in plan view.
  • the central axis of the through hole 82 and the central axis of the cutout holes 36 and 46 are coaxial.
  • the inner diameter of the through hole 82 is slightly smaller than the inner diameter of the cutout holes 36 and 46 (see FIG. 2).
  • the through-holes 83 penetrate in the vertical direction and are formed in a pair at the left end corner of the top surface member 80.
  • the through holes 83 and 83 have the same size and have a circular shape in plan view.
  • the center axis of the through-hole 83 and the center axis of the notch hole formed so that the notch holes 37 and 62 (see FIG. 2) face each other are coaxial.
  • the center axis of the through hole 83 and the center axis of the notch hole formed so that the notch holes 47 and 63 (see FIG. 2) face each other are coaxial.
  • the inner diameter of the through hole 83 is slightly smaller than the inner diameter of the notch hole formed so that the notch holes 37 and 62 face each other and the notch hole formed so that the notch holes 47 and 63 face each other.
  • the female screw 84 penetrates in the vertical direction, and a total of six female screws 84 are formed, three by three with the opening 81 in the left-right direction.
  • the female screw 84 is a part to which the screw B (see FIG. 1) is screwed.
  • the female screw 84 is formed at a position corresponding to the fixing pin 20. More specifically, the female screw 84 is formed so as to communicate with the female screw 24 of the fixing pin 20.
  • the female screw 84 forms a screw groove in this embodiment, it is sufficient if it is a hole that penetrates at least in the vertical direction and communicates with the female screw 24 of the fixing pin 20.
  • the plate thickness dimension of the upper surface material 80 is equivalent to the height dimension of the upper heat receiving portion 12 as shown in FIG.
  • the front-rear direction dimension of the upper surface member 80 is equal to the sum of the front-rear direction dimensions of the liquid cooling main body 10, the front wall 30 and the rear wall 40.
  • the horizontal dimension of the top member 80 is equal to the sum of the horizontal dimensions of the liquid cooling main body 10, the right wall 50 and the left wall 60.
  • the upper surface material 80 is formed by laminating a plurality of metal materials as shown in FIG.
  • the upper surface member 80 includes a substrate layer 80A, an intermediate layer 80B, and a brazing material layer 80C in order from the top.
  • the substrate layer 80A is made of, for example, an aluminum alloy containing 0.4 to 0.8 wt% of Mg.
  • the intermediate layer 80B is made of, for example, an aluminum alloy containing 0.45 to 0.55 wt% of Cu.
  • the brazing material layer 80C is made of, for example, an aluminum alloy containing 9.0 to 11.0 wt% of Si.
  • the brazing material layer 80 ⁇ / b> C is a layer that melts by being heated and joins the members in a brazing process described later.
  • the upper surface material 80 has a three-layer structure in this embodiment, but may have any number of layer structures as long as a brazing material layer is formed on at least the lower surface.
  • the manufacturing method of the liquid cooling jacket according to the present embodiment performs a preparation process, an insertion process, a first arrangement process, a second arrangement process, a brazing process, a surface cutting process, and a female screw forming process. .
  • the preparation step is a step of forming each member and arranging temporary pins and pipes.
  • the liquid cooling main body 10 the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, the left wall 60, the lower surface material 70, and the upper surface material 80 are formed.
  • board thickness dimension of the lower surface material 70 and the upper surface material 80 is shape
  • the female screw 74 of the lower surface material 70 and the female screw 84 of the upper surface material 80 are formed in the female screw forming step, they are not provided in the preparation step.
  • temporary pins 91 and pipes 92 are arranged as shown in FIG.
  • the temporary pins 91 are inserted into the through holes 72, 72, 73, 73 of the lower surface material 70, respectively.
  • the temporary pins 91 are made of metal and have a cylindrical shape.
  • the outer diameter of the temporary pin 91 is equal to the inner diameter of the through holes 72 and 73.
  • the length of the temporary pin 91 is substantially equal to the sum of the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10, the plate thickness dimension of the lower surface material 70, and the plate thickness dimension of the upper surface material 80.
  • the pipe 92 is inserted into the temporary pin 91.
  • the pipe 92 is made of metal and has a cylindrical shape.
  • the lower end surface of the pipe 92 abuts on the upper surface 70 a of the lower surface material 70.
  • the inner diameter of the pipe 92 is equal to the inner diameter of the through holes 72 and 73 and the outer diameter of the temporary pin 91.
  • the length of the pipe 92 is equal to the height of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the insertion step is a step of inserting the fixing pins 20 into the respective holes 15 formed in the liquid cooling main body 10 as shown in FIG. In the inserting step, the fixing pin 20 before the female screw 24 is formed is inserted.
  • the first arrangement step is a step of arranging the liquid cooling main body 10, the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50 and the left wall 60 on the lower surface material 70.
  • the first arrangement step first, the lower heat receiving portion 13 of the liquid cooling main body 10 is inserted into the opening 71 of the lower surface material 70. Thereby, the lower surface of the fixing pin 20 is covered with the lower surface material 70.
  • the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50 and the left wall 60 are arranged on the upper surface 70 a of the lower surface material 70.
  • the front wall 30 is disposed while the pipe 92 is inserted through the notch hole 36.
  • the rear wall 40 is arranged while the pipe 92 is inserted through the notch hole 46.
  • the right wall 50 is disposed in contact with the liquid cooling main body 10, the front wall 30 and the rear wall 40.
  • the left wall 60 has the notch hole 62 opposed to the notch hole 37 and the notch hole 63 opposed to the notch hole 47.
  • the left wall 60 is disposed in contact with the liquid cooling main body 10, the front wall 30 and the rear wall 40.
  • the upper surface 11a of the base 11 of the liquid cooling main body 10, the upper surface of the front wall 30, the upper surface of the rear wall 40, the upper surface of the right wall 50, and the upper surface of the left wall 60 are flush with each other by the first arrangement step.
  • the upper end surface of the pipe 92 is flush with the upper surface of the front wall 30, the upper surface of the rear wall 40, the upper surface of the right wall 50, and the upper surface of the left wall 60 by the first arrangement step.
  • the base 11, the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60 of the liquid cooling main body 10 are butted together to form a butted portion (joint). Furthermore, the front wall 30, the rear wall 40, the left wall 60, and the pipe 92 are abutted to form an abutting portion (joint).
  • the second placement step is a step of placing the top material 80 so as to cover the liquid cooling main body 10, the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60.
  • the liquid cooling main body 10, the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60 are disposed between the lower surface material 70 and the upper surface material 80.
  • the opening 81 of the upper surface member 80 is inserted into the upper heat receiving portion 12 of the liquid cooling main body 10, and the through holes 82, 82, 83, 83 are inserted into the four temporary pins 91, respectively.
  • the upper surface of the fixing pin 20 is covered with the upper surface material 80. Further, in the second arrangement step, an outer peripheral side surface (side surface exposed to the outside) composed of the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60, an outer peripheral side surface 70c of the lower surface material 70, and an outer periphery of the upper surface material 80 The side surface 80c is flush. When the top member 80 is disposed, the temporary pins 91 are removed.
  • the first arrangement step and the second arrangement step correspond to the “arrangement step” in the claims.
  • the brazing process is a process in which each member is heated to melt and braze the brazing material layer 70C of the lower surface material 70 and the brazing material layer 80C of the upper surface material 80.
  • each member is heated to a temperature at which the brazing material layer melts.
  • the upper surface 70a of the lower surface material 70, the lower surface 11b of the base portion 11, the lower surface of the front wall 30, the lower surface of the rear wall 40, the lower surface of the right wall 50, and the lower surface of the left wall 60 by the brazing material melted in the brazing material layer 70C.
  • the overlapping part (interface) is joined.
  • the lower surface 80b of the upper surface material 80, the upper surface 11a of the base 11, the upper surface of the front wall 30, the upper surface of the rear wall 40, the upper surface of the right wall 50, and the upper surface of the left wall 60 are made of the brazing material melted in the brazing material layer 80C.
  • the overlapping part (interface) is joined.
  • the brazing material melted in the brazing material layer 70C and the brazing material layer 80C enters the abutting portion (joint) where the liquid cooling main body 10, the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60 are abutted. These members are joined together. Also, the brazing material melted in the brazing material layer 70C and the brazing material layer 80C enters the abutting portion between the notch holes 36, 37, 46, 47, 62, 63 and the pipes 92, and these members are joined together. . Further, the brazing material melted in the brazing material layer 70C and the brazing material layer 80C enters the abutting portion between each hole 15 and each fixing pin 20, and these members are joined to each other.
  • the chamfering process is a process of chamfering a part of the lower surface material 70 and the upper surface material 80.
  • the plate thickness dimension of the lower surface material 70 is set in advance larger than the height dimension of the lower heat receiving portion 13.
  • the plate thickness dimension of the upper surface member 80 is set in advance larger than the height dimension of the upper heat receiving portion 12.
  • the lower surface 70b of the lower surface material 70 is cut so that the heat receiving surface 13a and the lower surface 70b of the lower heat receiving unit 13 are flush with each other.
  • the upper surface 80a of the upper surface material 80 is cut so that the heat receiving surface 12a and the upper surface 80a of the upper heat receiving unit 12 are flush with each other.
  • the surface cutting process is performed.
  • the plate thickness dimension of the lower surface member 70 and the height dimension of the lower heat receiving portion 13 are set to be equal, and the plate thickness dimension of the upper surface member 80 and the upper heat receiving portion 12 are set.
  • the surface cutting process may be omitted by setting the height dimensions of the same in advance.
  • the female screw forming step is a step of forming the female screw 24 on the fixing pin 20.
  • a female screw that penetrates the upper surface member 80, the fixing pin 20, and the lower surface member 70 is formed using a tap or the like.
  • the internal thread 24,74,84 (refer FIG. 2) which connects is formed.
  • a female screw is provided so as to penetrate in the vertical direction.
  • a female screw may be provided so as to be formed in the fixing pin 20 and open to at least one of the upper surface side and the lower surface side.
  • the liquid cooling jacket 1 is formed by the above process.
  • the manufacturing method of the above-mentioned liquid cooling jacket is an example to the last, and does not limit this invention.
  • the order of each process can also be changed as appropriate.
  • the temporary pin 91 (see FIG. 9) is removed before the brazing process, but it may be removed after the brazing process.
  • the temporary pin 91 is formed of an aluminum alloy and a material that is not brazed (for example, iron, carbon, ceramic, etc.). By brazing in a state where the temporary pin 91 is inserted, it is possible to prevent vibration displacement during movement in a brazing furnace or the like.
  • a heating element H such as a CPU is fixed to at least one of the lower surface material 70 and the upper surface material 80 of the liquid cooling jacket 1 with a fastener such as a screw B.
  • a fastener such as a screw B.
  • FIG. 12 is a schematic plan sectional view showing the flow of water in the liquid cooling jacket according to the first embodiment.
  • the drawing of the fins 14 and the main body flow path 16 is omitted.
  • the heat transport fluid water in this embodiment
  • the heat transport fluid flows from the front wall communicating portion 38 into each main body flow path 16 of the liquid cooling main body 10.
  • the inlet hole 52, the inlet communication portion 53, and the front wall communication portion 38 are portions corresponding to the “upstream header” in the claims.
  • the upstream header is connected to one end side (upstream side) of the plurality of main body flow paths 16.
  • the heat transport fluid flowing through the main body flow path 16 performs heat exchange by contacting with the plurality of fins 14, and transports heat to the outside.
  • the heat transport fluid discharged from the downstream side of the main body flow path 16 flows into the rear wall communication portion 48 of the rear wall 40. Then, the heat transport fluid is discharged to the outside through the outlet communication portion 55 and the outlet hole 54 of the right wall 50.
  • the rear wall communication portion 48, the outlet communication portion 55, and the outlet hole 54 are portions corresponding to the “downstream header” in the claims.
  • the downstream header is connected to the other end side (downstream side) of the plurality of main body flow paths 16.
  • FIG. 12B is an enlarged plan sectional view showing the flow of water around the fixing pin.
  • the main body flow paths 16 are distinguished from each other by being denoted by reference numerals “16a” to “16f”.
  • the main body channels 16 c and 16 d are connected to the fixing pin 20. Since it is blocked by the main body portion 21, the heat transport fluid does not flow through the main body flow paths 16c and 16d.
  • the outer diameter of the main body 21 of the fixing pin 20 is slightly smaller than the inner diameter of the hole 15 (the outer diameter of the flange portions 22 and 23).
  • a cylindrical space is formed between each fin 14 and the main body portion 21, so that the heat transport fluid flows also on the entire outer peripheral surface of the main body portion 21.
  • the heat transport fluid that flows around the fixing pin 20 flows into any of the main body flow paths 16b to 16e and is discharged.
  • the heat generated in the heating element H is transported to the outside by the heat transfer fluid flowing through the main body flow path 16 of the liquid cooling main body 10. Thereby, the heat generating body H can be cooled.
  • the cooling efficiency can be increased.
  • the plurality of fins 14 are formed on the entire heat receiving surface 12a, the cooling efficiency can be further increased.
  • liquid cooling main body 10 is integrally formed by extrusion molding, a bonding material such as a brazing material is not interposed in the heat path from the fin 14 to the heat receiving surface 12a. Thereby, since a heat conductive fall can be prevented, cooling efficiency can be improved more.
