JPH0380585A - 高速軸流形レーザ発振器の排気管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は高速軸流形レーザ発振器の排気管に関する。

（従来の技術） 第３図に従来の高速軸流形炭酸ガスレーザ発振器１の一
般的な構造を示しである。すなわち、放電管３の一端に
、レーザガスの流入部５を設け、他端に排出部７を設け
、流入部５には陰極９を、排出部７には陰極１１をそれ
ぞれ設けである。陽極９と陰極１１の間には高圧直流電
源１３を設けである。また、流入部５には給気管１５を
、排出部７には排気管１７を、それぞれ接続し、これら
の間には、熱交換器１９、送風機２１を設けてあり、放
電管３内の放電によって高温になったレーザガスＧを冷
却し、矢印のように循環使用する。

また、放電管３の左端及び右端には、それぞれフロント
ミラー２３、リアミラー２５を設けてあり、斜線で表わ
したプラズマ部に励起されたレーザ光を、矢印りの方向
へ放出する。

このような高速軸流形炭酸ガスレーザ発振器においては
、放電時に、陰極１１が、レーザガスの陽イオンの衝突
（スパッタリング）によって微細な陰極物質（原子）を
放出する。この陰極物質はガス流に乗り、下流の排気管
１７の管壁に付着し、発振器の使用時間と共に、薄い膜
を形成するようになる。この膜は本来導電性であるため
、陰極１１と熱交換器１９との間の電気抵抗を減少させ
、膜を介して両者間で放電が起きるようになる。

この放電は、レーザ発振器にとっては全く不必要なもの
で、レーザ発振が不安定になる外、レーザガスの温度を
上昇させ、発振器の電力変換効率を低下させる。このた
め、従来は排気管を長くすると共に、発振器の使用時間
に対応して排気管の取替、清掃等を行なってきた。

（発明が解決しようとする課題〉 前記のように、陰極のスパッタリングに起因する排気管
内の放電を防止するため、一般には排気管を長くしてい
るが、装置が大型化するという問題があり、また、排気
管の取替、清掃等もかならずしも容易ではなかった。こ
の発明は、このような問題に着目して創案されたもので
、比較的簡単な構造で、排気管内の放電を長期にわたっ
て防止することのできる高速軸流形レーザ発振器の排気
管を提供することを目的とするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段〉 前記の目的を達成するために、この発明の排気管は、小
径のガラス管の一部分を大径のガラス管へ同心状に挿入
し、その挿入部の大径ガラス管の端面と小径ガラス管の
間隙を環状部材によって密閉し、挿入部の小径ガラス管
の外面と、大径ガラス管の内面の間に、環状の空間を設
けたものである。

（作用〉 このように構成されているので、レーザ発振器の使用時
間と共に、小径ガラス管の内面には、陰極のスパッタリ
ングによる陰極物質の薄膜が付着するが、小径ガラス管
を大径ガラス管へ挿入した挿入部の環状の空間は、レー
ザガスの流れが殆どないので、小径ガラス管の外面と、
大径ガラス管の内面には、陰極物質が殆ど付着しない。

したがって、この部の絶縁抵抗が低下しないので、排気
管の絶縁抵抗が保たれ、従来のような陰極と熱交換器と
の間の放電が起きにくくなる。

（実施例〉 次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図はこの発明の実施例の１つである。図示のよ
うに、この排気管１７は、小径のガラス管２７の一部分
を大径のガラス管２９へ同心状に挿入し、その挿入部の
大径のガラス管２９の端面と、小径ガラス管２７の間隙
を、環状部材３１によって密閉したものである。

挿入部の小径のガラス管２７の外面と大径のガラス管２
９の内面との間に環状の空間が設けであるが、この部分
にはレーザガスが流れ込まないので、スパッタリングに
よる陰極物質の付着が起こらない。したがって、この部
で絶縁が維持されるので、陰極１１と熱交換器１９との
間の放電が防止される。

第２図は、この発明の他の実施例で、小径のガラス管２
７を熱交換器１９の内部へ突き出したもので、大径のガ
ラス管２９との間の環状の空間の内面及び小径のガラス
管の付き出し部の外面には、前記の例と同様な理由で、
陰極物質の付着が起らない。したがって、この部で絶縁
が維持されるので陰極１１と熱交換器１９との間の放電
が防止される。このような構造にすると、排気管の長さ
を短くすることもできる。

［発明の効果］ 以上の説明から理解されるように、この発明は特許請求
の範囲に記載の構成を備えでいるので、排気管内の放電
を長期にわたって防止することができる。したがって、
発振器を長期間安定して稼動させることができる。また
、構造が簡単で、小形に構成されるので、発振器を小形
化することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一つの実施例の排気管の拡大断面図
、第２図は他の実施例の排気管の拡大断面図、第３図は
従来の高速軸流形炭酸ガスレーザ発振器の説明図である
。図中の同一符号は、間物又は相等物を表わす。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・高速軸流形炭酸ガスレーザ発振器３・・・放電
管　　　　　１１・・・陰極１７・・・排気管　　　　
　１９・・・熱交換器２７・・・小径ガラス管　　２９
・・・大径ガラス管３１・・・環状部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 小径のガラス管の一部分を大径のガラス管へ同心状に挿
   入し、その挿入部の大径ガラス管の端面と小径ガラス管
   の間隙を環状部材にて密閉し、挿入部の小径ガラス管の
   外面と、大径ガラス管の内面の間に、環状の空間を設け
   てなる排気管を、陰極と熱交換器の間に設けたことを特
   徴とする高速軸流形レーザ発振器の排気管。