  • the fixing pin 20 for fixing the heating element H is disposed in the hole 15 communicating with the main body flow path 16. That is, as shown in FIG. 12, since the heat transport fluid comes into contact with the outer peripheral surface of the fixing pin 20, the fixing pin 20 is connected to the fixing pin 20 via a fastener such as a screw B for fixing the heating element H. The transmitted heat can be discharged efficiently. That is, the heat leak through the fastener for fixing the heating element H can be prevented.
  • the flat cross-sectional shape of the main body portion 21 of the fixing pin 20 may be any shape, but the heat transport fluid can be circulated smoothly by forming a circular shape as in the present embodiment.
  • the fixing pin 20 for fixing the heating element H is disposed inside the liquid cooling main body 10 having the plurality of main body flow paths 16, the liquid cooling jacket 1 can be reduced in size. Moreover, the heating element H can be cooled by the upper and lower surfaces of the liquid cooling jacket 1 by providing the upper heat receiving portion 12 and the lower heat receiving portion 13 exposed on the upper and lower surfaces of the liquid cooling jacket 1, respectively.
  • the lower wall material 70 and the upper surface material 80 sandwich the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the left wall 60, and the brazing material layers 70C and 80C of the lower surface material 70 and the upper surface material 80 are melted to braze. Therefore, the liquid cooling jacket 1 can be easily integrated. Moreover, even if it joins in this way, since a brazing material does not intervene in the heat path from the fin 14 to the heat receiving surface 12a (13a), thermal conductivity does not fall by the said brazing.
  • the lower heat receiving portion 13 is inserted into the opening 71 of the lower surface member 70, and the upper heat receiving portion 12 is inserted into the opening 81 of the upper surface member 80, whereby the heat receiving surface 12 a (13 a) and the heating element H are connected. Direct surface contact is possible.
  • the liquid cooling main body 10 the front wall 30, the rear wall 40, the right wall 50, and the brazing material layers 70C and 80C of the lower surface material 70 and the upper surface material 80 are melted.
  • the molten brazing material enters the abutting portions (joints) where the left wall 60 is abutted, and these members are joined to each other.
  • the molten brazing material enters the abutting portion between the liquid cooling main body 10 and the upstream header and the abutting portion between the liquid cooling main body 10 and the downstream header, and these members are joined together.
  • the brazing material melted in the brazing material layer 70C and the brazing material layer 80C enters the abutting portion between the notch holes 36, 37, 46, 47, 62, 63 and the pipes 92, and these members are joined together. . Further, the brazing material melted in the brazing material layer 70C and the brazing material layer 80C enters the abutting portion between each hole 15 and each fixing pin 20, and these members are joined to each other.
  • manufacturing efficiency can be improved.
  • the liquid cooling jacket 1 includes four fixing through holes 90 as shown in FIG.
  • the fixing through hole 90 is a hole constituted by the through holes 72, 73, 82, 83 and the pipe 92.
  • the fixing through hole 90 By providing the fixing through hole 90, the liquid cooling jacket 1 can be easily attached to the symmetrical structure. Further, since the upper surface 80a of the upper surface member 80 and the heat receiving surface 12a are formed flush with each other, and the lower surface 70b of the lower surface member 70 and the heat receiving surface 13a are formed flush with each other, the attachment to the symmetrical structure is performed. The property is also good. Further, when the fixing through-hole 90 is formed, the temporary pin 91 is used to perform positioning when the front wall 30, the rear wall 40, the left wall 60, the lower surface member 70, and the upper surface member 80 are arranged. It can be done easily.
  • the upstream header and the downstream header are configured by a plurality of members, but the upstream header and the downstream header may be configured by one member. Further, the upstream header and the downstream header may be combined to form a single member.
  • the fins 14 are plate-shaped, but may be columnar, for example. Further, the upper heat receiving portion 12 and the lower heat receiving portion 13 may be flush with the upper surface 11a and the lower surface 11b without protruding from the upper surface 11a and the lower surface 11b of the base 11. In this case, since the heat receiving surface is exposed from the opening 71 of the lower surface material 70 and the opening 81 of the upper surface material 80, the heat generating body H and the heat receiving surface are brought into contact with each other by providing a convex portion on the heat generating body H. You may let them.
  • the upper heat receiving portion 12 and the lower heat receiving portion 13 may be omitted, and the opening 71 of the lower surface material 70 and the opening 81 of the upper surface material 80 may be omitted.
  • heat is indirectly transferred between the liquid cooling main body 10 and the heating element H via the lower surface material 70 or the upper surface material 80.
  • the heating element H may be directly fixed to the liquid cooling main body 10 by omitting the lower surface material 70 and the upper surface material 80.
  • FIG. 13A is a plan sectional view showing a liquid cooling jacket according to the second embodiment
  • FIG. 13B is a perspective view showing a current plate.
  • the liquid cooling jacket 1A according to the present embodiment is different from the first embodiment in that a rectifying plate 95 is provided.
  • description will be made centering on portions that are different from the first embodiment.
  • the rectifying plate 95 is a metal plate member.
  • the rectifying plate 95 is disposed between the liquid cooling main body 10 and the front wall 30. That is, it is interposed between the liquid cooling main body 10 and the upstream header.
  • the rectifying plate 95 is a member for adjusting (changing) the flow of the heat transport fluid.
  • the length dimension of the current plate 95 is equal to the horizontal dimension of the liquid cooling main body 10.
  • the height dimension of the rectifying plate 95 is equal to the height dimension of the base 11 of the liquid cooling main body 10.
  • the current plate 95 is formed with a central flow path hole 96 penetrating in the thickness direction and side flow path holes 97 and 97.
  • the central channel hole 96 has an elongated rectangular shape when viewed from the front side.
  • the length of the central channel hole 96 is formed substantially equal to the distance between the fixing pins 20 and 20 arranged in parallel in the left-right direction.
  • the side flow path holes 97 are respectively formed on both sides of the central flow path hole 96.
  • the height dimension of the side flow path hole 97 is about four times larger than the height dimension of the central flow path hole 96.
  • the heat transport fluid flowing from the front wall communicating portion 38 is more than the side channel holes 96 and 97 than the central channel hole 96. A lot will flow towards. Thereby, the cooling efficiency around the fixing pin 20 can be further increased.
  • the flow path hole of the rectifying plate 95 is not limited to the above-described form.
  • the rectifying plate 95 can change the flow of the heat transport fluid as necessary by appropriately changing the position, size, shape, and the like of the opening of the flow path hole.
  • the liquid cooling main body 110 includes a lower main body portion 120, an interposed plate 130, and an upper main body portion 140.
  • the lower main body 120 includes a base 121 that has a plate shape and a lower heat receiving portion 122 (see FIG. 15) that protrudes downward from the base 121.
  • the lower main body 120 is made of metal and is integrally formed.
  • the base 121 is formed with a plurality of fins 123 and six holes 124 extending from the front side to the rear side.
  • the hole part 124 penetrates in the up-down direction and is a cylindrical hollow part.
  • the hole 124 is a part where a fixing pin (not shown) is arranged.
  • Six fixing pins are disposed on the lower main body 120.
  • the height dimension of the fixing pin of the first modification is equal to the height dimension of the hole 124.
  • the lower heat receiving part 122 is equivalent to the first embodiment.
  • the interposed plate 130 is a plate-like member for integrating the lower main body 120 and the upper main body 140.
  • the interposed plate 130 is made of metal.
  • a brazing material layer (not shown) is formed on the upper and lower surfaces of the interposed plate 130.
  • the front-rear direction dimension and the left-right direction dimension of the interposed plate 130 are equal to the front-rear direction dimension and the left-right direction dimension of the lower main body 120.
  • the upper main body 140 includes a base portion 141 that has a plate shape and an upper heat receiving portion 142 that protrudes upward from the base portion 141.
  • the upper main body 140 has the same shape as the lower main body 120.
  • the upper main body 140 is made of metal and is integrally formed.
  • the base 141 is formed with a plurality of fins 143 and six holes 144 extending from the front side to the rear side.
  • the hole 144 penetrates in the vertical direction and is a cylindrical hollow part.
  • the hole 144 is a part where a fixing pin (not shown) is disposed.
  • Six fixing pins are arranged on the upper main body 140.
  • the height dimension of the fixing pin of the first modification is equal to the height dimension of the hole 144.
  • the upper heat receiving part 142 is equivalent to the first embodiment.
  • the lower main body 120, the interposition plate 130, and the upper main body 140 are overlapped, and then the lower main body 120 and the upper main body 140 are heated. Then, the brazing material layer formed on the upper and lower surfaces of the interposed plate 130 is melted and brazed. As a result, the space surrounded by the adjacent fins 123 and the interposed plate 130 becomes the main body flow passage 126 through which the heat transport fluid flows. Similarly, the space surrounded by the adjacent fins 143 and the interposed plate 130 becomes the main body flow path 146 through which the heat transport fluid flows. A total of 12 fixing pins are disposed in the holes 124 and 144 in the liquid cooling main body 110.
  • the liquid-cooled main body 110 may be composed of the lower main body portion 120, the interposed plate 130, and the upper main body portion 140. Even if comprised in this way, there can exist an effect equivalent to 1st embodiment.
  • the interposed plate 130 is provided, but the interposed plate 130 may be omitted.
  • a paste-like brazing material is applied to the end surfaces of the fins 123 and 143 to form a brazing material layer, and the lower main body 120 and the upper main body 140 are joined.
  • the liquid cooling main body 210 includes a lower main body portion 220, an interposed plate 230, and an upper main body portion 240.
  • the lower main body 220 includes a base portion 221 having a plate shape and a lower heat receiving portion 222 (see FIG. 17) protruding downward from the base portion 221.
  • the lower main body 220 is made of metal and is integrally formed.
  • the base 221 is formed with a plurality of pin fins 223 that rise from the upper surface of the base 221 and six holes 224.
  • the pin fins 223 have a cylindrical shape, and a plurality of pin fins 223 are formed at equal intervals in the front-rear direction and the left-right direction.
  • the hole 224 penetrates in the vertical direction and is a cylindrical hollow part.
  • the hole 224 is a part where a fixing pin (not shown) is disposed.
  • the lower heat receiving part 222 is equivalent to the first embodiment.
  • the interposed plate 230 is a plate-like member for integrating the lower main body 220 and the upper main body 240.
  • the interposed plate 230 is made of metal.
  • Three through holes 231 are formed at the left end and the right end of the interposition plate 230.
  • the through hole 231 is formed at a position corresponding to the hole 224 and a hole 244 described later.
  • a brazing material layer (not shown) is formed on the upper and lower surfaces of the interposed plate 230.
  • the front-rear direction dimension and the left-right direction dimension of the interposed plate 230 are equal to the front-rear direction and left-right direction dimensions of the lower main body 220.
  • the upper main body 240 is composed of a base 241 having a plate shape and an upper heat receiving part 242 protruding upward from the base 241.
  • the upper main body 240 has a shape equivalent to that of the lower main body 220.
  • the upper main body 240 is made of metal and is integrally formed.
  • the base portion 241 is formed with a plurality of pin fins 243 depending on the lower surface of the base portion 241 and six hole portions 244.
  • the pin fins 243 have a cylindrical shape, and a plurality of pin fins 243 are formed at equal intervals in the front-rear direction and the left-right direction.
  • the pin fins 243 are formed at positions corresponding to the pin fins 223 of the lower main body 220.
  • the hole 244 penetrates in the vertical direction and is a cylindrical hollow portion.
  • the hole 244 is a part where a fixing pin (not shown) is arranged.
  • the upper heat receiving part 242 is equivalent to the first embodiment.
  • the lower main body 220, the interposition plate 230, and the upper main body 240 are overlapped, and then the lower main body 220 and the upper main body 240 are heated. Then, the brazing material layer formed on the upper and lower surfaces of the interposed plate 230 is melted and brazed. Thereby, the space surrounded by the plurality of pin fins 223 and the interposed plate 230 becomes the main body flow path 226 through which the heat transport fluid flows. Similarly, a space surrounded by the plurality of pin fins 243 and the interposed plate 230 becomes a main body flow path 246 through which the heat transport fluid flows. Then, fixing pins (total of six fixing pins in the present embodiment) are inserted into the hole portion 224, the through hole 231 and the hole portion 244 communicating with the liquid cooling main body 210 in the vertical direction.
  • the liquid-cooled main body 210 may be configured by the lower main body portion 220, the interposed plate 230, and the upper main body portion 240. Even if comprised in this way, there can exist an effect equivalent to 1st embodiment.
  • the interposed plate 230 is provided, but the interposed plate 230 may be omitted.
  • a paste-like brazing material is applied to the end surfaces of the pin fins 223 and 243 to form a brazing material layer, and the lower main body 220 and the upper main body 240 are joined.
  • the opposing pin fins 223 and 243 are provided at the corresponding positions.
  • the configuration may be shifted.
  • a brazing material layer is formed on the end surfaces of the pin fins 223 and 243.
  • Liquid cooling jacket 10 Liquid cooling body 12 Upper heat receiving part (heat receiving part) 12a Heat receiving surface 13 Lower heat receiving part (heat receiving part) 13a Heat-receiving surface 14 Fin 15 Hole 16 Main body flow path 20 Fixing pin 24
  • Female screw 30 Front wall 40
  • Rear wall 50 Right wall 60
  • Left wall 70
  • Lower surface material (other surface material) 70C brazing material layer 71
  • opening 73 female screw
  • 80C brazing material layer 81 opening 83 female screw 95 current plate H heating element B screw (fastener)

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Abstract

熱伝導性を高めるとともに小型化を図ることができる液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法を提供する。熱輸送流体を流通させて発熱体(H)を冷却する液冷ジャケット(1)であって、複数のフィン(14)で区画された複数の本体流路(16)を有する液冷本体(10)と、発熱体(H)が固定される固定用ピン(20)と、を有し、液冷本体(10)には、本体流路(16)に連通するとともに一方面側に開口する孔部(15)が形成されており、固定用ピン(20)は、孔部(15)に挿入されていることを特徴とする。

Description

液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法
 本発明は、発熱体を冷却する液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法に関する。
 近年、パーソナルコンピュータに代表される電子機器は、その性能が向上するにつれて、搭載されるCPU(発熱体)の発熱量が増大している。また、ハイブリッド自動車、電気自動車及び高速鉄道車輌等では、モーターのスイッチング等に発熱量の大きいパワー半導体が用いられている。発熱量の大きい電子機器を安定して作動させるためには信頼性の高い冷却装置が必要である。
 従来、発熱体を冷却するために、空冷ファン方式のヒートシンクが使用されてきたが、ファン騒音や、空冷方式での冷却限界といった問題がクローズアップされるようになり、次世代冷却方式として、水冷方式の水冷板(液冷ジャケット)が注目されている。
 例えば、特許文献1には、発熱体を冷却する液冷ジャケットが記載されている。図19は、従来の液冷ジャケットを示す断面図である。図19に示すように、従来の液冷ジャケット300は、ベース部材310と、ベース部材310の凹部を覆う封止体320とで構成されている。ベース部材310には、ネジ溝311が形成されている。封止体320は、基板321と、基板321に対して垂直に形成された複数のフィン322とで構成されている。
 ベース部材310と封止体320とは摩擦攪拌によって接合されている。発熱体Hのフランジ部H1は、ネジBでネジ溝311に固定されている。封止体320の基板321とフィン322とは一体形成されている。
 一方、具体的な図示は省略するが、特許文献2に記載の液冷ジャケットでは、基板と複数のフィンとをロウ付けにより一体化する構成が開示されている。
 他方、例えば、特許文献3には、水等の熱輸送流体が流れる複数の本体流路を備えた液冷本体と、複数の本体流路に連通する中空部を備えたヘッダーとで構成された液冷ジャケット(伝熱板)が開示されている。当該液冷ジャケットは、液冷本体とヘッダーとが摩擦攪拌によって接合されている。
特開2010-69503号公報 特開2013-225553号公報 特開2014-28398号公報
 図19に示した液冷ジャケット300では、ロウ材を介さずに基板321とフィン322とが一体形成されているため、特許文献2に係る液冷ジャケットと比べて熱伝導性を高めることができる。しかし、発熱体Hの熱がネジB及びネジ溝311を介してベース部材310の壁部312に伝達し、当該壁部312に熱が留まる熱リークが発生するおそれがある。また、壁部312にネジ溝311を設けるためのスペースを確保しなければならないため、液冷ジャケット300が大型化する傾向にある。
 一方、特許文献3に係る摩擦攪拌接合は、高度な技術を要するため、接合作業が煩雑になるという問題がある。
 そこで、本発明は、熱伝導性を高めるとともに小型化を図ることができる液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、容易に製造することができる液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法を提供することを課題とする。
 前記課題を解決するために、本発明は、熱輸送流体を流通させて発熱体を冷却する液冷ジャケットであって、複数のフィンで区画された複数の本体流路を有する液冷本体と、前記発熱体が固定される固定用ピンと、を有し、前記液冷本体には、前記本体流路に連通するとともに一方面側に開口する孔部が形成されており、前記固定用ピンは、前記孔部に挿入されていることを特徴とする。
 かかる構成では、発熱体を固定するための固定用ピンが本体流路に連通する孔部に配置される。これにより、固定用ピンの外面に熱輸送流体が接触するようになるため、発熱体を固定するための締結具を介して固定用ピンに伝達される熱を効率よく排出することができる。つまり、発熱体を固定するための締結具を介しての熱リークを防ぐことができる。また、発熱体を固定するための固定用ピンが液冷本体の内部に配置されるため、液冷ジャケットの小型化を図ることができる。
 また、前記液冷本体の一方面側に、前記発熱体に接触する受熱部が形成されており、前記フィンと前記受熱部とが一体形成されていることが好ましい。
 特許文献2のようにフィンから受熱面までの熱経路にロウ材等が介在していると熱伝導性が低下するが、受熱部とフィンとが一体形成されていれば、熱伝導性を高めることができる。
 また、複数の前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、複数の前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーと、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側に配設される一方面材及び他方側に配設される他方面材と、を有し、前記一方面材には、前記受熱部を露出させるための開口部が形成されていることが好ましい。
 かかる構成では、一方面材及び他方面材で液冷本体、上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーを挟むことで液冷ジャケットを一体化することができる。また、一方面材に、液冷本体の受熱部が露出する開口部が設けられているため、受熱部と発熱体とを直接接触させることができる。これにより、熱伝導性をより高めることができる。
 また、前記一方面材及び前記他方面材には、予めロウ材層が形成されており、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーは、前記一方面材とロウ付けされるとともに、前記他方面材とロウ付けされていることが好ましい。
 かかる構成では、液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと、前記一方面材及び前記他方面材とを容易に一体化することができる。なお、フィンから受熱部までの熱経路にロウ材が介在するものではないため、当該ロウ付けによって熱伝導性が低下するものではない。
 また、前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板が設けられていることが好ましい。
 かかる構成では、液冷ジャケット内の熱輸送流体の流れを変化させて、熱伝導性をより高めることができる。
 また、本発明は、発熱体を冷却する液冷ジャケットであって、熱輸送流体が流通する本体流路を有する液冷本体と、前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーと、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーを覆うとともにこれらの部材の一方側に配設される一方面材と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーを覆うとともにこれらの部材の他方側に配設される他方面材と、を有し、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記一方面材とがロウ付けされるとともに、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記他方面材とがロウ付けされていることを特徴とする。
 かかる構成では、ロウ付けにより液冷ジャケットを構成する各部材を容易に一体化することができる。
 また、前記一方面材及び前記他方面材の少なくとも一方に、前記液冷本体を露出させるための開口部が形成されていることが好ましい。
 かかる構成では、開口部を設けることで液冷本体と発熱体とを直接接触させることができる。これにより、熱伝導性を高めることができる。
 また、前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板が形成されていることが好ましい。
 かかる構成では、液冷ジャケット内の熱輸送流体の流れを変化させて、熱伝導性をより高めることができる。
 また、本発明は、発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、熱輸送流体の流路となる複数の本体流路を有する形材を用意し、前記本体流路に連通する孔部を形成する準備工程と、前記発熱体が固定される固定用ピンを前記孔部に挿入する挿入工程と、前記形材と、複数の前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、複数の前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーとを、ロウ材層が積層された一方面材と他方面材との間に配置する配置工程と、前記ロウ材層を溶融させるロウ付け工程と、を含むことを特徴とする。
 かかる製造方法では、一方面材及び他方面材に形成されたロウ材層を溶融させることにより、各部材を容易に接合することができる。また、発熱体を固定するための固定用ピンが液冷本体の内部に配置されるため、液冷ジャケットの小型化を図ることができる。また、発熱体を固定するための固定用ピンが本体流路に連通する孔部に配置される。これにより、固定用ピンの外面に熱輸送流体が接触するようになるため、発熱体を固定するための締結具を介して固定用ピンに伝達される熱を効率よく排出することができる。つまり、発熱体を固定するための締結具を介しての熱リークを防ぐことができる。
 また、前記一方面材に開口部を形成し、前記配置工程では、前記液冷本体の受熱部が前記開口部を介して露出するように前記一方面材を配置することが好ましい。
 かかる製造方法では、一方面材に開口部を設けることで、受熱部と発熱体とを直接接触させることができる。これにより、熱伝導性をより高めることができる。
 前記課題を解決するために、本発明は、発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、熱輸送流体の流路となる本体流路を有する液冷本体を用意する工程と、前記本体流路の一端側に上流側ヘッダーを配置する工程と、前記本体流路の他端側に下流側ヘッダーを配置する工程と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側にこれらの部材を覆う一方面材を配置する工程と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの他方側にこれらの部材を覆う他方面材を配置する工程と、前記一方面材及び前記他方面材に予め積層されたロウ材層を溶融させてロウ付けする工程と、を含むことを特徴とする。
 また、本発明は、発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、熱輸送流体の流路となる本体流路を有する液冷本体を用意する工程と、前記本体流路の一端側に上流側ヘッダーを配置する工程と、前記本体流路の他端側に下流側ヘッダーを配置する工程と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側にこれらの部材を覆う一方面材を配置する工程と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの他方側にこれらの部材を覆う他方面材を配置する工程と、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記一方面材との間、及び、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記他方面材との間に設けられたロウ材層を溶融させてロウ付けする工程と、を含むことを特徴とする。
 かかる製造方法では、溶融したロウ材が、一方面材(他方面材)と、液冷本体、上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーのとの重ね合せ部や、液冷本体、上流側ヘッダー及び下流側ヘッダー同士の突合せ部に入り込み硬化する。これにより、液冷ジャケットを構成する各部材を容易に一体化することができる。
 また、前記一方面材及び前記他方面材の少なくとも一方に、前記液冷本体を露出させるための開口部を設けることが好ましい。
 かかる製造方法では、開口部を設けることで液冷本体と発熱体とを直接接触させることができる。これにより、熱伝導性を高めることができる。
 また、前記上流側ヘッダーを配置する際に、前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板を配置することが好ましい。
 かかる製造方法では、液冷ジャケット内の熱輸送流体の流れを変化させて、熱伝導性をより高めることができる。
 本発明に係る液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法によれば、熱伝導性を高めるとともに小型化を図ることができる。また、本発明に係る液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法によれば、容易に製造することができる。
本発明の第一実施形態に係る液冷ジャケットを示す斜視図である。 第一実施形態に係る液冷ジャケットの分解斜視図である。 (a)は第一実施形態の液冷本体及び固定用ピンを示す斜視図であり、(b)は(a)のI-I断面図である。 (a)は前壁及び後壁を示す斜視図であり、(b)は前壁及び後壁の成形方法を示す斜視図である。 (a)は右壁を左側から見た斜視図であり、(b)は右壁を右側から見た斜視図である。 (a)は第一実施形態の下面材を示す斜視図であり、(b)は下面材の断面図である。 (a)は第一実施形態の上面材を示す斜視図であり、(b)は上面材の断面図である。 第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法を示す図であって、(a)は準備工程を示す斜視図であり、(b)は挿入工程及び第一配置工程を示す斜視図である。 第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の第二配置工程を示す図である。 第一実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法の面切削工程を示す断面図である。 (a)は図1のII-II断面図であり、(b)は図1のIII-III断面図である。II-II断面は、左右方向と平行であり、かつ、前後方向の中心を通る断面である。 (a)は第一実施形態に係る液冷ジャケットの水の流れを示す模式平断面図であり、(b)は固定用ピン周りの水の流れを示す拡大平断面図である。 (a)は第二実施形態に係る液冷ジャケットを示す平断面図であり、(b)は整流板を示す斜視図である。 液冷本体の第一変形例を示す分解斜視図である。 液冷本体の第一変形例を示す断面図である。 液冷本体の第二変形例を示す分解斜視図である。 液冷本体の第二変形例を示す断面図である。 液冷本体の第三変形例を示す断面図である。 従来の液冷ジャケットを示す断面図である。
[第一実施形態]
 本発明の第一実施形態に係る液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明における「上下」、「左右」、「前後」は図1の矢印に従う。図1に示すように、液冷ジャケット1は、その上面に固定される発熱体Hを冷却する部材である。液冷ジャケット1の内部には、熱輸送流体を流通させる。熱輸送流体は、液体であれば制限されないが本実施形態では水を用いている。なお、本実施形態では、液冷ジャケット1の上面のみに発熱体Hを固定する場合を例示するが、発熱体Hを下面に固定してもよい。
 図2に示すように、液冷ジャケット1は、中央に配置される液冷本体10と、液冷本体10に挿入される複数の固定用ピン20と、液冷本体10の前側に配置される前壁30と、後側に配置される後壁40と、右側に配置される右壁50と、左側に配置される左壁60と、液冷本体10の下方に配置される下面材70と、上方に配置される上面材80とで主に構成されている。まずは、液冷ジャケット1を構成する各部材について詳細に説明する。
 液冷本体10は、熱輸送流体が流れるとともに発熱体Hが接触する部位であって、略直方体を呈する。図3の(a)及び(b)に示すように、液冷本体10は、基部11と、上側受熱部12と、下側受熱部13とで構成されている。液冷本体10は、熱伝導性の高い金属で一体形成されている。基部11は直方体を呈する。基部11には、一方の側面11cから他方の側面11dに亘って形成された複数のフィン14及び上面11aから下面11bに至る6つの孔部15が形成されている。
 フィン14は、板状を呈する。フィン14は、一定の間隔をあけて幅方向に複数枚並設されている。隣り合うフィン14,14の間の空間は熱輸送流体が流れる本体流路16として機能する。本体流路16は断面矩形状の中空部になっている。
 孔部15は、円柱状に切り欠かれた中空部である。孔部15は、複数の本体流路16に連通している。孔部15は、上面11a、下面11b及び複数のフィン14の一部を切り欠いて形成されている。孔部15は、本実施形態では右側の端部に3つ、左側の端部に3つ、計6つ形成されている。孔部15の数は発熱体Hの固定箇所数に応じて適宜形成される。なお、孔部15は、本実施形態では貫通孔としているが、発熱体Hを例えば上面のみに固定する場合は、上面11a及びフィン14のみに開口する孔でもよい。
 上側受熱部12は、基部11の上面11aの中央に突設されており略直方体を呈する。上側受熱部12の上面は、発熱体Hに接触する受熱面12aとなる部位である。受熱面12aは、上面11aよりも一段高い位置(上方)に形成されている。
 下側受熱部13は、基部11の下面11bの中央に突設されており略直方体を呈する。液冷ジャケット1の下面に発熱体を固定する場合において、下側受熱部13の下面は、発熱体に接触する受熱面13aとなる部位である。受熱面13aは、下面11bよりも一段低い位置(下方)に形成されている。上側受熱部12及び下側受熱部13の高さ寸法は、下面材70及び上面材80の厚さ寸法と同等になっている。上側受熱部12及び下側受熱部13の四隅は面取り加工されている。
 液冷本体10の製造方法では、押出成形工程と、孔部穿設工程と、受熱部切削工程とを行う。具体的な図示は省略するが、押出成形工程では、押し出し成形によって複数のフィン14が形成された押出形材(形材)を成形する。
 孔部穿設工程では、押出形材の上面から下面に貫通する孔部15を穿設する。最後に、受熱部切削工程では、押出形材の上面及び下面の周縁を所定の厚さで切削して上側受熱部12及び下側受熱部13を成形する。以上により液冷本体10が形成される。
 固定用ピン20は、発熱体Hを固定するための締結具が固定される部位である。図3の(a)に示すように、固定用ピン20は、孔部15に挿入される部材であって、柱状を呈する。固定用ピン20は、孔部15に合わせて6つ設けられている。固定用ピン20は、熱伝導性の高い金属で形成されている。
 固定用ピン20は、円柱状を呈する本体部21と、本体部21の上下端に形成さえたフランジ部22,23とで構成されている。固定用ピン20の中央には、上下方向に貫通する雌ネジ24が形成されている。固定用ピン20の高さ寸法は、基部11の高さ寸法と同等になっている。本体部21の外径は、フランジ部22,23の外径よりも小さく、かつ、雌ネジ24の内径よりも大きくなっている。フランジ部22,23の外径は、孔部15の内径と略同等になっている。
 なお、本実施形態では、締結具としてネジを用いるため固定用ピン20に雌ネジ24を設けたが、発熱体Hを固定する締結具が固定可能な孔であれば他の構成であってもよい。
 図3の(b)に示すように、固定用ピン20の本体部21と本体部21の両脇のフィン14,14の間にも熱輸送流体が流れる本体流路16,16が形成されている。また、本実施形態では、固定用ピン20の外側にもフィン14が形成されている。つまり、固定用ピン20の外側にもフィン14と側壁11e又はフィン14と側壁11fとで形成され、熱輸送流体が流れる本体流路16,16が形成されている。
 なお、固定用ピン20の本体部21は、本実施形態では円柱状としたが、これに限定されるものでない。例えば、本体部21に大径部、小径部を設けるようにしてもよいし、高さ方向の中央部が最も細くなるように(くびれるように)形成してもよい。
 前壁30は、液冷本体10の前側に配置され、熱輸送流体が流れる上流側ヘッダーの一部を構成する部材である。図4の(a)に示すように、前壁30は、熱伝導性の高い金属で一体形成されている。前壁30の高さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。前壁30の左右方向寸法は、液冷本体10の左右方向寸法と同等になっている。
 前壁30は、下壁31と、上壁32と、側壁33と、中間壁34とで構成されている。下壁31、上壁32、側壁33及び中間壁34は、いずれも板状を呈する。下壁31と上壁32は、上下方向に離間するとともに平行に配置されている。側壁33と中間壁34は、前後方向に離間するとともに平行に配置されている。前壁30の内部には、左右方向に連通する中空部35が形成されている。また、前壁30の後側は後方に開放されている。
 前壁30の中央には、上下方向に貫通する切欠き孔36が形成されている。切欠き孔36は、平面視円形を呈する。切欠き孔36の内径は、後記するパイプ92(図9参照)の外径と同等になっている。前壁30の左端には、上下方向に貫通する切欠き孔37が形成されている。切欠き孔37は、平面視半円形を呈する。切欠き孔36,37の曲率半径は同等になっている。前壁30の下壁31、上壁32及び中間壁34で囲まれる空間が、熱輸送流体が流れる部位となる。なお、前壁30の下壁31、上壁32及び中間壁34で囲まれる空間を前壁連通部38とする。
 後壁40は、液冷本体10の後側に配置され、熱輸送流体が流れる下流側ヘッダーの一部を構成する部材である。図4の(a)に示すように、後壁40は、熱伝導性の高い金属で一体形成されている。後壁40の高さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。後壁40の左右方向寸法は、液冷本体10の左右方向寸法と同等になっている。後壁40は、本実施形態では前壁30と同等の形状になっている。
 後壁40は、下壁41と、上壁42と、側壁43と、中間壁44とで構成されている。下壁41、上壁42、側壁43及び中間壁44は、いずれも板状を呈する。下壁41と上壁42とは上下方向に離間するとともに平行に配置されている。側壁43と中間壁44は、前後方向に離間するとともに平行に配置されている。後壁40の内部には、左右方向に連通する中空部45が形成されている。また、後壁40の前側は前方に開放されている。
 後壁40の中央には、上下方向に貫通する切欠き孔46が形成されている。切欠き孔46は、平面視円形を呈する。切欠き孔46の内径は、後記するパイプ92(図9参照)の外径と同等になっている。後壁40の左端には、上下方向に貫通する切欠き孔47が形成されている。切欠き孔47は、平面視半円形を呈する。切欠き孔46,47の曲率半径は同等になっている。後壁40の下壁41、上壁42及び中間壁44で囲まれる空間が、熱輸送流体が流れる部位となる。なお、後壁40の下壁41、上壁42及び中間壁44で囲まれる空間を後壁連通部48とする。
 前壁30及び後壁40の製造方法では、押出成形工程と、切削工程と、切欠き工程とを行う。押出成形工程は、図4の(b)に示すように、ビレットと称する円柱状の金属部材に対して押し出し成形を行って、押出形材Pを得る工程である。押出形材Pは、中央に形成された中空部P1と、中空部P1の両側に形成された中空部P2,P2と、中空部P2の外側にそれぞれ形成された中空部P3,P3とを有する。中空部P2,P2はそれぞれ同じ大きさになっている。また、中空部P3,P3もそれぞれ同じ大きさになっている。中空部P3,P3は、図4の(a)に示す中空部35,45となる部位である。
 切削工程では、押出形材Pを切削して、前壁30及び後壁40を得る工程である。切削工程では、左右方向と平行に設定される仮想線L1,L2に沿って押出形材Pを切削する。仮想線L1,L2は、中空部P2,P2を左右方向と平行に分断するように設定されている。
 切欠き工程では、切削された部材に切欠き孔36,37,46,47を形成する。これにより、前壁30及び後壁40が形成される。なお、本実施形態では、前壁30及び後壁40は同等の形状となっているが、前壁30及び後壁40は、異なる形状であってもよい。
 右壁50は、液冷本体10の右側に配置され、熱輸送流体の入口と出口が形成される部材である。また、右壁50は、熱輸送流体が流れる上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーの一部を構成する部材である。図5の(a)及び(b)に示すように、右壁50は、熱伝導性の高い金属で形成されている。右壁50の高さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。右壁50の前後方向寸法は、液冷本体10、前壁30及び後壁40の各前後方向寸法の和と同等になっている。右壁50は、左右方向に平行な中間線に対して対称に形成されている。
 右壁50は、直方体を呈する基体部51に形成された入口孔52、入口連通部53、出口孔54及び出口連通部55とで構成されている。入口孔52は、円柱状の中空部であって、右側に開放されている。入口連通部53は、入口孔52に連続しており、左側に開放されている。入口連通部53は、直方体状の中空部であって、入口孔52よりも大きな中空部を有している。入口孔52及び入口連通部53は熱輸送流体が流入する部位である。
 出口孔54は、円柱状の中空部であって、右側に開放されている。出口連通部55は、出口孔54に連続しており、左側に開放されている。出口連通部55は、直方体状の中空部であって、出口孔54よりも大きな中空部を有している。出口孔54及び出口連通部55は、熱輸送流体が流出する部位である。
 左壁60は、液冷本体10の左側に配置される部材である。図2に示すように、左壁60は、基体部61に形成された切欠き孔62,63を有する。左壁60は、熱伝導性の高い金属で形成されている。左壁60の高さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。左壁60の前後方向寸法は、液冷本体10、前壁30及び後壁40の各前後方向寸法の和と同等になっている。
 左壁60は、中空部を有するように形成されていてもよいが、本実施形態では中実になっている。切欠き孔62,63は上下方向に貫通しており、平面視半円形を呈する。切欠き孔62,63の曲率半径は、対向する切欠き孔37,47の曲率半径とそれぞれ同等になっている。切欠き孔37,62が対向して形成される切欠き孔及び切欠き孔47,63が対向して形成される切欠き孔の内径は、後記するパイプ92(図9参照)の外径と同等になっている。
 下面材70は、液冷本体10の下側に配置される板状部材である。下面材70は、請求の範囲の「他方面材」に相当する。図6の(a)に示すように、下面材70は一定の厚さで形成されている。下面材70には、開口部71と、貫通孔72,72,73,73と、6つの雌ネジ74とが形成されている。開口部71は、上下方向に貫通しており、平面視略矩形を呈する。開口部71は、下側受熱部13(図3の(b)参照)が挿入される部位である。開口部71は、下側受熱部13が隙間なく嵌め合わされる形状になっている。
 貫通孔72は、上下方向に貫通しており、下面材70の左右方向の中央において開口部71を挟んで一対形成されている。貫通孔72,72はそれぞれ同等の大きさになっており、平面視円形を呈する。貫通孔72の中心軸と切欠き36,46(図2参照)の中心軸とはそれぞれ同軸になっている。貫通孔72の内径は、切欠き孔36,46(図2参照)の内径よりも若干小さくなっている。
 貫通孔73は、上下方向に貫通しており、下面材70の左端の隅部に一対形成されている。貫通孔73,73は、それぞれ同等の大きさになっており、平面視円形を呈する。貫通孔73の中心軸と切欠き孔37,62(図2参照)が対向して形成される切欠き孔の中心軸とは同軸になっている。また、貫通孔73の中心軸と切欠き孔47,63(図2参照)が対向して形成される切欠き孔の中心軸とは同軸になっている。貫通孔73の内経は、切欠き孔37,62が対向して形成される切欠き孔及び切欠き孔47,63が対向して形成される切欠き孔の内径よりも若干小さくなっている。
 雌ネジ74は、上下方向に貫通しており、左右方向において開口部71を挟んで3つずつ、計6つ形成されている。雌ネジ74は、発熱体Hを下面材70に固定する場合において、ネジBが螺合される部位である。雌ネジ74は、固定用ピン20に対応する位置に形成されている。より詳しくは、雌ネジ74は、固定用ピン20の雌ネジ24と連通するように形成されている。
 なお、雌ネジ74は、本実施形態ではネジ溝を形成しているが、少なくとも上下方向に貫通する孔であり、かつ、固定用ピン20の雌ネジ24に連通していればよい。
 下面材70の板厚寸法は、下側受熱部13の高さ寸法と同等になっている。下面材70の前後方向寸法は、液冷本体10、前壁30及び後壁40の各前後方向寸法の和と同等になっている。下面材70の左右方向寸法は、液冷本体10、右壁50及び左壁60の各左右方向寸法の和と同等になっている。
 下面材70は、図6の(b)に示すように、複数の金属材料を積層して構成されている。下面材70は、本実施形態では、下から順番に基板層70Aと、中間層70Bと、ロウ材層70Cとで構成されている。
 基板層70Aは、例えば、Mgが0.4~0.8wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。中間層70Bは、例えば、Cuが0.45~0.55wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。ロウ材層70Cは、例えば、Siが9.0~11.0wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。ロウ材層70Cは、後記するロウ付け工程において、加熱されることで溶融し、各部材を接合する層である。
 なお、下面材70は、本実施形態では3層構造としたが少なくとも上面にロウ材層が形成される構造であれば何層構造であってもよい。
 上面材80は、液冷本体10の上側に配置される板状部材である。上面材80は、請求の範囲の「一方面材」に相当する。図7の(a)に示すように、上面材80は一定の厚さで形成されている。上面材80には、開口部81と、貫通孔82,82,83,83と、6つの雌ネジ84とが形成されている。上面材80は、下面材70と同等の形状及び材料からなる。開口部81は、上下方向に貫通しており、平面視略矩形を呈する。開口部81は、上側受熱部12(図2参照)が挿入される部位である。開口部81は、上側受熱部12に隙間なく嵌め合わされる形状になっている。
 貫通孔82は、上下方向に貫通しており、上面材80の左右方向の中央において開口部81を挟んで一対形成されている。貫通孔82,82はそれぞれ同等の大きさになっており、平面視円形を呈する。貫通孔82の中心軸と切欠き孔36,46(図2参照)の中心軸とはそれぞれ同軸になっている。貫通孔82の内径は、切欠き孔36,46(図2参照)の内径よりも若干小さくなっている。
 貫通孔83は、上下方向に貫通しており、上面材80の左端の隅部に一対形成されている。貫通孔83,83は、それぞれ同等の大きさになっており、平面視円形を呈する。貫通孔83の中心軸と切欠き孔37,62(図2参照)が対向して形成される切欠き孔の中心軸とは同軸になっている。また、貫通孔83の中心軸と切欠き孔47,63(図2参照)が対向して形成される切欠き孔の中心軸とは同軸になっている。貫通孔83の内径は、切欠き孔37,62が対向して形成される切欠き孔及び切欠き孔47,63が対向して形成される切欠き孔の内径よりも若干小さくなっている。
 雌ネジ84は、上下方向に貫通しており、左右方向において開口部81を挟んで3つずつ、計6つ形成されている。雌ネジ84は、ネジB(図1参照)が螺合される部位である。雌ネジ84は、固定用ピン20に対応する位置に形成されている。より詳しくは、雌ネジ84は、固定用ピン20の雌ネジ24と連通するように形成されている。
 雌ネジ84は、本実施形態ではネジ溝を形成しているが、少なくとも上下方向に貫通する孔であり、かつ、固定用ピン20の雌ネジ24に連通していればよい。
 上面材80の板厚寸法は、図2に示すように、上側受熱部12の高さ寸法と同等になっている。上面材80の前後方向寸法は、液冷本体10、前壁30及び後壁40の各前後方向寸法の和と同等になっている。上面材80の左右方向寸法は、液冷本体10、右壁50及び左壁60の各左右方向寸法の和と同等になっている。
 上面材80は、図7の(b)に示すように、複数の金属材料を積層して構成されている。上面材80は、本実施形態では、上から順番に基板層80Aと、中間層80Bと、ロウ材層80Cとで構成されている。
 基板層80Aは、例えば、Mgが0.4~0.8wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。中間層80Bは、例えば、Cuが0.45~0.55wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。ロウ材層80Cは、例えば、Siが9.0~11.0wt%含んだアルミニウム合金で形成されている。ロウ材層80Cは、後記するロウ付け工程において、加熱されることで溶融し、各部材を接合する層である。
 なお、上面材80は、本実施形態では3層構造としたが少なくとも下面にロウ材層が形成される構造であれば何層構造であってもよい。
 次に、本実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法について説明する。本実施形態に係る液冷ジャケットの製造方法は、準備工程と、挿入工程と、第一配置工程と、第二配置工程と、ロウ付け工程と、面切削工程と、雌ネジ形成工程とを行う。
 準備工程は、各部材を成形するとともに、仮設ピン及びパイプを配置する工程である。図2に示すように、準備工程では、液冷本体10と、前壁30と、後壁40と、右壁50と、左壁60と、下面材70と、上面材80とを成形する。下面材70及び上面材80の板厚寸法は、上側受熱部12及び下側受熱部13の高さ寸法よりも若干大きく成形する。また、下面材70の雌ネジ74及び上面材80の雌ネジ84は、雌ネジ形成工程で形成されるため準備工程では設けない。
 次に、準備工程では、図8の(a)に示すように、仮設ピン91及びパイプ92を配置する。準備工程では、下面材70の貫通孔72,72,73,73に仮設ピン91をそれぞれ挿入する。仮設ピン91は、金属で形成されており円柱状を呈する。仮設ピン91の外径は、貫通孔72,73の内径と同等になっている。仮設ピン91の長さは、液冷本体10の基部11の高さ寸法、下面材70の板厚寸法及び上面材80の板厚寸法の和と略同等になっている。
 次に、仮設ピン91にパイプ92を挿入する。パイプ92は金属で形成されており円筒状を呈する。パイプ92の下端面は下面材70の上面70aに当接する。パイプ92の内径は、貫通孔72,73の内径及び仮設ピン91の外径と同等になっている。パイプ92の長さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。
 挿入工程は、図8の(b)に示すように、液冷本体10に形成された各孔部15に固定用ピン20を挿入する工程である。挿入工程では、雌ネジ24が形成される前の固定用ピン20を挿入する。
 第一配置工程は、下面材70に液冷本体10、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60を配置する工程である。図8の(a)及び(b)に示すように、第一配置工程では、まず、下面材70の開口部71に液冷本体10の下側受熱部13を挿入する。これにより、固定用ピン20の下面は、下面材70で覆われる。
 次に、第一配置工程では、図9に示すように、下面材70の上面70aに前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60を配置する。前壁30は、切欠き孔36にパイプ92を挿通させつつ配置する。後壁40は、切欠き孔46にパイプ92を挿通させつつ配置する。右壁50は、液冷本体10、前壁30及び後壁40に当接させつつ配置する。左壁60は、切欠き孔62を切欠き孔37に対向させるとともに、切欠き孔63を切欠き孔47に対向させる。そして、左壁60は、液冷本体10、前壁30及び後壁40に当接させつつ配置する。
 第一配置工程によって、液冷本体10の基部11の上面11a、前壁30の上面、後壁40の上面、右壁50の上面及び左壁60の上面は面一になる。また、第一配置工程によって、パイプ92の上端面と、前壁30の上面、後壁40の上面、右壁50の上面及び左壁60の上面とが面一になる。
 さらに、第一配置工程によって、液冷本体10の基部11、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60の各部材同士が突き合わされて突合せ部(目地)が形成される。さらにまた、前壁30、後壁40及び左壁60とパイプ92とが突き合わされて突合せ部(目地)が形成される。
 第二配置工程は、液冷本体10、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60を覆うように上面材80を配置する工程である。言い換えると、液冷本体10、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60を下面材70と上面材80との間に配置する。第二配置工程では、液冷本体10の上側受熱部12に上面材80の開口部81を挿入するとともに、4つの仮設ピン91に貫通孔82,82,83,83をそれぞれ挿入する。
 第二配置工程によって、固定用ピン20の上面は、上面材80で覆われる。また、第二配置工程によって、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60で構成される外周側面(外側に露出する側面)、下面材70の外周側面70c及び上面材80の外周側面80cは面一になる。なお、上面材80を配置したら各仮設ピン91を取り除く。第一配置工程及び第二配置工程は、請求の範囲の「配置工程」に相当する。
 ロウ付け工程は、各部材を加熱して下面材70のロウ材層70C及び上面材80のロウ材層80Cを溶融させてロウ付けする工程である。ロウ付け工程では、ロウ材層が溶融する温度まで各部材を加熱する。これにより、ロウ材層70Cで溶融したロウ材により、下面材70の上面70aと、基部11の下面11b、前壁30の下面、後壁40の下面、右壁50の下面及び左壁60下面との重ね合せ部(界面)が接合される。
 また、ロウ材層80Cで溶融したロウ材により、上面材80の下面80bと、基部11の上面11a、前壁30の上面、後壁40の上面、右壁50の上面及び左壁60の上面との重ね合せ部(界面)が接合される。
 また、ロウ材層70C及びロウ材層80Cで溶融したロウ材が、液冷本体10、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60がそれぞれ突き合わされた突合せ部(目地)に入り込みこれらの部材同士が接合される。また、ロウ材層70C及びロウ材層80Cで溶融したロウ材が、切欠き孔36,37,46,47,62,63と各パイプ92との突合せ部に入り込みこれらの部材同士が接合される。さらに、ロウ材層70C及びロウ材層80Cで溶融したロウ材が、各孔部15と各固定用ピン20との突合せ部に入り込みこれらの部材同士が接合される。
 面切削工程は、下面材70及び上面材80の一部を面切削する工程である。図10に示すように、本実施形態では下側受熱部13の高さ寸法よりも下面材70の板厚寸法を予め大きく設定している。また、上側受熱部12の高さ寸法よりも上面材80の板厚寸法を予め大きく設定している。面切削工程では、下面材70の下面70bを切削して、下側受熱部13の受熱面13aと下面70bとを面一にする。また、面切削工程では、上面材80の上面80aを切削して、上側受熱部12の受熱面12aと上面80aとを面一にする。
 なお、本実施形態では面切削工程を行ったが、下面材70の板厚寸法と下側受熱部13の高さ寸法を同等に設定するとともに、上面材80の板厚寸法と上側受熱部12の高さ寸法を予め同等に設定して面切削工程を省略してもよい。
 雌ネジ形成工程は、固定用ピン20に雌ネジ24を形成する工程である。図10の二点鎖線に示すように、雌ネジ形成工程では、例えば、タップ等を用いて上面材80、固定用ピン20及び下面材70に貫通する雌ネジを形成する。これにより、連通する雌ネジ24,74,84(図2参照)が形成される。本実施形態では、発熱体Hを液冷ジャケット1の両面に固定することができる形態としたため、上下方向に貫通するように雌ネジを設けたが、これに限定されるものではない。固定用ピン20に形成され、かつ、上面側及び下面側の少なくとも一方に開口するように雌ネジを設ければよい。以上の工程により、液冷ジャケット1が形成される。
 なお、前記した液冷ジャケットの製造方法は、あくまで一例であって本発明を限定するものではない。各工程の順番も適宜変更可能である。例えば、前記した形態では、ロウ付け工程の前に、仮設ピン91(図9参照)を取り除いたが、ロウ付け工程後に取り除いてもよい。この場合は、仮設ピン91をアルミニウム合金とロウ付けされない材料(例えば、鉄、カーボン、セラミック等)で形成する。仮設ピン91を挿入した状態でロウ付けすることにより、ロウ付け炉等における移動時の振動ズレを防止することができる。
 次に、本実施形態に係る液冷ジャケット1の使用方法及び作用効果について説明する。図11の(a)及び(b)に示すように、液冷ジャケット1の下面材70及び上面材80の少なくともいずれかに、ネジB等の締結具でCPU等の発熱体Hを固定する。本実施形態では、上面材80に発熱体Hを固定する場合を例示する。
 発熱体Hを固定する際には、発熱体Hのフランジ部H1に設けられた孔H1aと雌ネジ24とを連通させ、ネジBを螺合して固定する。ネジBは、固定用ピン20の雌ネジ24と螺合するまで挿入する。
 図12は、第一実施形態に係る液冷ジャケットの水の流れを示す模式平断面図である。図12の(a)では、説明の便宜上、フィン14及び本体流路16の描画は省略している。図12の(a)に示すように、右壁50の入口孔52に流入した熱輸送流体(本実施形態では水)は、入口連通部53を通って前壁30の前壁連通部38に流入する。そして、熱輸送流体は、前壁連通部38から液冷本体10の各本体流路16に流入する。入口孔52、入口連通部53及び前壁連通部38は、請求の範囲の「上流側ヘッダー」に相当する部位である。上流側ヘッダーは、複数の本体流路16の一端側(上流側)に連結されている。
 本体流路16を流れる熱輸送流体は、複数のフィン14と接触することで熱交換を行い、熱を外部へ輸送する。本体流路16の下流側から排出された熱輸送流体は、後壁40の後壁連通部48に流入する。そして、熱輸送流体は、右壁50の出口連通部55及び出口孔54を通って外部に排出される。後壁連通部48、出口連通部55及び出口孔54は、請求の範囲の「下流側ヘッダー」に相当する部位である。下流側ヘッダーは、複数の本体流路16の他端側(下流側)に連結されている。
 図12の(b)は固定用ピン周りの水の流れを示す拡大平断面図である。図12の(b)では、説明の便宜上、各本体流路16に符号「16a」~「16f」を付して区別している。図12の(b)に示すように、仮に、孔部15の内径と、固定用ピン20の本体部21の外径とが同等であると、本体流路16c,16dが固定用ピン20の本体部21で塞がれるため、本体流路16c,16dに熱輸送流体が流れない。
 これに対し、本実施形態では、孔部15の内径(フランジ部22,23の外径)に対して、固定用ピン20の本体部21の外径は若干小さくなっている。これにより、各フィン14と本体部21との間に円筒状の空間が形成されるため、本体部21の全外周面にも熱輸送流体が流れるようになっている。固定用ピン20の周囲に流れた熱輸送流体は、本体流路16b~16eのいずれかに流れて排出される。
 以上説明した本実施形態に係る液冷ジャケット1によれば、発熱体Hで発生した熱は、液冷本体10の本体流路16を流れる熱輸流体によって外部に輸送される。これにより、発熱体Hを冷却することができる。本実施形態では、発熱体Hの下面を上側受熱部12の受熱面12aに面接触させているため、冷却効率を高めることができる。また、図11の(a)及び(b)に示すように、受熱面12aの全面に複数のフィン14が形成されているため、より冷却効率を高めることができる。さらに、液冷本体10は押し出し成形によって一体成形されているため、フィン14から受熱面12aまでの熱経路においてロウ材等の接合材が介在しない。これにより、熱伝導性の低下を防ぐことができるため、より冷却効率を高めることができる。
 また、本実施形態では発熱体Hを固定するための固定用ピン20が、本体流路16に連通する孔部15に配置されている。つまり、図12に示すように、固定用ピン20の外周面に熱輸送流体が接触するようになるため、発熱体Hを固定するためのネジB等の締結具を介して固定用ピン20に伝達される熱を効率よく排出することができる。つまり、発熱体Hを固定するための締結具を介しての熱リークを防ぐことができる。また、固定用ピン20の本体部21の平断面形状はどのような形状でもよいが、本実施形態のように円形状とすることで熱輸送流体をスムーズに流通させることができる。
 さらに、発熱体Hを固定するための固定用ピン20が複数の本体流路16を備えた液冷本体10の内部に配置されるため、液冷ジャケット1の小型化を図ることができる。また、液冷ジャケット1の上下面にそれぞれ露出する上側受熱部12及び下側受熱部13を備えることで、液冷ジャケット1の上下面で発熱体Hを冷却することができる。
 また、下面材70及び上面材80で、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60を挟持するとともに、下面材70及び上面材80のロウ材層70C,80Cを溶融させてロウ付けしているため、液冷ジャケット1を容易に一体化することができる。また、このように接合したとしても、フィン14から受熱面12a(13a)までの熱経路にロウ材が介在するものではないため、当該ロウ付けによって熱伝導性が低下するものではない。また、下面材70の開口部71に下側受熱部13を挿入するとともに、上面材80の開口部81に上側受熱部12を挿入することで、受熱面12a(13a)と発熱体Hとを直接面接触させることができる。
 また、液冷ジャケット1の製造方法によれば、下面材70及び上面材80のロウ材層70C,80Cを溶融させることで、液冷本体10、前壁30、後壁40、右壁50及び左壁60がそれぞれ突き合わされた突合せ部(目地)に溶融したロウ材が入り込み、これらの部材同士が接合される。言い換えると、液冷本体10と上流側ヘッダーとの突合せ部及び液冷本体10と下流側ヘッダーとの突合せ部に溶融したロウ材が入り込み、これらの部材同士が接合される。また、ロウ材層70C及びロウ材層80Cで溶融したロウ材が、切欠き孔36,37,46,47,62,63と各パイプ92との突合せ部に入り込みこれらの部材同士が接合される。さらに、ロウ材層70C及びロウ材層80Cで溶融したロウ材が、各孔部15と各固定用ピン20との突合せ部に入り込みこれらの部材同士が接合される。このように、ロウ付け工程による一度の加熱で複数の部材同士を接合できるため、製造効率を高めることができる。
 また、液冷ジャケット1は、図1に示すように、4つの固定用貫通孔90を備えている。固定用貫通孔90は、各貫通孔72,73,82,83とパイプ92とで構成される孔である。固定用貫通孔90を備えることで、対称構造物に対して液冷ジャケット1を容易に取り付けることができる。また、上面材80の上面80aと受熱面12aとが面一に形成されており、かつ、下面材70の下面70bと受熱面13aとが面一に形成されているため、対称構造物に対する取り付け性も良好となる。また、固定用貫通孔90を形成する際に、仮設ピン91を用いることで、前壁30、後壁40、左壁60、下面材70及び上面材80の各部材を配置する際の位置決めを容易に行うことができる。
 以上本発明の実施形態について説明したが、本発明の趣旨に反しない範囲において適宜設計変更が可能である。例えば、本実施形態では固定用ピン20を6つ設けているが、固定用ピン20は、発熱体Hの形状や大きさに合わせて少なくとも1つ以上設ければよい。また、本実施形態では、上側受熱部12及び下側受熱部13の両方を設けたが、上側受熱部12のみ設ける構成でもよい。
 また、本実施形態では、複数の部材で上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーを構成したが、上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーをそれぞれ一の部材で構成してもよい。また、上流側ヘッダー及び下流側ヘッダーを合体させて一の部材で構成してもよい。
 また、本実施形態では、フィン14を板状にしたが、例えば、柱状としてもよい。また、上側受熱部12及び下側受熱部13を基部11の上面11a及び下面11bから突出させずに、上面11a及び下面11bと面一にしてもよい。この場合は、下面材70の開口部71及び上面材80の開口部81から受熱面が露出することになるため、発熱体Hに凸部を設けるなどして発熱体Hと受熱面とを接触させてもよい。
 また、上側受熱部12及び下側受熱部13を省略するとともに、下面材70の開口部71及び上面材80の開口部81を省略してもよい。この場合は、液冷本体10と発熱体Hとが下面材70又は上面材80を介して間接的に熱が伝達することとなる。また、下面材70及び上面材80を省略して、液冷本体10に発熱体Hを直接固定してもよい。
[第二実施形態]
 次に、本発明の第二実施形態に係る液冷ジャケットについて説明する。図13の(a)は第二実施形態に係る液冷ジャケットを示す平断面図であり、(b)は整流板を示す斜視図である。図13の(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る液冷ジャケット1Aは、整流板95を設ける点で第一実施形態と相違する。本実施形態では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
 整流板95は、金属製の板状部材である。整流板95は、液冷本体10と前壁30の間に配置される。つまり、液冷本体10と上流側ヘッダーとの間に介設される。整流板95は、熱輸送流体の流れを整える(変更する)ための部材である。整流板95の長さ寸法は、液冷本体10の左右方向寸法と同等になっている。また、整流板95の高さ寸法は、液冷本体10の基部11の高さ寸法と同等になっている。
 整流板95には、板厚方向に貫通する中央流路孔96と、サイド流路孔97,97とが形成されている。中央流路孔96は、前側から見て細長矩形状を呈する。中央流路孔96の長さ寸法は、左右方向に並設された固定用ピン20,20間距離と略同等に形成されている。サイド流路孔97は、中央流路孔96の両側にそれぞれ形成されている。サイド流路孔97の高さ寸法は、中央流路孔96の高さ寸法よりも4倍程度大きくなっている。
 中央流路孔96よりもサイド流路孔97,97の方が開口が大きいため、前壁連通部38から流れてきた熱輸送流体は、中央流路孔96よりもサイド流路孔97,97の方に多く流れるようになる。これにより、固定用ピン20周りの冷却効率をより高めることができる。
 整流板95の流路孔は、前記した形態に限定されるものではない。整流板95は、流路孔の開口の位置、大きさ、形状等を適宜変更して、熱輸送流体の流れを必要に応じて変更することができる。
[第一変形例]
 次に、本発明の第一変形例について説明する。図14及び図15に示すように、第一変形例では、液冷本体の形態が第一実施形態と相違する。第一変形例では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
 図14に示すように、第一変形例に係る液冷本体110は、下本体部120と、介設板130と、上本体部140とで構成されている。
 下本体部120は、板状を呈する基部121と、基部121から下方に突出する下側受熱部122(図15参照)とで構成されている。下本体部120は、金属製であって一体形成されている。基部121には、前側から後側に延設される複数のフィン123と、6つの孔部124とが形成されている。孔部124は、上下方向に貫通し、円柱状の中空部になっている。孔部124は、固定用ピン(図示省略)が配置される部位である。下本体部120には、6つの固定用ピンが配置される。第一変形例の固定用ピンの高さ寸法は、孔部124の高さ寸法と同等になっている。下側受熱部122は、第一実施形態と同等である。
 介設板130は、下本体部120と上本体部140とを一体化するための板状部材である。介設板130は、金属製である。介設板130の上面及び下面には、ロウ材層(図示省略)が形成されている。介設板130の前後方向寸法及び左右方向寸法は、下本体部120の前後方向寸法及び左右方向寸法と同等になっている。
 上本体部140は、板状を呈する基部141と、基部141から上方に突出する上側受熱部142とで構成されている。上本体部140は、下本体部120と同等の形状からなる。上本体部140は、金属製であって一体形成されている。基部141には、前側から後側に延設される複数のフィン143と、6つの孔部144とが形成されている。孔部144は、上下方向に貫通し、円柱状の中空部になっている。孔部144は、固定用ピン(図示省略)が配置される部位である。上本体部140には、6つの固定用ピンが配置される。第一変形例の固定用ピンの高さ寸法は、孔部144の高さ寸法と同等になっている。上側受熱部142は、第一実施形態と同等である。
 図15に示すように、液冷本体110を形成する際には、下本体部120、介設板130及び上本体部140を重ね合わせた後、下本体部120及び上本体部140を加熱して介設板130の上下面に形成されたロウ材層を溶融させてロウ付けする。これにより、隣り合うフィン123と介設板130とで囲まれた空間が、熱輸送流体が流れる本体流路126となる。同様に、隣り合うフィン143と介設板130とで囲まれた空間が、熱輸送流体が流れる本体流路146となる。液冷本体110には、孔部124,144に合計12個の固定用ピンが配置される。
 以上説明した第一変形例の液冷本体110のように、液冷本体110を下本体部120、介設板130及び上本体部140で構成してもよい。このように構成しても、第一実施形態と同等の効果を奏することができる。なお、第一変形例では、介設板130を設けたが、介設板130を省略してもよい。この場合は、フィン123,143の端面にペースト状のロウ材を塗布してロウ材層を形成し、下本体部120と上本体部140とを接合する。
[第二変形例]
 次に、本発明の第二変形例について説明する。図16及び図17に示すように、第二変形例では、液冷本体の形態が第一実施形態と相違する。第二変形例では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
 図16に示すように、第二変形例に係る液冷本体210は、下本体部220と、介設板230と、上本体部240とで構成されている。
 下本体部220は、板状を呈する基部221と、基部221から下方に突出する下側受熱部222(図17参照)とで構成されている。下本体部220は、金属製であって一体形成されている。基部221には、基部221の上面から立ち上がる複数のピンフィン223と、6つの孔部224とが形成されている。ピンフィン223は、円柱状を呈し、前後方向及び左右方向に等間隔で複数個形成されている。孔部224は、上下方向に貫通し、円柱状の中空部になっている。孔部224は、固定用ピン(図示省略)が配置される部位である。下側受熱部222は、第一実施形態と同等である。
 介設板230は、下本体部220と上本体部240とを一体化するための板状部材である。介設板230は、金属製である。介設板230の左端及び右端には貫通孔231が3ずつ形成されている。貫通孔231は、孔部224及び後記する孔部244に対応する位置に形成されている。介設板230の上面及び下面には、ロウ材層(図示省略)が形成されている。介設板230の前後方向寸法及び左右方向寸法は、下本体部220の前後方向及び左右方向寸法と同等になっている。
 上本体部240は、板状を呈する基部241と、基部241から上方に突出する上側受熱部242とで構成されている。上本体部240は、下本体部220と同等の形状になっている。上本体部240は、金属製であって一体形成されている。基部241には、基部241の下面から垂下する複数のピンフィン243と、6つの孔部244とが形成されている。ピンフィン243は、円柱状を呈し、前後方向及び左右方向に等間隔で複数個形成されている。ピンフィン243は、下本体部220のピンフィン223と対応する位置に形成されている。孔部244は、上下方向に貫通し、円柱状の中空部になっている。孔部244は、固定用ピン(図示省略)が配置される部位である。上側受熱部242は、第一実施形態と同等である。
 図17に示すように、液冷本体210を形成する際には、下本体部220、介設板230及び上本体部240を重ね合わせた後、下本体部220及び上本体部240を加熱して介設板230の上下面に形成されたロウ材層を溶融させてロウ付けする。これにより、複数のピンフィン223と介設板230とで囲まれた空間が、熱輸送流体が流れる本体流路226となる。同様に、複数のピンフィン243と介設板230とで囲まれた空間が、熱輸送流体が流れる本体流路246となる。そして、液冷本体210の上下方向に連通する孔部224、貫通孔231及び孔部244に、それぞれ固定用ピン(本実施形態では計6つの固定用ピン)を挿入する。
 以上説明した第二変形例の液冷本体210のように、液冷本体210を下本体部220、介設板230及び上本体部240で構成してもよい。このように構成しても、第一実施形態と同等の効果を奏することができる。なお、第二変形例では、介設板230を設けたが、介設板230を省略してもよい。この場合は、ピンフィン223,243の端面にペースト状のロウ材を塗布してロウ材層を形成し、下本体部220と上本体部240とを接合する。
[第三変形例]
 第二変形例では、対向するピンフィン223,243を対応する位置に設けたが、図18に示す第三変形例のように、介設板を省略しつつ、対向するピンフィン223,243の位置をずらして構成してもよい。この場合、ピンフィン223,243の端面にはロウ材層が形成されている。対向するピンフィン223,243の左右方向位置及び前後方向位置をずらして設けることで、熱輸送流体を不規則に流通させることができる。
 1    液冷ジャケット
 10   液冷本体
 12   上側受熱部(受熱部)
 12a  受熱面
 13   下側受熱部(受熱部)
 13a  受熱面
 14   フィン
 15   孔部
 16   本体流路
 20   固定用ピン
 24   雌ネジ
 30   前壁
 40   後壁
 50   右壁
 60   左壁
 70   下面材(他方面材)
 70C  ロウ材層
 71   開口部
 73   雌ネジ
 80   上面材(一方面材)
 80C  ロウ材層
 81   開口部
 83   雌ネジ
 95   整流板
 H    発熱体
 B    ネジ(締結具)

Claims (14)

  1.  熱輸送流体を流通させて発熱体を冷却する液冷ジャケットであって、
     複数のフィンで区画された複数の本体流路を有する液冷本体と、
     前記発熱体が固定される固定用ピンと、を有し、
     前記液冷本体には、前記本体流路に連通するとともに一方面側に開口する孔部が形成されており、
     前記固定用ピンは、前記孔部に挿入されていることを特徴とする液冷ジャケット。
  2.  前記液冷本体の一方面側に、前記発熱体に接触する受熱部が形成されており、
     前記フィンと前記受熱部とが一体形成されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の液冷ジャケット。
  3.  複数の前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、
     複数の前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーと、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側に配設される一方面材及び他方側に配設される他方面材と、を有し、
     前記一方面材には、前記受熱部を露出させるための開口部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の液冷ジャケット。
  4.  前記一方面材及び前記他方面材には、予めロウ材層が形成されており、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーは、前記一方面材とロウ付けされるとともに、前記他方面材とロウ付けされていることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の液冷ジャケット。
  5.  前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板が設けられていることを特徴とする請求の範囲第3項又は第4項に記載の液冷ジャケット。
  6.  発熱体を冷却する液冷ジャケットであって、
     熱輸送流体が流通する本体流路を有する液冷本体と、
     前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、
     前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーと、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーを覆うとともにこれらの部材の一方側に配設される一方面材と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーを覆うとともにこれらの部材の他方側に配設される他方面材と、を有し、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記一方面材とがロウ付けされるとともに、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記他方面材とがロウ付けされていることを特徴とする液冷ジャケット。
  7.  前記一方面材及び前記他方面材の少なくとも一方に、前記液冷本体を露出させるための開口部が形成されていることを特徴とする請求の範囲第6項に記載の液冷ジャケット。
  8.  前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板が形成されていることを特徴とする請求の範囲第6項又は第7項に記載の液冷ジャケット。
  9.  発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、
     熱輸送流体の流路となる複数の本体流路を有する形材を用意し、前記本体流路に連通する孔部を形成する準備工程と、
     前記発熱体が固定される固定用ピンを前記孔部に挿入する挿入工程と、
     前記形材と、複数の前記本体流路の一端側に連結される上流側ヘッダーと、複数の前記本体流路の他端側に連結される下流側ヘッダーとを、ロウ材層が積層された一方面材と他方面材との間に配置する配置工程と、
     前記ロウ材層を溶融させるロウ付け工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
  10.  前記一方面材に開口部を形成し、
     前記配置工程では、前記液冷本体の受熱部が前記開口部を介して露出するように前記一方面材を配置することを特徴とする請求の範囲第9項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
  11.  発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、
     熱輸送流体の流路となる本体流路を有する液冷本体を用意する工程と、
     前記本体流路の一端側に上流側ヘッダーを配置する工程と、
     前記本体流路の他端側に下流側ヘッダーを配置する工程と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側にこれらの部材を覆う一方面材を配置する工程と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの他方側にこれらの部材を覆う他方面材を配置する工程と、
     前記一方面材及び前記他方面材に予め積層されたロウ材層を溶融させてロウ付けする工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
  12.  発熱体を冷却する液冷ジャケットの製造方法であって、
     熱輸送流体の流路となる本体流路を有する液冷本体を用意する工程と、
     前記本体流路の一端側に上流側ヘッダーを配置する工程と、
     前記本体流路の他端側に下流側ヘッダーを配置する工程と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの一方側にこれらの部材を覆う一方面材を配置する工程と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーの他方側にこれらの部材を覆う他方面材を配置する工程と、
     前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記一方面材との間、及び、前記液冷本体、前記上流側ヘッダー及び前記下流側ヘッダーと前記他方面材との間に設けられたロウ材層を溶融させてロウ付けする工程と、を含むことを特徴とする液冷ジャケットの製造方法。
  13.  前記一方面材及び前記他方面材の少なくとも一方に、前記液冷本体を露出させるための開口部を設けることを特徴とする請求の範囲第11項又は第12項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
  14.  前記上流側ヘッダーを配置する際に、前記液冷本体と前記上流側ヘッダーとの間に、前記熱輸送流体の流れを整える整流板を配置することを特徴とする請求の範囲第11項又は第12項に記載の液冷ジャケットの製造方法。
PCT/JP2015/065522 2014-07-16 2015-05-29 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法 WO2016009727A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201580038149.1A CN106537585B (zh) 2014-07-16 2015-05-29 液体套及液冷套的制造方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014145775A JP6248841B2 (ja) 2014-07-16 2014-07-16 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法
JP2014-145775 2014-07-16
JP2014145776A JP6248842B2 (ja) 2014-07-16 2014-07-16 液冷ジャケットの製造方法及び液冷ジャケット
JP2014-145776 2014-07-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016009727A1 true WO2016009727A1 (ja) 2016-01-21

Family

ID=55078230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/065522 WO2016009727A1 (ja) 2014-07-16 2015-05-29 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN106537585B (ja)
TW (1) TWI605236B (ja)
WO (1) WO2016009727A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110771025A (zh) * 2017-05-08 2020-02-07 日产自动车株式会社 电力变换装置的冷却构造
US10971431B2 (en) 2018-05-30 2021-04-06 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, cooling module, power converting device, and electric vehicle
US11201121B2 (en) 2017-04-14 2021-12-14 Fuji Electric Co., Ltd Semiconductor device
NL2027865A (en) * 2021-03-30 2022-11-15 E Traction Europe Bv Insulated-gate bipolar transistor module cooling system

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI589105B (zh) * 2016-07-18 2017-06-21 大銀微系統股份有限公司 馬達一次側之傳熱機構

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63127194U (ja) * 1987-02-12 1988-08-19
JP2002164491A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Denso Corp 積層冷却器
JP2010278286A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Mitsubishi Electric Corp ヒートシンク装置
JP2011017516A (ja) * 2009-07-10 2011-01-27 Mitsubishi Electric Corp プレート積層型冷却装置及びその製造方法
JP2011166126A (ja) * 2010-01-12 2011-08-25 Nippon Light Metal Co Ltd 液冷一体型基板および液冷一体型基板の製造方法
JP2013121622A (ja) * 2013-01-17 2013-06-20 Nippon Light Metal Co Ltd 液冷ジャケットの製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM258569U (en) * 2004-05-18 2005-03-01 Cooler Master Co Ltd Liquid flow-path plate of water cooling heat sink
JP5262822B2 (ja) * 2009-02-23 2013-08-14 日本軽金属株式会社 液冷ジャケットの製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63127194U (ja) * 1987-02-12 1988-08-19
JP2002164491A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Denso Corp 積層冷却器
JP2010278286A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Mitsubishi Electric Corp ヒートシンク装置
JP2011017516A (ja) * 2009-07-10 2011-01-27 Mitsubishi Electric Corp プレート積層型冷却装置及びその製造方法
JP2011166126A (ja) * 2010-01-12 2011-08-25 Nippon Light Metal Co Ltd 液冷一体型基板および液冷一体型基板の製造方法
JP2013121622A (ja) * 2013-01-17 2013-06-20 Nippon Light Metal Co Ltd 液冷ジャケットの製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11201121B2 (en) 2017-04-14 2021-12-14 Fuji Electric Co., Ltd Semiconductor device
CN110771025A (zh) * 2017-05-08 2020-02-07 日产自动车株式会社 电力变换装置的冷却构造
US20200068749A1 (en) * 2017-05-08 2020-02-27 Nissan Motor Co., Ltd. Cooling structure of power conversion device
EP3641121A4 (en) * 2017-05-08 2020-05-20 Nissan Motor Co., Ltd. COOLING STRUCTURE OF POWER CONVERSION DEVICE
US10971431B2 (en) 2018-05-30 2021-04-06 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device, cooling module, power converting device, and electric vehicle
NL2027865A (en) * 2021-03-30 2022-11-15 E Traction Europe Bv Insulated-gate bipolar transistor module cooling system

Also Published As

Publication number Publication date
TWI605236B (zh) 2017-11-11
CN106537585B (zh) 2019-03-01
CN106537585A (zh) 2017-03-22
TW201608198A (zh) 2016-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016009727A1 (ja) 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法
US8199505B2 (en) Jet impingement heat exchanger apparatuses and power electronics modules
US8120914B2 (en) Semiconductor cooling apparatus
JP6248841B2 (ja) 液冷ジャケット及び液冷ジャケットの製造方法
US20130058042A1 (en) Laminated heat sinks
WO2018021009A1 (ja) 冷却装置
JP6314802B2 (ja) 液冷ジャケットの製造方法
JP6092670B2 (ja) 熱交換器
JP2013254787A (ja) 熱交換器及びその製造方法
JP6248842B2 (ja) 液冷ジャケットの製造方法及び液冷ジャケット
JP6508398B2 (ja) 液冷ジャケット
JP2013225553A (ja) 熱交換器及びその製造方法
TWI729421B (zh) 二極體雷射器配置以及製造二極體雷射器配置之方法
JP2014013848A (ja) 熱交換器
JP2005129599A (ja) 電子機器部品の液体冷却板、液体冷却板の製造方法
JP2010103365A (ja) 熱交換器の製造方法
JP2012160688A (ja) ヒートシンク及びその製造方法
WO2023079608A1 (ja) ヒートシンクおよびヒートシンクの製造方法
JP4503202B2 (ja) ヒートシンクの製造方法
JP6610505B2 (ja) 積層型熱交換器、および積層型熱交換器の製造方法
JP2009243563A (ja) 中空部品へのパイプ接続構造
JP3138517U (ja) ヒートシンクモジュール
CN111739859A (zh) 一种多层螺旋式微通道液冷散热装置及其加工方法
JP2007019365A (ja) マイクロヒートシンク及びそれを用いたジャケット
TWI827347B (zh) 車用水冷散熱器結構

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15822283

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15822283

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1